JP5489614B2 - 光学部材の製造方法 - Google Patents
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上記の実施例において、多結晶シリコンの溶融凝固体を製造する際に使用する容器に、石英製のその内面を窒化ケイ素で表面処理した坩堝を用いた。機械加工性と赤外線領域の光学特性の共に良好であり、表1に結果を示す。
実施例1において、CVD法の多結晶シリコンロッドの製造において、シリコン析出原料のトリクロロシランの代わりにモノシランを用い、その析出温度を800〜900℃とした以外は同様にして多結晶シリコンの溶融凝固体を製造した。機械加工性と赤外線領域の光学特性の共に良好であり、表1に結果を示す。
上記の実施例のCVD法で製造した多結晶シリコンロッドを、FZ装置を用いて溶融凝固して単結晶化し、多結晶シリコンの溶融凝固体を製造した。FZ炉内をアルゴンガスで十分に置換し、アルゴンガス雰囲気下、多結晶シリコンを溶融凝固して単結晶の引上げ操作をした。得られた単結晶性の多結晶シリコンの溶融凝固体は、機械加工性と赤外線領域の光学特性の共に良好であり、表1に結果を示す。
上記の実施例に記載のアズグロウンの多結晶シリコンについて、赤外線線領域の光学特性は良好であったが、機械加工特性の試験では割れが発生して厚み5mmの円板は1枚も取れず、機械加工性は不良であった(表1参照)。
上記の実施例において、多結晶シリコンの溶融凝固体を製造する際に使用する容器として石英製の坩堝を用いた。機械加工特性は良好であったが、遠赤線外領域の9μmの赤外線透過率が低く、光学特性は不良であった(表1参照)。
Claims (2)
- 化学蒸着法により製造された多結晶シリコンを、酸素を含まない不活性ガス雰囲気下、又は、真空下で溶融後、凝固することを特徴とする、酸素含有量が10ppma以下の多結晶シリコン凝固体からなる光学部材の製造方法。
- 光学部材が、赤外線透過用光学部材である請求項1に記載の光学部材。
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