JP5601546B2

JP5601546B2 - Excimer light irradiation equipment

Info

Publication number: JP5601546B2
Application number: JP2012229485A
Authority: JP
Inventors: 肇石原
Original assignee: Ushio Denki KK
Current assignee: Ushio Denki KK
Priority date: 2012-10-17
Filing date: 2012-10-17
Publication date: 2014-10-08
Anticipated expiration: 2032-10-17
Also published as: JP2014082107A

Description

この発明は、紫外線照射処理に使用されるエキシマ光照射装置に関し、特に、紫外線反射膜が形成されたエキシマランプを用いるエキシマ光照射装置に係わるものである。 The present invention relates to an excimer light irradiation apparatus used for ultraviolet irradiation treatment, and more particularly to an excimer light irradiation apparatus using an excimer lamp in which an ultraviolet reflecting film is formed.

現在、例えば、液晶表示パネルのガラス基板を紫外線照射によって洗浄する工程等においては、波長２００ｎｍ以下の真空紫外線を放射するエキシマランプを備えたエキシマ光照射装置が使用されている。
このようなエキシマ光照射装置に使用されるエキシマランプとしては、特開２０１０−８０３５１号公報（特許文献１）にも記載されているように、紫外線を効率よく放射するために、放電容器内に紫外線反射膜が形成されたエキシマランプが多用されている。このようなランプにおいては、水平配置された長尺の放電容器内の光出射側と反対の内面に、シリカ粒子を主体とした紫外線反射膜が形成されている。 At present, for example, in a process of cleaning a glass substrate of a liquid crystal display panel by ultraviolet irradiation, an excimer light irradiation apparatus including an excimer lamp that emits vacuum ultraviolet rays having a wavelength of 200 nm or less is used.
As an excimer lamp used in such an excimer light irradiation apparatus, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2010-80351 (Patent Document 1), in order to radiate ultraviolet rays efficiently, Excimer lamps with an ultraviolet reflecting film are often used. In such a lamp, an ultraviolet reflecting film mainly composed of silica particles is formed on the inner surface opposite to the light emitting side in a horizontally disposed long discharge vessel.

図６（Ａ）（Ｂ）にその概略構造が示されており、断面が扁平な矩形形状をなし、長尺な放電容器３１の外面には透光性の外部電極３２、３２が設けられ、真空紫外線は光出射壁３４を経て出射されて被照射物に照射される。
光出射側とは反対側の非光出射壁３５の内面にはシリカ粒子などからなる紫外線反射膜３３が形成されている。 6 (A) and 6 (B), the schematic structure is shown, the cross section is a flat rectangular shape, and light-transmitting external electrodes 32 and 32 are provided on the outer surface of the long discharge vessel 31, The vacuum ultraviolet rays are emitted through the light emitting wall 34 and are irradiated on the irradiated object.
An ultraviolet reflecting film 33 made of silica particles or the like is formed on the inner surface of the non-light emitting wall 35 opposite to the light emitting side.

しかしてこのような構造のエキシマランプにおいては、放電容器３１内で生成された紫外線は上方の非光出射壁３５内面の紫外線反射膜３３に反射されて下方の光出射壁３４から出射されるので、非光出射壁３５のガラスには紫外線が到達せず、一方、下方の光出射壁３４には直接出射光に反射光を加えた紫外線が照射・透過することになる。
このため、点灯時間が経過するに従って、下方の光出射壁３４、つまり放電容器３１の光出射方向側の壁を構成するガラスに、真空紫外線が照射されることに起因して生ずる紫外線歪みが経時的に蓄積される。一方で、紫外線反射膜３３を形成した上方壁３５には紫外線が照射されることがないので、紫外線歪みが蓄積されることがない。
その結果、この紫外線歪みの影響によって、光出射方向側のガラスが主として長手方向に収縮して、放電容器３１全体が、紫外線反射膜３３が形成された非光出射壁３５方向に向かって凸状に反ってしまうことが確認されている。
図７の模式図で示すと、点線が凸状に反る前の放電容器３１であり、実線が矢印方向に凸状に反った放電容器３１である。 In the excimer lamp having such a structure, the ultraviolet rays generated in the discharge vessel 31 are reflected by the ultraviolet reflecting film 33 on the inner surface of the upper non-light emitting wall 35 and emitted from the lower light emitting wall 34. The ultraviolet light does not reach the glass of the non-light emitting wall 35, while the lower light emitting wall 34 is irradiated / transmitted with the ultraviolet light obtained by adding the reflected light directly to the emitted light.
For this reason, as the lighting time elapses, the ultraviolet light distortion caused by irradiating the vacuum light to the glass constituting the lower light emitting wall 34, that is, the wall on the light emitting direction side of the discharge vessel 31 ages. Accumulated. On the other hand, since the upper wall 35 on which the ultraviolet reflecting film 33 is formed is not irradiated with ultraviolet rays, ultraviolet distortion is not accumulated.
As a result, the glass on the light emitting direction side contracts mainly in the longitudinal direction due to the influence of the ultraviolet distortion, and the entire discharge vessel 31 is convex toward the non-light emitting wall 35 where the ultraviolet reflecting film 33 is formed. It has been confirmed that it will warp.
In the schematic diagram of FIG. 7, the discharge vessel 31 is a discharge vessel 31 before the dotted line is warped in a convex shape, and the solid line is the discharge vessel 31 warped in a convex shape in an arrow direction.

このように、エキシマランプ（放電容器）が上方に反ってしまうと、エキシマランプの両端部と中央部とでは、被照射物である液晶ガラス基板等のワーク面とエキシマランプ間の距離がランプの長手方向で異なってくる。ワーク面とエキシマランプ間の距離が異なると、光照射照度がワーク面上の部位によって相違してしまい、均一な紫外線処理ができなくなり、当然のことながら処理後のワークに不具合を生じることになる。
上記特許文献１には、このような不具合を解消するために、エキシマランプの中央部にエキシマランプが上方へ反らないように機械的に移動を制限する移動規制体を設ける構造が提案されている。 In this way, when the excimer lamp (discharge vessel) is warped upward, the distance between the work surface of the excimer lamp such as the liquid crystal glass substrate and the excimer lamp is the distance between the excimer lamp and the center portion. Different in the longitudinal direction. If the distance between the work surface and the excimer lamp is different, the light irradiation illuminance will differ depending on the part on the work surface, and uniform ultraviolet treatment will not be possible, naturally resulting in defects in the work after processing. .
In order to solve such problems, Patent Document 1 proposes a structure in which a movement restricting body that mechanically restricts movement is provided so that the excimer lamp does not warp upward at the center of the excimer lamp. Yes.

図８にその概要が示されていて、エキシマ光照射装置１において、筺体２にはエキシマランプ３がランプホルダー４、５によって保持されていて、そのエキシマランプ３の放電容器３１の上面側の中央部に当接するように移動規制体２０が設けられている。該移動規制体２０の先端には、エキシマランプの長手方向において回転可能な回転コロ２１が設けられている。
もちろんこの例では、図６に示すように、エキシマランプ３の放電容器３１の上方内面に紫外線反射膜が形成されており、紫外線は、ランプの下方に置かれた被照射物Ｗに照射されるものである。
そして、この従来技術では、上記移動規制体２０によって、エキシマランプ３の放電容器３１が紫外線歪みによって、図８の上方に反ることを規制しようとするものである。 The outline is shown in FIG. 8. In the excimer light irradiation device 1, an excimer lamp 3 is held by a housing 2 by lamp holders 4 and 5, and the center of the excimer lamp 3 on the upper surface side of the discharge vessel 31. The movement restricting body 20 is provided so as to abut the portion. A rotary roller 21 that can rotate in the longitudinal direction of the excimer lamp is provided at the tip of the movement restricting body 20.
Of course, in this example, as shown in FIG. 6, an ultraviolet reflecting film is formed on the upper inner surface of the discharge vessel 31 of the excimer lamp 3, and the ultraviolet rays are irradiated to the irradiated object W placed below the lamp. Is.
In this prior art, the movement restricting body 20 is intended to restrict the discharge vessel 31 of the excimer lamp 3 from warping upward in FIG. 8 due to ultraviolet distortion.

しかして、このようなエキシマ光照射装置においては、一般に、エキシマランプはランプホルダーによって筐体に保持されている。
図９にその構造が示されている。エキシマランプの放電容器３１の両端にはベース３６が設けられていて、該ベース３６には支持ピン３７が突設されている。
一方、筐体２に設けられたランプホルダー４には係合溝３８が形成されており、該係合溝３８は下端に開口する垂直ガイド３８ａと、略水平ガイド３８ｂと、垂直係合ガイド３８ｃとからなる。 Therefore, in such an excimer light irradiation apparatus, generally, the excimer lamp is held in a casing by a lamp holder.
FIG. 9 shows the structure. Bases 36 are provided at both ends of the discharge vessel 31 of the excimer lamp, and support pins 37 project from the base 36.
On the other hand, an engagement groove 38 is formed in the lamp holder 4 provided in the housing 2, and the engagement groove 38 has a vertical guide 38a that opens to the lower end, a substantially horizontal guide 38b, and a vertical engagement guide 38c. It consists of.

エキシマランプ３の取り付けに際しては、図９（Ａ）に示すように、ランプ３の支持ピン３７を係合溝３８の垂直ガイド３８ａに位置させて、ランプ３を上方に移動し、次いで水平ガイド３８ｂ内を水平に移動させ、次いで、垂直係合ガイド３８ｃ内で下方に移動させて、当該係合ガイド３８ｃによって支持ピン３７を位置決め固定するものである。
ところで、ランプ３の交換などによる取り外し時には、前記と逆の操作を行うことで取り外され、まず、図９（Ｂ）に示すように、係合ガイド３８ｃ内を上方に移動させて支持ピン３７の係合を解くものであるが、この動作によって、図中点線で示すように、エキシマランプ３（放電容器３１）も上方に移動する。 When the excimer lamp 3 is attached, as shown in FIG. 9A, the support pin 37 of the lamp 3 is positioned on the vertical guide 38a of the engaging groove 38, the lamp 3 is moved upward, and then the horizontal guide 38b. The inside is moved horizontally, and then moved downward in the vertical engagement guide 38c, and the support pin 37 is positioned and fixed by the engagement guide 38c.
By the way, when the lamp 3 is removed due to replacement or the like, it is removed by performing the reverse operation to the above, and first, as shown in FIG. Although the engagement is disengaged, the excimer lamp 3 (discharge vessel 31) also moves upward as shown by the dotted line in the figure.

所定の点灯時間経過後のエキシマランプ３においては、その放電容器３１には紫外線歪の蓄積により上方に凸となるように変形しようとする力が作用しており、これに当接する移動規制体２０によってこの変形を規制しているので、放電容器３１には該移動規制体２０が密着している状態となっている。
このため、前記ランプ交換時における取り外し時のランプの上方への移動によって、放電容器３１には移動規制体２０によって局所的な応力が生じて、当接部位を中心として放電容器３１にクラックが発生し、しばしば破損に至ることがあるという問題がある。 In the excimer lamp 3 after a predetermined lighting time elapses, the discharge vessel 31 is subjected to a force to be deformed so as to protrude upward due to the accumulation of ultraviolet distortion, and the movement restricting body 20 in contact with this force. Therefore, the movement restricting body 20 is in close contact with the discharge vessel 31.
For this reason, when the lamp is moved during the replacement of the lamp, the discharge container 31 is locally stressed by the movement restricting body 20 due to the upward movement of the lamp, and a crack is generated in the discharge container 31 around the contact portion. However, there is a problem that it often leads to breakage.

特開２０１０−８０３５１号公報JP 2010-80351 A

この発明は、上記従来技術の問題点に鑑みて、放電容器の非光出射側の内面に紫外線反射膜を備えたエキシマランプが、ランプホルダーによって筐体に保持され、前記放電容器の紫外線反射膜側への反りを制限する移動規制体が前記放電容器の紫外線反射膜側の表面に当接して設けられてなるエキシマ光照射装置において、ランプ交換時に前記移動規制体と当接する放電容器に、当該移動規制体によって応力集中が発生することを回避して、該放電容器の破損を防止できる構造を提供することである。 In view of the above-described problems of the prior art, an excimer lamp having an ultraviolet reflecting film on the inner surface of the discharge vessel on the non-light emitting side is held in a casing by a lamp holder. In an excimer light irradiation device in which a movement restricting body that restricts warpage to the side is provided in contact with the surface of the discharge container on the side of the ultraviolet reflecting film, the discharge container that contacts the movement restricting body when the lamp is replaced includes An object of the present invention is to provide a structure capable of avoiding the occurrence of stress concentration by the movement restricting body and preventing the discharge vessel from being damaged.

上記課題を解決するために、この発明では、放電容器の端部に設けられたベースには支持ピンが突設され、ランプホルダーの少なくとも一方には、前記支持ピンが係合する係合溝が形成されており、該係合溝は前記ランプホルダーの下端に開口する垂直ガイドと、該垂直ガイドに連続する水平ガイドとからなり、前記ランプホルダーには位置決め部材が上下摺動自在に設けられ、該位置決め部材には下端に開口する垂直方向の位置決め溝が形成されていて、前記エキシマランプの支持ピンが前記ランプホルダーの水平ガイド内において、前記位置決め部材の位置決め溝に係合して位置決めされていることを特徴とする。
また、前記ランプホルダーの他方には、水平方向に開口する係合溝が形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above problems, according to the present invention, a support pin protrudes from a base provided at the end of the discharge vessel, and at least one of the lamp holders has an engagement groove for engaging the support pin. The engaging groove is formed of a vertical guide opening at the lower end of the lamp holder and a horizontal guide continuous to the vertical guide, and a positioning member is provided on the lamp holder so as to be slidable up and down. The positioning member is formed with a vertical positioning groove that opens at the lower end, and the excimer lamp support pin is positioned in the horizontal guide of the lamp holder by engaging with the positioning groove of the positioning member. It is characterized by being.
Further, the other of the lamp holders is formed with an engaging groove that opens in the horizontal direction.

本発明によれば、ランプ交換時にランプをランプホルダーから取り外す際に、当該ランプが上方に移動する動作を伴うことなく、無理なく取り外すことができるようにして、移動規制体が当接している放電容器に応力集中が起きることがなく、その破損を防止できるという効果を奏するものである。
また、他方のランプホルダーにおける係合溝は水平方向に開口する構造であるので、極めて簡単な構造で済むという利点もある。 According to the present invention, when the lamp is removed from the lamp holder at the time of lamp replacement, the discharge that the movement restricting body is in contact with can be removed without being accompanied by an operation of moving the lamp upward. There is no effect of stress concentration on the container, and the damage can be prevented.
Further, since the engaging groove in the other lamp holder has a structure opening in the horizontal direction, there is an advantage that a very simple structure is sufficient.

本発明のエキシマ光照射装置の全体図。1 is an overall view of an excimer light irradiation apparatus of the present invention. 本発明の一方のランプホルダーの斜視図。The perspective view of one lamp holder of this invention. 本発明の他方のランプホルダーの斜視図。The perspective view of the other lamp holder of this invention. 本発明のランプホルダーの分解図。The exploded view of the lamp holder of this invention. ランプ交換時の動作説明図。Operation | movement explanatory drawing at the time of lamp replacement. 従来のエキシマランプの斜視図（Ａ）および断面図（Ｂ）。The perspective view (A) and sectional drawing (B) of the conventional excimer lamp. 放電容器の反りを示す模式図。The schematic diagram which shows the curvature of a discharge vessel. 従来のエキシマ光照射装置の全体図。The whole figure of the conventional excimer light irradiation apparatus. 従来例のランプ交換時の動作説明図。Operation | movement explanatory drawing at the time of lamp replacement of a prior art example.

図１に示すように、本発明のエキシマ光照射装置１は、ランプホルダーの形状を除いては基本的に図８に示す従来のエキシマ光照射装置と同様な構造である。
即ち、筺体２に、ランプホルダー４、５によって長尺のエキシマランプ３が水平状態に支持されていて、その下方には被照射物Ｗが配置されており、エキシマランプ３から真空紫外線が照射される。前記エキシマランプ３の放電容器３１の上下面には電極３２が設けられており、また、放電容器３１の上方壁、即ち、非光出射側の壁の内面には、図６に示されるような紫外線反射膜が形成されている。
そして、エキシマランプ３の放電容器３１の長手方向の略中央部に位置して移動規制体２０が設けられている。この移動規制体２０の先端には、回転コロ２１が設けられていて、放電容器３１の上面にほぼ当接している。 As shown in FIG. 1, the excimer light irradiation apparatus 1 of the present invention has basically the same structure as the conventional excimer light irradiation apparatus shown in FIG. 8 except for the shape of the lamp holder.
That is, a long excimer lamp 3 is supported horizontally on the casing 2 by lamp holders 4 and 5, and an object to be irradiated W is disposed below the excimer lamp 3, and vacuum ultraviolet rays are irradiated from the excimer lamp 3. The Electrodes 32 are provided on the upper and lower surfaces of the discharge vessel 31 of the excimer lamp 3, and the upper wall of the discharge vessel 31, that is, the inner surface of the non-light emitting side wall is as shown in FIG. An ultraviolet reflecting film is formed.
And the movement control body 20 is provided in the approximate center part of the longitudinal direction of the discharge vessel 31 of the excimer lamp 3. A rotary roller 21 is provided at the tip of the movement restricting body 20 and substantially abuts on the upper surface of the discharge vessel 31.

ここで、ほぼ当接しているとは、ランプの使用初期にあって紫外線歪みがまだ蓄積されていない状態、即ち上方への反りがない状態にあっては、エキシマランプ３の放電容器３１の上面に若干程度（例えば、１ｍｍ程度）の間隙を有する状態で配置されることである。なお、その間隙は、エキシマランプ３の長さ、被照射物Ｗとの距離などによって適宜に選択される。
また、移動規制体２０の先端の回転コロ２１は、エキシマランプ３の放電容器３１の長手方向において回転可能に取り付けられている。 Here, “substantially abut” means that the upper surface of the discharge vessel 31 of the excimer lamp 3 is in a state where the ultraviolet distortion is not yet accumulated, that is, in a state where there is no upward warping. In a state having a gap of about a little (for example, about 1 mm). Note that the gap is appropriately selected depending on the length of the excimer lamp 3, the distance from the irradiation object W, and the like.
The rotating roller 21 at the tip of the movement restricting body 20 is attached to be rotatable in the longitudinal direction of the discharge vessel 31 of the excimer lamp 3.

図２は、一方のランプホルダー４の斜視図であって、（Ａ）は、後述する位置決め部材６が上方に開放された状態を示し、（Ｂ）はこの位置決め部材６が下方に閉じられた状態を示している。
図１および図２に示されるように、エキシマランプ３の放電容器３１の両端に設けられたベース３６には支持ピン３７が突設されている。 FIG. 2 is a perspective view of one lamp holder 4, (A) shows a state where a positioning member 6 described later is opened upward, and (B) shows that this positioning member 6 is closed downward. Indicates the state.
As shown in FIGS. 1 and 2, support pins 37 protrude from bases 36 provided at both ends of the discharge vessel 31 of the excimer lamp 3.

以下、ランプホルダーおよび位置決め手段の構造を説明する。
図４には、ランプホルダー４と位置決め部材６とが分解されて示されている。図４（Ａ）は、位置決め部材６の側面図であり、（Ｂ）はその正面図。また、（Ｃ）はランプホルダー４の側面図、（Ｄ）はその正面図である。
図４（Ｃ）（Ｄ）に示すように、ランプホルダー４は全体として門型形状をなし、その両脚部４１、４１間でエキシマランプ３を支持する。
このランプホルダー４の脚部４１には、前記支持ピン３７が係合する係合溝４２が形成されていて、該係合溝４２は、ランプホルダー４の下端に開口する垂直ガイド４２ａと、これに連続する水平ガイド４２ｂとからなる。 Hereinafter, the structure of the lamp holder and the positioning means will be described.
FIG. 4 shows the lamp holder 4 and the positioning member 6 in an exploded state. FIG. 4A is a side view of the positioning member 6, and FIG. (C) is a side view of the lamp holder 4, and (D) is a front view thereof.
As shown in FIGS. 4C and 4D, the lamp holder 4 has a portal shape as a whole, and supports the excimer lamp 3 between its leg portions 41 and 41.
The leg portion 41 of the lamp holder 4 is formed with an engaging groove 42 with which the support pin 37 engages. The engaging groove 42 includes a vertical guide 42 a that opens at the lower end of the lamp holder 4, and this guide groove 42. And a horizontal guide 42b that is continuous with each other.

図１および図２に示すように、このランプホルダー４には位置決め部材６が上下方向に摺動自在に設けられている。
図４（Ａ）（Ｂ）に示すように、この位置決め部材６は、前記ランプホルダー４と同様に全体として門型形状をなし、その両脚部６１、６１が、前記ランプホルダー４の両脚部４１の外側に被せられて、上下摺動自在となっている。
そして、この脚部６１には、下端に開口する垂直方向の位置決め溝６２が形成されていて、後述するように、ランプホルダー４の係合溝４２の水平ガイド４２ｂと協同してランプ３の支持ピン３７の位置決めを行う。
また、前記ランプホルダー４の脚部４１には段部４３が形成されていて、前記位置決め部材６の脚部６１に形成された段部６３に係合することによって、該位置決め部材６１の下方への移動が規制される。 As shown in FIGS. 1 and 2, the lamp holder 4 is provided with a positioning member 6 slidably in the vertical direction.
As shown in FIGS. 4A and 4B, the positioning member 6 has a portal shape as a whole like the lamp holder 4, and both leg portions 61, 61 are both leg portions 41 of the lamp holder 4. It can be slid up and down.
The leg portion 61 is formed with a vertical positioning groove 62 opened at the lower end, and supports the lamp 3 in cooperation with the horizontal guide 42b of the engaging groove 42 of the lamp holder 4, as will be described later. The pin 37 is positioned.
Further, a step portion 43 is formed on the leg portion 41 of the lamp holder 4, and by engaging with a step portion 63 formed on the leg portion 61 of the positioning member 6, the step portion 43 is moved downward. Movement is restricted.

一方、図１および図３に示すように、ランプ３の他端側のランプホルダー５の脚部５１には前端側に開口する水平な係合溝５２が形成されていて、ランプ３の他端側の支持ピン３７を摺動自在に受け入れている。 On the other hand, as shown in FIGS. 1 and 3, the leg 51 of the lamp holder 5 on the other end side of the lamp 3 is formed with a horizontal engaging groove 52 that opens to the front end side. The side support pin 37 is slidably received.

上記構成におけるランプ３の取り付け、取り外しについて、図５により説明する。
図５（Ａ）において、図示されないランプ３の右端側の支持ピン３７をランプホルダー５の係合溝５２内に挿入する。次いで、位置決め部材６を上方に位置させた状態で、ランプ３（放電容器３１）を上方に回動させて、ベース３６の支持ピン３７をランプホルダー４の係合溝４２における垂直ガイド４２ａ内に挿入し、上方に移動させる。
図５（Ｂ）に示すように、これにより、支持ピン３７は係合溝４２の水平ガイド４２ｂに位置するようになる。 The attachment and removal of the lamp 3 in the above configuration will be described with reference to FIG.
In FIG. 5A, a support pin 37 on the right end side of the lamp 3 (not shown) is inserted into the engagement groove 52 of the lamp holder 5. Next, with the positioning member 6 positioned upward, the lamp 3 (discharge vessel 31) is rotated upward so that the support pin 37 of the base 36 is placed in the vertical guide 42 a in the engagement groove 42 of the lamp holder 4. Insert and move upward.
As a result, as shown in FIG. 5B, the support pin 37 is positioned on the horizontal guide 42 b of the engagement groove 42.

次いで、図５（Ｃ）に示すように、ランプ３を図の右方にスライドさせて、支持ピン３７をこの水平ガイド４２ｂの所定位置に移動させる。
次いで、図５（Ｄ）に示すように、位置決め部材６を下方に移動させる。このとき、位置決め部材６の位置決め溝６２が前記支持ピン３７と係合し、そのまま位置決め部材６は下降する。
そして、位置決め部材６の段部６３がランプホルダー４の段部４３に当接して、該位置決め部材６の下方への移動が停止する。
この一連の動作により、ランプ３の支持ピン３７は、ランプホルダー４の係合溝４２の水平ガイド４２ｂ内において、位置決め部材６の位置決め溝６２によって、位置決めされる。 Next, as shown in FIG. 5C, the lamp 3 is slid rightward in the figure, and the support pin 37 is moved to a predetermined position of the horizontal guide 42b.
Next, as shown in FIG. 5D, the positioning member 6 is moved downward. At this time, the positioning groove 62 of the positioning member 6 is engaged with the support pin 37, and the positioning member 6 is lowered as it is.
And the step part 63 of the positioning member 6 contacts the step part 43 of the lamp holder 4, and the downward movement of the positioning member 6 stops.
By this series of operations, the support pin 37 of the lamp 3 is positioned by the positioning groove 62 of the positioning member 6 in the horizontal guide 42 b of the engaging groove 42 of the lamp holder 4.

なお、ランプ３の取り外しは、上記と逆の動作によって行われる。
即ち、図５（Ｄ）の状態から、位置決め部材６を上方に摺動移動させて位置決め溝６２と支持ピン３７との係合を解く。その後、ランプ３をランプホルダー４の水平ガイド４２ｂ内を図５（Ｃ）の左方に移動させる。次いで、図５（Ｂ）、（Ａ）に示すように、支持ピン３７を垂直ガイド４２ａ内で下方に移動させ、ランプ３をランプホルダー４の係合溝４２から離脱させる。
その後、図示しない、ランプ３の右方の端部をランプホルダー５から離脱させることにより、ランプ３の取り外しが行われる。 The removal of the lamp 3 is performed by the reverse operation.
That is, from the state of FIG. 5D, the positioning member 6 is slid upward to disengage the positioning groove 62 from the support pin 37. Thereafter, the lamp 3 is moved in the horizontal guide 42b of the lamp holder 4 to the left in FIG. Next, as shown in FIGS. 5B and 5A, the support pin 37 is moved downward in the vertical guide 42 a, and the lamp 3 is detached from the engagement groove 42 of the lamp holder 4.
Thereafter, the right end of the lamp 3 (not shown) is detached from the lamp holder 5 to remove the lamp 3.

なお、ランプ３の他方側のランプホルダー５には水平方向の係合溝５２を形成したものを示したが、左方のランプホルダー４の係合溝４２と同様に垂直ガイドと水平ガイドとからなる形状であってもよい。ただこの場合、支持ピン３７の位置決めは、左方の位置決め部材６によって行われるので、右方側のランプホルダー５には必ずしも位置決め部材は必要ではない。
また、エキシマランプ３の放電容器３１は、扁平矩形形状のものを示したが、内側管と外側管からなる二重円筒型放電容器であってもよい。 Note that the lamp holder 5 on the other side of the lamp 3 is shown with a horizontal engaging groove 52 formed, but the vertical guide and the horizontal guide are similar to the engaging groove 42 of the left lamp holder 4. The shape which becomes may be sufficient. However, in this case, since the positioning of the support pin 37 is performed by the left positioning member 6, the positioning member is not necessarily required for the lamp holder 5 on the right side.
Moreover, although the discharge vessel 31 of the excimer lamp 3 has a flat rectangular shape, it may be a double cylindrical discharge vessel comprising an inner tube and an outer tube.

以上説明したように、本発明では、エキシマランプの放電容器のほぼ中央部に当接して移動規制体を設け、紫外線歪みによる放電容器の反りを規制するようにしたエキシマ光照射装置において、ランプホルダーからランプを取り外すとき、ランプを水平に移動し、その後垂直下方に移動させることによって取り外せるので、ランプを上方に移動させる動作がなく、移動規制体によるランプの放電容器への応力集中が起こることがないので、放電容器の破損を防止できるものである。 As described above, according to the present invention, in the excimer light irradiation apparatus in which the movement restricting body is provided in contact with the substantially central portion of the discharge vessel of the excimer lamp and the warpage of the discharge vessel due to ultraviolet distortion is restricted, the lamp holder When removing the lamp from the lamp, it can be removed by moving the lamp horizontally and then moving vertically downward.Therefore, there is no movement of the lamp upward, and the concentration of stress on the discharge vessel of the lamp by the movement restricting body may occur. Therefore, the discharge vessel can be prevented from being damaged.

１エキシマランプ光照射装置
２筺体
２０移動規制体
３エキシマランプ
３１放電容器
３２電極
３３紫外線反射膜
３６ベース
３７支持ピン
４ランプホルダー
４１脚部
４２係合溝
４２ａ垂直ガイド
４２ｂ水平ガイド
５ランプホルダー
５１脚部
５２水平係合溝
６位置決め部材
６１脚部
６２位置決め溝
６３段部

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Excimer lamp light irradiation apparatus 2 Housing 20 Movement control body 3 Excimer lamp 31 Discharge vessel 32 Electrode 33 Ultraviolet reflective film 36 Base 37 Support pin 4 Lamp holder 41 Leg part 42 Engaging groove 42a Vertical guide 42b Horizontal guide 5 Lamp holder 51 Leg Part 52 Horizontal engagement groove 6 Positioning member 61 Leg part 62 Positioning groove 63 Step part

Claims

放電容器の外面に電極が配設されるとともに、当該放電容器の非光出射側の内面に紫外線反射膜を備えたエキシマランプが、ランプホルダーによって筐体に保持され、
前記放電容器の非光出射側への反りを制限する移動規制体が前記放電容器の非光出射側の外面に当接して設けられ、
てなるエキシマ光照射装置において、
前記放電容器の端部に設けられたベースには支持ピンが突設され、
前記ランプホルダーの少なくとも一方には、前記支持ピンが係合する係合溝が形成されており、
前記係合溝は該ランプホルダーの下端に開口する垂直ガイドと、該垂直ガイドに連続する水平ガイドとからなり、
前記ランプホルダーには位置決め部材が上下摺動自在に設けられ、該位置決め部材には下端に開口する垂直方向の位置決め溝が形成されていて、
前記エキシマランプの支持ピンが前記ランプホルダーの水平ガイド内において、前記位置決め部材の位置決め溝に係合して位置決めされていることを特徴とするエキシマ光照射装置。
An electrode is disposed on the outer surface of the discharge vessel, and an excimer lamp having an ultraviolet reflective film on the inner surface of the discharge vessel on the non-light emitting side is held in the casing by the lamp holder,
The movement restricting member for restricting the warping of the non-light emitting side of the discharge vessel in contact provided on the outer surface of the non-light emitting side of the discharge vessel,
In the excimer light irradiation device
A support pin protrudes from the base provided at the end of the discharge vessel,
At least one of the lamp holders has an engagement groove with which the support pin is engaged,
The engagement groove comprises a vertical guide that opens at the lower end of the lamp holder, and a horizontal guide that continues to the vertical guide,
The lamp holder is provided with a positioning member that can slide up and down, and the positioning member has a vertical positioning groove that opens at the lower end.
An excimer light irradiation apparatus, wherein a support pin of the excimer lamp is positioned by engaging with a positioning groove of the positioning member in a horizontal guide of the lamp holder.

前記ランプホルダーの他方には、水平方向に開口する係合溝が形成されていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマ光照射装置。

The excimer light irradiation apparatus according to claim 1, wherein an engagement groove opening in a horizontal direction is formed in the other of the lamp holders.