JP5492375B2

JP5492375B2 - Glass substrate cutting device

Info

Publication number: JP5492375B2
Application number: JP2007246797A
Authority: JP
Inventors: 孝明白井; 利章生田
Original assignee: 株式会社シライテック
Priority date: 2007-09-25
Filing date: 2007-09-25
Publication date: 2014-05-14
Anticipated expiration: 2027-09-25
Also published as: JP2009073714A

Description

この発明は、大判な液晶パネルなどのガラス基板に製品サイズの小割り用の切断線を同時に多数本入れる切断装置に関する。 The present invention relates to a cutting apparatus for simultaneously putting a large number of cutting lines for product size on a glass substrate such as a large liquid crystal panel.

大判な液晶パネルのガラス基板から一度に多数枚の製品サイズの基板を同時に得ることで生産性を上げることができる。 Productivity can be increased by simultaneously obtaining a large number of product size substrates from a large liquid crystal panel glass substrate at the same time.

上記目的を達成するために、往復走行するテーブル上に大判なガラス基板を載置したのち、テーブルを走行させながら、テーブルの走行路の直上に左右に所定の間隔を在して並ぶ複数のカッタの降下によりガラス基板の表面（上面）に一度に多数条の平行する小割用の切断線を入れる。この小割用切断線は、Ｘ軸方向のみ或いはＸ軸方向及びＹ軸方向に入れる。 In order to achieve the above object, after placing a large glass substrate on a reciprocating table, a plurality of cutters arranged at predetermined intervals on the right and left just above the table traveling path while the table is traveling As a result of the lowering, a plurality of parallel cutting lines for parallel splits are put on the surface (upper surface) of the glass substrate at once. This split cutting line is inserted only in the X-axis direction or in the X-axis direction and the Y-axis direction.

そして、並列各カッタは、製品サイズの寸法に見合うように数値制御により間隔を調整することができるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
特開平１１−３４３１３３号公報 The intervals between the parallel cutters can be adjusted by numerical control so as to meet the product size (see, for example, Patent Document 1).
Japanese Patent Laid-Open No. 11-343133

上記特許文献１の板ガラスの切断方式によると、大判なガラス基板から一度に多数枚の製品サイズの基板を同時に得る切断線を入れて生産性を向上することができる。 According to the cutting method of the plate glass of the said patent document 1, productivity can be improved by putting the cutting line which simultaneously obtains the board | substrate of many product sizes at once from a large-sized glass substrate.

ところで、特許文献１の切断方式では、初期の段階において、マザー基板に試し切り（切断線を入れる）を行ない、試し切りした各切断線がスクライブ位置にあるか、ないかの確認を行ない、切断線がスクライブ位置にない場合カッタの位置調整を行なう。又このカッタの位置調整には、順次ガラス基板を供給して切断線を入れることにより行う。 By the way, in the cutting method of Patent Document 1, in the initial stage, trial cutting (putting a cutting line) is performed on the mother substrate, and it is confirmed whether or not each cutting line that has been trial-cut is at a scribe position. If not at the scribe position, adjust the cutter position. Further, the position of the cutter is adjusted by sequentially supplying glass substrates and inserting cutting lines.

しかしながら、試し切りを行なうと、大判で高額なマザー基板を用いるので、無駄に行なって不必要な出費になる問題が発生した。 However, when trial cutting is performed, a large-sized and expensive mother board is used, which causes a problem of unnecessary use and unnecessary expense.

また、切断線が変更するその都度試し切りを行なうので、大幅な出費になる以外にスクライブ位置の確認作業などにより機械の稼働率が著しく低下する問題もあった。 In addition, since trial cutting is performed each time the cutting line is changed, there is a problem that the operating rate of the machine is remarkably lowered due to the scribe position confirmation work and the like in addition to a large expense.

そこで、この発明は、上述の問題を解消したガラス基板の切断装置を提供することにある。 Then, this invention is providing the cutting device of the glass substrate which eliminated the above-mentioned problem.

上記の課題を解決するために、この発明は、往復走行するように設けた走行体と、この走行体上に旋回手段により平面上で旋回すると共に、載置した大判なガラス基板を保持するように設けたテーブルと、このテーブルの走行路の直上を横切るガイドレールに横移動手段によりそれぞれが左右方向にスライドするように設けた複数のスライダと、この各スライダに昇降手段により昇降するように設けたカッタと、上記各スライダに上記ガラス基板の各スクライブ位置マーク及びアライメントマークを読み取るように搭載したカメラとからなり、上記カメラによるアライメントマークの読み取りにともなう加工ずれ量を旋回手段によりテーブルを旋回させ、又カメラによるスクライブマークと上記カッタでの短い試し切り線との読み取りにともなうスクライブ加工ずれ量を横移動手段により補正位置に上記スライダを移動させるように連動させた構成を採用する。すると、設定された位置の線上に切断を入れることができる。 In order to solve the above-described problems, the present invention is configured so that a traveling body provided so as to reciprocate, and a swiveling means on the traveling body are swung on a plane and a large glass substrate placed thereon is held. A plurality of sliders provided on the guide rail that crosses directly above the travel path of the table so that each of the sliders slides to the left and right by the lateral movement means, and the sliders are provided to be raised and lowered by the lifting means. And a camera mounted on each slider so as to read each scribe position mark and alignment mark on the glass substrate, and the table is swung by swiveling means for the amount of processing deviation accompanying the reading of the alignment mark by the camera. Also, along with the reading of the scribe mark by the camera and the short trial cut line with the above cutter By the lateral moving means starts selling scribing shift amount to employ a configuration in which in conjunction to move the slider to the correction position. Then, a cut can be made on the line at the set position.

以上のように、この発明のガラス基板の切断装置によれば、カメラによってアライメントマークの読み取りにともなうガラス基板の左右両辺縁に対する加工ずれ量を、旋回手段によりテーブルを旋回させて補正し、又カッタを降下し、かつテーブルを若干走行させてガラス基板に入れた短い試し切り線とスクライブマークとをカメラによってそれぞれ読み取り、読み取りにともなうスクライブマークに対する試し切り線とのずれ量を、横移動手段によりスライダを左又は右方向にスライドさせて補正するので、マザー基板を用いての試し切りが不要になる。 As described above, according to the glass substrate cutting device of the present invention, the amount of processing deviation relative to the left and right edges of the glass substrate when the alignment mark is read by the camera is corrected by turning the table by the turning means. The short trial cut line and the scribe mark placed on the glass substrate are read by the camera by moving the table slightly, and the amount of deviation from the trial cut line with respect to the scribe mark due to the reading is determined by the horizontal movement means. Alternatively, the correction is performed by sliding in the right direction, so that trial cutting using the mother board is not necessary.

このため、大判で高価なマザー基板を使用したための無駄な出費をなくすることができると共に、試し切りと、その後のスクライブ位置の確認のために発生した機械の大幅な稼働率が低下するような問題もなくすることができる。 For this reason, it is possible to eliminate wasteful expenses due to the use of a large and expensive mother board, and to reduce the significant operating rate of the machine generated for trial cutting and subsequent confirmation of the scribe position. Can be lost.

以下、この発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.

この発明の実施形態では、図１から図６に示すように、往復走行する走行体１上には、旋回手段２により平面上で旋回するとと共に、載置した大判なガラス基板Ａを保持するテーブル３が設けてある。 In the embodiment of the present invention, as shown in FIGS. 1 to 6, on the traveling body 1 that reciprocates, a table that holds a large glass substrate A that is placed on the plane by the turning means 2 while being turned on a plane. 3 is provided.

上記走行体１の往復走行は、図示の場合、敷設した二条のレール４に走行体１の両側下面に設けてあるスライダ５をスライド自在に係合すると共に、レール４間に配置して両端を回動自在に軸承した雄ネジ６に走行体１の下面に取り付けてある雌ネジ７をねじ込み、第１モータ８の運転により雄ネジ６を可逆駆動して走行体１を前後方向に走行させるようにしたが、限定されず、その他の構成により前後方向に走行させてもよい。 In the case of the reciprocating travel of the traveling body 1, in the illustrated case, the sliders 5 provided on the lower surfaces on both sides of the traveling body 1 are slidably engaged with the laid two rails 4, and the both ends are disposed between the rails 4. The female screw 7 attached to the lower surface of the traveling body 1 is screwed into the male screw 6 that is pivotally supported, and the male screw 6 is reversibly driven by the operation of the first motor 8 so that the traveling body 1 travels in the front-rear direction. However, the present invention is not limited, and the vehicle may travel in the front-rear direction using other configurations.

上記の旋回手段２は、図示の場合、走行体１上に可逆モータを据え付けて、この可逆モータの出力軸をテーブル３の下面中心に固定したが、限定されない。 In the illustrated case, the revolving means 2 has a reversible motor installed on the traveling body 1 and the output shaft of the reversible motor is fixed to the center of the lower surface of the table 3, but is not limited thereto.

上記テーブル３上に載置するガラス基板Ａの保持は、テーブル３をボックスとしてボックス内を吸引し、ボックスの頂壁に多数の連通小孔３５を設けて、吸引により保持するようにしてある。 The glass substrate A placed on the table 3 is held by sucking the inside of the box using the table 3 as a box, and providing a number of small communication holes 35 on the top wall of the box, and holding them by suction.

その際、テーブル３上の１つのコーナーを挟む二辺のピン９にガラス基板Ａの辺縁を当接させて位置決めするようにしてある。 At that time, the edge of the glass substrate A is brought into contact with the two pins 9 sandwiching one corner on the table 3 so as to be positioned.

さらに、テーブル３の走行路を横切る水平材２１の両端間にガイドレール２２を設けて、このガイドレール２２に複数のスライダ２３をスライド自在に係合し、この各スライダ２３には、シリンダなどの昇降手段２４により昇降するカッタ２５が設けてある。 Further, guide rails 22 are provided between both ends of the horizontal member 21 that crosses the travel path of the table 3, and a plurality of sliders 23 are slidably engaged with the guide rails 22, and each slider 23 has a cylinder or the like. A cutter 25 that moves up and down by the lifting means 24 is provided.

そして、各スライダ２３は、横移動手段２６により単独に左右方向に移動できるようになっている。 Each slider 23 can be independently moved in the left-right direction by the lateral movement means 26.

上記の横移動手段２６は、図示の場合、水平材２１の略全長にラック２７を敷設して、各スライダ２３のベース２８に据え付けてある第２モータ２９の出力軸に固定したピニオン３０を噛み合わせ、第２モータ２９の可逆運転によりスライダ２３を左方向、右方向にスライドさせるようにしてある。 In the illustrated case, the lateral movement means 26 lays a rack 27 over substantially the entire length of the horizontal member 21 and bites a pinion 30 fixed to the output shaft of the second motor 29 installed on the base 28 of each slider 23. In addition, the slider 23 is slid leftward and rightward by the reversible operation of the second motor 29.

そして各カッタ２５の近傍には、ベース２８に据え付けたカメラ３１が設けてある。 In the vicinity of each cutter 25, a camera 31 installed on the base 28 is provided.

このカメラ３１は、横移動手段２６により両サイドのスライダ２３をガラス基板Ａの上面両側角のアライメントマークａの位置に移動させて、アライメントマークａを読み取り、又ガラス基板Ａの上面に設けてあるスクライブマークＢ及び各カッタ２５によりガラス基板Ａの辺縁部上面に入れた短い試し切り線Ｃを読み取る。
図中４１はカッタ２５の昇降をガイドするガイド手段である。 The camera 31 is provided on the upper surface of the glass substrate A by reading the alignment mark a by moving the sliders 23 on both sides to the positions of the alignment marks a on both sides of the upper surface of the glass substrate A by the lateral movement means 26. A short trial cut line C placed on the upper surface of the edge of the glass substrate A is read by the scribe mark B and each cutter 25.
In the figure, reference numeral 41 denotes guide means for guiding the raising and lowering of the cutter 25.

上記のように構成すると、テーブル３上に液晶パネルのガラス基板Ａを載置し、走行体１を往復走行させて、カメラ３１によりガラス基板Ａの四角のアライメントマークＢを読み取り、読み取りにともなう加工ずれ量をカメラ３１に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて制御装置により旋回手段２を運転してテーブル３を時計、反時計方向に補正量に応じた角度旋回させる。 If comprised as mentioned above, the glass substrate A of a liquid crystal panel is mounted on the table 3, the traveling body 1 is reciprocated, the square alignment mark B of the glass substrate A is read with the camera 31, and the process accompanying reading is carried out. The amount of deviation is calculated by an arithmetic unit connected to the camera 31, and the turning means 2 is operated by the control device based on the calculation to turn the table 3 clockwise and counterclockwise at an angle corresponding to the correction amount. .

また、ガラス基板Ａに対向する両側二辺の縁間にカッタ２５により切断線を入れる（スクライブ）前に、まずテーブル３と共に保持ガラス基板Ａを若干前方に走行させる。 In addition, the holding glass substrate A is first moved slightly forward together with the table 3 before a cutting line is made by the cutter 25 between the edges of the two sides facing the glass substrate A (scribing).

このとき、昇降手段２４により各カッタ２５を降下させて図４に示すガラス基板Ａの必要とする辺縁部の表面に印刷してある各スクライブマークＢの手前の（スライブマークＢから外れた）部分に図５や図６に示す短い試し切り線Ｃを入れ、試し切り線Ｃを入れたのち、昇降手段２４により各カッタ２５を上昇復帰させる。 At this time, each cutter 25 is lowered by the elevating means 24 and is in front of each scribe mark B printed on the surface of the edge portion required of the glass substrate A shown in FIG. 4 (disengaged from the scribe mark B). A short trial cut line C shown in FIG. 5 and FIG. 6 is put in the part, and after the trial cut line C is put, each cutter 25 is raised and returned by the lifting means 24.

このとき、各カメラ３１によってスクライブマークＢと試し切り線Ｃとを読み取り、読み取りにともなう試し切り線ＣがスクライブマークＢの設定された正規の位置（図５に示す）にあるか、図６に示すように不正規の位置にあるかを検知し、検知にともなう不正規の位置にカッタ２５のスライダ２３を横移動手段２６により（第２モータ２９の運転により）ずれ量に見合う修正をして正規の位置に微動させる（補正する）。 At this time, each camera 31 reads the scribe mark B and the trial cut line C, and whether the trial cut line C associated with the reading is at a normal position (shown in FIG. 5) where the scribe mark B is set, as shown in FIG. The slider 23 of the cutter 25 is corrected to the amount of deviation by the lateral movement means 26 (by the operation of the second motor 29) at the irregular position accompanying the detection. Slightly move (correct) the position.

上記の補正方式は、カメラ３１に接続された演算装置によりずれ量を計算し、その計算にもとづいて制御装置により第２モータ２９を正転、逆転運転する。 In the above correction method, the amount of deviation is calculated by an arithmetic device connected to the camera 31, and the second motor 29 is rotated forward and backward by the control device based on the calculation.

しかして、走行体１を前進走行させながら、テーブル３上のガラス基板Ａに昇降手段２４により下降させてあるカッタ２５により切断線を入れる。 Thus, while the traveling body 1 is traveling forward, a cutting line is made by the cutter 25 that is lowered by the elevating means 24 on the glass substrate A on the table 3.

なお、切断線は、同様の手順をへて前の切断線間にも単数、複数回入れることができ、又テーブル３と共に保持状態のガラス基板Ａを９０°旋回させて、直角に交差する切断線を入れることができる。 In addition, the cutting line can be inserted one or more times between the previous cutting lines through the same procedure, and the glass substrate A held with the table 3 is turned by 90 ° to cut at a right angle. You can put a line.

なお、周知のようにガラス基板Ａの厚み（板厚）に応じてカッタ２５の降下量、すなわちスクライブ深さを決定する。 As is well known, the lowering amount of the cutter 25, that is, the scribe depth is determined according to the thickness (plate thickness) of the glass substrate A.

また、カッタ２５が守備範囲のアライメントマークａに対してアライメントマークａを基準として設定ｍｍ移動し、その時のずれ量＋ｍｍを記憶し、次に２線目のスクライブマークＢ位置に移動し、その時のずれ量−ｍｍ、３線目のずれ量＋ｍｍの各ずれ量を演算装置に送って補正値を演算してスクライブマークＢ中心値に位置決めできるようにする。 Further, the cutter 25 moves with respect to the alignment mark a in the defensive range by the set mm with reference to the alignment mark a, stores the deviation amount + mm at that time, and then moves to the position of the scribe mark B on the second line. Each deviation amount of deviation amount −mm and third line deviation amount + mm is sent to the arithmetic unit to calculate a correction value so that the scribe mark B center value can be positioned.

すなわち、上記の移動値、ずれ量で各スクライブマークＢ位置を読み、誤差分の補正値を入れて次にカッタ２５を動かすと、スクライブマークＢの中心にカメラ３１の中心が合うことになる。 That is, when the position of each scribe mark B is read with the above movement value and deviation amount, the correction value for the error is entered, and then the cutter 25 is moved, the center of the camera 31 is aligned with the center of the scribe mark B.

この考えで各カッタ２５の移動値を読み取り、上記の方法で補正をかけることにより、それぞれのカッタ２５位置全てがスクライブマークＢ基準値の位置に位置決めできる。 Based on this idea, the movement value of each cutter 25 is read and corrected by the above method, whereby all the positions of the respective cutters 25 can be positioned at the position of the scribe mark B reference value.

その後再度カッタ２５がスクライブマークＢ位置に移動してその位置でガラス基板Ａの１部分にスクライブラインを入れる。 Thereafter, the cutter 25 is moved again to the position of the scribe mark B, and a scribe line is inserted into a portion of the glass substrate A at that position.

なお、上記の条件ができて各カッタ２５が１本目のスクライブ完了後実際にスクライブができているかの確認をしてもよい。 Note that it may be confirmed whether the above conditions are satisfied and each cutter 25 is actually scribed after the first scribe is completed.

この発明の実施形態を示す平面図。The top view which shows embodiment of this invention. 同上の側面図。Side view same as above. 同要部を示す縦断拡大側面図。The longitudinal cross-section enlarged side view which shows the principal part. ガラス基板の平面図。The top view of a glass substrate. 試し切り線とスクライブマークとの関係を示す拡大平面図。The enlarged plan view which shows the relationship between a trial cut line and a scribe mark. 試し切り線とスクライブマークとの関係を示す拡大平面図。The enlarged plan view which shows the relationship between a trial cut line and a scribe mark.

符号の説明Explanation of symbols

Ａガラス基板
ａアライメントマーク
Ｂスクライブマーク
Ｃ試し切り線
１走行体
２旋回手段
３テーブル
４レール
５スライダ
６雄ネジ
７雌ネジ
８第１モータ
９ピン
２１水平材
２２レール
２３スライダ
２４昇降手段
２５カッタ
２６横移動手段
２７ラック
２８ベース
２９第２モータ
３０ピニオン
３１カメラ A glass substrate a alignment mark B scribe mark C trial cutting line 1 traveling body 2 turning means 3 table 4 rail 5 slider 6 male screw 7 female screw 8 first motor 9 pin 21 horizontal member 22 rail 23 slider 24 lifting means 25 cutter 26 horizontal Moving means 27 Rack 28 Base 29 Second motor 30 Pinion 31 Camera

Claims

往復走行するように設けた走行体と、この走行体上に旋回手段により平面上で旋回すると共に、載置した大判なガラス基板を保持するように設けたテーブルと、このテーブルの走行路の直上を横切るガイドレールに横移動手段によりそれぞれが左右方向にスライドするように設けた複数のスライダと、この各スライダに昇降手段により昇降するように設けたカッタと、上記各スライダに上記ガラス基板の各スクライブ位置マーク及びアライメントマークを読み取るように搭載したカメラとからなり、上記カメラによるアライメントマークの読み取りにともなう加工ずれ量を旋回手段によりテーブルを旋回させ、又カメラによるスクライブマークと上記カッタでの短い試し切り線との読み取りにともなうスクライブ加工ずれ量を横移動手段により補正位置に上記スライダを移動させるように連動させたことを特徴とするガラス基板の切断装置。 A traveling body provided so as to reciprocate, a table provided on the traveling body so as to turn on a plane by a turning means and to hold a large glass substrate placed thereon, and directly above the traveling path of the table A plurality of sliders provided on the guide rail that crosses each side by means of lateral movement means, a cutter provided on each of the sliders to be raised and lowered by the raising and lowering means, and each slider on each of the glass substrates. It consists of a camera mounted so as to read the scribe position mark and alignment mark, and the table is swung by the turning means for the amount of processing deviation accompanying the reading of the alignment mark by the camera, and a short trial cut with the camera scribe mark and the cutter The amount of misalignment in scribing due to line reading is Cutting apparatus for a glass substrate, characterized in that in conjunction to move the slider to the correction position.