JP5488191B2 - Chemical processing equipment - Google Patents
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Description
本発明は、フレキシブル基板のように極めて薄く柔軟性のある長尺シート状のワークを一定速度で搬送しながら化学処理を行う化学処理装置に係り、特に、ワークにタルミを発生させることなく化学処理が行える化学処理装置の改良に関するものである。 The present invention relates to a chemical processing apparatus that performs chemical processing while conveying an extremely thin and flexible long sheet-like workpiece such as a flexible substrate at a constant speed, and in particular, chemical processing without generating tarmi on the workpiece. It is related with the improvement of the chemical processing apparatus which can perform.
近年、電子機器は極めて薄く柔軟性のあるフレキシブル基板を使用することが多くなってきている。こうしたフレキシブル基板に対応させて、特許文献1には、リールに巻かれた長尺シート状のワーク(基板材料)をその幅方向を上下方向にして(すなわち、ワーク面を垂直方向にして)連続的に供給するワーク供給装置と、上記ワークをその幅方向を上下方向にして連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置との間にメッキ処理槽を配置し、ワーク(基板材料)を長尺シート状のままメッキ処理する装置が提案されている。
In recent years, electronic devices have increasingly used flexible substrates that are extremely thin and flexible. Corresponding to such a flexible substrate,
しかし、特許文献1に記載されたメッキ装置においては、長尺シート状ワーク(基板材料)の上端のみをクランプしながら搬送を行う構造になっているため、上記ワークの幅が広くかつ厚みが極めて薄い場合にはワークの搬送を行う工程あるいはメッキ処理を行う工程の際にワークにタルミが発生し、ワークの幅方向を上下方向にしながら安定して搬送することが困難となる問題点を有していた。
However, since the plating apparatus described in
そこで、本出願人は、長尺シート状ワーク(基板材料)の上端に加えて長尺シート状ワークの下端をもクランプしながら搬送するワーク搬送装置が付設された化学処理装置を提案している(特許文献2参照)。 In view of this, the present applicant has proposed a chemical processing apparatus provided with a work transfer device for transferring while clamping the lower end of the long sheet-like workpiece in addition to the upper end of the long sheet-like workpiece (substrate material). (See Patent Document 2).
すなわち、本出願人が提案した化学処理装置は、リールに巻かれた長尺シート状のワークをその幅方向を上下方向にして連続的に供給するワーク供給装置と、上記ワークをその幅方向を上下方向にして連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置と、上記ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつその幅方向を上下方向にして搬送される上記ワークに対し化学処理を行う化学処理槽とを具備する化学処理装置であって、上記ワークの化学処理槽搬入時にワークの上端および下端をそれぞれクランプする上下端搬送クランプ群を有しかつ上下端搬送クランプ群は独立駆動される一対のエンドレスベルトにそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワークをクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送すると共に、上記ワークの化学処理槽搬出時に上下端搬送クランプが順次開放されて化学処理されたワークのみをその幅方向を上下方向にしてワーク巻取装置のリールに巻き取らせるワーク搬送装置が設けられていることを特徴とするものであった。 That is, the chemical processing apparatus proposed by the present applicant includes a workpiece supply device that continuously feeds a long sheet-shaped workpiece wound on a reel with its width direction set up and down, and the workpiece in the width direction. Chemical treatment for the workpiece winding device that is continuously wound on a reel in the vertical direction, and the workpiece that is disposed between the workpiece supply device and the workpiece winding device and that is conveyed with its width direction being the vertical direction A chemical treatment tank having a top and bottom conveyance clamp group that clamps the upper and lower ends of the workpiece when the workpiece is loaded into the chemical treatment tank, and the upper and lower conveyance clamp groups are independently driven. A pair of endless belts are attached at equal intervals, and the workpiece is conveyed with its width direction being set up and down while clamping the workpiece for each fixed size. A workpiece transfer device is provided in which the upper and lower transfer clamps are sequentially opened at the time of carrying out the chemical treatment tank and only the workpiece that has been chemically processed is wound up on the reel of the workpiece take-up device with its width direction set to the vertical direction. Was.
そして、ワーク搬送装置が付設された上記化学処理装置によれば、長尺シート状ワークの上端および下端をそれぞれクランプしながら搬送する構造になっているため、上記ワークの幅が広くかつ厚みが極めて薄い場合でも、ワーク搬送を行う工程あるいは化学処理を行う工程の際にワークにタルミが発生し難くなる利点を有するものであった。特に、上方側に配置された上側エンドレスベルトに上端搬送クランプ群が固定して取付けられ、下方側に配置された下側エンドレスベルトに下端搬送クランプ群が鉛直方向へ移動可能な状態で取付けられる構造にした場合、下端搬送クランプ群の自重により鉛直方向へ力を作用させながら上記ワークが搬送されることになるため、更にワークにタルミが発生し難くなってワークの幅方向を上下方向にしながら安定して搬送できる利点を有するものであった。 And according to the said chemical processing apparatus with which the workpiece conveyance apparatus was attached, since it has the structure conveyed while clamping the upper end and lower end of a long sheet-like workpiece, respectively, the width | variety of the said workpiece | work is wide, and thickness is extremely Even when the workpiece is thin, there is an advantage that it is difficult for the workpiece to be damaged during the step of carrying the workpiece or the step of performing the chemical treatment. In particular, a structure in which the upper end transport clamp group is fixedly attached to the upper endless belt disposed on the upper side, and the lower end transport clamp group is mounted on the lower endless belt disposed on the lower side so as to be movable in the vertical direction. In this case, the workpiece is transported while applying a force in the vertical direction due to the weight of the lower-end transport clamp group. Thus, it has the advantage that it can be conveyed.
但し、特許文献2に記載された化学処理装置においては、ワークに作用する鉛直方向への力が上記下端搬送クランプ群の自重により決まってしまうため、化学処理槽内において上下端搬送クランプ群やワーク等に大きな浮力が作用するような場合、ワークタルミを防止する最適な力が得られなくなることがあり、未だ改善の余地を残していた。 However, in the chemical processing apparatus described in Patent Document 2, the force in the vertical direction acting on the workpiece is determined by the weight of the lower end conveyance clamp group. When a large buoyancy acts on the surface, it may not be possible to obtain the optimum force to prevent work tarmi, and there is still room for improvement.
また、従来よりも幅が更に広くかつ厚みが更に薄いワークを搬送させるような場合、ワークに対し下端方向からの引っ張り力を作用させただけでは上記ワークタルミを完全に解消させることは困難であった。 Also, when transporting a workpiece that is wider and thinner than conventional ones, it is difficult to completely eliminate the workpiece tarmi by simply applying a tensile force from the lower end direction to the workpiece. It was.
本発明はこのような問題点に着目してなされたもので、その課題とするところは、ワークに作用する鉛直方向への力が任意に調整できる化学処理装置を提供し、長尺シート状ワークの幅が更に広くかつ厚みが更に薄い場合でもワークタルミを発生させることなく安定して化学処理が行える化学処理装置を提供することにある。 The present invention has been made paying attention to such problems, and the object of the present invention is to provide a chemical processing apparatus capable of arbitrarily adjusting the vertical force acting on the workpiece, and to provide a long sheet-like workpiece. It is an object of the present invention to provide a chemical processing apparatus capable of stably performing chemical processing without generating work tarmi even when the width of the substrate is wider and thinner.
すなわち、請求項1に係る発明は、
リールに巻かれた長尺シート状のワークをその幅方向を上下方向にして連続的に供給するワーク供給装置と、上記ワークをその幅方向を上下方向にして連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置と、上記ワーク供給装置とワーク巻取装置との間に配置されかつその幅方向を上下方向にして搬送される上記ワークに対し化学処理を行う化学処理槽と、上記ワークの化学処理槽搬入時にワークの上端および下端をそれぞれクランプする上下端搬送クランプ群を有しかつ上下端搬送クランプ群は独立駆動される一対のエンドレスベルトにそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワークをクランプしながらその幅方向を上下方向にして搬送すると共に上記ワークの化学処理槽搬出時に上下端搬送クランプが順次開放されて化学処理されたワークのみをその幅方向を上下方向にして上記ワーク巻取装置のリールに巻き取らせるワーク搬送装置とを備える化学処理装置において、
上方側に配置された上側エンドレスベルトに上記上端搬送クランプ群が固定して取付けられ、下方側に配置された下側エンドレスベルトに上記下端搬送クランプ群が鉛直方向へ移動可能に取り付けられると共に、上記下側エンドレスベルトと各下端搬送クランプとの間には各下端搬送クランプを鉛直下方向へ向けて付勢する付勢手段が設けられていることを特徴とし、
また、請求項2に係る発明は、
請求項1に記載の発明に係る化学処理装置において、
上記下側エンドレスベルトに着脱可能に取り付けられる上側部材並びに下側部材と、上記上側部材と下側部材間に設けられた隙間を上下方向へ移動すると共に上記下端搬送クランプが固定されるスライドブロックと、上側部材とスライドブロックとの隙間に設けられかつ上記スライドブロックを上側部材側から下側部材側へ向けて付勢する圧縮バネと、上記上側部材と下側部材間の上記隙間に設けられかつ圧縮バネとスライドブロックを案内するためのシャフトとで上記付勢手段が構成されていることを特徴とする。
That is, the invention according to
A workpiece supply device that continuously feeds a long sheet-shaped workpiece wound around a reel with its width direction set up and down, and a workpiece winding that winds the workpiece continuously around the reel with its width direction set up and down A chemical treatment tank that performs chemical treatment on the workpiece that is disposed between the workpiece take-up device, the workpiece supply device, and the workpiece winding device and that is conveyed with its width direction being the vertical direction, and a chemical treatment bath for the workpiece It has upper and lower end conveyance clamp groups that clamp the upper and lower ends of the workpiece at the time of loading, and the upper and lower end conveyance clamp groups are attached to a pair of independently driven endless belts at equal intervals to clamp the workpiece for each fixed size. While the workpiece is transported with its width direction set up and down, the upper and lower end transport clamps are opened sequentially when the workpiece is unloaded in the chemical treatment tank. In the chemical treatment system and a workpiece transfer device for wound on the reel of the work take-up device with its width direction in the vertical direction,
The upper end transport clamp group is fixedly attached to the upper endless belt disposed on the upper side, and the lower end transport clamp group is attached to the lower endless belt disposed on the lower side so as to be movable in the vertical direction. A biasing means is provided between the lower endless belt and each lower end transport clamp to bias each lower end transport clamp in a vertically downward direction.
The invention according to claim 2
In the chemical processing apparatus according to the invention of
An upper member and a lower member that are detachably attached to the lower endless belt, and a slide block that moves up and down a gap provided between the upper member and the lower member and to which the lower end conveyance clamp is fixed. A compression spring provided in a gap between the upper member and the slide block and biasing the slide block from the upper member side toward the lower member side; and provided in the gap between the upper member and the lower member; The urging means is composed of a compression spring and a shaft for guiding the slide block.
次に、請求項3に係る発明は、
請求項1または2に記載の発明に係る化学処理装置において、
上記上端搬送クランプにおける一対のクランプ先端が断面略J字形状の弾性材料により構成され、ワークの上端をクランプしたときにクランプ先端が弾性変形してワークの上端を鉛直上方向へ引き上げる構造になっていることを特徴とし、
請求項4に係る発明は、
請求項1、2または3に記載の発明に係る化学処理装置において、
上記化学処理槽に搬入されかつ搬出される上端搬送クランプ群の化学処理槽内における搬送位置を、上端搬送クランプ群の搬入前と搬出後における搬送基準位置より上方側へ変位させる変位レールが化学処理槽内に設けられ、ワークの上端に張りを与えながらワークが化学処理槽内を搬送される構造になっていることを特徴とするものである。
Next, the invention according to claim 3 is
In the chemical processing apparatus according to the invention of
A pair of clamp tips in the upper end transport clamp is made of an elastic material having a substantially J-shaped cross section, and when the upper end of the workpiece is clamped, the clamp tip is elastically deformed to pull up the upper end of the workpiece vertically upward. It is characterized by
The invention according to
In the chemical processing apparatus according to the invention of
A displacement rail that displaces the transfer position in the chemical treatment tank of the upper end transfer clamp group carried into and out of the chemical treatment tank upward from the transfer reference position before and after the upper end transfer clamp group is carried in is chemically processed. It is provided in the tank, and the work is transported through the chemical processing tank while applying tension to the upper end of the work.
上記ワーク搬送装置が付設された請求項1〜2に係る化学処理装置によれば、
上方側に配置された上側エンドレスベルトに上端搬送クランプ群が固定して取付けられ、下方側に配置された下側エンドレスベルトに下端搬送クランプ群が鉛直方向へ移動可能に取り付けられると共に、上記下側エンドレスベルトと各下端搬送クランプとの間には各下端搬送クランプを鉛直下方向へ向けて付勢する付勢手段が設けられていることから、ワークに作用させる鉛直方向への力に関し、下端搬送クランプ群の自重による作用に加えて上記付勢手段の付勢力をも作用させることができるため、ワークに作用させる鉛直方向への力を任意に調整することが可能となる。
According to the chemical processing apparatus according to
The upper end conveyance clamp group is fixedly attached to the upper endless belt arranged on the upper side, and the lower end conveyance clamp group is attached to the lower endless belt arranged on the lower side so as to be movable in the vertical direction. Since an urging means is provided between the endless belt and each lower-end conveyance clamp to urge each lower-end conveyance clamp vertically downward, the lower-end conveyance is related to the vertical force acting on the workpiece. Since the urging force of the urging means can be applied in addition to the action due to the weight of the clamp group, the force in the vertical direction applied to the workpiece can be arbitrarily adjusted.
従って、長尺シート状ワークの幅が更に広くかつ厚みが更に薄くなるような場合でも、ワークの搬送を行う工程あるいは化学処理を行う工程の際にワークタルミが発生し難くなるため、ワークの幅方向を上下方向にしながら安定して搬送することが可能となる。 Accordingly, even when the width of the long sheet-like workpiece is wider and the thickness is further reduced, it is difficult for workpiece tarmi to occur during the workpiece transfer process or the chemical treatment process. It becomes possible to convey stably while keeping the direction up and down.
特に、請求項3〜4に係る化学処理装置によれば、
上記上端搬送クランプ群の作用によりワーク上端が鉛直上方向へ引き上げられ、かつ、上記下端搬送クランプ群の作用によりワーク下端が鉛直下方向へ引き下げられる構造になっていることから、上記長尺シート状ワークはその幅方向を上下方向とした両端が引っ張られた状態で搬送されることになるため、ワークタルミが更に発生し難くなってワークの搬送並びに化学処理を更に安定して行なうことが可能となる。
In particular, according to the chemical processing apparatus according to claims 3 to 4,
The upper end of the workpiece is pulled up vertically by the action of the upper end transport clamp group, and the lower end of the work is pulled down vertically by the action of the lower end transport clamp group. Since the workpiece is transported in a state where both ends of the width direction are pulled up and down, workpiece tarmi is less likely to occur, and it is possible to perform workpiece transportation and chemical treatment more stably. Become.
次に、本発明の実施の形態について図面を参照し詳細に説明する。 Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
尚、図1は本発明に係る化学処理装置の側面図、図2はその平面図を示しており、また、図3は上記化学処理装置に組み込まれたワーク搬送装置の上端クランプが開放された状態を示す説明図、図4は上記ワーク搬送装置の下端搬送クランプが開放された状態を示す説明図、図5はワークの上端および下端がワーク搬送装置の上下端搬送クランプにそれぞれクランプされて搬送される状態を示す説明図である。 FIG. 1 is a side view of the chemical processing apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a plan view thereof, and FIG. 3 is a diagram illustrating that the upper end clamp of the workpiece transfer apparatus incorporated in the chemical processing apparatus is opened. FIG. 4 is an explanatory view showing a state in which the lower end conveyance clamp of the workpiece conveying device is opened, and FIG. 5 is an example in which the upper end and the lower end of the workpiece are clamped by the upper and lower end conveying clamps of the workpiece conveying device. It is explanatory drawing which shows the state performed.
まず、本発明に係る化学処理装置は、図1および図2に示すようにリールに巻かれた長尺シート状のワーク1をその幅方向を上下方向にして連続的に供給するワーク供給装置2と、上記ワーク1をその幅方向を上下方向にして連続的にリールに巻き取るワーク巻取装置3と、上記ワーク供給装置2とワーク巻取装置3との間に配置されて上記ワーク1に対しメッキ等の化学処理を行う化学処理槽4と、この化学処理槽4内に未処理のワーク1をその幅方向を上下方向にして搬入しかつ処理後のワーク1をその幅方向を上下方向にして搬出するワーク搬送装置20とでその主要部が構成されている。
First, a chemical processing apparatus according to the present invention is a work supply apparatus 2 that continuously supplies a long sheet-
すなわち、リールに巻かれた長尺シート状のワーク1を供給するワーク供給装置2と、このワーク1をリールに巻き取るワーク巻取装置3と、これ等ワーク供給装置2とワーク巻取装置3間に配置された化学処理槽4を備えており、この化学処理槽4は必要な工程に応じ複数の槽により構成されている。また、ワーク1はその幅方向を上下方向にしてワーク供給装置2からワーク巻取装置3へ連続して搬送されるため、上記化学処理槽4への搬入時にワーク1の上端と下端をそれぞれクランプしながら搬送するワーク搬送装置20が設けられている。
That is, a workpiece supply device 2 for supplying a long sheet-
このワーク搬送装置20は、ワーク1上端をクランプする複数の上端搬送クランプ5並びにワーク1下端をクランプする複数の下端搬送クランプ6と、ゴムが被覆された上側プーリー101と所定距離を介し対向配置された上側プーリー121との間に巻回され上記上端搬送クランプ5群が取付けられる上側エンドレスベルト81と、ゴムが被覆された下側プーリー102と所定距離を介し対向配置された下側プーリー122との間に巻回され上記下端搬送クランプ6群が取付けられる下側エンドレスベルト82と、上記上側プーリー101と下側プーリー102にそれぞれ設けられて上側エンドレスベルト81と下側エンドレスベルト82とを独立駆動する上下独立した一対のサーボモータ91、92と、上記エンドレスベルト81、82の近傍に付設されかつ各エンドレスベルトに設けられたマーク(図示せず)を検知して各エンドレスベルトの移動量をそれぞれに検出する光電センサー11と、上記上側プーリー101と下側プーリー102の外周面近傍に沿って設けられかつ上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群に付帯されたローラー21、22(図3および図4参照)が接触するタイミングで上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群の各クランプが開放される円弧形状の当て板7を備えている。
The
そして、上記ワーク1の化学処理槽4搬入時に、上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群に付帯されたローラー21、22が上記当て板7に押し当てられて開放されていた各クランプが、ローラー21、22と当て板7との接触が終了して各クランプが閉止するタイミングで、ワーク供給装置2からその幅方向を上下方向にして供給されてきたワーク1の上端および下端を上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群とで滑らかにクランプすると共に、上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群は独立駆動される一対のエンドレスベルト81、82にそれぞれ等間隔で取付けられて定寸毎に上記ワーク1をクランプしながらその幅方向を上下方向にして化学処理槽4内に搬入させる。
Then, when the
また、化学処理された上記ワーク1の化学処理槽4搬出時には、上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群に付帯されたローラー21、22が上記当て板7に順次押し当てられて各クランプが開放され、化学処理されたワーク1のみがその幅方向を上下方向にしてワーク巻取装置3のリールに巻き取られる。
When the chemically treated
尚、上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群が取付けられた上端エンドレスベルト81と下端エンドレスベルト82は、独立駆動する上下独立したサーボモータ91、92とこれ等サーボモータ91、92に直結されたゴム被覆の上側プーリー101と下側プーリー102によって滑り無く回転し、かつ、各エンドレスベルトに設けられた上記マークが光電センサー11により検出されて各エンドレスベルトの移動量に変換され、この移動量に基づき上下独立したサーボモータ91、92により上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群の搬送速度が制御されて、上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群が同期しながら上記ワーク1を搬送することが可能となる。
The upper end
ところで、上側エンドレスベルト81に取付けられる上端搬送クランプ5群と下側エンドレスベルト82に取付けられる下端搬送クランプ6群との間隔を、長尺シート状ワーク1の幅寸法に対応させて機械的に一定の間隔に配置させることは機械組立精度上困難である。このため、上端搬送クランプ5群に関しては、図3に示すように止め具200を用いて上側エンドレスベルト81に上端搬送クランプ5群を固定し搬送中の基準位置とし、上端搬送クランプ5群がゴム被覆の上側プーリー101位置に搬送されたときには、上側プーリー101に設けられた溝13により位置規制して上側プーリー101搬送中の基準位置とするようになっている。他方、下側エンドレスベルト82に取付けられる下端搬送クランプ6群に関しては、上記ワーク1に作用させる鉛直方向への力を任意に調整できるようにするため、図4に示すように下側エンドレスベルト82に対し下端搬送クランプ6群が鉛直方向へ移動可能に取付けられており、かつ、上記下側エンドレスベルト82と各下端搬送クランプ6との間には各下端搬送クランプ6を鉛直下方向へ向けて付勢する以下の付勢手段が設けられている。すなわち、図4と図5に示すように、上記付勢手段は、下側エンドレスベルト82の上端側と下端側に止め具200を用いて着脱可能に取り付けられた上側部材30a並びに下側部材30aと、上側部材30aと下側部材30a間の隙間を上下方向へ移動すると共に上記下端搬送クランプ6が固定されるスライドブロック31と、上側部材30aとスライドブロック31との隙間に設けられかつ上記スライドブロック31を上側部材30a側から下側部材30a側へ向けて付勢する圧縮バネ30と、上記上側部材30aと下側部材30a間の上記隙間に設けられかつ圧縮バネ30とスライドブロック31を案内するためのシャフト32とで構成されており、上記上側部材30aとスライドブロック31との隙間に設けられる圧縮バネ30の種類を適宜変更することで上記ワーク1に作用させる鉛直方向への力を任意に調整することが可能となる。
By the way, the interval between the upper
尚、図4と図5においては、上側部材30aと下側部材30aがそれぞれ板状の別部材で構成され、別部材の上記上側部材30aを取り外すことにより圧縮バネ30の交換が可能となるようになっているが、必ずしもこのような構造に限定されることはなく、例えば、帯状板材とその両端側から上側部材30a側に向けて延びる一対の板材とでコ字形状の下側部材30aを形成し、かつ、コ字形状の下側部材30aと板状の上側部材30aとで中央に矩形状開口部を有する額縁状の取付け材としてもよく、かつ、額縁状の取付け材の下側部材30aのみが下側エンドレスベルト82の下端側に止め具200を用いて着脱可能に取り付けられる構造としてもよい。
In FIGS. 4 and 5, the
また、上記長尺シート状ワーク1の幅方向両端が上端搬送クランプ5群と下端搬送クランプ6群により引っ張られた状態で搬送されるようにするため、上端搬送クランプ5における一対のクランプ先端を図3に示すように断面略J字形状の弾性材料により構成し、長尺シート状ワーク1の上端をクランプしたときに上記クランプ先端が弾性変形してワーク1の上端を鉛直上方向へ引き上げる構造にしてもよい。更に、上記長尺シート状ワーク1の上端に張りを与えながらワーク1が化学処理槽4内を搬送されるようにするため、上記化学処理槽4に搬入されかつ搬出される上端搬送クランプ5群の化学処理槽4内における搬送位置を、上端搬送クランプ5群の搬入前と搬出後における搬送基準位置より上方側へ変位させる変位レール40(図5参照)を化学処理槽4内に設ける構造にしてもよい。尚、化学処理槽4内に変位レール40を設ける場合、変位レール40を複数のレールで構成し、上端搬送クランプ5群の搬入前と搬出後における搬送基準位置と変位レール40による搬送位置との変位がスムーズになされるように調整することが好ましく、かつ、変位レール40の高さ方向の位置をボルト等により適宜調整して長尺シート状ワーク1の上端に張りを与えながらワーク1が化学処理槽4内を搬送されるようにすることが望ましい。
In addition, in order for the both ends of the long sheet-
上述した構成を採ることで、長尺シート状ワーク1搬送時におけるワーク1上端の位置が上端搬送クランプ5群により決定され、ワーク1の幅にならいながら下端搬送クランプ6群が上記ワーク1に対し鉛直下方向に力を作用させ、かつ、ワーク1の幅方向を上下方向とした両端に張りを与えながらワーク1の搬送を行うことができるため、ワーク搬送時におけるワークタルミを解消させることが可能となる。但し、ワーク1が存在しないクランプ開始前の下端搬送クランプ6群に関しては下端搬送クランプ6群の位置を決める必要があるため、図4に示すように下端搬送クランプ6群には専用のベアリング14が備えられており、下端搬送クランプ6群の位置を決めるための位置きめ板15がクランプ開始前の下端クランプ位置に付帯されている。
By adopting the above-described configuration, the position of the upper end of the
本発明に係る化学処理装置によれば、長尺シート状ワーク上端と下端がそれぞれクランプされると共に、少なくともワーク下端側が適正な引っ張り力により鉛直下方向へ引っ張られた状態で搬送される構造になっているため、ワーク幅が広くかつ厚みが極めて薄い場合でもワークタルミを発生させること無く安定してワークの搬送並びに化学処理を行なうことが可能となる。従って、フレキシブル基板のメッキ等の化学処理装置に用いられる産業上の利用可能性を有している。 According to the chemical treatment apparatus of the present invention, the upper and lower ends of the long sheet-like workpiece are clamped, and at least the lower end side of the workpiece is transported in a state of being pulled vertically downward by an appropriate pulling force. Therefore, even when the workpiece width is wide and the thickness is very thin, it is possible to stably carry the workpiece and perform chemical treatment without generating workpiece tarmi. Therefore, it has industrial applicability used for chemical processing apparatuses such as plating of flexible substrates.
1 ワーク
2 ワーク供給装置
3 ワーク巻取装置
4 化学処理槽
5 上端搬送クランプ
6 下端搬送クランプ
7 当て板
11 光電センサー
13 溝
14 ベアリング
15 位置決め板
20 ワーク搬送装置
21 ローラー
22 ローラー
30 圧縮バネ
30a 上側部材、下側部材
31 スライドブロック
32 シャフト
40 複数に分割された搬送レール
81 上側エンドレスベルト
82 下側エンドレスベルト
91 サーボモータ
92 サーボモータ
101 ゴムが被覆された上側プーリー
102 ゴムが被覆された下側プーリー
121 上側プーリー
122 下側プーリー
200 止め具
DESCRIPTION OF
Claims (4)
上方側に配置された上側エンドレスベルトに上記上端搬送クランプ群が固定して取付けられ、下方側に配置された下側エンドレスベルトに上記下端搬送クランプ群が鉛直方向へ移動可能に取り付けられると共に、上記下側エンドレスベルトと各下端搬送クランプとの間には各下端搬送クランプを鉛直下方向へ向けて付勢する付勢手段が設けられていることを特徴とする化学処理装置。 A workpiece supply device that continuously feeds a long sheet-shaped workpiece wound around a reel with its width direction set up and down, and a workpiece winding that winds the workpiece continuously around the reel with its width direction set up and down A chemical treatment tank that performs chemical treatment on the workpiece that is disposed between the workpiece take-up device, the workpiece supply device, and the workpiece winding device and that is conveyed with its width direction being the vertical direction, and a chemical treatment bath for the workpiece It has upper and lower end conveyance clamp groups that clamp the upper and lower ends of the workpiece at the time of loading, and the upper and lower end conveyance clamp groups are attached to a pair of independently driven endless belts at equal intervals to clamp the workpiece for each fixed size. While the workpiece is transported with its width direction set up and down, the upper and lower end transport clamps are opened sequentially when the workpiece is unloaded in the chemical treatment tank. In the chemical treatment system and a workpiece transfer device for wound on the reel of the work take-up device with its width direction in the vertical direction,
The upper end transport clamp group is fixedly attached to the upper endless belt disposed on the upper side, and the lower end transport clamp group is attached to the lower endless belt disposed on the lower side so as to be movable in the vertical direction. A chemical processing apparatus, characterized in that an urging means is provided between the lower endless belt and each lower end conveyance clamp for urging each lower end conveyance clamp vertically downward.
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JP2010111068A JP5488191B2 (en) | 2010-05-13 | 2010-05-13 | Chemical processing equipment |
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