JP5511394B2 - 浸潤バリアおよび保護層を有する圧電コンポーネントと該圧電コンポーネントの製造方法 - Google Patents
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Description
この圧電コンポーネントは、保護層と積層体の側方表面区間の間において、保護層への異物の侵入を抑止するために浸潤バリアが配置されていることを特徴としている。
Claims (10)
- モノリシック構造の積層体(10)を有する圧電コンポーネント(1)において、
該圧電コンポーネント(1)は、交互に積層されて配置された圧電セラミック含有圧電セラミック層(101)および電極層(102)と、
前記積層体(10)の機械的な過負荷の際に亀裂を形成するために、該積層体(10)の層間に配置された少なくとも1つの多孔性保護層(103)とを有しており、
前記保護層(103)と前記積層体(10)の側方表面区間(107)の間において、該保護層(103)への異物の侵入を抑止するために浸潤バリア(104)が配置され、
外部金属化部(106)は、前記各電極層(102)と電気的に接触し、当該外部金属化部(106)を介して前記電極層(102)同士を互いに電気的に接触させるように、前記積層体(10)の側方表面において積層方向に延在して設けられ、かつ、当該外部金属化部(106)は前記浸潤バリア(104)の上に配置されていることを特徴とする圧電コンポーネント。 - 前記浸潤バリア(104)は前記保護層(103)を取り囲んでいる、請求項1記載の圧電コンポーネント。
- 前記浸潤バリア(104)は、前記積層体(10)の圧電活性ではない接触領域(105)に配置されている、請求項1または2記載の圧電コンポーネント。
- 前記浸潤バリア(104)は、前記接触領域(105)の寸法より小さい寸法を有している、請求項3記載の圧電コンポーネント。
- 前記浸潤バリア(104)は、前記圧電セラミックと同種のバリア材料を有している、請求項1から4のいずれか1項記載の圧電コンポーネント。
- 請求項1から5のいずれか1項記載の圧電コンポーネントの積層体の製造方法において、
a)金属層とセラミック製グリーンシートを交互に積層して配置してグリーンシート複合体を形成するステップを有しており、該ステップにおいて、該グリーンシート複合体に少なくとも1つの保護層の初期層を積層させて組み込み、
b)前記グリーンシート複合体を熱処理してモノリシック構造の前記積層体を形成するステップを有しており、該ステップにおいて、前記セラミック製グリーンシートから圧電セラミック層を形成し、前記金属層から電極層を形成し、前記保護層の初期層から該保護層を形成し、前記保護層と前記積層体の側方表面区間の間において浸潤バリアが形成され、該浸潤バリア上で、前記積層体の側方表面において積層方向に延在するように、外部金属化部を形成することで、前記各電極層と電気的に接触させ、当該外部金属化部を介して前記電極層同士を電気的に接触させる
ことを特徴とする製造方法。 - 前記浸潤バリアを形成するために熱処理を中断し、
c)部分的に焼成された前記積層体の側方表面区間にバリア材料を注入するステップと、
d)熱処理を継続し、前記バリア材料から前記浸潤バリアを形成するステップ
を実行する、請求項6記載の製造方法。 - 前記バリア材料を注入するために、ゾルゲル法とスラリー法と吹き付けと浸漬とから成るグループから選択される方法が使用される、請求項7記載の製造方法。
- 金属層および前記セラミック製グリーンシートを積層して配置する前に、
e)前記セラミック製グリーンシートを形成するステップと、
f)前記保護層の初期層を配置するステップ
を実行する、請求項6記載の製造方法。 - 前記保護層の初期層を配置すると共に、グリーンシートへ浸潤バリアの前駆体を配置する、請求項9記載の製造方法。
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