JP5521243B2 - 研磨保持用パッド - Google Patents
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Description
さらに、この構成により、イソシアナート反応性のシリコーン整泡剤を用いることで、吸水率が低下し、さらにフォームの通気性が低くなるためパッド材内部へ水が浸入しない。
この構成により、ポリウレタン発泡体の表面におけるベタツキを抑えて、研磨終了後の研磨対象物の剥離を容易にすることができるとともに、その表面粗度によって見かけ上の接触角を高くでき、研磨対象物およびパッド材間の水が容易に広がり、このため研磨対象物の保持力が安定する。
この構成により研磨保持用パッドとして好適な圧縮硬さを得ることができる。密度が100kg/m3未満の場合にはフォーム体の吸水量が増加し、被研磨物との吸着性が低下する。さらに、密度が低くなるほど単位面積当りの塗布量が少なくなり、また発泡倍率も増すため、厚み精度が悪くなる。また、密度が500kg/m3を超えると、フォーム体が硬くなり、十分なクッション性を得ることができなくなる。結果として、研磨時の衝撃で研磨対象が外れる惧れがある。従って、密度は100〜500kg/m3が好ましい。
(1)生産性が高く、低密度でありながら研磨砥粒を含むスラリーが気孔内に侵入することがなく、また、従来のような発泡時における温度を低くするなどの特殊な製造方法を施すことなく水の接触角を高くすることができるとともに、表面の平坦度、厚み精度が高く研磨しなくても研磨保持用パッドとして実用できる。
(2)撥水性(疎水性)が高く、通気性がなく、吸水率および水膨潤性が低く、水(研磨砥粒を含むスラリー)の侵入がない。
(3)パッドの端面からの水(スラリー)の侵入もないので、パッドの端面に熱溶着や接着剤層によってシールを施す必要もない。
(5)パッドは低密度のポリウレタン発泡体でよいので、安価に提供できる。
(6)パッドはポリウレタン発泡体で形成してあるので、クッション材として初期圧縮時の応力分散性に優れる復帰特性を示し、ポリウレタン発泡体はエアリークがないので、使用時に圧縮・復帰(緩和)を繰り返しても、パッド内に水(研磨スラリー)が侵入することもない。
(8)水との接触角が90°以上で疎水性に優れると共に、パッドとしての伸びと強度を有し、長期使用に耐える。
まず、研磨対象物として液晶ディスプレイ用のガラス基板(以下、単にガラス基板と略称す)の研磨装置について説明する。図1は、この研磨装置の要部断面図であり、研磨テーブル1上には研磨保持用パッド2が粘着剤層3を介して固着されている。この研磨保持用パッド2上には水(図示しない)を介して研磨対象物としてガラス基板4が吸着されている。このガラス基板4は、水の表面張力により研磨保持用パッド2上に吸着される。ガラス基板4は、コンピュータのハードディスクや画面、テレビの画面、携帯電話の画面等に用いられるものである。ガラス基板4の上方位置には、回転軸5に支持された円盤状の回転治具6が所定の回転速度で回転可能に配設されている。回転治具6の下面には研磨パッド7が固着され、前記ガラス基板4の表面に摺接されるようになっている。
この方法によると、低密度であるが、フォームの表裏面にポーラスな自己スキン面を有するシート状発泡体が得られ、表面の平坦度、厚み精度が良好であるため、フォームの研磨を行わなくてもガラス基板吸着用の研磨保持用パッドとして実用可能である。
前記実施の形態に示す製造方法によれば、工程紙として剥離面がマット調のものを使用することでマット仕上げのポリウレタン発泡体を製造できる。
ここで、マット仕上げとは、例えば光沢度20%以下のマット調の剥離紙を用いて生産されたポリウレタン発泡体の表面仕上げである。一般に、被加工材の表面を荒して光沢をなくした加工状態にすることを指し、例えば砂を吹き付けて表面を荒し加工する物理的方法(サンドブラストまたはサンドマット)や薬品を使って表面を腐食させる科学的方法(エンボスまたはケミカルマット)がある。また、これらの処理を施した剥離フィルム上にウレタンを塗布し、ポリウレタン発泡体にマット仕上げを転写させたり、それらの処理を施した熱ローラでウレタン表面を熱処理することで、ポリウレタン発泡体表面をマット仕上げすることができる。
(実施例1)
ポリエステルポリオールであるダイマー酸エステル(OH価=80)100部と鎖延長剤(1,4−ブタンジオール)3.0部、整泡剤(ポリジメチルシロキサン‐ポリアルキレンエーテルグラフト共重合体であり、ポリエーテル末端が−OH基となったもの)0.2部、アミン触媒(SA.102サンアボット製)0.3部、水0.2部を加えてよく攪拌した。この混合物にジフェニルメタンジイソシアネートとポリプロピレングリコールからなるプレポリマー(NCO%=13)をNCO/OH比1.1となるように添加し、速やかに攪拌し、剥離処理をしたマット調フィルムに均一に塗布することで,密度300kg/m3、厚さ約1mmのポリウレタン樹脂からなるシート材のポリウレタン発泡体を得た。
(実施例2)
実施例1の水を1.3部とした以外は実施例1と同様にして、密度90kg/m3、厚さ約1mmのシート状のポリウレタン発泡体を得た。
(実施例3)
実施例1の水を0.08部とした以外は実施例1と同様にして密度600kg/m3、厚さ約1mmのシート状のポリウレタン発泡体を得た。
(実施例4)
実施例1の剥離フィルムを光沢(ミラー)調とした以外は実施例1と同様にして密度300kg/m3、厚さ約1mmのシート状ポリウレタン発泡体を得た。
(実施例5)
実施例1の鎖延長剤を1、1、1‐トリメチロールプロパンにエチレンオキシドを付加したIR‐94(OH価920、三井化学社製)3部として、剥離フィルムを光沢調とした以外は実施例1と同様にして密度300kg/m3、厚さ約1mmのシート状のポリウレタン発泡体を得た。
(実施例6)
実施例1のダイマー酸ポリエステルに代えて、グリセリンにプロピレンオキシドを付加したポリエーテルポリオール(平均分子量3000、水酸基価57)を使用した以外は、前記実施例1と同様にして密度300kg/m3、厚さ約1mmのシート状のポリウレタン発泡体を得た。
実施例1にてシリコーン整泡剤をF242T(信越化学社製)0.1部を用い連通化させ、密度300kg/m3、厚さ約1mmのシート状のポリウレタン発泡体を得た。
(比較例2)
実施例1の製品をロールにて圧縮して連通化させ、密度300kg/m3、厚さ1mmのシート状のポリウレタン発泡体を得た。
(比較例3)
実施例1のダイマー酸ポリエステルに代えてグリセリンにエチレンオキサイドとプロピレンオキサイドを付加したポリエーテルポリオール(平均分子量3000、水酸基価57)を使用した以外は、前記実施例1と同様にして密度300kg/m3、厚さ約1mmのシート状のポリウレタン発泡体を得た。
エアリーク:シート状のウレタン発泡体をφ40×36mmで幅2mmのドーナツ状に打ち抜き評価サンプルとし、図6に示すようにこのドーナツ状のウレタン発泡体の評価サンプル9を、アクリル板10、10で25%圧縮となるように挟み、内側より1kgf/cm2の圧力をかけ、安定した流量時の空気漏れ量を測定した。安定した流量及び1kgf/cm2の圧力は、流量計および圧力計で測定した。
独立気泡率:レミングトンパーラザイ法により、0.1気圧(ASTMD1940‐62T)減圧により測定した。なお、独立気泡率の測定にはASTMD2856による方法もあるが、その方法は本発明のような軟質発泡体では体積の変化やセル膜の開口などが起こりあまり好ましくない。
接触角:液滴投影測定によりシート表面に滴下した約5μccの水滴の接触角を、接触角測定器にて、計測した。
密度:JISのK6401に準ずる。
吸水率:試料を50×50mm角に採取し、水深10cm下で24時間浸漬した後に取り出し、試料が吸水した水の重量を測定し、次式より吸水率を求める。
吸水率(%)=〔(試験後重量)−(試験前重量)〕/(試験前重量)×100
圧縮硬さ:自動記録装置を有し、圧縮速度を一定に保つことのできる万能試験機の中央に試験片を置き、圧縮速度1mm/minで試験片をもと厚みの25%圧縮したときの荷重をそれぞれ読み取った。
ガラス剥離性:プローブタック力にて測定を行った。平坦な30×30mm角のガラス板をサンプルの表面に荷重500gで20秒静置後、引張り試験機にて垂直方向に200mm/minのスピードで引張り、その荷重を測定した。
スラリー浸透性:パッド材表面に研磨用スラリーを1cc滴下し、押圧板でパッド材表面に30秒間圧縮した後、流水でスラリーを洗い落とす。パッド材表面にスラリー(研摩砥粒)を70倍の顕微鏡で確認できなければ○(丸印)、スラリーを70倍の顕微鏡で確認できた場合を×(バツ印)とした。
また、独立気泡率は、レミングトンパーライザ法により、0.1気圧(ASTMD1940−62T)減圧により測定したとき、2〜70%の範囲であると、パッド材のエアリークがなくなり好ましく、10〜40%の範囲がさらに好ましい。独立気泡率が70%を超えるとポリウレタン発泡体の収縮が起こり、正常な発泡体の作成が困難となる。実施例1乃至6のポリウレタン発泡体の独立気泡率は、いずれも好ましい範囲を示している。
2 研磨保持用パッド
3 粘着剤層
4 ガラス基板(研磨対象物)
5 回転軸
6 回転治具
7 研磨パッド
9 評価サンプル
10 アクリル板
Claims (3)
- パッドが自己スキン層を有するエアリークの無い独立気泡性ポリウレタン発泡体からなり、該エアリークの無い独立気泡性ポリウレタン発泡体が、ポリオールとしてダイマー酸系ポリオールを、整泡剤としてイソシアナート反応性のシリコーン整泡剤を、用いたものであり、水との接触角が90度以上であることを特徴とする研磨保持用パッド。
- 前記エアリークの無い独立気泡性ポリウレタン発泡体の自己スキン層が、マット仕上げであることを特徴とする請求項1記載の研磨保持用パッド。
- 前記エアリークの無い独立気泡性ポリウレタン発泡体の密度が100〜500kg/m3であることを特徴とする請求項1または請求項2記載の研磨保持用パッド。
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