JP2012164767A - フレアの予測方法、フォトマスクの製造方法、半導体装置の製造方法及びフレアの予測プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フォトリソグラフィにおけるフレアの予測方法であって、パターンレイアウトのパターン密度分布を求める工程S14と、パターン密度分布の変化の傾きを求める工程S15と、パターン密度分布の変化の傾きに基づく複数の区画サイズでフレア計算を行う工程S16〜S19とを備える。
【選択図】図2
Description
Tb=Ta−Tc+Td
となる。このようにして求めたトータル値Tbを平均化する。図4に示した例では、計算領域103bのメッシュ数が25なので、平均値は(Tb/25)となる。このような計算を行うことで、平均化処理の計算時間を短縮することが可能である。
100…密度マップ 101a、101b…着目点
102a、102b…円領域 103a、103b…計算領域
104c、104d…領域
Claims (8)
- フォトリソグラフィにおけるフレアの予測方法であって、
パターンレイアウトのパターン密度分布を求める工程と、
前記パターン密度分布の変化の傾きを求める工程と、
前記パターン密度分布の変化の傾きに基づく複数の区画サイズでフレア計算を行う工程と、
を備えたことを特徴とするフレアの予測方法。 - 前記フレア計算は、前記パターン密度分布の変化の傾きが小さい領域ほど前記区画サイズを大きくして行われる
ことを特徴とする請求項1に記載のフレアの予測方法。 - 前記フレア計算は、着目点からの距離が遠くなるほど値が小さくなる傾向を表す関数と前記パターンレイアウトのパターン密度分布とのコンボルーションによって行われる
ことを特徴とする請求項1に記載のフレアの予測方法。 - 前記関数は、フレアのPSF(Point Spread Function)である
ことを特徴とする請求項3に記載のフレアの予測方法。 - 前記パターン密度分布は、移動平均処理によって求められる
ことを特徴とする請求項1に記載のフレアの予測方法。 - 請求項1に記載の方法に基づくフレアの予測結果を反映させてフォトマスクを作製する工程を備えた
ことを特徴とするフォトマスクの製造方法。 - 請求項6の方法によって製造されたフォトマスクのパターンを半導体基板上に転写する工程を備えた
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - フォトリソグラフィにおけるフレアの予測プログラムであって、
コンピュータに、
パターンレイアウトのパターン密度分布を求める手順と、
前記パターン密度分布の変化の傾きを求める手順と、
前記パターン密度分布の変化の傾きに基づく複数の区画サイズでフレア計算を行う手順と、
を実行させるためのフレアの予測プログラム。
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