JP5546495B2 - 光半導体装置用リードフレーム、その製造方法および光半導体装置 - Google Patents
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Description
(1)導電性基体上に銀または銀合金からなる層が形成され、最外層として耐食性に優れた金属またはその合金からなる表層を有し、その表層の耐食性に優れた金属成分の濃度は、前記表層の最表部において50質量%以上であって、かつその被覆厚が0.001〜0.25μmであり、該表層と前記銀または銀合金からなる層との間には、前記表層の主成分である金属材料と銀との固溶体層が形成され、前記表層の耐食性に優れた金属またはその合金は、金、金合金、パラジウム、およびパラジウム合金からなる群から選ばれた半導体装置用リードフレームであって、前記固溶体層は、前記表層を形成する主たる金属成分を含み、かつ該金属成分は前記表層側から前記銀または銀合金からなる層側にかけて濃度分布を有し、前記金属成分の前記固溶体層における濃度分布は、前記表層側が高く、該表層と前記銀または銀合金からなる層側が低く、前記の被覆された最表層金属量のうち5〜50質量%が、前記銀または銀合金からなる層に拡散して前記固溶体層が形成されたことを特徴とする光半導体装置用リードフレーム。
(2)前記導電性基体は、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなることを特徴とする(1)に記載の光半導体装置用リードフレーム。
(3)前記導電性基体と前記銀または銀合金からなる層との間に、ニッケル、ニッケル合金、コバルト、コバルト合金、銅、および銅合金からなる群から選ばれた金属または合金からなる中間層が少なくとも1層形成されていることを特徴とする(1)乃至(2)のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレーム。
(4)前記銀または銀合金からなる層の厚さが0.2〜5.0μmであることを特徴とする(1)乃至(3)のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレーム。
(5)前記表層は、常温で銀または銀合金と固溶体を形成することが可能な材料で形成されていることを特徴とする(1)乃至(4)のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレーム。なお、ここで、常温とは25℃を意味するものとする。
(6)(1)乃至(5)のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレームの製造方法であって、前記銀または銀合金層の表面に、前記表層を形成した後、100℃以上の温度でかつ表層を形成する材料と銀または銀合金と固溶体を形成することが可能な温度を超えない温度範囲において加熱処理を施し、表層を形成する材料を銀または銀合金からなる層の内部に拡散させることを特徴とする光半導体装置用リードフレームの製造方法。
(7)(1)乃至(5)のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレームの製造方法であって、前記銀または銀合金からなる層を電気めっき法により形成することを特徴とする、光半導体装置用リードフレームの製造方法。
(8)(3)に記載の光半導体装置用リードフレームの製造方法であって、前記銀または銀合金からなる層および前記中間層を電気めっき法により形成することを特徴とする、光半導体装置用リードフレームの製造方法。
(9)少なくとも光半導体素子を搭載する箇所に(1)乃至(5)のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレームを用いたことを特徴とする光半導体装置。
なお、本発明において「耐食性に優れた金属またはその合金」とは、硫化試験(JIS H8502−1999参照)において、硫化水素(H2S)を含有する空気中に24時間保持した後でも、変色が発生しないものをいい、具体的には、硫化水素を3体積%含有する空気中で24時間保持する硫化試験実施後のレイティングナンバー(RN)が9以上である金属、合金をいう。
すなわち、本発明のリードフレームは、近紫外領域から近赤外領域までの幅広い波長帯の反射率特性が良好で、かつ長期信頼性の高い光半導体装置のリードフレームとして利用できる。
一方、この耐食性に優れた金属は、以下に述べる固溶体層の形成に関与するが、銀または銀合金層に拡散して固溶体層形成を促進する割合は、被覆された最表層金属量のうち5〜50質量%であることが好ましく、5〜35質量%であることがより好ましく、5〜15質量%がさらに好ましい。なお、形成された固溶体は表層の最表部に存在しなくてもよいので、表層の最表部に含まれる耐食性に優れた金属の濃度は不可避不純物を除き100質量%であってもよい。
図1に示すように、本実施態様のリードフレームは、導電性基体1上に銀または銀合金からなる層2が形成され、最外層として耐食性に優れた金属またはその合金からなる表層4を有し、該表層4と前記銀または銀合金からなる層2との間には、前記表層の主成分である金属材料と銀との固溶体層3が形成されており、表層4の一部の表面上に光半導体素子5が搭載されている。本発明において、本発明のリードフレームは、近紫外可視光域の反射特性に優れ、かつ耐食性および長期信頼性に優れた光半導体装置用リードフレームとなる。
また、本発明において「反射特性が良好」とは、波長400nm以上の可視光領域において反射率が80%以上、かつ波長400nm未満の近紫外領域において反射率が30%以上となることを意味する。なお、反射特性に関しては、波長400nm以上の可視光領域において反射率が70%以上であれば、用途により許容されることもある。
中間層6は、ニッケル、ニッケル合金、コバルト、コバルト合金、銅、銅合金からなる群から選ばれた金属または合金からなることが好ましい。
導電性基体1および銀または銀合金からなる層2との間に、ニッケル、ニッケル合金、コバルト、コバルト合金、銅または銅合金からなる中間層6を設けることで、光半導体素子の発熱によって導電性基体を構成する材料が銀または銀合金からなる層へ拡散することによる反射率特性の劣化を防ぎ、長期にわたって信頼性の高い反射率特性を得ることができる。
なお、図3中の説明において、特に言及しない符号については、図1または2における符号と同じ意味を表すこととする(以下の図においても同様である)。
実施例1として、厚さ0.3mm、幅50mmの表1に示す導電性基体に以下に示す前処理を行った後、以下に示す電気めっき処理を施すことにより、表1に示す構成の参考例1〜28、本発明例1〜3、従来例1、および比較例1〜2のリードフレームを作成した。
各リードフレームの層構成は、参考例1〜5は導電性基体、銀または銀合金からなる層、固溶体層、表層の順に形成されたものであり、参考例6〜28、本発明例1〜3および比較例1〜2では導電性基体、中間層、銀または銀合金からなる層、固溶体層、表層の順に形成されたものであり、従来例1は導電性基体、中間層、銀または銀合金層の順に形成されたものである。
また、「A1100」、「A2014」、「A3003」、および「A5052」はアルミニウムまたはアルミニウム合金基体を表し、Aの後の数値はJISによる種類を示す。
また、「SUS304」、および「42アロイ」は鉄系基体を表し、「SUS304」はJIS規定の当該種のステンレス鋼、「42アロイ」は42%Ni含有鉄合金を表す。
[電解脱脂]
脱脂液:NaOH 60g/リットル
脱脂条件:2.5A/dm2、温度60℃、脱脂時間60秒
[酸洗]
酸洗液:10%硫酸
酸洗条件:30秒 浸漬、室温
[亜鉛置換]基体がアルミニウムの時に使用
亜鉛置換液:NaOH 500g/リットル、ZnO 100g/リットル、酒石酸(C4H6O6) 10g/リットル、FeCl2 2g/リットル
処理条件:30秒 浸漬、室温
[Agストライクめっき]被覆厚0.01μm
めっき液:KAg(CN)2 5g/リットル、KCN 60g/リットル、
めっき条件:電流密度 2A/dm2、めっき時間 5秒、温度 25℃
(めっき条件)
[Agめっき]
めっき液:AgCN 50g/リットル、KCN 100g/リットル、K2CO3 30g/リットル
めっき条件:電流密度 1A/dm2、温度 30℃
[Cuめっき]
めっき液:CuSO4・5H2O 250g/リットル、H2SO4 50g/リットル、NaCl 0.1g/リットル
めっき条件:電流密度 6A/dm2、温度 40℃
[Niめっき]
めっき液:Ni(SO3NH2)2・4H2O 500g/リットル、NiCl2 30g/リットル、H3BO3 30g/リットル
めっき条件:電流密度 5 A/dm2、温度 50℃
[Coめっき]
めっき液:Co(SO3NH2)2・4H2O 500g/リットル、CoCl2 30g/リットル、H3BO3 30g/リットル
めっき条件:電流密度 5A/dm2、温度 50℃
めっき液:KAu(CN)2 14.6g/リットル、C6H8O7 150g/リットル、K2C6H4O7 180g/リットル
めっき条件:電流密度 1A/dm2、温度 40℃
[Au−Coめっき]Au−0.3%Co
めっき液:KAu(CN)2 14.6g/リットル、C6H8O7 150g/リットル、K2C6H4O7 180g/リットル、EDTA−Co(II) 3g/リットル、ピペラジン 2g/リットル
めっき条件:電流密度 1A/dm2、温度 40℃
めっき液:Pd(NH3)2Cl 45 g/リットル、NH4OH 90ミリリットル/リットル、(NH4)2SO4 50g/リットル
めっき条件:電流密度 1A/dm2、温度 30℃
[Snめっき]
めっき液:SnSO4 80g/リットル、H2SO4 80g/リットル
めっき条件:電流密度 2A/dm2、温度 30℃
[Inめっき]
めっき液:InCl3 45 g/リットル、KCN 150g/リットル、KOH 35g/リットル、デキストリン 35g/リットル
めっき条件:電流密度 2A/dm2、温度 20℃
下記の条件で表1に記載のめっき処理を行った各サンプルに対して、残留酸素濃度100ppm以下のアルゴンガス雰囲気中で、100℃で12時間の加熱処理を行い、固溶体層を形成した。本処理において固溶体を形成後、表層の最表部をAES測定装置において耐食性に優れた金属成分の濃度を確認したところ、耐食性に優れた金属成分の濃度はすべて50質量%以上であった。
得られた、本発明例、比較例、参考例、および従来例のリードフレームについて、下記試験および基準により評価を行った。その結果を表2に示す。
(1)反射率測定:分光光度計(U−4100(商品名、株式会社日立ハイテクノロジーズ製))において、全反射率を300nm〜800nmにかけて連続測定を実施した。このうち、300nm、600nm、および800nmにおける反射率(%)を表2に示す。
(2)固溶体層厚:AES測定装置(Model−680(商品名、アルバック・ファイ株式会社製))において、深さ方向分析を実施、スパッタレートを厚さに換算して各層の厚さを算出した。
(3)耐食性:硫化試験(JIS H8502記載)、H2S 3ppm、24時間後の腐食状態について、レイティングナンバー(RN)評価を実施した。結果を表2に示す。なお、ここで、レイティングナンバーが9以上の場合は、光半導体素子(LED素子)を10000時間点灯しても輝度の低下が数%程度と小さいことを意味する。
(4)硫化試験後の反射率測定:反射率測定:分光光度計(U−4100(商品名、株式会社日立ハイテクノロジーズ製))において、全反射率を300nm〜800nmにかけて連続測定を実施した。このうち、600nmにおいて、硫化試験前後の反射率を比較した値(%)を表2に示す。
(5)放熱性(熱伝導性):導電性基材の導電率がIACS(International Annealed Copper Standard)で10%以上であるものを放熱性(熱伝導性)が高く、良であるとして「○」印とし、10%未満であるものを放熱性(熱伝導性)が低く、不良であるとして「×」印とし、表2に示した。これは、導電率と熱伝導性はほぼ比例関係にあり、IACSで10%以上の導電率があるものは熱伝導性がよく放熱性も高いと判断されるためである。なお、この項目は参考のために示すものであり、上記(1)〜(4)の各項目の評価を満足すれば、そのサンプルは用途を選択することにより実用上問題ない。
(6)曲げ加工性:作製したリードフレームにおいて、長さ30mm、幅10mmのサンプルを、長さ方向が圧延方向と平行になるように切り出し、プレス機(日本オートマチックマシン株式会社製)で曲げ半径R=0.5mmで曲げ加工性を調べた。加工した試験片の最大曲げ加工部を、マイクロスコープ(株式会社キーエンス製)を用いて175倍に拡大して観察し、曲げ加工性を判定した。最大曲げ加工部を観察した結果、割れが存在しないものを「良」と判定して表に「○」印を付し、シワや軽微な割れが存在するものを「可」と判定して表に「△」印を付し、大きな割れが存在するものを「不良」と判定して表に「×」印を付して、それぞれ表2に示した。曲げ加工性の評価は、「可」以上の評価のものを実用レベルとした。なお、この項目は参考のために示すものであり、上記(1)〜(4)の各項目の評価を満足すれば、そのサンプルは用途を選択することにより実用上問題ない。
参考例25及び26においては、放熱性において「×」評価であるが、放熱性が大きく必要とされない光半導体用リードフレームについては、適宜利用することが可能である。また、参考例27においては、銀層厚が0.2μm未満であるため、反射率が不十分な箇所が見られるが、耐食性やその他の特性に関しては比較例1と比べても優れており、70%程度の反射率が許容される光半導体用リードフレームについては、適宜利用することが可能である。
また、参考例28においては、銀層厚が5.0μmを超えているため、曲げ加工性において「×」評価であるが、その他の特性に関しては比較例1と比べても優れており、曲げ加工性が重視されない用途の光半導体用リードフレームについては、適宜利用することが可能である。
実施例2として、厚さ0.3mm、幅50mmのC19400からなる銅合金からなる導電性基体に実施例1と同様の前処理および下地層にNiめっき1.0μm、Agストライクめっき0.01μm、Agめっき3.0μmの順にすべての例において処理を行った後、表層として参考例29〜31および比較例3および4は錫(Sn)めっき、参考例32はインジウム(In)めっき、本発明例4および比較例5は金(Au)めっき、本発明例5および比較例6はパラジウム(Pd)めっきで、すべての被覆厚0.02μmで電気めっき処理を行い、参考例29〜32、本発明例4〜5のリードフレームを作成した。なお、実施例2においては固溶体層形成の状態を調整するために、表3に示すように熱処理温度を100〜300℃、加熱処理時間を1〜24時間の間で各々適宜調整した。その後、表層に形成した金属成分の深さ方向における濃度(質量%)の変化を実施例1と同様にAES測定装置において測定した結果を表4に示す。なお、表4において表層金属の濃度が0の部分は、その部分において、表層金属と銀または銀合金の間で固溶体が形成されておらず、銀または銀合金のままの状態であることを示す。また、これらの数値は特定の深さにおける元素の分析濃度検出値であるので、すべての数値の合計が必ずしも100%となる必要はないことはいうまでもない。さらに、これらのサンプルについて行った耐食性の評価結果を表5に示す。
2 銀または銀合金からなる層
3 固溶体層
4 表層
5 光半導体素子
6 中間層
Claims (9)
- 導電性基体上に銀または銀合金からなる層が形成され、最外層として耐食性に優れた金属またはその合金からなる表層を有し、その表層の耐食性に優れた金属成分の濃度は、前記表層の最表部において50質量%以上であって、かつその被覆厚が0.001〜0.25μmであり、該表層と前記銀または銀合金からなる層との間には、前記表層の主成分である金属材料と銀との固溶体層が形成され、前記表層の耐食性に優れた金属またはその合金は、金、金合金、パラジウム、およびパラジウム合金からなる群から選ばれた半導体装置用リードフレームであって、
前記固溶体層は、前記表層を形成する主たる金属成分を含み、かつ該金属成分は前記表層側から前記銀または銀合金からなる層側にかけて濃度分布を有し、前記金属成分の前記固溶体層における濃度分布は、前記表層側が高く、該表層と前記銀または銀合金からなる層側が低く、前記の被覆された最表層金属量のうち5〜50質量%が、前記銀または銀合金からなる層に拡散して前記固溶体層が形成されたことを特徴とする光半導体装置用リードフレーム。 - 前記導電性基体は、銅、銅合金、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなることを特徴とする請求項1に記載の光半導体装置用リードフレーム。
- 前記導電性基体と前記銀または銀合金からなる層との間に、ニッケル、ニッケル合金、コバルト、コバルト合金、銅、および銅合金からなる群から選ばれた金属または合金からなる中間層が少なくとも1層形成されていることを特徴とする請求項1乃至2のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレーム。
- 前記銀または銀合金からなる層の厚さが0.2〜5.0μmであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレーム。
- 前記表層は、常温で銀または銀合金と固溶体を形成することが可能な材料で形成されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレーム。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレームの製造方法であって、前記銀または銀合金層の表面に、前記表層を形成した後、100℃以上の温度でかつ表層を形成する材料と銀または銀合金と固溶体を形成することが可能な温度を超えない温度範囲において加熱処理を施し、表層を形成する材料を銀または銀合金からなる層の内部に拡散させることを特徴とする光半導体装置用リードフレームの製造方法。
- 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレームの製造方法であって、前記銀または銀合金からなる層を電気めっき法により形成することを特徴とする、光半導体装置用リードフレームの製造方法。
- 請求項3に記載の光半導体装置用リードフレームの製造方法であって、前記銀または銀合金からなる層および前記中間層を電気めっき法により形成することを特徴とする、光半導体装置用リードフレームの製造方法。
- 少なくとも光半導体素子を搭載する箇所に請求項1乃至5のいずれか一項に記載の光半導体装置用リードフレームを用いたことを特徴とする光半導体装置。
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JP2726434B2 (ja) * | 1988-06-06 | 1998-03-11 | 古河電気工業株式会社 | SnまたはSn合金被覆材料 |
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JPH09223771A (ja) * | 1995-12-15 | 1997-08-26 | Furukawa Seimitsu Kinzoku Kogyo Kk | 電子部品用リード部材及びその製造方法 |
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WO2004064154A1 (en) * | 2003-01-16 | 2004-07-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Lead frame for a semiconductor device |
JP4242194B2 (ja) * | 2003-04-10 | 2009-03-18 | シャープ株式会社 | 半導体発光装置およびその製造方法 |
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TWI237409B (en) * | 2004-10-08 | 2005-08-01 | Kingbright Electronics Co Ltd | Method of fabricating light emitting diode (LED) |
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JP2006303069A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | 発光素子搭載用パッケージ |
JP4942331B2 (ja) * | 2005-11-25 | 2012-05-30 | スタンレー電気株式会社 | 半導体発光装置 |
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