JP5533751B2 - 位置決め装置 - Google Patents
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Description
まず、図1を参照しつつ、本発明の第1実施形態に係る位置決め装置の構成について説明する。図1は、本発明の第1実施形態に係る位置決め装置100の斜視図である。
可動子210がX方向に推力を発生させた際に、スライダ110が固定子220と相対的に移動できるように、スライダテーブル120には直動転がり軸受(図示なし)が上下に取り付けられている。すなわち、上下に配置された直動案内手段としての直動転がり軸受の間に可動子210が配置されている。ここで、リニアモータ200は例えば可動子210が電機子、固定子220が永久磁石の界磁として構成された永久磁石形リニア同期モータである。
以上のように構成されたスライダ110は、固定子220上に2台設けられている。2台のスライダ110はX方向に独立した位置決めを行うことができる。
次に、図2を参照しつつ、本発明の第2実施形態に係る位置決め装置101について説明する。図2は本発明の第2実施形態に係る位置決め装置101の斜視図である。
次に、図3を参照しつつ、本発明の第3実施形態に係る位置決め装置102について説明する。図3は本発明の第3実施形態に係る位置決め装置102の斜視図である。
次に、図4を参照しつつ、本発明の第4実施形態に係る位置決め装置103について説明する。図4は本発明の第4実施形態に係る位置決め装置103の斜視図である。
次に、図5を参照しつつ、本発明の第5実施形態に係る位置決め装置104について説明する。図5は本発明の第5実施形態に係る位置決め装置104の斜視図である。
次に、図6、7を参照しつつ、本発明の第6実施形態に係るリニアモータ200について説明する。図6は本発明の第6実施形態に係るリニアモータ200の上面図、図7は図6のA−A、B−B、C−Cにおける側面から見た断面図である。
電機子巻線212aは左からW、U、V相、電機子巻線212bは左からV、W、U相、電機子巻線212cは左からU、V、W相の順に並んでいる。つまり、電気的に120度ずれたような構造となっている。このような構造の電機子コア211a〜211cと電機子巻線212a〜212cとが、モールド樹脂213によって一体に形成されている。
110、111、112、113、114 スライダ
120 スライダテーブル
200、400 リニアモータ
210、410 可動子
211a〜211c 電機子コア
212a〜212c 電機子巻線
213 モールド樹脂
220、420 固定子
221 ヨーク
222a〜222c 永久磁石
300、500 アクチュエータ
600 θアクチュエータ
700 θZアクチュエータ
301、601、701 シャフト
Claims (9)
- 固定子に対して可動子を水平な第1方向に相対的に駆動して位置決めするリニアモータと、
前記可動子に設けられ対象物を鉛直方向に相対的に駆動して位置決めするアクチュエータと、
を備え、
前記固定子への前記可動子の投影面における前記可動子の外形寸法において、前記第1方向に直交する第2方向の寸法を、前記第1方向の寸法と等しくまたは大きく設定するとともに、
前記可動子を電機子とし、前記固定子を界磁として構成し、
前記電機子と前記界磁とをそれぞれ、前記第2方向において複数列に分割し、
前記電機子における各列間の前記第1方向のずれと、前記界磁における各列間の前記第1方向のずれとを同じ所定の電気角とした
ことを特徴とする位置決め装置。 - 前記第2方向が前記鉛直方向であり、
前記可動子の前記第1方向の寸法がLで前記鉛直方向の寸法がWであり、
W/L ≧ 2
としたことを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。 - 前記電機子と前記界磁とをそれぞれ、前記第2方向において3列に分割し、
前記所定の電気角を電気角120度もしくは240度とした
ことを特徴とする請求項1または2に記載の位置決め装置。 - 前記第2方向が、前記鉛直方向に直交する
ことを特徴とする請求項1または3に記載の位置決め装置。 - 前記鉛直方向に沿って配置した2つの前記固定子の間に前記可動子を配置した
ことを特徴とする請求項4に記載の位置決め装置。 - 前記固定子に、前記可動子および前記アクチュエータを複数台設置した
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の位置決め装置。 - 前記アクチュエータを前記可動子に複数台設置した
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の位置決め装置。 - 前記対象物の前記鉛直方向周りの回転方向の位置決めを行うθアクチュエータを前記アクチュエータと連結させた
ことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の位置決め装置。 - 前記アクチュエータを、前記鉛直方向周りの回転方向と前記鉛直方向とに前記対象物を位置決め可能な一体のθZアクチュエータとして構成した
ことを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の位置決め装置。
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