JP5491777B2 - フレア補正方法およびフレア補正プログラム - Google Patents
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Description
図1は、第1の実施の形態に係るフレア補正装置の構成を示す図である。フレア補正装置1は、フレアの影響を解消するパターン補正(フレア補正)を行うコンピュータなどの装置である。
そして、パターン密度は、ラインアンドスペースパターン3の配置周期に対応するよう高低が繰り返されている。
つぎに、図16〜図18を用いてこの発明の第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態では、レイアウトデータ4の中からクリティカルパターンを抽出し、抽出したクリティカルパターンを用いて基準フレア値を算出する。
つぎに、図19〜図22を用いてこの発明の第3の実施の形態について説明する。第3の実施の形態では、レイアウトデータ4の中からパターンエッジを抽出し、抽出したパターンエッジを用いてパターンエッジ占有率を算出する。そして、算出したパターンエッジ占有率を用いて基準フレア値を算出する。
Claims (8)
- パターンデータに対応するフレア値のパターンデータ上での分布をフレアマップとして算出するフレアマップ算出ステップと、
前記フレアマップを用いて、所定のフレア値を有したパターンの前記パターンデータ上での占有率をフレア値占有率としてフレア値毎に算出する占有率算出ステップと、
前記フレア値占有率の分布に基づいて、フレア値の基準とする基準フレア値を決定する基準決定ステップと、
前記基準フレア値でのパターン補正量をパターン補正量の最小値に設定するとともに、前記最小値をパターン補正量の基準値として、前記フレア値に応じたパターン補正を行うパターン補正ステップと、
を含むことを特徴とするフレア補正方法。 - 前記フレア値占有率は、所定のフレア値を有したパターンの前記パターンデータの全面積に対するパターン面積占有率であることを特徴とする請求項1に記載のフレア補正方法。
- 前記フレア値占有率は、所定のフレア値を有したパターンの前記パターンデータの全パターンエッジ長に対するパターンエッジ長占有率であることを特徴とする請求項1に記載のフレア補正方法。
- 前記フレア値占有率は、前記フレア基準値の変化に対するパターン補正量の変化率もしくは補正量そのものを用いて算出した値であることを特徴とする請求項1に記載のフレア補正方法。
- 前記基準フレア値は、前記フレア値占有率の分布内で占有率が最も高いフレア値であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1つに記載のフレア補正方法。
- 前記基準フレア値は、前記パターン補正前後の面積変化総量が最小となるよう決定されることを特徴とする請求項4に記載のフレア補正方法。
- パターンデータに対応するフレア値のパターンデータ上での分布であるフレアマップを用いて、所定のフレア値を有したパターンの前記パターンデータ上での占有率をフレア値占有率としてフレア値毎に算出する占有率算出ステップと、
前記フレア値占有率の分布に基づいて、フレア値の基準とする基準フレア値を決定する基準決定ステップと、
前記基準フレア値でのパターン補正量をパターン補正量の最小値に設定するとともに、前記最小値をパターン補正量の基準値として、前記フレア値に応じたパターン補正を行うパターン補正ステップと、
をコンピュータに実行させることを特徴とするフレア補正プログラム。 - 前記基準フレア値は、前記フレア値占有率の分布内で占有率が最も高いフレア値であることを特徴とする請求項7に記載のフレア補正プログラム。
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