JP5965133B2 - 光照射装置および光照射方法 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載の照射装置は、被照射体を支持するテーブルと、このテーブルの中心を回転中心として当該テーブルを回転させる回転機構と、テーブルに支持された被照射体の中心から外縁にかけて紫外線を照射する発光装置とを備え、発光装置を発光させつつ、回転機構によりテーブルを回転させることで、被照射体の表面全体に光を照射するように構成されている。
また、被照射体を囲んで支持領域を区画する区画手段を設ければ、被照射体が区画手段により囲まれるため、被照射体が移動してしまうことを確実に防止することができる。
さらに、被照射体を吸引する吸引手段と、当該吸引手段による吸引領域を切り替える吸引領域切替手段を設ければ、吸引のためのエネルギー消費を少なくできる。
なお、第2実施形態以降において、次の第1実施形態で説明する構成部材と同じ構成部材および同様な機能を有する構成部材には、第1実施形態の構成部材と同じ符号を付し、それらの説明を省略または簡略化する。
図1において、光照射装置1は、ウェハWFの表面に保護シート等の接着シートASが貼付された被照射体IRに光を照射する装置である。ここで、接着シートASは、基材シートBSと、当該基材シートBSのウェハWF側の面に積層された接着剤層ADとからなり、当該接着剤層ADを介してウェハWFに貼付されている。また、接着剤層ADは、紫外線硬化型等の光硬化型の接着剤で構成され、所定波長の光が照射されることによって硬化が始まり、その接着力が低下するように構成されている。
テーブル31は、被照射体IRを被照射面の反対側から支持する支持面33と、当該支持面33から面外方向に突出した複数の突起34と、支持面33に形成された複数の開口35A〜35Dとを備えている。
第5区画プレート55には、18インチサイズのウェハWFの大きさに合わせて形成された区画孔50Gが1つ設けられている。
なお、第1および第5区画プレート51,55では、テーブル31の開口35A〜35Dに対応する位置に、貫通孔は設けられていない。
先ず、被照射体IRの大きさや数に応じて選択した第1〜第5区画プレート51〜55をテーブル31に取り付ける。この際、テーブル31の突起34が各区画プレート51〜55の係止穴58に係止されることで、テーブル31に対して各区画プレート51〜55が位置決めされ、各区画プレート51〜55の位置ずれが防止される。その後、図示しない搬送手段により搬送された被照射体IRを支持面33上に搬入する。搬入された被照射体IRは、各区画プレート51〜55の区画孔50A〜50G内で支持されるため、被照射体IRが支持面33上で移動することが防止される。
ここで、第2区画プレート52には貫通孔59Dが設けられ、第2区画プレート52からセンサ5Dへの反射が行われないため、センサ5Dは、制御手段に検出信号を出力しない。この場合、制御手段は、切替弁57Dを駆動させないため、対応する第4吸引領域56Dで吸引は行われない。
すなわち、支持手段3は、単数及び複数の被照射体IRを選択的に支持可能に構成されているため、支持する被照射体IRの数を調節することができ、処理効率を向上させることができる。また、支持手段3は、被照射体IRを移動不能に構成されているため、被照射体IRが移動してしまうことを防止でき、被照射体IR同士の重なりや衝突等の接触を防止することができる。
次に、本発明の第2実施形態を図3および図4に基づいて説明する。
本実施形態の光照射装置1は、支持手段3の構成と、被照射体IRの両面に光を照射する点とが、前記第1実施形態と相違する。
支持部材36には、その延設方向に複数のピン穴38が並設されている。これら、ピン穴38のうち、被照射体IRの外縁、つまりリングフレームRFの外縁に位置するピン穴38には、支持ピン39が嵌合されている。
このような構成を有する支持手段3では、支持部材36同士の間隔と支持ピン39の位置とに応じて、被照射体IRの支持領域が変更される。つまり、支持領域変更手段5は、支持部材36と、支持部材36の間隔を変更させる直動モータ37と、支持部材36に嵌合される支持ピン39から構成されている。
以上の本実施形態によっても、前記第1実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに、吸引孔56や切替弁57A〜57Dが設けられていないため、光照射装置1を簡易な構成とすることができる。
さらに、各区画プレート51〜55の区画孔50A〜50Gの数は、前記実施形態のものに限らず、任意に設定することができる。
2 発光手段
3 支持手段
5 支持領域変更手段
51〜55 第1〜第5区画プレート(区画手段)
56 吸引孔(吸引手段)
57A〜57D 切替弁(吸引領域切替手段)
IR 被照射体
Claims (2)
- 光に反応する被照射体に光を照射する光照射装置であって、
前記被照射体を支持する支持手段と、
前記支持手段に支持された被照射体に光を照射する発光手段とを備え、
前記支持手段は、支持する被照射体の大きさおよび数に応じて交換可能に構成され、当該被照射体の支持領域を区画する複数の区画手段と、前記被照射体を吸引する吸引手段と、前記吸引手段による前記区画手段ごとの吸引領域を前記区画手段の形状から検知可能なセンサと、前記センサの検知結果を基に前記吸引手段による吸引領域を切り替える吸引領域切替手段とを備え、単数または複数の被照射体を選択的に支持可能、かつ当該被照射体を移動不能に構成されていることを特徴とする光照射装置。 - 光に反応する被照射体に光を照射する光照射方法であって、
支持する被照射体の大きさおよび数に応じて交換可能に構成され、当該被照射体の支持領域を区画する複数の区画手段で単数または複数の被照射体を選択的に支持するとともに、当該被照射体を移動不能に支持し、
吸引手段による前記区画手段ごとの吸引領域を前記区画手段の形状から検知し、
検知結果を基に前記吸引手段による吸引領域を切り替え、
支持された被照射体に光を照射することを特徴とする光照射方法。
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