JP5499980B2 - グラフェン薄膜の製造方法 - Google Patents
グラフェン薄膜の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5499980B2 JP5499980B2 JP2010173264A JP2010173264A JP5499980B2 JP 5499980 B2 JP5499980 B2 JP 5499980B2 JP 2010173264 A JP2010173264 A JP 2010173264A JP 2010173264 A JP2010173264 A JP 2010173264A JP 5499980 B2 JP5499980 B2 JP 5499980B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- graphene
- graphene oxide
- substrate
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
前記グラフェン薄膜を成膜する工程において、基板にカチオン材料の薄膜をあらかじめ形成し、前記基板表面を正に帯電させ、前記基板を酸化グラフェンを含む懸濁液に浸漬し、カチオン材料の正電荷と酸化グラフェンの負電荷による静電気力により酸化グラフェンを吸着させることで酸化グラフェン薄膜を形成し、ついで酸化グラフェン薄膜を還元してグラフェン薄膜を形成することとする。
すなわち、所望の層数のグラフェン薄膜を製膜する場合には、カチオン塗付⇒酸化グラフェン浸漬⇒超音波処理、を繰り返す。したがって作製された膜は、基板/カチオン材料/酸化グラフェン/カチオン材料/酸化グラフェンと、ミルフィーユのように重なる。
更に、基板表面に付着しているカチオン材料を、1000℃でアニールすることにより熱分解させ、図5のようなグラフェン薄膜を得た。
図6に、本方法により作製したグラフェン薄膜の光学顕微鏡像を示す。 図5に示すように、基板にグラフェンが敷き詰められた状態で成膜されており、基板に均一に成膜されている。図7に示す原子間力顕微鏡像から得られたグラフェン薄膜は単層である。
11:基板
12:酸化グラフェン
13:グラフェン
20:カチオン材料分散溶媒
21:酸化グラフェン分散溶媒
Claims (6)
- グラファイトを酸化して酸化グラファイトを得る工程と、酸化グラファイトを溶媒に分散し、該酸化グラファイトを層状に剥離して酸化グラフェンを含む懸濁液を得る工程と、前記懸濁液に基板を浸漬して酸化グラフェン薄膜を形成し、該酸化グラフェンを還元してグラフェン薄膜を形成する工程とを含むグラフェン薄膜の製造方法であって、
前記グラフェン薄膜を成膜する工程において、基板にカチオン材料の薄膜をあらかじめ形成し、前記基板表面を正に帯電させ、前記基板を酸化グラフェンを含む懸濁液に浸漬し、カチオン材料の正電荷と酸化グラフェンの負電荷による静電気力により、カチオン材料に酸化グラフェンを吸着させることで酸化グラフェン薄膜を形成し、ついで酸化グラフェン薄膜を還元してグラフェン薄膜を形成することを特徴とするグラフェン薄膜の製造方法。 - 前記カチオン材料に吸着した前記酸化グラフェン薄膜が部分的に2層以上重なっている箇所を、超音波処理により、重なっている酸化グラフェン薄膜の上層を剥がし、酸化グラフェン薄膜を単層の薄膜にすることを特徴とする請求項1に記載のグラフェン薄膜の製造方法。
- 前記カチオン材料はアミノ基を有する化合物であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のグラフェン薄膜の製造方法。
- 前記カチオン材料は膜厚が1nm以下であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載のグラフェン薄膜の製造方法。
- 前記溶媒として、水、エタノール、メタノール、アセトン、N−ジメチルホルムアミド及びN−メチルピロリドンから選ばれる1種又は2種以上の混合液を用いる、請求項1または請求項2に記載のグラフェン薄膜の製造方法。
- 前記酸化グラフェンは平均サイズが100nm〜200μmである、請求項1または請求項2に記載のグラフェン薄膜の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010173264A JP5499980B2 (ja) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | グラフェン薄膜の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010173264A JP5499980B2 (ja) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | グラフェン薄膜の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012031024A JP2012031024A (ja) | 2012-02-16 |
JP5499980B2 true JP5499980B2 (ja) | 2014-05-21 |
Family
ID=45844915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010173264A Expired - Fee Related JP5499980B2 (ja) | 2010-08-02 | 2010-08-02 | グラフェン薄膜の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5499980B2 (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20140370246A1 (en) * | 2012-01-20 | 2014-12-18 | Brown University | Substrate with Graphene-based Layer |
CN103310873B (zh) * | 2012-03-08 | 2015-08-19 | 中国科学院理化技术研究所 | 透明导电石墨烯薄膜及其制备方法和应用 |
EP2856497B1 (en) * | 2012-06-05 | 2018-04-18 | Stratasys, Inc. | Composite made with graphene coated substrates and manufacturing process |
CN104271500B (zh) * | 2012-06-29 | 2016-10-26 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 一种石墨烯薄膜及其制备方法和用途 |
KR101984694B1 (ko) | 2012-07-12 | 2019-05-31 | 삼성전자주식회사 | 실리콘 카바이드 웨이퍼 상의 단일층 그래핀의 제조방법 |
CN102787445A (zh) * | 2012-07-18 | 2012-11-21 | 上海大学 | 利用静电喷雾工艺制备多孔石墨烯薄膜的方法 |
JP6116016B2 (ja) * | 2012-09-13 | 2017-05-10 | 国立大学法人 岡山大学 | 酸化グラフェンに金属を担持させる方法及び金属−酸化グラフェン複合体の製造方法 |
JP6074270B2 (ja) | 2013-01-15 | 2017-02-01 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェンのパターニング方法、及びパターンニング用部材 |
JP6120277B2 (ja) * | 2013-05-16 | 2017-04-26 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | グラフェン球状中空体の作成方法、グラフェン球状中空体、グラフェン球状中空体集積電極及びグラフェン球状中空体集積キャパシター |
CN105960276A (zh) * | 2013-12-10 | 2016-09-21 | 南卡罗来纳大学 | 用于水处理的超薄石墨烯基膜及其形成方法和用途 |
JP2015221947A (ja) * | 2014-05-22 | 2015-12-10 | 国立大学法人大阪大学 | 導電性繊維の製造方法、シート状電極の製造方法、導電性繊維、及びシート状電極 |
KR101652965B1 (ko) * | 2014-10-24 | 2016-09-01 | (주)티피에스 | 초음파를 이용한 그래핀옥사이드의 제조방법 및 제조장치 |
CN105110794B (zh) * | 2015-08-07 | 2020-03-10 | 常州富烯科技股份有限公司 | 一种石墨烯薄膜的制备方法及石墨烯薄膜 |
JP6630091B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2020-01-15 | 国立大学法人大阪大学 | 導電性ナノセルロース集合体の製造方法 |
WO2018079604A1 (ja) * | 2016-10-26 | 2018-05-03 | 昭和電工株式会社 | ナノカーボン分離膜、ナノカーボン複合分離膜及びナノカーボン分離膜の製造方法 |
JP6679118B2 (ja) * | 2016-10-26 | 2020-04-15 | 国立大学法人信州大学 | ナノカーボン分離膜、ナノカーボン複合分離膜及びナノカーボン分離膜の製造方法 |
KR102177472B1 (ko) * | 2017-09-29 | 2020-11-11 | 주식회사 테스 | 그래핀 옥사이드 증착용 소스 및 이를 이용한 그래핀 옥사이드 박막 형성 방법 |
KR102373704B1 (ko) * | 2019-12-05 | 2022-03-14 | 주식회사 포스코 | 그래핀 코팅 강판 및 이의 제조방법 |
CN111948151A (zh) * | 2020-08-19 | 2020-11-17 | 东华理工大学 | 一种基于热增强光学对比度判定氧化石墨烯层数的方法 |
CN113376915B (zh) * | 2021-06-28 | 2022-08-23 | 绍兴迪飞新材料有限公司 | 一种石墨烯-聚苯胺复合电致变色智能动态调光玻璃 |
JP2023022851A (ja) * | 2021-08-04 | 2023-02-16 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | グラフェン材料、その製造方法およびその用途 |
CN114850010B (zh) * | 2022-05-17 | 2023-08-04 | 伊诺福科光学技术有限公司 | 石墨烯超材料三维保形涂层的制备方法及三维保形涂层 |
CN115167049A (zh) * | 2022-07-27 | 2022-10-11 | 香港理工大学 | 一种电致发射率调控器件及其制备方法 |
CN115364679B (zh) * | 2022-07-27 | 2023-06-27 | 中国地质大学(武汉) | 一种钾离子选择性薄膜及其制备方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4678152B2 (ja) * | 2003-07-23 | 2011-04-27 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 炭素からなる骨格を持つ薄膜状粒子の分散液 |
WO2009049375A1 (en) * | 2007-10-19 | 2009-04-23 | University Of Wollongong | Process for the preparation of graphene |
JP2011032156A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-02-17 | Kaneka Corp | グラフェンまたは薄膜グラファイトの製造方法 |
-
2010
- 2010-08-02 JP JP2010173264A patent/JP5499980B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012031024A (ja) | 2012-02-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5499980B2 (ja) | グラフェン薄膜の製造方法 | |
JP5477037B2 (ja) | グラフェン膜の製造方法 | |
JP5407921B2 (ja) | グラフェン膜の製造方法 | |
JP5471351B2 (ja) | グラフェン薄膜の製膜方法 | |
JP5285560B2 (ja) | カーボンナノチューブの連続的な精製方法 | |
Kang et al. | Graphene transfer: key for applications | |
Song et al. | Preparation and characterization of graphene oxide | |
US20150151973A1 (en) | Covalently-bonded graphene coating and its applications thereof | |
Ma et al. | Preparation and characterization of long-chain alkyl silane-functionalized graphene film | |
US8668952B2 (en) | Carbon wire and nanostructure formed of carbon film and method of producing the same | |
TW201001443A (en) | Conductive film using nano-carbon tube and manufacturing method thereof | |
US9017638B2 (en) | Graphene prepared by using edge functionalization of graphite | |
JP5357323B1 (ja) | 酸化グラフェンの製造方法 | |
WO2013023547A1 (zh) | 图案化石墨烯薄膜的制备方法 | |
CN107107561B (zh) | 石墨烯和用于将cvd生长石墨烯转移至疏水性基板的无聚合物方法 | |
WO2012116593A1 (zh) | 一种利用强碱化学处理得到高比表面积石墨烯材料的方法 | |
CN106660804B (zh) | 石墨烯制造工艺 | |
JP5493637B2 (ja) | グラフェン薄膜の製造方法とグラフェン薄膜 | |
US20150093324A1 (en) | Graphene compositions and methods of making the same | |
Lockett et al. | Direct chemical conversion of continuous CVD graphene/graphite films to graphene oxide without exfoliation | |
György et al. | Effect of laser radiation on multi-wall carbon nanotubes: study of shell structure and immobilization process | |
Chang et al. | Reversible adsorption of conjugated amphiphilic dendrimers onto reduced graphene oxide (rGO) for fluorescence sensing | |
Hossain et al. | Synthesis of highly dispersed and conductive graphene sheets by exfoliation of preheated graphite in a sealed bath and its applications to polyimide nanocomposites | |
JP5447049B2 (ja) | グラフェン膜の製造方法 | |
Chang et al. | Patterns of solution-processed graphene oxide produced by a transfer printing method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140212 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140225 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5499980 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |