JP5554274B2 - InとSnとを回収する方法及びITOリサイクル材からInとSnとを回収する方法 - Google Patents
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Description
本発明では、原料として、ITO戻りターゲット、ターゲット作製時の端材などのITOリサイクル材の成型体の処理を例に説明したが、適当量のInとSnを含む混合物であれば、上記と同様な処理により処理可能であることは勿論である。また、原料としては、成型体以外にも、必要に応じて粉砕処理したものを使用してもよいし、平研粉などの微粉状になった材料を使用しても構わない。
ITOのスクラップ端材1kgを黒鉛るつぼに入れて、マッフル炉でガス還元処理を行った。還元ガスは、LNGと空気から発生させたRXガスを理論量の5倍程度で流し、900℃で10時間還元処理した。ITOが還元されてInとSnの合金が得られ、InとSnの回収率はほぼ100%となった。
得られた溶湯中の不溶解物等のスラグを冷却して溶湯全容量の2mass%除去し、180℃でIn−Sn合金を鋳造した。鋳造合金中の不純物は、Pbが5massppm以下、Feが2massppm、Alが1massppm、Naが10massppm以下、Zrが1massppm以下、塩素が1massppm以下となり、合金としての品位が99.99mass%(4N)以上であった。
ITOのスクラップ端材1kgを黒鉛るつぼに入れて、マッフル炉でガス還元処理を行った。還元ガスは、LNGと空気から発生させたRXガスを流し、1000℃で10時間処理した。ITOが還元されてInとSnの合金が得られ、その回収率はほぼ100%となった。
得られた溶湯中の不溶解物等のスラグを冷却して溶湯全容量の2mass%除去し、180℃でIn−Sn合金を鋳造した。鋳造合金中の不純物は、Pbが1massppm以下、Feが2massppm、Alが1massppm、Naが10massppm以下、Zrが1ppm以下、塩素が1massppm以下となり、合金としての品位が99.99mass%(4N)以上であった。
ITOのスクラップ端材1kgを黒鉛るつぼに入れて、マッフル炉でガス還元処理を行った。還元ガスには水素を使用し、900℃で5時間処理した。ITOが還元されてInとSnの合金が得られ、その回収率はほぼ100%となった。
得られた溶湯中の不溶解物等のスラグを溶湯全容量の2mass%除去し、180℃でIn−Sn合金を鋳造した。鋳造合金中の不純物は、Pbが1massppm以下、Feが2massppm、Alが1massppm、Naが10massppm以下、Zrが1massppm以下、塩素が1massppm以下となり、合金としての品位が99.99mass%(4N)以上であった。
還元処理の温度を1100℃とした以外、実施例1と同様に処理した。ITOが還元されてInとSnの合金が得られ、その回収率は90%とIn成分が揮発飛散してしまった。
得られた溶湯中の不溶解物等のスラグを溶湯全容量の2mass%除去し、180℃でIn−Sn合金を鋳造した。鋳造合金中の不純物は、Pbが5massppm以下、Feが2massppm、Alが1massppm、Naが10massppm以下、Zrが1massppm以下、塩素が1massppm以下となった。比較例1において、合金としての品位は99.99mass%(4N)以上であったが、還元処理工程においてIn成分の損失が生じた。
ITOのスクラップ端材1kgを黒鉛るつぼに入れて、マッフル炉でガス還元処理を行った。還元ガスは、LNGと空気から発生させたRXガスを流し、900℃で10時間還元処理した。ITOが還元されてInとSnの合金が得られ、その回収率はほぼ100%となった。その後、スラグは除去せずに鋳造を行った。鋳造合金中の不純物は、Pbが5massppm以下、Feが2massppm、Alが1ppm、Naが10massppm以下、Zrが1massppm以下、塩素が1massppm以下となり、合金としての品位が99mass%程度だった。
Claims (4)
- InとSnを含む混合物を溶解炉において還元ガスにより750〜1000℃において還元する工程と、
還元により得られる溶湯からスラグを除去する工程と、
スラグ除去後の溶湯を鋳造し、InとSnを含む合金を製造する工程と
を含むInとSnとを回収する方法。 - 前記スラグを溶湯全容量の1〜3mass%除去する請求項1に記載の方法。
- 前記還元ガスが、RXガスである請求項1又は2に記載の方法。
- ITOリサイクル材を溶解炉において還元ガスにより750〜1000℃において還元する工程と、
還元により得られる溶湯からスラグを除去する工程と、
スラグ除去後の溶湯を鋳造し、InとSnを含む合金を製造する工程と
を含むITOリサイクル材からInとSnとを回収する方法。
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