JP5551657B2 - 検査装置、検査方法、および光ファイバの製造方法 - Google Patents
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Description
まず、本実施形態に係る検査装置100の構成について説明する。図1は、本実施形態に係る検査装置100の概略構成を示す図である。
次に、検査装置100によって得られる透過光の強度分布について説明する。
次に、貫通孔が予め定められた適正な位置に形成されているか否を、明部A1の幅の時系列に基づいて判定部112が判定する方法について説明する。図6は、全ての貫通孔11が適正な位置に形成された理想的なプリフォーム10から得られる、明部A1の幅の時系列を示すグラフである。
次に、貫通孔が予め定められた適正なサイズ(直径)に形成されているか否を、暗部B3の幅の時系列に基づいて判定部112が判定する方法について説明する。図7は、全ての貫通孔11が適正なサイズに形成された理想的なプリフォーム10から得られる、暗部B3の幅の時系列を示すグラフである。
本実施例では、外径80mm、長さ800mmのプリフォーム10に対して、その一方の断面から他方の断面へ貫通する直径3mmの貫通孔を、同心円上に、かつ隣接する貫通孔11同士の間隔が8.25mmとなるように、8個形成した。
図8は、明部A1の幅の時系列から得られた、隣接する貫通孔11の各組み合わせの間隔を示す表である。図9は、実測によって得られた、隣接する貫通孔11の各組み合わせの間隔を示す表である。
以上説明したとおり、本実施形態の検査装置100は、プリフォーム10の中央部を透過した透過光の強度分布に基づいて、複数の貫通孔11の各々について、隣接する貫通孔11との間隔を検査している。また、プリフォーム10の中央部を透過した透過光の強度分布に基づいて、複数の貫通孔11の各々について、そのサイズを検査している。すなわち、本実施形態の検査装置100は、従来の検査装置(例えば、上記引用文献5に記載の検査装置)では検査が困難であった、個別の貫通孔の配置やサイズの検査を行っている。
本発明は上述した実施形態および実施例に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態および実施方法についても本発明の技術的範囲に含まれる。
11 貫通孔
20 検査光
101 光源
102 検出器(検出手段)
103 回転機構(回転/移動手段)
104 平行移動機構(平行移動手段)
110 制御回路
111 算出部(算出手段)
112 判定部(判定手段)
114 位置検出部
116 記録部
118 表示制御部
120 調整部(調整手段)
Claims (12)
- 一方の端面から他方の端面に至る貫通孔が形成された円柱状のプリフォームを検査する検査装置であって、
照射範囲が前記プリフォームの直径よりも広い検査光を前記プリフォームの側面から入射させることによって得られる透過光であって、前記プリフォームの中央部を透過した透過光の強度分布を逐次検出する検出手段と、
前記プリフォームの中心軸を回転軸として前記プリフォームを回転させるか、又は、前記プリフォームを周回するよう前記検出手段を移動させる回転/移動手段と、
遂次検出された前記透過光の強度分布から、前記貫通孔の配置及びサイズの少なくとも何れかに応じた値をもつ特徴量の時系列を算出する算出手段と
を備えていることを特徴とする検査装置。 - 前記特徴量として、
前記強度分布の中央に形成される明部の幅を用いた
ことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記明部の幅の時系列における極大値を予め定められた閾値と比較することによって、前記貫通孔が適切な間隔を隔てて形成されているか否かを判定する判定手段
をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の検査装置。 - 前記特徴量として、
前記強度分布の中央に形成される、2つの明部の間の暗部の幅を用いた
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記暗部の幅の時系列における極小値を予め定められた閾値と比較することによって、前記貫通孔が適切なサイズに形成されているか否かを判定する判定手段
をさらに備えることを特徴とする請求項4に記載の検査装置。 - 前記検出手段は、前記プリフォームの中央部を透過した透過光に加え、前記プリフォームの外部を通過した通過光の強度分布を逐次検出するものであり、
前記強度分布の中央に形成される前記透過光に対応する明部を第1の明部とし、前記強度分布の両端に形成される前記通過光に対応する明部を第2の明部および第3の明部とし、
前記特徴量として、前記第1の明部と前記第2の明部との第1の間隔と、前記第1の明部と前記第3の明部との第2の間隔との比を用いた
ことを特徴とする請求項1から5のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記第1の間隔と前記第2の間隔との比を予め定められた閾値と比較することによって、前記中心軸に対して前記貫通孔が適切な位置に形成されているか否かを判定する判定手段
をさらに備えることを特徴とする請求項6に記載の検査装置。 - 前記プリフォームまたは前記検出手段を前記プリフォームの中心軸方向に平行移動させる平行移動手段
をさらに備えることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項に記載の検査装置。 - 前記プリフォームに入射させる検査光の強度を調整する調整手段
をさらに備えることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項に記載の検査装置。 - 一方の端面から他方の端面に至る貫通孔が形成された円柱状のプリフォームを検査する検査方法であって、
照射範囲が前記プリフォームの直径よりも広い検査光を前記プリフォームの側面から入射させることによって得られる透過光であって、前記プリフォームの中央部を透過した透過光の強度分布を検出手段が逐次検出する検出工程と、
前記プリフォームの中心軸を回転軸として前記プリフォームを回転させるか、又は、前記プリフォームを周回するよう前記検出手段を移動させる回転/移動工程と、
遂次検出された前記透過光の強度分布から、前記貫通孔の配置及びサイズの少なくとも何れかに応じた値をもつ特徴量の時系列を算出する算出工程と、
前記算出工程にて算出された特徴量の時系列に基づいて、前記貫通孔の配置及びサイズの少なくとも何れかが適正であるか否かを判定する判定工程と
を含むことを特徴とする検査方法。 - 前記各工程を実施する前に、検査対象以外の前記貫通孔に対し、マッチングオイルを充填する充填工程
をさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の検査方法。 - 請求項10または11に記載の検査方法
を含むことを特徴とする光ファイバの製造方法。
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