JP5554444B1 - 半導体パッケージの複合冷却構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マザーボード1上に半導体2,4,5が複数層に積層されて構成された半導体パッケージの複合冷却構造において、最上層の半導体5の上に、加熱されて蒸発するとともに放熱して凝縮する作動流体が封入されたベーパーチャンバー型熱拡散板8が前記最上層の半導体5との間で熱授受するように配置され、その熱拡散板8上にヒートシンク11が設けられ、前記熱拡散板8は、前記マザーボード1の上面に配置された第1層の半導体2の上面に向けて延びるとともにその第1層の半導体の上面に熱授受可能に接触させられた中空構造の脚部8bを備え、この脚部8bの内部を含む前記熱拡散板8の内部に、液相の前記作動流体が浸透しかつ毛管力を発生するウィック9が収容されている。
【選択図】図1
Description
Claims (3)
- マザーボード上に半導体が複数層に積層されて構成された半導体パッケージの複合冷却構造において、
最上層の半導体の上に、加熱されて蒸発するとともに放熱して凝縮する作動流体が封入されたベーパーチャンバー型熱拡散板が前記最上層の半導体との間で熱授受するように配置され、その熱拡散板上にヒートシンクが設けられ、前記熱拡散板は、前記マザーボードの上面に配置された第1層の半導体の上面に向けて延びるとともにその第1層の半導体の上面に熱授受可能に接触させられた中空構造の脚部を備え、この脚部の内部を含む前記熱拡散板の内部に、液相の前記作動流体が浸透しかつ毛管力を発生するウィックが収容されていることを特徴とする半導体パッケージの複合冷却構造。 - 前記マザーボードの下面に他のヒートシンクが前記マザーボードと熱授受可能に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージの複合冷却構造。
- 前記マザーボードには、前記上面から下面に貫通して前記他のヒートシンクに熱を伝達する熱伝達部材が設けられていることを特徴とする請求項2に記載の半導体パッケージの複合冷却構造。
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