JP5554593B2 - 加工装置 - Google Patents
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Description
また、本発明の加工装置において、前記筐体フレームから延びて前記第二の移動機構に接続される配線を保護し、前記第二の移動機構に対して前記前後方向に隣接する長鎖状の配線保護機構を備え、前記配線保護機構の一端部と前記第二の移動機構が接続されると共に前記配線保護機構の他端部と前記筐体フレームが接続されており、前記配線保護機構の一端部と前記第二の移動機構との間の接続、及び前記配線保護機構の他端部と前記筐体フレームとの間の接続の少なくとも一方が、一対の取り付け板の側端部を鉛直軸回りの回転軸で連結したヒンジ連結により接続されており、前記配線保護機構の一端部及び他端部の離間接近により、前記配線保護機構が前記前後方向に伸縮されて前記第二の移動機構の移動に追従され、前記配線保護機構の一端部及び他端部の接近時に、前記配線保護機構の前記左右方向における延在範囲が、前記第二の移動機構の前記左右方向の幅寸法以下に収められている。
また、配線保護機構と第二の移動機構とが前後方向に隣接し、第二の移動機構の移動に伴って配線保護機構が伸縮される。そして、配線保護機構の収縮時に、配線保護機構の左右方向の延在範囲が第二の移動機構の左右方向の幅寸法以下に収められる。したがって、第二の移動機構と配線保護機構とが左右方向に並んで配置される構成と比較して、操作面側と直交する前後方向の奥行寸法が大きくなる一方、操作面側と平行な左右方向の幅寸法を小さくすることができる。さらに、配線保護機構の一端部を第二の移動機構に鉛直軸回りに接続したため、配線保護機構の前後方向のストロークを長くとることができる。よって、短い配線保護機構を使用することができ、配線保護機構の収縮時に第二の移動機構の左右方向の幅寸法以下にさらに収め易くすることができる。
2 筐体フレーム(支持基台)
3 ベース部
4 加工機構
5 保持テーブル(保持機構)
6 保持テーブル移動機構
11 正面部
12 背面部
15 操作パネル(操作部)
21 X軸方向移動機構(第二の移動機構)
22 Y軸方向移動機構(第一の移動機構)
24 X軸テーブル
26 Y軸テーブル
36 配線
41、42 配線保護機構
51 加工ヘッド(加工手段)
52 撮像部(撮像手段)
61 機構本体(保護手段)
62 第一の固定部(第一の固定手段)
63 第二の固定部(第二の固定手段)
64、65 取り付け板(設置部材)
66 回転軸
A1 加工箇所
A2 撮像箇所
W 半導体ウェーハ(ワーク)
Claims (2)
- ワークを保持する保持機構と、前記保持機構に保持されたワークに加工を施す加工機構と、
前記保持機構及び前記加工機構が配設される筐体フレームと、
オペレータの操作によって前記保持機構と前記加工機構とを駆動させる操作機構と、
前記操作機構が配設された操作面側と平行な左右方向に前記保持機構と前記加工機構とを相対的に移動させる第一の移動機構と、
前記操作面側に直交する前後方向に前記保持機構と前記加工機構とを相対的に移動させる第二の移動機構と、を有する加工装置であって、
前記加工機構は、
ワークに加工を施す加工手段と、ワークの加工が施される位置を検出する撮像手段と、を有し、前記加工手段がワークに加工を施す加工箇所と、前記撮像手段がワークを撮像する撮像箇所とが前記前後方向に並ぶ様に前記加工手段と前記撮像手段が配設され、
前記筐体フレームは、前記加工箇所と前記撮像箇所が前後方向に並べられた分だけ前記前後方向の奥行寸法が大きくされる一方で前記左右方向の幅寸法が小さくされ、前記前後方向の奥行寸法よりも前記左右方向の幅寸法が小さく形成されていることを特徴とする加工装置。 - 前記筐体フレームから延びて前記第二の移動機構に接続される配線を保護し、前記第二の移動機構に対して前記前後方向に隣接する長鎖状の配線保護機構を備え、
前記配線保護機構の一端部と前記第二の移動機構が接続されると共に前記配線保護機構の他端部と前記筐体フレームが接続されており、
前記配線保護機構の一端部と前記第二の移動機構との間の接続、及び前記配線保護機構の他端部と前記筐体フレームとの間の接続の少なくとも一方が、一対の取り付け板の側端部を鉛直軸回りの回転軸で連結したヒンジ連結により接続されており、
前記配線保護機構の一端部及び他端部の離間接近により、前記配線保護機構が前記前後方向に伸縮されて前記第二の移動機構の移動に追従され、前記配線保護機構の一端部及び他端部の接近時に、前記配線保護機構の前記左右方向における延在範囲が、前記第二の移動機構の前記左右方向の幅寸法以下に収められることを特徴とする請求項1に記載の加工装置。
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