JP5492487B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- 複数の半導体チップをインターポーザに搭載し、樹脂封止した後、個片化する半導体装置の製造方法において、
有機基板からなる基板コア材の両主面に電極金属を形成し、該電極金属をパターニングすることで前記基板コア材の一方の主面の前記電極金属に半導体チップの電極と接続するチップ搭載側電極を、あるいは前記基板コア材の他方の主面の前記電極金属に実装基板と接続する実装側電極を形成すると同時に前記基板コア材を露出させ、露出した該基板コア材を除去し、アライメントマークを形成し、該アライメントマークが前記他方の主面側あるいは前記一方の主面側から露出するように、前記他方の主面側の前記電極金属あるいは前記一方の主面側の前記電極金属の一部を除去して凹部を形成し、該凹部内に露出する前記アライメントマークを用いて、前記他方の主面の前記電極金属に前記実装側電極を、あるいは前記一方の主面の前記電極金属に前記チップ搭載側電極を形成したインターポーザを用意する工程と、
前記インターポーザの前記一方の主面に形成されたチップ搭載側電極と、半導体チップの電極とを接続し、該半導体チップを前記インターポーザに搭載する工程と、
前記インターポーザ上に搭載した前記半導体チップを樹脂封止する工程と、
前記一方の主面に形成されたアライメントマークあるいは前記一方の主面側に形成された凹部内に露出する前記アライメントマークを用いて、前記インターポーザの一方の主面側の位置合わせを行い、前記樹脂封止した面にマーク印字をする工程と、
前記マーク印字をする工程の後、あるいは前記マーク印字をする工程を行わずに、前記他方の主面に形成されたアライメントマークあるいは前記他方の主面側に形成された凹部内に露出する前記アライメントマークを用いて、前記インターポーザの他方の主面側の位置合わせを行い、個片化する工程と、を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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