JP5512065B2 - 圧電セラミック素子 - Google Patents
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- 複数の圧電セラミック層と、前記各圧電セラミック層を挟んで対向するように形成された個別電極及びコモン電極とを有する素子本体を備えた圧電セラミック素子であって、
前記個別電極は、前記素子本体の積層方向に対して垂直な列方向に複数配列されていると共に、前記コモン電極と重なり合う活性領域を有し、
前記コモン電極は、前記列方向に複数配列された前記個別電極にそれぞれ対応する位置に形成された複数の電極パターン部を含み、
前記コモン電極が形成されている面には、前記列方向に対して垂直な行方向で前記複数の電極パターン部にそれぞれ隣接する複数の個別電極中継パターンが形成され、
前記積層方向で重なり合う複数の前記個別電極は、前記圧電セラミック層に形成されたスルーホールと前記個別電極中継パターンとを介して互いに接続されると共に、前記素子本体の前記積層方向の端面に設けられた端子電極に前記スルーホールを介して接続され、
前記素子本体には、前記列方向で隣り合う前記個別電極の間にそれぞれ位置し、前記積層方向に貫通し、前記積層方向にのみ開放され、前記積層方向に対して垂直な方向には開放端を有さず、内壁面に機械的表面加工がなされていない複数のスリット孔が、前記個別電極及び前記コモン電極を露出させないように設けられており、
前記各スリット孔の幅は、前記列方向に沿った前記活性領域の寸法の1/2以下であり、
前記素子本体における前記活性領域と前記スリット孔との間には、前記個別電極と前記コモン電極とが重なり合わないように形成された圧電不活性部が設けられており、
前記各スリット孔は、前記列方向で隣り合う前記電極パターン部の間に位置していることを特徴とする圧電セラミック素子。 - 前記スリット孔の長さは、前記スリット孔の長さ方向に沿った前記活性領域の寸法の0.7〜1.5倍であることを特徴とする請求項1記載の圧電セラミック素子。
- 前記素子本体は、焼成によって形成されたものであり、
前記スリット孔を形成する前記素子本体の内壁面は、前記焼成を行った後に機械的表面加工が施されていない状態の焼成面であることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電セラミック素子。 - 前記素子本体は、前記複数の個別電極を有すると共に、前記各個別電極間に前記スリット孔の一部を作り出すための第1孔部が形成された第1セラミックシートと、前記コモン電極を有すると共に、前記スリット孔の一部を作り出すための第2孔部が形成された第2セラミックシートとを積層してなり、
前記第1孔部及び前記第2孔部は、前記第1セラミックシート及び前記第2セラミックシートにそれぞれレーザ光を照射して形成されたものであることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の圧電セラミック素子。
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