JP5491435B2 - 計測装置 - Google Patents
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Description
(第1の配置パターン)第1の基準ミラー180、第2の基準ミラー181及び第3の基準ミラー182の全ての法線が保持面102を含む面に対して45°となるように配置する場合:6.7×104mm2
(第2の配置パターン)第1の基準ミラー180、第2の基準ミラー181及び第3の基準ミラー182の全ての法線が保持面102を含む面に対して30°となるように配置する場合:4.8×104mm2
第1の配置パターンに比べて、第2の配置パターンは、基準ミラーの有効面積を約30%低減することができる。高い精度が要求される基準ミラーは高価であるため、有効面積を低減することによって計測装置1のコストを抑えることができる。このように、被検物103(被検面103a)の計測範囲を限定することができる場合には、保持面102を含む面に対する基準ミラーの法線の角度を適切に設定するとよい。
具体的には、S3では、Z軸ステージ131を駆動して(即ち、計測ヘッド141Aを駆動して)、被検面103aに接触部材311が接触するまで計測ヘッド141Aを駆動(下降)する。S4では、変位センサ321からの出力をモニターし、計測ヘッド141Aと被検面103aとの距離が所定の距離となるように、Z軸ステージ131を駆動(下降)する。S5では、第1のレーザ干渉計160、第2のレーザ干渉計161及び第3のレーザ干渉計162のそれぞれの測定値を式2に代入して、計測ヘッド141Aの基準点142の位置(座標)を求める。そして、計測ヘッド141Aの基準点142の位置変化量322と、基準点142の位置とを処理部209のメモリに保存する。
Claims (7)
- 被検物の被検面の形状を計測する計測装置であって、
前記被検物を保持する保持面を含む保持部と、
前記被検面の形状を計測するための基準となる基準位置を含み、前記被検面と前記基準位置との間の距離を計測する距離計測部と、
前記基準位置が前記被検面に沿うように前記距離計測部を駆動する駆動部と、
前記駆動部によって駆動される前記距離計測部の前記基準位置を測定する位置測定部と、
前記距離計測部によって計測された前記被検面と前記基準位置との間の距離と前記位置測定部によって測定された前記基準位置とに基づいて前記被検面の形状を算出する処理部と、
を有し、
前記位置測定部は、
前記距離計測部に配置されて互いに異なる測定軸を有する第1のレーザ干渉計、第2のレーザ干渉計及び第3のレーザ干渉計と、
前記第1のレーザ干渉計、前記第2のレーザ干渉計及び前記第3のレーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射する第1の反射ミラー、第2の反射ミラー及び第3の反射ミラーと、
前記第1の反射ミラー、前記第2の反射ミラー及び前記第3の反射ミラーで反射されて前記測定軸に沿って入射するそれぞれの光を反射して、前記測定軸に沿って前記第1の反射ミラー、前記第2の反射ミラー及び前記第3の反射ミラーに導く第1の基準ミラー、第2の基準ミラー及び第3の基準ミラーとを含み、
前記第1の基準ミラー、前記第2の基準ミラー及び前記第3の基準ミラーで反射されたそれぞれの光は、前記第1の反射ミラー、前記第2の反射ミラー及び前記第3の反射ミラーを介して、前記第1のレーザ干渉計、前記第2のレーザ干渉計及び前記第3のレーザ干渉計に戻り、
前記第1のレーザ干渉計の原点と前記第1の基準ミラーとの間の距離、前記第2のレーザ干渉計の原点と前記第2の基準ミラーとの間の距離及び前記第3のレーザ干渉計の原点と前記第3の基準ミラーとの間の距離を測定することで前記基準位置を測定し、
前記第1の基準ミラー、前記第2の基準ミラー及び前記第3の基準ミラーは、前記第1の基準ミラー、前記第2の基準ミラー及び前記第3の基準ミラーの法線が前記保持面を含む面に交差するように配置されており、
前記第1のレーザ干渉計、前記第2のレーザ干渉計及び前記第3のレーザ干渉計の測定軸の延長線が前記基準位置で交差することを特徴とする計測装置。 - 前記距離計測部は、前記被検面と前記基準位置とが非接触の状態で前記被検面と前記基準位置との間の距離を計測する非接触式の計測ヘッドを含むことを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 前記距離計測部は、前記被検面と前記基準位置を含む基準部材とが接触した状態で前記被検面と前記基準位置との間の距離を計測する接触式の計測ヘッドを含むことを特徴とする請求項1に記載の計測装置。
- 前記第1の基準ミラー、前記第2の基準ミラー及び前記第3の基準ミラーは、前記第1の基準ミラー、前記第2の基準ミラー及び前記第3の基準ミラーの法線が互いに直交するように配置されていることを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記第1の反射ミラー、前記第2の反射ミラー及び前記第3の反射ミラーが前記距離計測部に取り付けられていることを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記駆動部は、前記距離計測部を互いに直交するX方向、Y方向及びZ方向に駆動し、
前記第1の基準ミラー、前記第2の基準ミラー及び前記第3の基準ミラーは、前記第1の基準ミラーの法線ベクトルが(1/√6,1/√2,−1/√3)を満たし、前記第2の基準ミラーの法線ベクトルが(−√(2/3),0,−1/√3)を満たし、前記第3の基準ミラーの法線ベクトルが(1/√6,−1/√2,−1/√3)を満たすように配置されていることを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に計測装置。 - 前記第1の基準ミラー、前記第2の基準ミラー及び前記第3の基準ミラーは、前記第1のレーザ干渉計、前記第2のレーザ干渉計及び前記第3のレーザ干渉計のそれぞれからの光をそれぞれ反射するための正方形形状の反射面を有し、前記反射面の対角線のうち1つの対角線が前記保持面に直交するように配置されていることを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の計測装置。
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