JP5560033B2 - 冷却試料ホールダ及び試料の冷却加工方法 - Google Patents
冷却試料ホールダ及び試料の冷却加工方法 Download PDFInfo
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Description
2 イオン銃
3 コンデンサーレンズ
4 絞り
5 走査電極
6 対物レンズ
7,17 試料
8 試料冷却ホールダ
9 ホールダ温度制御部
10 二次電子検出器
11 デポジション銃
12 マイクロプローブ
13 走査像表示装置
14 走査電極制御部
15 マイクロプローブ制御装置
16 イオンビーム
18 熱伝導棒
19 冷却源
20,21 冷却試料台
22 固定プレート
23 固定ネジ
24 冷媒照射管
25 冷媒照射調節機構
26 雰囲気遮断カバー
27 カバー駆動機構
28 ホールダ支持部
29 Oリング
30 冷却源容器内側
31 冷却源容器外側
32 ヒートコンダクタ
33 排気口
34 注入口
35 冷媒供給口
36 冷却領域
37 保護膜
38 周囲加工設定枠
39 スパッタ加工領域
Claims (2)
- 荷電粒子線装置に挿入可能な冷却試料ホールダであって、
試料を固定する試料固定部分と、
気体および液体の冷媒を貯留する冷媒容器と、
前記冷媒容器から前記試料固定部分まで延びる管と、
前記試料固定部分側にある前記管の先端位置を、加工観察を所望する任意の試料表面の微小領域へ調節し、当該加工観察を所望する試料表面の微小領域へ冷媒を照射する冷媒照射調節機構と、
を備え、前記冷媒容器側の管は屈曲した構造であり、前記冷媒照射調節機構により、管を回転させることで冷媒供給口が冷媒容器上部を向いた場合は気体が照射され、冷媒容器下部を向いた場合は液体が照射される切換機構を備えたことを特徴とする冷却試料ホールダ。 - 請求項1記載の冷却試料ホールダであって、
前記冷媒照射調節機構が、冷媒の流出量を任意の量に制御できることを特徴とする冷却試料ホールダ。
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