JP5545987B2 - 光干渉測定装置および形状測定装置 - Google Patents
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Description
このように、ワーク20との相対的な位置が変わらない参照鏡12の位置を基準にして、形状に応じて変位する探針14の変位量を光波干渉によって検出する方法が知られていた。
特許文献1、2に記載された従来の微細形状測定装置100では、検出干渉光から探針14の変位を正確に測定するには、測定光56および参照光54の干渉光である干渉信号のS/N比が十分高い必要がある。しかし、参照鏡12とスタイラス14の反射面36とが一直線上に配置されている。つまり、参照鏡12とスタイラス14の反射面36間に形成される測定光の光軸は、スタイラス14の変位方向の移動軸に常に一致している。そのため、参照鏡12とスタイラス14間で発生する多重反射光75が干渉ノイズとなって検出手段30に入り、干渉信号のS/N比を下げてしまうという問題があった。干渉ノイズ発生の詳細については後述する。
このような問題は、図1の微細形状測定装置100に限らず、従来の表面粗さ測定機や走査プローブ顕微鏡などに光波干渉式変位計を用いる場合にも共通する問題であった。
対向する第一面と第二面を有し、前記第一面から内部を透過して第二面へ直角に入射される透過光の一部を前記第二面で反射して参照光にするとともに、反射しない前記透過光を第二面から出射する参照鏡と、
前記第二面から出射した透過光の進行方向に設けられ、該進行方向に沿って変位自在で、前記透過光をもと来た方向に反射する可変反射体と、
前記可変反射体からの反射光のうち前記参照鏡を透過する光を測定光として、該測定光と前記参照鏡の第一面から同方向に進む前記参照光とを干渉させて、該干渉光を検出する干渉光検出手段と、
検出干渉光に基づいて前記参照鏡に対する前記可変反射体の変位量を取得する変位量取得手段と、を備え、
さらに、前記参照鏡と可変反射体との間の光軸上に配置された光減衰手段を備え、
該光減衰手段は、前記参照鏡の第二面と前記可変反射体との間を往復する光を減衰させて、該参照鏡と可変反射体との間に生じる多重反射光に基づく前記検出干渉光中の干渉ノイズを低減することを特徴とする。
対向する第一面と第二面を有し、前記第一面から内部を透過して第二面へ直角に入射される透過光の一部を前記第二面で反射して参照光にするとともに、反射しない前記透過光を第二面から前記探針に向けて出射する参照鏡と、
前記探針と一体となって変位自在で、前記参照鏡からの前記透過光をもと来た方向に反射する可変反射体と、
前記可変反射体からの反射光のうち前記参照鏡を透過する光を測定光として、該測定光と前記参照鏡の第一面から同方向に進む前記参照光とを干渉させて、該干渉光を検出する干渉光検出手段と、
検出干渉光に基づいて前記参照鏡に対する前記探針の変位量を取得する変位量取得手段と、を備え、
さらに、前記参照鏡と可変反射体との間の光軸上に配置された光減衰手段を備え、
該光減衰手段は、前記参照鏡の第二面と前記可変反射体との間を往復する光を減衰させて、該参照鏡と可変反射体との間に生じる多重反射光に基づく前記検出干渉光中の干渉ノイズを低減することを特徴とする。
また、前記参照鏡の反射率は、該参照鏡の素材の反射率であることが好ましい。
また、前記参照鏡の第一面へ直角に入射される入射光はレーザであり、前記光減衰手段は前記レーザと同じ波長帯の光を減衰させることが好ましい。さらに、前記参照鏡と変位反射体との間の同じ光路を用いて、観察像を観察することが好ましい。
このように、測定光の2回に対して、多重反射光は光減衰手段を4回も透過するので、多重反射光を測定光よりも大きな割合で減少させることになり、結果的に干渉信号に含まれる干渉ノイズを減衰させることができる。
第一実施形態
図2に本発明の第一実施形態にかかる微細形状測定装置の全体構成を示す。
微細形状測定装置10は、ワーク(測定対象物)20の表面形状に応じて所定方向に変位する探針14の変位量を取得し、該取得変位量からワーク表面の微細な凹凸形状を測定する装置であり、探針14の変位に応じて変化する干渉光を検知することによって変位量を取得することに特徴がある。
すなわち、測定装置10は、先端部の探針14をZ軸方向に変位可能に保持するカンチレバー21と、対向する第一面12Aと第二面12Bを有し探針14を覆うように配置された参照鏡12と、レーザ光源70を有する干渉光学系28と、干渉光学系28からの干渉光を検出する検出手段30と、探針14をカンチレバー21ごとワーク表面に沿って移動させるためにカンチレバー21をXY方向に移動させてワーク表面を走査する走査手段18と、カンチレバー21をZ方向に移動させるZ方向駆動手段42と、制御手段としてのコントローラー44とを備える。以下に、各構成の具体的な説明を行う。
ビームスプリッタ34は、上記の測定光56と、前述の参照光54とを検出手段30に向けて反射する。検出手段30は、測定光56と参照光54との干渉光を検出して、検出干渉光の強度情報をコントローラー44に向けて出力する。
図2においては、走査時に、探針14の変位軸線38と、測定光56の光路である測定軸線40とを常に一致させた状態で、カンチレバー21の探針14でワーク20の表面をなぞりながら、探針14の反射面36のZ変位量を測定している。
この結果、本実施形態においては、走査時は常に、探針14の反射面36の変位を、その真上から測定することができる。このため、本実施形態においては、コサイン誤差の発生を大幅に低減することができるので、探針14の高精度な変位測定を行うことができる。
この結果、本実施形態においては、カンチレバー21の走査時に運動誤差が生じた場合であっても、探針14がワーク20の表面に接触している状態であれば、カンチレバー21に撓みが生じるだけで、該運動誤差がワーク20の測定結果に重畳されるのを防ぐことができる。このため、本実施形態においては、探針14の高精度な変位測定を行うことができる。
一方で、干渉信号58から探針14の変位を正確に測定するには、干渉信号58のS/N比が十分高い必要がある。また上記の通り、変位軸線38と測定軸線40とが常に一致しコサイン誤差を低減できるという利点があるが、そのため各光学素子は一直線上に設置されている。この光学素子は、ビームスプリッタ34、参照鏡12、探針14の反射面36を指す。従って、参照鏡12の第二面12Bと探針14の反射面36との間で発生した反射光が、ノイズとなって検出手段30に入り、干渉信号のS/N比を下げるという問題があった。これについて、従来の装置を示す図1を用いて詳しく説明する。
参照光強度IRは、参照鏡12の反射率Rrefで決まる。ビームスプリッタ34から参照鏡12の第一面12Aへの入射光量を1として規格化すると、参照光強度をIR=Rrefと表すことができる。次に、測定光強度IMは、参照鏡12を透過した光が反射面36で反射し、再び参照鏡12を透過した後のレーザの強度であり、反射面36の反射率をRCとすると、次式となる。
図1のように多重反射光75は、参照鏡12を透過したレーザ52が反射面36で反射され、参照鏡12で反射された後、再び反射面36で反射されてから参照鏡12を透過した光である。つまり、多重反射光75は、測定光56よりも参照鏡12と反射面36との間を1回だけ余計に往復した光であるから、その強度は、次式で表される。
干渉信号を形成する測定光56と参照光54との光路差は、参照鏡12と反射面36との間の一往復分の光路長に相当する。一方、干渉ノイズを形成する多重反射光75と参照光54との光路差は、二往復分の光路長に相当する。従って、干渉ノイズの周期は、測定に必要とされる干渉信号の周波数の2倍になる。基本波および倍波は、これらを重ね合わせた図中の合成波となって検出手段30で検出されることになる。このような干渉信号から正確な測定をすることは困難だった。
本発明で特徴的なことは、図3に示すように、参照鏡12とカンチレバー21との間の測定軸線上に減衰フィルタを設けて、多重反射光に基づく干渉ノイズを低減できるようにしたことである。減衰フィルタ76は、光の透過量を制限するものであり本発明の光減衰手段に相当する。通常、NDフィルタ(neutral density filter)と呼ばれる。
減衰フィルタ76を設置した時の測定光56の強度IMは、次式になる。
通常は、測定光の光路上に減衰フィルタ76を配置すると、測定光56までもが減衰してしまうため、測定光の光路上への減衰フィルタ76の配置は極力避けることが一般的な考えであった。
なお、減衰フィルタ76は、市販のものからある程度自由に選ぶことが可能である。上式によると減衰フィルタの透過率TNDを小さくすると、干渉ノイズの割合Nratioも小さくなる。しかし、後述のように、集光レンズ60が、対象物20の拡大観察用対物レンズを兼ね、干渉光学系と観察光学系とが同軸上に形成されている場合は、対象物20の照明光を減衰させたくないため、減衰フィルタの透過率TNDを可能な限り大きくしたい。
また、上式によると、探針14の反射面36の反射率RCを変更することでも、多重反射光75を低減させられることが分かる。
カンチレバー21は一般的にシリコン(Si)で形成される。探針14が一体形成されているカンチレバー21を用いる場合、反射面36の反射率はSiの反射率で決まり、 35 %程度になる。従来、反射面36の反射率を高めるため、カンチレバー21の表面にアルミニウム(Al)または金(Au)などをコーティングしていた。コーティングにより反射率RCは 75 〜 90 %程度まで高くなる。
また、上式によると、参照鏡12の反射率Rrefを変更することでも、多重反射光75を低減させることができる。つまり、反射率Rrefが 38 %よりも小さい値の参照鏡12を用いれば、干渉ノイズをさらに低減させることが可能である。例えば、参照鏡の反射率をRref= 0.1 とし、減衰フィルタの透過率をTND= 0.5 、反射面36の反射率をRC= 0.35 とすると、干渉信号に含まれるノイズの割合Nratioは、以下の値となる。
一方、減衰フィルタ76を設置すること、探針の反射面36の反射率RCを下げること、または、参照鏡12の反射率Rrefを下げること、といった措置を講じた場合、干渉信号58のコントラストおよび干渉信号強度は低下する。しかし干渉信号58に含まれるノイズの割合Nratioが低くなれば、干渉信号58を電気的に増幅させることが可能であり、干渉信号58のコントラストおよび干渉信号強度の低下という問題を回避できる。
以降、本発明の測定装置10に用いる光学素子(参照鏡12、減衰フィルタ76、探針の反射面36)の光学特性値の最適な組み合わせについて述べる。
図5は、各光学素子の特性値を組み合わせた場合のノイズの割合の変化を示すグラフである。これによると参照鏡12の反射率Rrefを下げると、ノイズ割合Nratioが小さくなることが分かる。そして、参照鏡の反射率を、反射コーティングが要らない合成石英の反射率 4 %に固定したとき(Rref= 0.04 )、反射面36の反射率をRC= 0.35、減衰フィルタの透過率をTND= 0.2 とする場合(図中の下から3本目のカーブ)のノイズ割合Nratioは 2.4 %となり、反射率をRC= 0.9、透過率をTND= 0.1 とする場合(図中の下から2本目のカーブ)のノイズ割合Nratioは 1.9 %となる。つまり、ノイズ割合Nratioが 0.5 %(= 2.4 %− 1.9 %)しか変わらないにも関わらず、減衰フィルタの透過率TNDについては 10 %から 20 %に 2 倍高いものに代えることができる。集光レンズ60を対象物20の拡大観察用の対物レンズとして用いて、参照鏡12やビームスプリッタ34に観察用の照明光を通す場合には、透過率TNDが高い方が有利になる。
カンチレバーの反射面36の反射率RCについては、素材であるシリコン(Si)の反射率( 35 %)を反射コーティングなしで使用してもよいが、更には、反射面36に減反射用のコーティングを行って、シリコン基材の反射率を更に低くする減反射層を形成してもよい。反射率RCが素材のままでの 35 %よりも小さくすることで、他の条件が同じであってもノイズ割合Nratioを更に低減させることができる。
なお、減衰フィルタ76の透過率TNDは、10 〜 50 %の範囲で設定することが好ましい。より好ましくは、20 〜 40 %の範囲がよい。ノイズ割合を低くしたい場合には、透過率TNDを低くする。逆に観察光を多く透過させたいならば、ノイズ割合の許容範囲内で透過率TNDを高くすればよい。
図5からも分かるように、合成石英の反射率 4 %をそのまま参照鏡12の反射率Rrefとして用いることで、反射コーティングが不要になり安価になる。一方、反射率Rrefの上限については、ノイズ割合Nratioをどの程度許容するかによって定まるものである。例えば、図5中の下から3本目のカーブの条件では、反射率Rrefを略 15 %以上に設定すると、ノイズ割合Nratioが 5 %を超える。このことから、反射率RCおよび透過率TNDの条件にもよるが、参照鏡12の反射率Rrefとしは、4 〜 40 %の範囲で設定することがよく、より好ましくは、4 〜 15 %の範囲で設定するのがよい。
また、図5からも分かるように、ノイズ割合を低減できる効果が得られる特性値の組み合わせの選択範囲が広いため、測定装置10に用いる光学素子の配置構成に応じて、各光学素子の反射率および透過率の組み合わせを適宜選択することができる。
図6は、本発明の第二実施形態に係る拡大観察機能付き微細形状測定装置を示す断面図である。
本実施形態の微細形状測定装置110は前述の図3で示した測定装置10と略同じ構成であるが、拡大観察するための光学系が新たに付加されている点と、減衰フィルタ76に代えてダイクロイックフィルタ77が配置されている点と、がそれぞれ異なっている。ここでは、前述と異なる部材について説明する。
第1ビームスプリッタ34と検出手段58との間に第2ビームスプリッタ78が設置されている。第2ビームスプリッタ78は、第1ビームスプリッタ34からの光束を分岐する。すなわち光束の一部を透過して検出手段58に受光させるとともに、光束の他の一部を接合面で反射させる。第2ビームスプリッタ78の反射光は、拡大観察のためのカメラ81側に向けて進行する。反射光の進行方向には、結像レンズ79、第3ビームスプリッタ80、カメラ81が順番に配置されている。
第3ビームスプリッタ80には、照明光源82からの照明光が照射される。照明光は、第3ビームスプリッタ80、第2ビームスプリッタ78、第1ビームスプリッタ34の順で反射され照明光を測定軸線に導入される。照明光源82は一般的なハロゲンランプなどを用いた白色光源で構わない。照明光は干渉光学系に導入され、集光レンズ60で集光されて対象物20上を照射する。
本実施形態において特徴的なことは、減衰フィルタ76に替えて、レーザ52の波長帯のみを減衰させるダイクロイックフィルタ77を設置したことである。レーザ52による多重反射光の波長帯は、当然レーザの波長帯と一致するから、光減衰手段としてのダイクロイックフィルタ77が多重反射光を減衰させ、レーザの波長帯でない照明光については減衰させない。
従って、本実施形態によれば、前記実施形態と同様に干渉ノイズを低減できるとともに、減衰フィルタを用いた場合よりも観察像が暗くならないで済む。なお、ダイクロイックフィルタ77の減衰率は減衰フィルタ76と同様に決定することができる。
また、本発明は、測定対象物の表面形状を高い空間分解能で観察したり、表面形状を高精度に測定したりすることが可能な測定装置に広く適用できる。例えば、表面粗さ測定機や、表面凹凸を原子レベルで拡大観察する原子間力顕微鏡(AFM)のような走査型プローブ顕微鏡などに有効である。
12 :参照鏡
12A :第一面
12B :第二面
14 :探針
18 :走査手段
20 :ワーク(測定対象物)
21 :カンチレバー
30 :検出手段(干渉光検出手段)
34 :ビームスプリッタ
36 :探針の反射面(可変反射体)
38 :変位軸線
40 :測定軸線
45 :変位量取得手段
52 :レーザ
54 :参照光
56 :測定光
58 :干渉光(干渉信号)
60 :集光レンズ
70 :レーザ光源
72 :コリメートレンズ
74 :λ/4波長板
75 :多重反射光
76 :減衰フィルタ(光減衰手段)
77 :ダイクロイックフィルタ(光減衰手段)
78 :第二ビームスプリッタ
79 :結像レンズ
80 :第三ビームスプリッタ
81 :カメラ
82 :照明光源
Claims (5)
- ワークの表面形状に応じて所定方向に変位する探針の変位量を取得し、該取得変位量から前記ワーク表面の凹凸形状を測定する形状測定装置であって、
対向する第一面と第二面を有し、前記第一面から内部を透過して第二面へ直角に入射される透過光の一部を前記第二面で反射して参照光にするとともに、反射しない前記透過光を第二面から前記探針に向けて出射する参照鏡と、
前記探針と一体となって変位自在で、前記参照鏡からの前記透過光をもと来た方向に反射する反射面を有する可変反射体と、
前記可変反射体からの反射光のうち前記参照鏡を透過する光を測定光として、該測定光と前記参照鏡の第一面から同方向に進む前記参照光とを干渉させて、該干渉光を検出する干渉光検出手段と、
検出干渉光に基づいて前記参照鏡に対する前記探針の変位量を取得する変位量取得手段と、を備え、
さらに、前記参照鏡と可変反射体との間の光軸上に配置された光減衰手段を備え、
該光減衰手段は、前記参照鏡の第二面と前記可変反射体との間を往復する光を減衰させて、該参照鏡と可変反射体との間に生じる多重反射光に基づく前記検出干渉光中の干渉ノイズを低減するものであって
前記干渉ノイズであるN ratio は、下記式(1)に従い、決定されることを特徴とする形状測定装置。
(式1)
(式中、R ref は前記参照鏡の反射率を、T ND は反射率減衰手段の透過率を、およびR C は前記可変反射体の反射面の反射率を、それぞれ意味している。) - 請求項1に記載の形状測定装置において、
前記参照鏡の反射率R ref は4〜40%の範囲で設定され、
前記反射率減衰手段の透過率T ND は10〜20%の範囲で設定され、
更に、前記可変反射体の反射面の反射率R C は35〜90%未満の範囲で設定されることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1に記載の形状測定装置において、
前記参照鏡の反射率R ref は4〜40%の範囲で設定され、
前記反射率減衰手段の透過率T ND は30〜40%の範囲で設定され、
更に、前記可変反射体の反射面の反射率R C は35〜90%未満の範囲で設定されることを特徴とする形状測定装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の形状測定装置において、前記参照鏡の第一面へ直角に入射される入射光はレーザであり、前記光減衰手段は前記レーザと同じ波長帯の光を減衰させることを特徴とする形状測定装置。
- 請求項4記載の形状測定装置において、前記参照鏡と変位反射体との間の同じ光路を用いて、観察像を観察することを特徴とする形状測定装置。
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