JP5492375B2 - Glass substrate cutting device - Google Patents
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Description
この発明は、大判な液晶パネルなどのガラス基板に製品サイズの小割り用の切断線を同時に多数本入れる切断装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus for simultaneously putting a large number of cutting lines for product size on a glass substrate such as a large liquid crystal panel.
大判な液晶パネルのガラス基板から一度に多数枚の製品サイズの基板を同時に得ることで生産性を上げることができる。 Productivity can be increased by simultaneously obtaining a large number of product size substrates from a large liquid crystal panel glass substrate at the same time.
上記目的を達成するために、往復走行するテーブル上に大判なガラス基板を載置したのち、テーブルを走行させながら、テーブルの走行路の直上に左右に所定の間隔を在して並ぶ複数のカッタの降下によりガラス基板の表面(上面)に一度に多数条の平行する小割用の切断線を入れる。この小割用切断線は、X軸方向のみ或いはX軸方向及びY軸方向に入れる。 In order to achieve the above object, after placing a large glass substrate on a reciprocating table, a plurality of cutters arranged at predetermined intervals on the right and left just above the table traveling path while the table is traveling As a result of the lowering, a plurality of parallel cutting lines for parallel splits are put on the surface (upper surface) of the glass substrate at once. This split cutting line is inserted only in the X-axis direction or in the X-axis direction and the Y-axis direction.
そして、並列各カッタは、製品サイズの寸法に見合うように数値制御により間隔を調整することができるようになっている(例えば、特許文献1参照)。
上記特許文献1の板ガラスの切断方式によると、大判なガラス基板から一度に多数枚の製品サイズの基板を同時に得る切断線を入れて生産性を向上することができる。 According to the cutting method of the plate glass of the said patent document 1, productivity can be improved by putting the cutting line which simultaneously obtains the board | substrate of many product sizes at once from a large-sized glass substrate.
ところで、特許文献1の切断方式では、初期の段階において、マザー基板に試し切り(切断線を入れる)を行ない、試し切りした各切断線がスクライブ位置にあるか、ないかの確認を行ない、切断線がスクライブ位置にない場合カッタの位置調整を行なう。又このカッタの位置調整には、順次ガラス基板を供給して切断線を入れることにより行う。 By the way, in the cutting method of Patent Document 1, in the initial stage, trial cutting (putting a cutting line) is performed on the mother substrate, and it is confirmed whether or not each cutting line that has been trial-cut is at a scribe position. If not at the scribe position, adjust the cutter position. Further, the position of the cutter is adjusted by sequentially supplying glass substrates and inserting cutting lines.
しかしながら、試し切りを行なうと、大判で高額なマザー基板を用いるので、無駄に行なって不必要な出費になる問題が発生した。 However, when trial cutting is performed, a large-sized and expensive mother board is used, which causes a problem of unnecessary use and unnecessary expense.
また、切断線が変更するその都度試し切りを行なうので、大幅な出費になる以外にスクライブ位置の確認作業などにより機械の稼働率が著しく低下する問題もあった。 In addition, since trial cutting is performed each time the cutting line is changed, there is a problem that the operating rate of the machine is remarkably lowered due to the scribe position confirmation work and the like in addition to a large expense.
そこで、この発明は、上述の問題を解消したガラス基板の切断装置を提供することにある。 Then, this invention is providing the cutting device of the glass substrate which eliminated the above-mentioned problem.
上記の課題を解決するために、この発明は、往復走行するように設けた走行体と、この走行体上に旋回手段により平面上で旋回すると共に、載置した大判なガラス基板を保持するように設けたテーブルと、このテーブルの走行路の直上を横切るガイドレールに横移動手段によりそれぞれが左右方向にスライドするように設けた複数のスライダと、この各スライダに昇降手段により昇降するように設けたカッタと、上記各スライダに上記ガラス基板の各スクライブ位置マーク及びアライメントマークを読み取るように搭載したカメラとからなり、上記カメラによるアライメントマークの読み取りにともなう加工ずれ量を旋回手段によりテーブルを旋回させ、又カメラによるスクライブマークと上記カッタでの短い試し切り線との読み取りにともなうスクライブ加工ずれ量を横移動手段により補正位置に上記スライダを移動させるように連動させた構成を採用する。すると、設定された位置の線上に切断を入れることができる。 In order to solve the above-described problems, the present invention is configured so that a traveling body provided so as to reciprocate, and a swiveling means on the traveling body are swung on a plane and a large glass substrate placed thereon is held. A plurality of sliders provided on the guide rail that crosses directly above the travel path of the table so that each of the sliders slides to the left and right by the lateral movement means, and the sliders are provided to be raised and lowered by the lifting means. And a camera mounted on each slider so as to read each scribe position mark and alignment mark on the glass substrate, and the table is swung by swiveling means for the amount of processing deviation accompanying the reading of the alignment mark by the camera. Also, along with the reading of the scribe mark by the camera and the short trial cut line with the above cutter By the lateral moving means starts selling scribing shift amount to employ a configuration in which in conjunction to move the slider to the correction position. Then, a cut can be made on the line at the set position.
以上のように、この発明のガラス基板の切断装置によれば、カメラによってアライメントマークの読み取りにともなうガラス基板の左右両辺縁に対する加工ずれ量を、旋回手段によりテーブルを旋回させて補正し、又カッタを降下し、かつテーブルを若干走行させてガラス基板に入れた短い試し切り線とスクライブマークとをカメラによってそれぞれ読み取り、読み取りにともなうスクライブマークに対する試し切り線とのずれ量を、横移動手段によりスライダを左又は右方向にスライドさせて補正するので、マザー基板を用いての試し切りが不要になる。 As described above, according to the glass substrate cutting device of the present invention, the amount of processing deviation relative to the left and right edges of the glass substrate when the alignment mark is read by the camera is corrected by turning the table by the turning means. The short trial cut line and the scribe mark placed on the glass substrate are read by the camera by moving the table slightly, and the amount of deviation from the trial cut line with respect to the scribe mark due to the reading is determined by the horizontal movement means. Alternatively, the correction is performed by sliding in the right direction, so that trial cutting using the mother board is not necessary.
このため、大判で高価なマザー基板を使用したための無駄な出費をなくすることができると共に、試し切りと、その後のスクライブ位置の確認のために発生した機械の大幅な稼働率が低下するような問題もなくすることができる。 For this reason, it is possible to eliminate wasteful expenses due to the use of a large and expensive mother board, and to reduce the significant operating rate of the machine generated for trial cutting and subsequent confirmation of the scribe position. Can be lost.
以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
この発明の実施形態では、図1から図6に示すように、往復走行する走行体1上には、旋回手段2により平面上で旋回するとと共に、載置した大判なガラス基板Aを保持するテーブル3が設けてある。
In the embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 6, on the traveling body 1 that reciprocates, a table that holds a large glass substrate A that is placed on the plane by the
上記走行体1の往復走行は、図示の場合、敷設した二条のレール4に走行体1の両側下面に設けてあるスライダ5をスライド自在に係合すると共に、レール4間に配置して両端を回動自在に軸承した雄ネジ6に走行体1の下面に取り付けてある雌ネジ7をねじ込み、第1モータ8の運転により雄ネジ6を可逆駆動して走行体1を前後方向に走行させるようにしたが、限定されず、その他の構成により前後方向に走行させてもよい。
In the case of the reciprocating travel of the traveling body 1, in the illustrated case, the
上記の旋回手段2は、図示の場合、走行体1上に可逆モータを据え付けて、この可逆モータの出力軸をテーブル3の下面中心に固定したが、限定されない。 In the illustrated case, the revolving means 2 has a reversible motor installed on the traveling body 1 and the output shaft of the reversible motor is fixed to the center of the lower surface of the table 3, but is not limited thereto.
上記テーブル3上に載置するガラス基板Aの保持は、テーブル3をボックスとしてボックス内を吸引し、ボックスの頂壁に多数の連通小孔35を設けて、吸引により保持するようにしてある。
The glass substrate A placed on the table 3 is held by sucking the inside of the box using the table 3 as a box, and providing a number of
その際、テーブル3上の1つのコーナーを挟む二辺のピン9にガラス基板Aの辺縁を当接させて位置決めするようにしてある。
At that time, the edge of the glass substrate A is brought into contact with the two
さらに、テーブル3の走行路を横切る水平材21の両端間にガイドレール22を設けて、このガイドレール22に複数のスライダ23をスライド自在に係合し、この各スライダ23には、シリンダなどの昇降手段24により昇降するカッタ25が設けてある。
Further,
そして、各スライダ23は、横移動手段26により単独に左右方向に移動できるようになっている。
Each
上記の横移動手段26は、図示の場合、水平材21の略全長にラック27を敷設して、各スライダ23のベース28に据え付けてある第2モータ29の出力軸に固定したピニオン30を噛み合わせ、第2モータ29の可逆運転によりスライダ23を左方向、右方向にスライドさせるようにしてある。
In the illustrated case, the lateral movement means 26 lays a
そして各カッタ25の近傍には、ベース28に据え付けたカメラ31が設けてある。
In the vicinity of each
このカメラ31は、横移動手段26により両サイドのスライダ23をガラス基板Aの上面両側角のアライメントマークaの位置に移動させて、アライメントマークaを読み取り、又ガラス基板Aの上面に設けてあるスクライブマークB及び各カッタ25によりガラス基板Aの辺縁部上面に入れた短い試し切り線Cを読み取る。
図中41はカッタ25の昇降をガイドするガイド手段である。
The
In the figure,
上記のように構成すると、テーブル3上に液晶パネルのガラス基板Aを載置し、走行体1を往復走行させて、カメラ31によりガラス基板Aの四角のアライメントマークBを読み取り、読み取りにともなう加工ずれ量をカメラ31に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて制御装置により旋回手段2を運転してテーブル3を時計、反時計方向に補正量に応じた角度旋回させる。
If comprised as mentioned above, the glass substrate A of a liquid crystal panel is mounted on the table 3, the traveling body 1 is reciprocated, the square alignment mark B of the glass substrate A is read with the
また、ガラス基板Aに対向する両側二辺の縁間にカッタ25により切断線を入れる(スクライブ)前に、まずテーブル3と共に保持ガラス基板Aを若干前方に走行させる。
In addition, the holding glass substrate A is first moved slightly forward together with the table 3 before a cutting line is made by the
このとき、昇降手段24により各カッタ25を降下させて図4に示すガラス基板Aの必要とする辺縁部の表面に印刷してある各スクライブマークBの手前の(スライブマークBから外れた)部分に図5や図6に示す短い試し切り線Cを入れ、試し切り線Cを入れたのち、昇降手段24により各カッタ25を上昇復帰させる。
At this time, each
このとき、各カメラ31によってスクライブマークBと試し切り線Cとを読み取り、読み取りにともなう試し切り線CがスクライブマークBの設定された正規の位置(図5に示す)にあるか、図6に示すように不正規の位置にあるかを検知し、検知にともなう不正規の位置にカッタ25のスライダ23を横移動手段26により(第2モータ29の運転により)ずれ量に見合う修正をして正規の位置に微動させる(補正する)。
At this time, each
上記の補正方式は、カメラ31に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて制御装置により第2モータ29を正転、逆転運転する。
In the above correction method, the amount of deviation is calculated by an arithmetic device connected to the
しかして、走行体1を前進走行させながら、テーブル3上のガラス基板Aに昇降手段24により下降させてあるカッタ25により切断線を入れる。
Thus, while the traveling body 1 is traveling forward, a cutting line is made by the
なお、切断線は、同様の手順をへて前の切断線間にも単数、複数回入れることができ、又テーブル3と共に保持状態のガラス基板Aを90°旋回させて、直角に交差する切断線を入れることができる。 In addition, the cutting line can be inserted one or more times between the previous cutting lines through the same procedure, and the glass substrate A held with the table 3 is turned by 90 ° to cut at a right angle. You can put a line.
なお、周知のようにガラス基板Aの厚み(板厚)に応じてカッタ25の降下量、すなわちスクライブ深さを決定する。
As is well known, the lowering amount of the
また、カッタ25が守備範囲のアライメントマークaに対してアライメントマークaを基準として設定mm移動し、その時のずれ量+mmを記憶し、次に2線目のスクライブマークB位置に移動し、その時のずれ量−mm、3線目のずれ量+mmの各ずれ量を演算装置に送って補正値を演算してスクライブマークB中心値に位置決めできるようにする。
Further, the
すなわち、上記の移動値、ずれ量で各スクライブマークB位置を読み、誤差分の補正値を入れて次にカッタ25を動かすと、スクライブマークBの中心にカメラ31の中心が合うことになる。
That is, when the position of each scribe mark B is read with the above movement value and deviation amount, the correction value for the error is entered, and then the
この考えで各カッタ25の移動値を読み取り、上記の方法で補正をかけることにより、それぞれのカッタ25位置全てがスクライブマークB基準値の位置に位置決めできる。
Based on this idea, the movement value of each
その後再度カッタ25がスクライブマークB位置に移動してその位置でガラス基板Aの1部分にスクライブラインを入れる。
Thereafter, the
なお、上記の条件ができて各カッタ25が1本目のスクライブ完了後実際にスクライブができているかの確認をしてもよい。
Note that it may be confirmed whether the above conditions are satisfied and each
A ガラス基板
a アライメントマーク
B スクライブマーク
C 試し切り線
1 走行体
2 旋回手段
3 テーブル
4 レール
5 スライダ
6 雄ネジ
7 雌ネジ
8 第1モータ
9 ピン
21 水平材
22 レール
23 スライダ
24 昇降手段
25 カッタ
26 横移動手段
27 ラック
28 ベース
29 第2モータ
30 ピニオン
31 カメラ
A glass substrate a alignment mark B scribe mark C trial cutting line 1 traveling
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