JP5486702B2 - Method for producing liquid repellent resin sheet - Google Patents

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Description

本発明は、撥液性樹脂シートの製造方法、導光板の製造方法、撥液性樹脂シートの製造装置及び導光板の製造システムに関する。   The present invention relates to a liquid repellent resin sheet manufacturing method, a light guide plate manufacturing method, a liquid repellent resin sheet manufacturing apparatus, and a light guide plate manufacturing system.

所定の面に撥液処理を施す技術として、大気圧プラズマを利用した方法が知られている。例えば、特許文献１では、パーフルオロカーボン（PFC : Perfluorocarbon）及びヘリウムを含む雰囲気ガス中において、大気圧プラズマを発生させてガラス表面を撥液処理する技術が開示されている。この特許文献１記載の技術では、大気圧プラズマを発生させるために電極に供給する電力は、電力密度が３０Ｗ／ｃｍ２〜１００Ｗ／ｃｍ２程度となる電力である。 As a technique for applying a liquid repellent treatment to a predetermined surface, a method using atmospheric pressure plasma is known. For example, Patent Document 1 discloses a technique for repelling a glass surface by generating atmospheric pressure plasma in an atmospheric gas containing perfluorocarbon (PFC) and helium. In this technology described in Patent Document 1, electric power supplied to the electrodes for generating an atmospheric pressure plasma is the power the power density is 30W / cm 2 ~100W / cm 2 approximately.

特開２００６−３５０１７９号公報JP 2006-350179 A

特許文献１に記載の条件を樹脂シートの撥液処理に適用しようとすると、樹脂シートが損傷しやすい。   When trying to apply the conditions described in Patent Document 1 to the liquid repellent treatment of a resin sheet, the resin sheet is easily damaged.

そこで、本発明は、大気圧プラズマを利用して撥液処理を施しながら損傷を回避可能な撥液性樹脂シートの製造方法、導光板の製造方法、撥液性樹脂シート、撥液処理装置、及び導光板の製造システムを提供することを目的とする。   Therefore, the present invention provides a liquid repellent resin sheet manufacturing method, a light guide plate manufacturing method, a liquid repellent resin sheet, a liquid repellent treatment apparatus, capable of avoiding damage while performing liquid repellent treatment using atmospheric pressure plasma, And it aims at providing the manufacturing system of a light-guide plate.

本発明の一側面に係る撥液性樹脂シートの製造方法は、撥液処理が施された面を有する撥液性樹脂シートを製造する方法であって、対向して配置された一対の電極間に大気圧プラズマを雰囲気ガス中で発生させることによって、一対の電極間に配置される樹脂シートの主面に、大気圧プラズマによって撥液処理を施す工程を有する。上記電極には、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力が供給される。また、上記雰囲気ガスは、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含む。 A method for producing a liquid-repellent resin sheet according to one aspect of the present invention is a method for producing a liquid-repellent resin sheet having a surface subjected to a liquid-repellent treatment, between a pair of electrodes arranged facing each other. In addition, by generating atmospheric pressure plasma in the atmospheric gas, the main surface of the resin sheet disposed between the pair of electrodes is subjected to a liquid repellent treatment by atmospheric pressure plasma. To the electrode, the power corresponding to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 is supplied. The atmospheric gas contains argon and perfluorocarbon.

この方法では、上記電極には、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力が供給されると共に、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含む雰囲気ガスという条件の下で大気圧プラズマが生成される。その結果、樹脂シートに撥液処理を施しても、樹脂シートが損傷しにくい。 In this method, the electrode, together with the power corresponding to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 is supplied, the atmospheric pressure plasma is generated under the condition that an atmosphere gas containing argon and perfluorocarbons The As a result, even if the resin sheet is subjected to a liquid repellent treatment, the resin sheet is hardly damaged.

一実施形態において、撥液処理を施す工程は、第１の一対の電極間に樹脂シートを搬送しながら樹脂シートの主面に大気圧プラズマによって第１の撥液処理を施す工程と、樹脂シートの搬送方向において第１の一対の電極の下流側に配置された第２の一対の電極間に樹脂シートを搬送しながら主面に大気圧プラズマによって第２の撥液処理を施す工程とを有し得る。この形態では、樹脂シートの搬送方向において第１の一対の電極と、第２の一対の電極との間から第１の一対の電極間と、第２の一対の電極間に前記雰囲気ガスを供給する。   In one embodiment, the step of applying the liquid repellent treatment includes the step of applying the first liquid repellent treatment by atmospheric pressure plasma to the main surface of the resin sheet while conveying the resin sheet between the first pair of electrodes, and the resin sheet. Performing a second liquid repellent treatment by atmospheric pressure plasma on the main surface while transporting the resin sheet between the second pair of electrodes disposed on the downstream side of the first pair of electrodes in the transport direction. Can do. In this embodiment, the atmospheric gas is supplied between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes from between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes in the transport direction of the resin sheet. To do.

この場合、主面に第１の撥液処理を施した後に、主面に第２の撥液処理を施すので、主面に所望の撥液性を付与できる。更に、第１の一対の電極と、第２の一対の電極との間から第１の一対の電極間と、第２の一対の電極間に雰囲気ガスを供給するので、主面に撥液処理を均一に施し得る。   In this case, since the main surface is subjected to the second liquid repellent treatment after the first liquid repellent treatment is performed, desired liquid repellency can be imparted to the main surface. Furthermore, since atmospheric gas is supplied between the first pair of electrodes and between the first pair of electrodes and between the second pair of electrodes, the liquid repellent treatment is applied to the main surface. Can be applied uniformly.

樹脂シートの搬送方向において第１の一対の電極と、第２の一対の電極との間から第１の一対の電極間と、第２の一対の電極間に雰囲気ガスを供給する形態では、撥液処理を施す工程において、複数の樹脂シートを第１の一対の電極間及び第２の一対の電極間に順に搬送しながら、複数の樹脂シートの各々の主面に第１の撥液処理及び第２の撥液処理を施してもよい。   In the form in which the atmospheric gas is supplied between the first pair of electrodes and between the first pair of electrodes and between the second pair of electrodes in the transport direction of the resin sheet, In the step of performing the liquid treatment, the first liquid repellent treatment and the main surface of each of the plurality of resin sheets are conveyed while sequentially transferring the plurality of resin sheets between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes. A second liquid repellent treatment may be performed.

複数の樹脂シートを搬送しながら主面に撥液処理する場合においても、第１の一対の電極と、第２の一対の電極との間から第１の一対の電極間と、第２の一対の電極間に雰囲気ガスを供給しながら、複数の樹脂シートの各々の主面に第１の撥液処理及び第２の撥液処理を施すことで、主面の撥液処理を均一に施し得る。   Even in the case where a liquid repellent treatment is performed on the main surface while conveying a plurality of resin sheets, between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes, between the first pair of electrodes, and the second pair. By supplying the first liquid repellent treatment and the second liquid repellent treatment to each main surface of the plurality of resin sheets while supplying the atmospheric gas between the electrodes, the liquid repellent treatment of the main surface can be uniformly performed. .

上記パーフルオロカーボンの例は４フッ化炭素であり得る。   An example of the perfluorocarbon may be carbon tetrafluoride.

本発明の他の側面は導光板の製造方法に係る。導光板の製造方法は、本発明の一側面に係る上記方法で撥液性樹脂シートを製造する工程と、液体インクを固化させることによって、撥液性樹脂シートにおいて撥液処理が施された主面に、撥液性樹脂シート内を伝搬する光を反射する複数の反射ドットを形成する工程と、を備える。   Another aspect of the present invention relates to a method for manufacturing a light guide plate. The light guide plate manufacturing method includes a step of manufacturing a liquid repellent resin sheet by the above method according to one aspect of the present invention, and a liquid repellent resin sheet subjected to a liquid repellent treatment by solidifying the liquid ink. Forming a plurality of reflective dots that reflect light propagating in the liquid repellent resin sheet on the surface.

この方法では、本発明の一側面に係る上記方法で製造された撥液性樹脂シートにおいて撥液処理された主面に、液体インクを利用して反射ドットを形成する。撥液処理時に、樹脂シートが損傷しにくいので、導光板の製造歩留まりが向上する。撥液処理が施された面に液体インクを利用して反射ドットを形成するので、所望の形状の反射ドットが得られやすい。   In this method, reflective dots are formed using liquid ink on the main surface of the liquid-repellent resin sheet produced by the above-described method according to one aspect of the present invention. Since the resin sheet is hardly damaged during the liquid repellent treatment, the manufacturing yield of the light guide plate is improved. Since the reflective dots are formed using liquid ink on the surface subjected to the liquid repellent treatment, it is easy to obtain reflective dots having a desired shape.

一実施形態では、上記反射ドットを形成する工程は、インクジェット法によって液体インクを撥液処理が施された主面に滴下する工程と、液体インクを固化させる工程と、を有し得る。撥液処理が施された主面に滴下させた液体インクを固化させることによって、反射ドットが得られる。   In one embodiment, the step of forming the reflective dots may include a step of dropping liquid ink on a main surface that has been subjected to a liquid repellent treatment by an inkjet method, and a step of solidifying the liquid ink. Reflective dots are obtained by solidifying the liquid ink dropped onto the principal surface that has been subjected to the liquid repellent treatment.

一実施形態では、上記液体インクは、紫外線硬化インクであり得る。この場合、液体インクを固化させる工程では、液滴インクへの紫外線照射によって液体インクを固化させればよい。   In one embodiment, the liquid ink may be an ultraviolet curable ink. In this case, in the step of solidifying the liquid ink, the liquid ink may be solidified by irradiating the droplet ink with ultraviolet rays.

一実施形態において、上記反射ドットの直径は２０μｍ以上１２０μｍ以下であり得る。   In one embodiment, the reflective dot may have a diameter of 20 μm or more and 120 μm or less.

一実施形態において、上記反射ドットを形成する工程では、複数の反射ドットのうちの隣接する２つの反射ドットの間隔は８０μｍ以上２００μｍ以下であり得る。   In one embodiment, in the step of forming the reflective dots, an interval between two adjacent reflective dots among the plurality of reflective dots may be 80 μm or more and 200 μm or less.

一実施形態において、上記撥液性樹脂シートを製造する工程で製造された撥液性樹脂シートが有する撥液処理された主面の純水に対する接触角が８５°以上１２０°以下であり得る。   In one embodiment, the contact angle with respect to pure water of the liquid repellent main surface of the liquid repellent resin sheet produced in the step of producing the liquid repellent resin sheet may be 85 ° or more and 120 ° or less.

本発明の更に他の側面は、撥液性樹脂シートの製造装置に係る。撥液性樹脂シートの製造装置は、撥液処理が施された面を有する撥液性樹脂シートを製造する装置であって、対向して配置された一対の電極と、一対の電極間に樹脂シートを配置するシート配置部と、一対の電極間に大気圧プラズマを発生させるための電圧を一対の電極に印加する電源と、一対の電極間に雰囲気ガスを供給するガス供給部と、を備える。この装置において、電極には、電源から、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力が供給される。また、上記雰囲気ガスは、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含む。 Still another aspect of the present invention relates to an apparatus for producing a liquid repellent resin sheet. The apparatus for producing a liquid-repellent resin sheet is an apparatus for producing a liquid-repellent resin sheet having a surface subjected to a liquid-repellent treatment, and a pair of electrodes disposed opposite to each other and a resin between the pair of electrodes. A sheet placement section for placing the sheet; a power source for applying a voltage for generating atmospheric pressure plasma between the pair of electrodes to the pair of electrodes; and a gas supply section for supplying an atmospheric gas between the pair of electrodes. . In this apparatus, the electrode, the power source, the power corresponding to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 is supplied. The atmospheric gas contains argon and perfluorocarbon.

この装置では、上記電極には、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力が供給されると共に、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含む雰囲気ガスという条件の下で大気圧プラズマが生成される。その結果、樹脂シートに撥液処理を施しながら樹脂シートが損傷しにくい。 In this apparatus, to the electrode, together with the power corresponding to the power density 1W / cm 2 ~25W / cm 2 is supplied, the atmospheric pressure plasma is generated under the condition that an atmosphere gas containing argon and perfluorocarbons The As a result, the resin sheet is hardly damaged while the liquid repellent treatment is performed on the resin sheet.

一実施形態において、２組の一対の電極を備えてもよい。この形態では、シート配置部は、樹脂シートを搬送する搬送部であり、２組の一対の電極のうち第１の一対の電極と第２の一対の電極とは、搬送部による樹脂シートの搬送方向に沿って離して配置されており、ガス供給部は、搬送方向において、第１の一対の電極と第２の一対の電極との間から雰囲気ガスを第１の一対の電極間及び第２の一対の電極間に供給する。   In one embodiment, two pairs of electrodes may be provided. In this embodiment, the sheet arrangement unit is a conveyance unit that conveys the resin sheet, and the first pair of electrodes and the second pair of electrodes among the two pairs of electrodes are conveyance of the resin sheet by the conveyance unit. The gas supply unit is arranged so as to separate the atmospheric gas from between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes and between the first pair of electrodes and the second pair in the transport direction. Between the pair of electrodes.

この場合、主面に第１の撥液処理を施した後に、主面に第２の撥液処理が施される。そのため、主面に所望の撥液性をより確実に付与できる。更に、第１の一対の電極と、第２の一対の電極との間から第１の一対の電極間と、第２の一対の電極間に雰囲気ガスを供給するので、樹脂シートを搬送しながら主面に撥液処理を施しても、主面に撥液処理を均一に施し得る。   In this case, after the first liquid repellent treatment is performed on the main surface, the second liquid repellent treatment is performed on the main surface. Therefore, desired liquid repellency can be more reliably imparted to the main surface. Furthermore, since atmospheric gas is supplied between the first pair of electrodes and between the first pair of electrodes and between the first pair of electrodes and between the second pair of electrodes, the resin sheet is conveyed. Even if the liquid repellent treatment is applied to the main surface, the liquid repellent treatment can be uniformly applied to the main surface.

本発明の更に他の側面は、導光板の製造システムに係る。この製造システムは、樹脂シートの主面に大気圧プラズマによって撥液処理を施す撥液処理部と、主面に、樹脂シート内を伝搬する光を反射する複数の反射ドットを形成する反射ドット形成部とを備える。この製造システムの上記撥液処理部は、対向して配置された一対の電極と、一対の電極間に樹脂シートを配置するシート配置部と、一対の電極間に大気圧プラズマを発生させるための電圧を一対の電極に印加する電源と、一対の電極間に雰囲気ガスを供給するガス供給部と、を備える。上記電極には、電源から、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力が供給される。上記雰囲気ガスは、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含む。 Still another aspect of the present invention relates to a light guide plate manufacturing system. This manufacturing system includes a liquid-repellent treatment part that performs liquid-repellent treatment on the main surface of a resin sheet by atmospheric pressure plasma, and a reflective dot formation that forms a plurality of reflective dots that reflect light propagating in the resin sheet on the main surface. A part. The liquid-repellent treatment part of the manufacturing system is configured to generate atmospheric pressure plasma between a pair of electrodes arranged opposite to each other, a sheet placement part that places a resin sheet between the pair of electrodes, and the pair of electrodes. A power source that applies a voltage to the pair of electrodes; and a gas supply unit that supplies an atmospheric gas between the pair of electrodes. To the electrode they extend from the power supply, the power corresponding to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 is supplied. The atmospheric gas includes argon and perfluorocarbon.

上記製造システムでは、撥液処理部で撥液処理が施された樹脂シートに反射ドットを形成することで導光板が得られる。撥液処理部が有する上記電極には、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力が供給されると共に、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含む雰囲気ガスという条件の下で大気圧プラズマが生成される。このように生成された大気圧プラズマを利用して樹脂シートに撥液処理を施すので、樹脂シートが損傷しにくい。その結果、導光板の製造歩留まりが向上する。 In the said manufacturing system, a light-guide plate is obtained by forming a reflective dot in the resin sheet in which the liquid-repellent process part performed. To the electrodes of the liquid-repellent treatment unit, together with the power corresponding to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 is supplied, the atmospheric pressure plasma under the condition that an atmosphere gas containing argon and perfluorocarbons Generated. Since the resin sheet is subjected to the liquid repellent treatment using the atmospheric pressure plasma generated in this manner, the resin sheet is hardly damaged. As a result, the manufacturing yield of the light guide plate is improved.

一実施形態において、撥液処理部は、２組の一対の電極を備えてもよい。この形態では、シート配置部は、樹脂シートを搬送する搬送部であり、２組の一対の電極のうち第１の一対の電極と第２の一対の電極とは、搬送部による樹脂シートの搬送方向に沿って離して配置されており、ガス供給部は、搬送方向において、第１の一対の電極と第２の一対の電極との間から雰囲気ガスを第１の一対の電極間及び第２の一対の電極間に供給する。   In one embodiment, the liquid repellent treatment unit may include two pairs of electrodes. In this embodiment, the sheet arrangement unit is a conveyance unit that conveys the resin sheet, and the first pair of electrodes and the second pair of electrodes among the two pairs of electrodes are conveyance of the resin sheet by the conveyance unit. The gas supply unit is arranged so as to separate the atmospheric gas from between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes and between the first pair of electrodes and the second pair in the transport direction. Between the pair of electrodes.

この場合、主面に第１の撥液処理を施した後に、主面に第２の撥液処理が施される。そのため、主面に所望の撥液性をより確実に付与できる。更に、第１の一対の電極と、第２の一対の電極との間から第１の一対の電極間と、第２の一対の電極間に雰囲気ガスを供給するので、樹脂シートを搬送しながら主面に撥液処理を施しても、主面に撥液処理を均一に施し得る。その結果、反射ドットをムラ無く形成しやすい。   In this case, after the first liquid repellent treatment is performed on the main surface, the second liquid repellent treatment is performed on the main surface. Therefore, desired liquid repellency can be more reliably imparted to the main surface. Furthermore, since atmospheric gas is supplied between the first pair of electrodes and between the first pair of electrodes and between the first pair of electrodes and between the second pair of electrodes, the resin sheet is conveyed. Even if the liquid repellent treatment is applied to the main surface, the liquid repellent treatment can be uniformly applied to the main surface. As a result, it is easy to form reflective dots without unevenness.

本発明によれば、大気圧プラズマを利用して撥液処理を施しながら損傷を回避可能な撥液性樹脂シートの製造方法、導光板の製造方法、撥液性樹脂シート、撥液処理装置、及び導光板の製造システムを提供し得る。   According to the present invention, a liquid repellent resin sheet manufacturing method, a light guide plate manufacturing method, a liquid repellent resin sheet, a liquid repellent treatment apparatus capable of avoiding damage while performing liquid repellent treatment using atmospheric pressure plasma, And a light guide plate manufacturing system.

図１は、本発明の一実施形態に係る導光板の製造方法で製造された導光板が適用される透過型画像表示装置の構成を模式的に示す図面である。FIG. 1 is a drawing schematically showing a configuration of a transmissive image display device to which a light guide plate manufactured by a method for manufacturing a light guide plate according to an embodiment of the present invention is applied. 図２は、本発明の一実施形態に係る導光板の製造方法のフローチャートである。FIG. 2 is a flowchart of a method for manufacturing a light guide plate according to an embodiment of the present invention. 図３は、図２に示した導光板の製造方法を実施するための導光板の製造システムのブロック図である。FIG. 3 is a block diagram of a light guide plate manufacturing system for carrying out the light guide plate manufacturing method shown in FIG. 図４は、図３に示した撥液処理部が有する大気圧プラズマ処理装置の構成を示す端面である。FIG. 4 is an end surface showing the configuration of the atmospheric pressure plasma processing apparatus included in the liquid repellent processing section shown in FIG. 図５は、図４に示した第１の電極対の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view of the first electrode pair shown in FIG. 図６は、雰囲気ガスの供給量の一例を説明するための図面である。FIG. 6 is a drawing for explaining an example of the supply amount of the atmospheric gas. 図７（ａ）〜図７（ｃ）は、樹脂シートの搬送状態と雰囲気ガスの流れ状態とを模式的に示す図面である。Fig.7 (a)-FIG.7 (c) are drawings which show typically the conveyance state of a resin sheet, and the flow state of atmospheric gas. 図８は、図３に示した撥液処理部が有する大気圧プラズマ処理装置の他の構成例を示す端面である。FIG. 8 is an end surface showing another configuration example of the atmospheric pressure plasma processing apparatus included in the liquid repellent processing unit shown in FIG. 図９は、インクジェット法により反射ドットを形成する場合の一工程を示す図面である。FIG. 9 is a drawing showing a step in the case of forming reflective dots by the ink jet method. 図１０は、インクジェット法により反射ドットを形成する場合において図５に続く一工程を示す図面である。FIG. 10 is a drawing showing one step following FIG. 5 in the case where reflective dots are formed by the ink jet method.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。同一の要素には同一符号を付する。重複する説明は省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。説明中、「上」、「下」等の方向を示す語は、図面に示された状態に基づいた便宜的な語である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. The same symbols are assigned to the same elements. A duplicate description is omitted. The dimensional ratios in the drawings do not necessarily match those described. In the description, words indicating directions such as “up” and “down” are convenient words based on the state shown in the drawings.

図１は、本発明の一実施形態に係る導光板の製造方法で製造された導光板が適用される透過型画像表示装置の構成の一例を模式的に示す図面である。図１は、透過型画像表示装置の断面形状を示している。   FIG. 1 is a drawing schematically showing an example of a configuration of a transmissive image display device to which a light guide plate manufactured by a method of manufacturing a light guide plate according to an embodiment of the present invention is applied. FIG. 1 shows a cross-sectional shape of a transmissive image display device.

透過型画像表示装置１は、透過型画像表示部２と、図１において透過型画像表示部２の背面側に配置されており面状の光を出射する面光源装置３とを備える。   The transmissive image display device 1 includes a transmissive image display unit 2 and a surface light source device 3 that is disposed on the back side of the transmissive image display unit 2 in FIG. 1 and emits planar light.

透過型画像表示部２は、面光源装置３から出射される光により照明されて画像を表示する。透過型画像表示部２の例は、液晶パネルである。この場合、透過型画像表示装置１０は液晶表示装置（又は液晶テレビ）である。液晶表示パネルの例は、液晶セルの両面に偏光板が配置された偏光板貼合体である。液晶セル及び偏光板としては、従来の液晶表示装置等の透過型画像表示装置で用いられている液晶セル及び偏光板が利用され得る。液晶セルの例は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）型の液晶セルやＳＴＮ（SuperTwisted Nematic）型の液晶セルなどである。   The transmissive image display unit 2 is illuminated with light emitted from the surface light source device 3 and displays an image. An example of the transmissive image display unit 2 is a liquid crystal panel. In this case, the transmissive image display device 10 is a liquid crystal display device (or a liquid crystal television). The example of a liquid crystal display panel is a polarizing plate bonding body by which the polarizing plate is arrange | positioned on both surfaces of a liquid crystal cell. As the liquid crystal cell and the polarizing plate, a liquid crystal cell and a polarizing plate used in a transmissive image display device such as a conventional liquid crystal display device can be used. Examples of the liquid crystal cell include a TFT (Thin Film Transistor) type liquid crystal cell and an STN (SuperTwisted Nematic) type liquid crystal cell.

面光源装置３は、導光板基材としての撥液性樹脂シート１１を有する導光板１０と、撥液性樹脂シート１１の側面１１ｃ近傍に配置された光源部２０と、を備えるエッジライト方式の面光源装置である。   The surface light source device 3 is an edge light type that includes a light guide plate 10 having a liquid repellent resin sheet 11 as a light guide plate base material, and a light source unit 20 disposed in the vicinity of a side surface 11c of the liquid repellent resin sheet 11. It is a surface light source device.

撥液性樹脂シート１１は、平面視形状が略矩形又は略正方形の板状体である。撥液性樹脂シート１１は、対向する一対の主面１１ａ，１１ｂと、主面１１ａ，１１ｂと交差する４つの側面と、を有する。図１には、対向する一対の側面１１ｃ，１１ｄを示している。図１には、４つの側面は、主面１１ａ，１１ｂに直交する形態を例示している。しかしながら、４つの側面は、主面１１ａ，１１ｂと交差していればよい。主面１１ｂは、面状の光を出射する出射面として機能する。よって、主面１１ｂを出射面１１ｂとも称す。主面１１ａは、出射面１１ｂに対して裏側に位置するため、主面１１ａを裏面１１ａとも称す。出射面１１ｂから出射された面状の光は、透過型画像表示部２を照明し、透過型画像表示部２は、その照明光を利用して画像を表示する。   The liquid repellent resin sheet 11 is a plate-like body having a substantially rectangular or square shape in plan view. The liquid repellent resin sheet 11 has a pair of opposing main surfaces 11a and 11b and four side surfaces that intersect the main surfaces 11a and 11b. FIG. 1 shows a pair of opposing side surfaces 11c and 11d. In FIG. 1, the four side surfaces exemplify a form orthogonal to the main surfaces 11a and 11b. However, the four side surfaces only need to intersect the main surfaces 11a and 11b. The main surface 11b functions as an emission surface that emits planar light. Therefore, the main surface 11b is also referred to as an exit surface 11b. Since the main surface 11a is located on the back side with respect to the emission surface 11b, the main surface 11a is also referred to as a back surface 11a. The planar light emitted from the emission surface 11b illuminates the transmissive image display unit 2, and the transmissive image display unit 2 displays an image using the illumination light.

光源部２０は、導光板１０の入射面である側面１１ｃに対向して配置された光源２１を有する。光源２１と側面（入射面）１１ｃとの距離は、通常０．１ｍｍ〜５ｍｍであり、好ましくは２ｍｍ以下、より好ましくは１ｍｍ以下である。光源２１の例は点光源である。点光源の例は、発光ダイオード、ハロゲンランプ及びタングステンランプを含む。発光ダイオードの例は、赤色光、緑色光及び青色光を発光するＲＧＢタイプの発光ダイオードと、青色発光ダイオードに黄色の蛍光体を組み合わせた又は青色発光ダイオードに緑色及び赤色の蛍光体を組み合わせた白色タイプの発光ダイオードとを含む。   The light source unit 20 includes a light source 21 disposed to face the side surface 11 c that is the incident surface of the light guide plate 10. The distance between the light source 21 and the side surface (incident surface) 11c is usually 0.1 mm to 5 mm, preferably 2 mm or less, more preferably 1 mm or less. An example of the light source 21 is a point light source. Examples of point light sources include light emitting diodes, halogen lamps and tungsten lamps. Examples of light emitting diodes are RGB type light emitting diodes that emit red light, green light, and blue light, and white that combines blue light emitting diodes with yellow phosphors or blue light emitting diodes with green and red phosphors. Types of light emitting diodes.

光源２１が点光源である場合、光源部２０は、複数の光源２１を含む。この場合、複数の光源２１は、側面１１ｃにおいて撥液性樹脂シート１１の厚み方向に直交する方向に沿って直線状に配列される。隣り合う光源２１，２１同士の隙間の間隔は、通常１〜２ｍｍである。光源２１は、点光源に限定されず、蛍光管のような線状光源であってもよい。   When the light source 21 is a point light source, the light source unit 20 includes a plurality of light sources 21. In this case, the plurality of light sources 21 are linearly arranged along the direction perpendicular to the thickness direction of the liquid repellent resin sheet 11 on the side surface 11c. The space | interval of the clearance gap between adjacent light sources 21 and 21 is 1-2 mm normally. The light source 21 is not limited to a point light source, and may be a linear light source such as a fluorescent tube.

図１に示した面光源装置３においては、撥液性樹脂シート１１の４つの側面のうち１つの側面１１ｃに対向して光源部２０が設けられている。しかしながら、面光源装置３の構成は、このような構成には限定されない。例えば、撥液性樹脂シート１１の対向する一対の側面１１ｃ，１１ｄ又は４つの側面のうち残りの一対の側面に対して光源部２０が設けられてもよい。或いは、光源部２０は、４つの側面全てに対して設けられてもよい。   In the surface light source device 3 shown in FIG. 1, the light source unit 20 is provided to face one side surface 11 c of the four side surfaces of the liquid repellent resin sheet 11. However, the configuration of the surface light source device 3 is not limited to such a configuration. For example, the light source unit 20 may be provided on the pair of side surfaces 11c and 11d facing the liquid repellent resin sheet 11 or the remaining pair of side surfaces among the four side surfaces. Or the light source part 20 may be provided with respect to all four side surfaces.

導光板１０は、撥液性樹脂シート１１と、撥液性樹脂シート１１の裏面（主面）１１ａ上に設けられた複数の反射ドット１２とを有する。撥液性樹脂シート１１の主成分は、透光性を有する樹脂である。撥液性樹脂シート１１には、光拡散粒子が分散されていてもよい。撥液性樹脂シート１１は、必要により、紫外線吸収剤、熱安定剤、酸化防止剤、耐候剤、光安定剤、蛍光増白剤及び加工安定剤等の各種添加剤を含んでいてもよい。   The light guide plate 10 includes a liquid repellent resin sheet 11 and a plurality of reflective dots 12 provided on the back surface (main surface) 11 a of the liquid repellent resin sheet 11. The main component of the liquid repellent resin sheet 11 is a resin having translucency. Light diffusing particles may be dispersed in the liquid repellent resin sheet 11. The liquid repellent resin sheet 11 may contain various additives such as ultraviolet absorbers, heat stabilizers, antioxidants, weathering agents, light stabilizers, optical brighteners, and processing stabilizers as necessary.

撥液性樹脂シート１１を形成する透光性樹脂材料は、通常、１．４２〜１．７の屈折率を有する。透光性樹脂材料は、例えば、メタクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、スチレン系樹脂、環状オレフィン系樹脂及び非晶性ポリエステルから選ばれる。   The translucent resin material forming the liquid repellent resin sheet 11 usually has a refractive index of 1.42 to 1.7. The translucent resin material is selected from, for example, methacrylic resin, polycarbonate resin, styrene resin, cyclic olefin resin, and amorphous polyester.

撥液性樹脂シート１１の大きさは、導光板１０が搭載される透過型画像表示装置１の大きさに応じて決まる。撥液性樹脂シート１１の大きさの一例は、平面視形状において５００ｍｍ×３００ｍｍ以上である。すなわち、撥液性樹脂シート１１の大きさの一例は、２３インチ以上の透過型画像表示装置１に搭載される導光板１０の大きさである。撥液性樹脂シート１１の大きさの他の例は、平面視形状において２２０ｍｍ×１２０ｍｍ以上である。すなわち、撥液性樹脂シート１１の大きさの他の例は、１０インチ以上の透過型画像表示装置１に搭載される導光板１０の大きさである。撥液性樹脂シート１１の厚さは、０．１〜４０ｍｍ、好ましくは０．３〜３０ｍｍ、より好ましくは１〜１０ｍｍである。撥液性樹脂シート１１の側面１１ｃは、研磨処理等により平滑化されていることが好ましい。   The size of the liquid repellent resin sheet 11 is determined according to the size of the transmissive image display device 1 on which the light guide plate 10 is mounted. An example of the size of the liquid repellent resin sheet 11 is 500 mm × 300 mm or more in a plan view shape. That is, an example of the size of the liquid repellent resin sheet 11 is the size of the light guide plate 10 mounted on the transmissive image display device 1 having a size of 23 inches or more. Another example of the size of the liquid repellent resin sheet 11 is 220 mm × 120 mm or more in a plan view shape. That is, another example of the size of the liquid repellent resin sheet 11 is the size of the light guide plate 10 mounted on the transmissive image display device 1 having a size of 10 inches or more. The thickness of the liquid repellent resin sheet 11 is 0.1 to 40 mm, preferably 0.3 to 30 mm, and more preferably 1 to 10 mm. The side surface 11c of the liquid repellent resin sheet 11 is preferably smoothed by a polishing process or the like.

撥液性樹脂シート１１の裏面１１ａは撥液処理されている。すなわち、裏面１１ａは、撥液性を有する。一実施形態において、裏面１１ａは、例えば、純水を裏面１１ａに滴下して測定した接触角が８５°以上１２０°以下の撥液性を有し得る。ここで例示した接触角はＪＩＳ Ｒ３２５７の静滴法に準じて測定された接触角である。   The back surface 11a of the liquid repellent resin sheet 11 is subjected to a liquid repellent treatment. That is, the back surface 11a has liquid repellency. In one embodiment, the back surface 11a may have liquid repellency, for example, with a contact angle measured by dropping pure water on the back surface 11a of 85 ° to 120 °. The contact angles illustrated here are contact angles measured according to the JIS R3257 sessile drop method.

反射ドット１２は、液体インクを固化することによって形成される。液体インクを固化する方法の例は、液体インクを硬化させる方法及び乾燥させる方法を含む。液体インクの例は、紫外線硬化インク、水性インク及び溶剤インクを含む。紫外線硬化インクを用いる場合、紫外線ランプ（ＵＶランプ）といった紫外線源により紫外線が液体インクに照射されることによって、液体インクが硬化される。これにより、硬化した液体インクからなる反射ドット１２が形成される。インク又は溶剤インクを用いる場合、乾燥装置によりインクが乾燥されて、反射ドット１２が形成される。いずれの種類のインクも、顔料等の微粒子を含んでいてもよいし、必要に応じて、微粒子を含まない透明なものであってもよい。   The reflective dots 12 are formed by solidifying liquid ink. Examples of methods for solidifying liquid ink include methods for curing and drying liquid ink. Examples of liquid inks include UV curable inks, aqueous inks and solvent inks. When ultraviolet curable ink is used, the liquid ink is cured by irradiating the liquid ink with ultraviolet rays from an ultraviolet ray source such as an ultraviolet lamp (UV lamp). Thereby, the reflective dots 12 made of the cured liquid ink are formed. When ink or solvent ink is used, the ink is dried by a drying device, and the reflective dots 12 are formed. Any type of ink may contain fine particles such as pigments, and may be transparent without fine particles, if necessary.

反射ドット１２のドット径の一例は２０μｍ以上１２０μｍ以下である。図１では、複数の反射ドット１２のうち隣接する２つの反射ドット１２の間隔（例えば、隣接する反射ドット１２の中心間の距離）は、一定である。しかしながら、複数の反射ドット１２は、出射面１１ｂから出射される面状の出射光の輝度が均一になるように設計された所定のパターンで形成されていればよい。複数の反射ドット１２のうち任意の隣接する２つの反射ドット１２の間隔の一例は、８０μｍ以上２００μｍ以下であり得る。   An example of the dot diameter of the reflective dots 12 is 20 μm or more and 120 μm or less. In FIG. 1, the interval between two adjacent reflective dots 12 among the plurality of reflective dots 12 (for example, the distance between the centers of the adjacent reflective dots 12) is constant. However, the plurality of reflective dots 12 may be formed in a predetermined pattern designed so that the luminance of the planar emitted light emitted from the emission surface 11b is uniform. An example of an interval between any two adjacent reflective dots 12 among the plurality of reflective dots 12 may be 80 μm or more and 200 μm or less.

導光板１０では、側面１１ｃから導光板１０内に入射した光は、撥液性樹脂シート１１内を全反射によって伝搬する。伝搬中に、反射ドット１２によって反射した光は、全反射条件以外で反射するので、出射面１１ｂから出射される。このように、撥液性樹脂シート１１内を伝搬する光の一部が出射面１１ｂから出射されるので、出射面１１ｂから面状の光が出射される。   In the light guide plate 10, the light incident on the light guide plate 10 from the side surface 11 c propagates through the liquid repellent resin sheet 11 by total reflection. During propagation, the light reflected by the reflective dots 12 is reflected under conditions other than the total reflection condition, and is thus emitted from the emission surface 11b. In this way, part of the light propagating through the liquid repellent resin sheet 11 is emitted from the emission surface 11b, so that planar light is emitted from the emission surface 11b.

図２は、上記導光板１０を製造する方法を示すフローチャートである。図２に示すように、導光板１０を製造する方法は、樹脂シートを製造する樹脂シート製造工程Ｓ１１と、製造された樹脂シートに撥液処理を施す撥液処理工程Ｓ１２と、撥液処理が施された樹脂シートに反射ドットを形成する反射ドット形成工程Ｓ１３とを含む。   FIG. 2 is a flowchart showing a method for manufacturing the light guide plate 10. As shown in FIG. 2, the method of manufacturing the light guide plate 10 includes a resin sheet manufacturing process S11 for manufacturing a resin sheet, a liquid repellent process S12 for performing a liquid repellent process on the manufactured resin sheet, and a liquid repellent process. And a reflective dot forming step S13 for forming the reflective dots on the applied resin sheet.

図３は、図２に示した導光板の製造方法を実現するための導光板の製造システムの一例を示すブロック図である。図３では、製造システム３０の主要な構成をブロックとして模式的に示している。製造システム３０は、樹脂シート製造部３１と、撥液処理部３２と、反射ドット形成部３３と、を含む。   FIG. 3 is a block diagram illustrating an example of a light guide plate manufacturing system for realizing the light guide plate manufacturing method illustrated in FIG. 2. In FIG. 3, the main structure of the manufacturing system 30 is typically shown as a block. The manufacturing system 30 includes a resin sheet manufacturing unit 31, a liquid repellent processing unit 32, and a reflective dot forming unit 33.

樹脂シート製造部３１は、透光性樹脂を主な成分として樹脂シート４０を製造する。すなわち、図３に示した樹脂シート製造部３１は樹脂シート製造工程Ｓ１１を実施する。樹脂シート４０は、シート部材の製造において、通常採用されている方法、例えば、熱プレス法、溶融押出法及び射出成形法等により得ることができる。   The resin sheet manufacturing unit 31 manufactures the resin sheet 40 using a translucent resin as a main component. That is, the resin sheet manufacturing unit 31 shown in FIG. 3 performs the resin sheet manufacturing process S11. The resin sheet 40 can be obtained by a method usually employed in manufacturing a sheet member, for example, a hot press method, a melt extrusion method, an injection molding method, or the like.

溶融押出法で樹脂シートを成形する場合を例にして樹脂シート製造部３１の構成の一例及び樹脂シート製造工程Ｓ１１について説明する。   An example of the configuration of the resin sheet manufacturing unit 31 and the resin sheet manufacturing step S11 will be described by taking as an example the case of molding a resin sheet by the melt extrusion method.

溶融押出法で樹脂シート４０を製造する場合、樹脂シート製造部３１は、ダイが接続された押出機と、一対の押圧ロールとを備え得る。   When manufacturing the resin sheet 40 by the melt extrusion method, the resin sheet manufacturing unit 31 may include an extruder to which a die is connected and a pair of pressing rolls.

この樹脂シート製造部３１により樹脂シートを製造する場合、樹脂シート４０の材料となる樹脂が溶融された溶融樹脂が押出機に供給される。溶融樹脂が供給された押出機は、ダイから溶融樹脂を連続的に押し出すことによって長尺の樹脂シートを形成する。ダイから連続的に押し出された長尺の樹脂シートは、一対の押圧ロールで厚み方向に押圧されることによって厚さなどが調整される。長尺の樹脂シートを所定の長さに切断して複数の樹脂シートを得る。通常、この段階での樹脂シートの大きさは導光板用の樹脂シートより大きい。そこで、複数の樹脂シートを重ねて、外周（すなわち、側面）を切削加工する。この切削加工によって、所望の大きさの複数の樹脂シート４０が得られる。   When a resin sheet is manufactured by the resin sheet manufacturing unit 31, a molten resin obtained by melting a resin that is a material of the resin sheet 40 is supplied to an extruder. The extruder supplied with the molten resin forms a long resin sheet by continuously extruding the molten resin from the die. The long resin sheet continuously extruded from the die is adjusted in thickness and the like by being pressed in the thickness direction by a pair of pressing rolls. A long resin sheet is cut into a predetermined length to obtain a plurality of resin sheets. Usually, the size of the resin sheet at this stage is larger than the resin sheet for the light guide plate. Therefore, a plurality of resin sheets are stacked and the outer periphery (that is, the side surface) is cut. By this cutting process, a plurality of resin sheets 40 having a desired size are obtained.

撥液処理部３２は、樹脂シート製造部３１で製造された樹脂シート４０の一対の主面４０ａ，４０ｂのうち少なくとも一方の主面に撥液処理を施す。すなわち、撥液処理部３２は、図２に示した撥液処理工程Ｓ１２を実施する。撥液処理部３２は、複数の樹脂シート４０を枚葉処理する。   The liquid repellent treatment unit 32 performs liquid repellent treatment on at least one main surface of the pair of main surfaces 40 a and 40 b of the resin sheet 40 manufactured by the resin sheet manufacturing unit 31. That is, the liquid repellent processing unit 32 performs the liquid repellent processing step S12 shown in FIG. The liquid repellent processing unit 32 processes the plurality of resin sheets 40 one by one.

撥液処理部３２は、図４に示した大気圧プラズマ処理装置５０を含む。図４は、大気圧プラズマ処理装置の一例の構成を概略的に示す端面図である。大気圧プラズマ処理装置５０は、撥液性樹脂シートの製造装置である。本明細書において「大気圧」とは、０．８気圧（ａｔｍ）以上１．２気圧（ａｔｍ）以下を意味する。図４では、樹脂シート４０の搬送状態を示すため、樹脂シート４０の移動位置を二点鎖線で示している。他の図についても、同様に、二点鎖線で樹脂シート４０の移動状態を示している。以下では、特に断らない限り、樹脂シート４０の主面４０ａに撥液処理を施す場合について説明する。また、図４の配置状態において、主面４０ａを上面４０ａと称し、主面４０ｂを下面４０ｂと称す。   The liquid repellent processing unit 32 includes the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 shown in FIG. FIG. 4 is an end view schematically showing a configuration of an example of an atmospheric pressure plasma processing apparatus. The atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 is a liquid repellent resin sheet manufacturing apparatus. In this specification, “atmospheric pressure” means 0.8 atm (atm) or more and 1.2 atm (atm) or less. In FIG. 4, in order to show the conveyance state of the resin sheet 40, the movement position of the resin sheet 40 is shown with the dashed-two dotted line. Similarly, the movement state of the resin sheet 40 is also indicated by a two-dot chain line in the other drawings. Below, unless otherwise indicated, the case where the liquid repellent process is performed on the main surface 40a of the resin sheet 40 will be described. In the arrangement state of FIG. 4, the main surface 40a is referred to as an upper surface 40a, and the main surface 40b is referred to as a lower surface 40b.

大気圧プラズマ処理装置５０は、チャンバ部５１と、チャンバ部５１内に収容された第１の電極対５２及び第２の電極対５３と、樹脂シート４０を搬送する搬送部としての複数の搬送ローラ５４と、第１及び第２の電極対５２，５３に交流電圧を印加する電源５５と、チャンバ部５１に雰囲気ガスＧを供給するガス供給部５６と、を含む。   The atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 includes a chamber 51, a first electrode pair 52 and a second electrode pair 53 accommodated in the chamber 51, and a plurality of transport rollers as a transport unit that transports the resin sheet 40. 54, a power supply 55 that applies an alternating voltage to the first and second electrode pairs 52 and 53, and a gas supply unit 56 that supplies the atmospheric gas G to the chamber unit 51.

チャンバ部５１は、チャンバ部５１内で撥液処理を実施するための撥液処理空間５１１を内側に有する。   The chamber part 51 has a liquid repellent treatment space 511 for performing a liquid repellent process in the chamber part 51 inside.

チャンバ部５１の側壁には、搬送ローラ５４により搬送される樹脂シート４０を、チャンバ部５１に搬入するための搬入口５１ａとチャンバ部５１内から撥液処理が施された樹脂シート４０、すなわち、撥液性樹脂シート１１を搬出するための搬出口５１ｂとが形成されている。   On the side wall of the chamber portion 51, the resin sheet 40 transported by the transport roller 54 is transported into the chamber portion 51 and the resin sheet 40 subjected to the liquid repellent treatment from the inside of the chamber portion 51, that is, A carry-out port 51b for carrying out the liquid repellent resin sheet 11 is formed.

チャンバ部５１の上壁５１２には、第１の電極対（第１の一対の電極）５２を構成する一対の電極５２１，５２２のうちの電極５２１と、第２の電極対（第２の一対の電極）５３を構成する一対の電極５３１，５３２のうちの電極５３１とが設けられている。電極５２１，５３１は、上壁５１２に形成された凹部に取り付けられ得る。電極５３１は、樹脂シート４０の搬送方向（図４の白抜き矢印の方向）において、電極５２１から離れている。チャンバ部５１の下壁５１３には、電極５２１，５３１に対向して電極５２２，５３２がそれぞれ設けられている。電極５２２，５３２は、下壁５１３に形成された凹部に取り付けられ得る。上記構成では、第２の電極対５３は、樹脂シート４０の搬送方向において第１の電極対５２の下流側に位置し、第２の電極対５３は第１の電極対５２から離れている。樹脂シート４０の搬送方向において第１の電極対５２と第２の電極対５３との間の距離Ｌ１２（図６参照）の例は、１００ｍｍ〜１５０ｍｍである。 On the upper wall 512 of the chamber portion 51, the electrode 521 of the pair of electrodes 521 and 522 constituting the first electrode pair (first pair of electrodes) 52 and the second electrode pair (second pair) Electrode) 531 of the pair of electrodes 531 and 532 constituting the electrode 53. The electrodes 521 and 531 can be attached to a recess formed in the upper wall 512. The electrode 531 is separated from the electrode 521 in the conveying direction of the resin sheet 40 (the direction of the white arrow in FIG. 4). Electrodes 522 and 532 are provided on the lower wall 513 of the chamber portion 51 so as to face the electrodes 521 and 531, respectively. The electrodes 522 and 532 can be attached to a recess formed in the lower wall 513. In the above configuration, the second electrode pair 53 is located on the downstream side of the first electrode pair 52 in the conveying direction of the resin sheet 40, and the second electrode pair 53 is separated from the first electrode pair 52. Examples of the distance L 12 (see FIG. 6) between the conveying direction of the resin sheet 40 and the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53 is 100Mm～150mm.

図５は、第１の電極対の斜視図である。図５中において、白抜き矢印は、樹脂シート４０の搬送方向を示す。電極５２１，５２２の平面視形状（電極の厚み方向からみた場合の形状）は、長方形である。電極５２１，５２２の大きさは、樹脂シート４０の大きさに応じて決定され得る。電極５２１，５２２の樹脂シート４０の搬送方向の長さＬ１は、通常、樹脂シート４０の長さより短い。長さＬ１の例は、２０ｍｍ〜４０ｍｍである。電極５２１，５２２の幅Ｌ２、すなわち、樹脂シート４０の搬送方向及び電極の厚み方向に直交する方向の長さの例は４００ｍｍ〜９００ｍｍである。電極５２１，５２２の幅Ｌ２が、樹脂シート４０の幅より長い場合、図５に示されるように、電極５２１と電極５２１の間において樹脂シート４０の通過領域より外側の領域には、誘電体から構成されるスペーサＳ１，Ｓ２を設けてもよい。スペーサＳ１，Ｓ２を配置した場合、スペーサＳ１とスペーサＳ２との間の領域でプラズマ放電が生じる。そのため、スペーサＳ１とスペーサＳ２との間の長さＬ３を調整することにより、一つの大気圧プラズマ処理装置５０において、電極５２１，５２２に供給する電力を効率的に利用しながら、幅の異なる樹脂シート４０に撥液処理を施し得る。   FIG. 5 is a perspective view of the first electrode pair. In FIG. 5, white arrows indicate the conveyance direction of the resin sheet 40. The planar view shape of the electrodes 521 and 522 (the shape when viewed from the thickness direction of the electrodes) is a rectangle. The size of the electrodes 521 and 522 can be determined according to the size of the resin sheet 40. The length L1 of the electrodes 521 and 522 in the transport direction of the resin sheet 40 is usually shorter than the length of the resin sheet 40. An example of the length L1 is 20 mm to 40 mm. An example of the width L2 of the electrodes 521 and 522, that is, the length in the direction orthogonal to the transport direction of the resin sheet 40 and the thickness direction of the electrodes is 400 mm to 900 mm. When the width L2 of the electrodes 521 and 522 is longer than the width of the resin sheet 40, a region outside the passage region of the resin sheet 40 between the electrodes 521 and 521 is formed from a dielectric as shown in FIG. The configured spacers S1 and S2 may be provided. When the spacers S1 and S2 are arranged, plasma discharge is generated in a region between the spacer S1 and the spacer S2. Therefore, by adjusting the length L3 between the spacer S1 and the spacer S2, in one atmospheric pressure plasma processing apparatus 50, while efficiently using the power supplied to the electrodes 521 and 522, resins having different widths The sheet 40 can be subjected to a liquid repellent treatment.

電極５２１，５２２の間の距離Ｌ４は、電極５２１，５２２の間に樹脂シート４０が配置された状態において、電極５２１，５２２のそれぞれと樹脂シート４０の上面（主面）４０ａ（図４参照）との間に少なくとも０．５ｍｍ以上、好ましくは１ｍｍ以上の間隙が生じる距離である。距離Ｌ４の例は３ｍｍ〜８ｍｍ、好ましくは４ｍｍ〜６ｍｍである。電極５２１，５２２の間の距離Ｌ４は、例えば、電極５２１を昇降機構（不図示）によって電極５２１を上下させることで調整し得る。大気圧プラズマ処理装置５０が上記昇降機構を有する場合、一つの大気圧プラズマ処理装置５０で厚さの異なる複数の樹脂シート４０に撥液処理を施し得る。   The distance L4 between the electrodes 521 and 522 is the upper surface (main surface) 40a of each of the electrodes 521 and 522 and the resin sheet 40 in a state where the resin sheet 40 is disposed between the electrodes 521 and 522 (see FIG. 4). Is a distance at which a gap of at least 0.5 mm or more, preferably 1 mm or more occurs. An example of the distance L4 is 3 mm to 8 mm, preferably 4 mm to 6 mm. The distance L4 between the electrodes 521 and 522 can be adjusted, for example, by moving the electrode 521 up and down by an elevating mechanism (not shown). When the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 includes the lifting mechanism, the liquid repellent treatment can be performed on a plurality of resin sheets 40 having different thicknesses by one atmospheric pressure plasma processing apparatus 50.

電極５３１，５３２の構成は、電極５２１，５２２の構成と同様とし得る。しかしながら、樹脂シート４０の搬送方向における電極５３１，５３２の長さＬ１、電極５３１，５３２の幅Ｌ２は、及び電極５３１，５３２の間の距離Ｌ４は、電極５２１，５２２の場合について例示した範囲内であればよい。   The configuration of the electrodes 531 and 532 can be the same as the configuration of the electrodes 521 and 522. However, the length L1 of the electrodes 531 and 532, the width L2 of the electrodes 531 and 532, and the distance L4 between the electrodes 531 and 532 in the transport direction of the resin sheet 40 are within the ranges exemplified for the electrodes 521 and 522. If it is.

図４に戻って、大気圧プラズマ処理装置５０の構成について説明する。樹脂シート４０の搬送部としての複数の搬送ローラ５４のうち、チャンバ部５１内の搬送ローラ５４は、チャンバ部５１の下壁５１３に、回転軸周りに回転可能に取り付けられている。樹脂シート４０の搬送方向においてチャンバ部５１の前後に配置された搬送ローラ５４は、支持部によって、回転軸周りに回転可能に支持されていればよい。   Returning to FIG. 4, the configuration of the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 will be described. Of the plurality of transport rollers 54 as the transport section of the resin sheet 40, the transport roller 54 in the chamber section 51 is attached to the lower wall 513 of the chamber section 51 so as to be rotatable around the rotation axis. The transport rollers 54 disposed before and after the chamber portion 51 in the transport direction of the resin sheet 40 may be supported by the support portion so as to be rotatable around the rotation axis.

搬送ローラ５４は、樹脂シート４０と電極５２２，５３２との間の距離が０より大きく１ｍｍ以下となるように樹脂シート４０を支持しながら樹脂シート４０を搬送するように配置されている。樹脂シート４０と電極５２２，５３２との間に若干隙間が生じていれば、樹脂シート４０の上面４０ａと反対側に位置する下面４０ｂが電極５２２，５３２によってすれない。この場合、樹脂シート４０がスムーズに搬送され得ると共に、樹脂シート４０の下面４０ｂが傷つくことが防止され得る。電極５２１と電極５２２との間及び電極５３１と電極５３２との間への樹脂シート４０の配置は、搬送ローラ５４によって行われ得る。従って、搬送ローラ５４は、大気圧プラズマ処理装置５０に対しては、樹脂シート４０を電極５２１，５２２間及び電極５３１，５３２に配置するためのシート配置部として機能する The conveyance roller 54 is disposed so as to convey the resin sheet 40 while supporting the resin sheet 40 such that the distance between the resin sheet 40 and the electrodes 522 and 532 is greater than 0 and equal to or less than 1 mm. If there is a slight gap between the resin sheet 40 and the electrodes 522 and 532, the lower surface 40 b located on the opposite side of the upper surface 40 a of the resin sheet 40 is not covered by the electrodes 522 and 532. In this case, the resin sheet 40 can be smoothly conveyed and the lower surface 40b of the resin sheet 40 can be prevented from being damaged. The arrangement of the resin sheet 40 between the electrode 521 and the electrode 522 and between the electrode 531 and the electrode 532 can be performed by the transport roller 54. Therefore, the conveyance roller 54 functions as a sheet arrangement unit for arranging the resin sheet 40 between the electrodes 521 and 522 and between the electrodes 531 and 532 with respect to the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50.

電源５５は、第１の電極対５２及び第２の電極対５３に電気的に接続される。図４では、電気配線を破線で模式的に示している。電源５５は、電極５２１と電極５２２との間及び電極５３１と電極５３２との間で大気圧プラズマを生成するための電圧を第１の電極対５２及び第２の電極対５３にそれぞれ供給する。電源５５は、電圧波形の周波数が１ｋＨｚ以上１００ＭＨｚ以下である高周波電源（又は交流電源）である。電源５５の一端は電極５２１と電極５３１とに電気的に接続される。電源５５の他端は、電極５２２と電極５３２とに電気的に接続される。これにより、電源５５から電圧が第１及び第２の電極対５２，５３に供給されると、電極５２１と電極５３１とが同電位となり、電極５２２と電極５３２とが同電位となる。一例において、電極５２１及び電極５３１に印加される電圧の位相は、電極５２２及び電極５３２に印加される電圧の位相と逆位相である。   The power supply 55 is electrically connected to the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53. In FIG. 4, the electrical wiring is schematically shown by broken lines. The power supply 55 supplies a voltage for generating atmospheric pressure plasma between the electrode 521 and the electrode 522 and between the electrode 531 and the electrode 532 to the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53, respectively. The power source 55 is a high-frequency power source (or an AC power source) having a voltage waveform frequency of 1 kHz to 100 MHz. One end of the power source 55 is electrically connected to the electrode 521 and the electrode 531. The other end of the power supply 55 is electrically connected to the electrode 522 and the electrode 532. Thus, when a voltage is supplied from the power source 55 to the first and second electrode pairs 52 and 53, the electrode 521 and the electrode 531 have the same potential, and the electrode 522 and the electrode 532 have the same potential. In one example, the phase of the voltage applied to the electrode 521 and the electrode 531 is opposite to the phase of the voltage applied to the electrode 522 and the electrode 532.

電源５５は、第１及び第２の電極対５２，５３が有する電極５２１，５２２，５３１，５３２に、大気圧プラズマ発生に寄与する電力密度が１Ｗ／ｃｍ２以上２５Ｗ／ｃｍ２以下となる電圧を供給する。大気圧プラズマ発生に寄与する電力密度の好ましい例は、２Ｗ／ｃｍ２以上１５Ｗ／ｃｍ２であり、より好ましくは、２Ｗ／ｃｍ２以上８Ｗ／ｃｍ２であり、更に好ましい例は２Ｗ／ｃｍ２以上４Ｗ／ｃｍ２である。大気圧プラズマ発生に寄与する電力密度とは、図５に示すようにスペーサＳ１，Ｓ２を使用する場合には、電極５２１（又は電極５２２）及び電極５３１（又は電極５３２）においてスペーサＳ１，Ｓ２の間の領域の電極面と、図４に示した電源５５と第１及び第２の電極対５２，５３との電気的な配線関係において電極５２１，５２２，５３１，５３２に供給される電力と、で規定される電力密度である。 The power supply 55 is a voltage at which the power density contributing to the generation of atmospheric pressure plasma is 1 W / cm 2 or more and 25 W / cm 2 or less to the electrodes 521, 522, 531, 532 included in the first and second electrode pairs 52, 53. Supply. Preferable examples of the power density contributing to atmospheric pressure plasma generation are 2 W / cm 2 or more and 15 W / cm 2 , more preferably 2 W / cm 2 or more and 8 W / cm 2 , and still more preferable examples are 2 W / cm 2. The above is 4 W / cm 2 . As shown in FIG. 5, the power density contributing to the generation of atmospheric pressure plasma means that the spacers S1 and S2 in the electrode 521 (or electrode 522) and the electrode 531 (or electrode 532) when the spacers S1 and S2 are used. Between the electrodes 521, 522, 531 and 532 in the electrical wiring relationship between the power supply 55 and the first and second electrode pairs 52 and 53 shown in FIG. The power density specified by

ガス供給部５６は、樹脂シート４０の搬送方向において、第１の電極対５２と第２の電極対５３との間から雰囲気ガスＧをチャンバ部５１内に供給するガス供給路５６１を有する。ガス供給路５６１は、その一端が撥液処理空間５１１に連通するように上壁５１２を貫通している。ガス供給路５６１の一端は、第１の電極対５２と第２の電極対５３との間であればよいが、例えば、ガス供給路５６１の一端は、樹脂シート４０の搬送方向において第１の電極対５２と第２の電極対５３の中央部であり得る。ガス供給路５６１の他端は、雰囲気ガスＧのガス供給源５６２に接続される。ガス供給路５６１の例は、ガス供給管である。しかしながら、ガス供給路５６１のうち上壁５１２内の部分は、上壁５１２に形成された貫通孔であってもよい。この場合、貫通孔と、ガス供給源５６２とが配管により接続されていればよい。   The gas supply unit 56 includes a gas supply path 561 that supplies the atmospheric gas G into the chamber unit 51 from between the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53 in the conveyance direction of the resin sheet 40. The gas supply path 561 passes through the upper wall 512 so that one end thereof communicates with the liquid repellent treatment space 511. One end of the gas supply path 561 may be between the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53. For example, one end of the gas supply path 561 is the first in the conveying direction of the resin sheet 40. It may be the central part of the electrode pair 52 and the second electrode pair 53. The other end of the gas supply path 561 is connected to a gas supply source 562 of the atmospheric gas G. An example of the gas supply path 561 is a gas supply pipe. However, a portion of the gas supply path 561 in the upper wall 512 may be a through hole formed in the upper wall 512. In this case, the through hole and the gas supply source 562 may be connected by piping.

ガス供給路５６１から供給される雰囲気ガスＧは、アルゴン（Ａｒ）とパーフルオロカーボン（PFC : Perfluorocarbon）との混合ガスである。本発明の趣旨を逸脱しない範囲であれば、雰囲気ガスＧは、アルゴン（Ａｒ）とパーフルオロカーボン（PFC : Perfluorocarbon）以外のガスを含んでいてもよい。雰囲気ガスＧにおけるＰＦＣの濃度は、Ａｒに対して０．１０容量％以上３．０容量％以下、好ましくは０．１５容量％以上１．３容量％以下とし得る。雰囲気ガスＧに含まれるＰＦＣの一例は４フッ化炭素（ＣＦ４）である。ただし、ＰＦＣの例は、ＣＦ４の他、６フッ化炭素（Ｃ２Ｆ６）、６フッ化プロピレン（ＣＦ３ＣＦＣＦ２）、８フッ化シクロブタン（Ｃ４Ｆ８）及び八フッ化プロパン（Ｃ３Ｆ８）を含む。 The atmospheric gas G supplied from the gas supply path 561 is a mixed gas of argon (Ar) and perfluorocarbon (PFC). The atmospheric gas G may contain a gas other than argon (Ar) and perfluorocarbon (PFC) as long as it does not depart from the spirit of the present invention. The concentration of PFC in the atmospheric gas G can be 0.10 volume% or more and 3.0 volume% or less, preferably 0.15 volume% or more and 1.3 volume% or less with respect to Ar. An example of PFC contained in the atmospheric gas G is carbon tetrafluoride (CF 4 ). However, examples of PFC include CF 4 , carbon hexafluoride (C 2 F 6 ), propylene hexafluoride (CF 3 CFCF 2 ), cyclofluorobutane octafluoride (C 4 F 8 ), and octafluoropropane ( C 3 F 8 ).

ガス供給源５６２は、Ａｒ及びＰＦＣをそれぞれ貯蔵するタンクを有し、Ａｒに対して０．１０容量％以上３．０容量％以下、好ましくは０．１５容量％以上１．３容量％以下となるように各タンクからＡｒ及びＰＦＣを所定の流量で供給するような構成であり得る。ただし、ガス供給源５６２は、ＡｒとＰＦＣとが予め混合された雰囲気ガスＧを貯蔵するタンクを備え、そのタンクから雰囲気ガスＧを供給する構成であってもよい。   The gas supply source 562 has a tank for storing Ar and PFC, and is 0.10 volume% or more and 3.0 volume% or less, preferably 0.15 volume% or more and 1.3 volume% or less with respect to Ar. As such, Ar and PFC may be supplied from each tank at a predetermined flow rate. However, the gas supply source 562 may include a tank that stores the atmospheric gas G in which Ar and PFC are mixed in advance, and supply the atmospheric gas G from the tank.

撥液処理空間５１１に供給された雰囲気ガスＧを排出するために、樹脂シート４０の搬送方向において第１の電極対５２の上流側及び第２の電流対５３の下流側には、ガス排出路５７が上壁５１２に設けられている。ガス排出路５７の撥液処理空間５１１と反対側の端は、図示しないガス排出装置に接続されている。ガス排出路５７の例は、ガス排出管である。しかしながら、ガス供給路５６１の場合と同様に、ガス排出路５７のうち上壁５１２内の部分は上壁５１２に形成された貫通孔でもよい。   In order to discharge the atmospheric gas G supplied to the liquid repellent treatment space 511, a gas discharge path is provided on the upstream side of the first electrode pair 52 and the downstream side of the second current pair 53 in the transport direction of the resin sheet 40. 57 is provided on the upper wall 512. The end of the gas discharge path 57 opposite to the liquid repellent treatment space 511 is connected to a gas discharge device (not shown). An example of the gas discharge path 57 is a gas discharge pipe. However, as in the case of the gas supply path 561, a portion in the upper wall 512 of the gas discharge path 57 may be a through hole formed in the upper wall 512.

ガス供給路５６１から供給する雰囲気ガスの供給量は、撥液処理空間５１１、特に、電極５２１と電極５２２との間及び電極５３１と電極５３２との間に実質的に酸素が存在しないような供給量であればよい。   The supply amount of the atmospheric gas supplied from the gas supply path 561 is such that oxygen is not substantially present between the liquid repellent treatment space 511, particularly between the electrode 521 and the electrode 522 and between the electrode 531 and the electrode 532. Any amount is sufficient.

ガス供給路５６１から供給する雰囲気ガスの供給量の一例を、図６を参照して説明する。図６は、雰囲気ガスの供給量の一例を説明するための図面である。   An example of the supply amount of the atmospheric gas supplied from the gas supply path 561 will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a drawing for explaining an example of the supply amount of the atmospheric gas.

図６に示すように、電極５２１，５３１と樹脂シート４０の上面４０ａとで挟まれる空間（図４でハッチングを付した領域）が実質的に撥液処理に寄与するプラズマ放電が生じているプラズマ放電領域である。電極５２１と上面４０ａとの間の空間の体積と、電極５３１と上面４０ａとの間の空間の体積の和を、プラズマ放電空間の実効体積Ｖと称する。   As shown in FIG. 6, the plasma in which the space between the electrodes 521 and 531 and the upper surface 40a of the resin sheet 40 (the hatched area in FIG. 4) substantially contributes to the liquid repellent treatment is generated. It is a discharge area. The sum of the volume of the space between the electrode 521 and the upper surface 40a and the volume of the space between the electrode 531 and the upper surface 40a is referred to as an effective volume V of the plasma discharge space.

電極５２１と上面４０ａとの間の空間とは、電極５２１と電極５２２との間に樹脂シート４０が配置された状態において、電極５２１と電極５２２とで挟まれた領域のうち、上面４０ａと電極５２１との間の領域Ａ１を意味する。同様に、電極５３１と主面４０ａとの間の空間とは、電極５３１と電極５３２との間に樹脂シート４０が配置された状態において、電極５３１と電極５３２との間の領域のうち上面４０ａと電極５３１との間の領域Ａ２を意味する。従って、第１及び第２の電極対５２，５３を有する場合のプラズマ放電空間の実効体積Ｖは、領域Ａ１の体積と領域Ａ２の体積の和である。   The space between the electrode 521 and the upper surface 40a refers to the upper surface 40a and the electrode in the region sandwiched between the electrode 521 and the electrode 522 when the resin sheet 40 is disposed between the electrode 521 and the electrode 522. This means a region A1 between 521 and 521. Similarly, the space between the electrode 531 and the main surface 40 a is the upper surface 40 a in the region between the electrode 531 and the electrode 532 in the state where the resin sheet 40 is disposed between the electrode 531 and the electrode 532. A region A2 between the electrode 531 and the electrode 531. Therefore, the effective volume V of the plasma discharge space when the first and second electrode pairs 52 and 53 are provided is the sum of the volume of the area A1 and the volume of the area A2.

この場合、雰囲気ガスＧの供給量は、毎秒あたり、常温（２５℃）、常圧（１ａｔｍ）に換算して、実効体積Ｖの３〜３００倍の体積に相当する量である。   In this case, the supply amount of the atmospheric gas G is an amount corresponding to a volume of 3 to 300 times the effective volume V in terms of normal temperature (25 ° C.) and normal pressure (1 atm) per second.

図４に示した大気圧プラズマ処理装置５０を利用して樹脂シート４０の上面４０ａを撥液処理する工程（撥液処理工程Ｓ１２）について説明する。   A process (liquid repellent process S12) of performing a liquid repellent process on the upper surface 40a of the resin sheet 40 using the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 shown in FIG. 4 will be described.

樹脂シート４０の上面４０ａを撥液処理する場合、ガス供給部５６から雰囲気ガスＧをチャンバ部５１内に供給すると共に、電源５５を駆動し、電極５２１と電極５２２との間の雰囲気ガスＧ及び電極５３１と電極５３２との間の雰囲気ガスＧをプラズマ化する。すなわち、電極５２１と電極５２２との間及び電極５３１と電極５３２との間に大気圧プラズマを発生させる。大気圧プラズマを発生させるための、雰囲気ガスＧの成分及び電力密度は前述した通りである。   When the upper surface 40 a of the resin sheet 40 is subjected to a liquid repellent treatment, the atmospheric gas G is supplied from the gas supply unit 56 into the chamber unit 51, and the power source 55 is driven so that the atmospheric gas G between the electrodes 521 and 522 The atmosphere gas G between the electrode 531 and the electrode 532 is turned into plasma. That is, atmospheric pressure plasma is generated between the electrode 521 and the electrode 522 and between the electrode 531 and the electrode 532. The components of the atmospheric gas G and the power density for generating the atmospheric pressure plasma are as described above.

樹脂シート４０は、搬送ローラ５４により、搬入口５１ａを通してチャンバ部５１内に搬入される。チャンバ部５１内に搬入された樹脂シート４０は、搬送ローラ５４により、一定の速度で、電極５２１と電極５２２との間を通過する。これにより、樹脂シート４０の上面４０ａが大気圧プラズマによって撥液処理される（第１の撥液処理工程）。すなわち、第１の電極対５２を構成する電極５２１と電極５２２との間を通過することで、樹脂シート４０に第１の撥液処理が施される。その後、樹脂シート４０は、搬送ローラ５４によって電極５３１と電極５３２との間を更に通過する。これにより、樹脂シート４０は、再度撥液処理される（第２の撥液処理工程）。すなわち、第２の電極対５３を構成する電極５３１と電極５３２との間を通過することで、上面４０ａに第２の撥液処理が施される。   The resin sheet 40 is carried into the chamber portion 51 through the carry-in port 51 a by the carrying roller 54. The resin sheet 40 carried into the chamber 51 passes between the electrode 521 and the electrode 522 at a constant speed by the transport roller 54. Thereby, the upper surface 40a of the resin sheet 40 is subjected to the liquid repellent treatment by the atmospheric pressure plasma (first liquid repellent treatment step). That is, the first liquid repellent treatment is performed on the resin sheet 40 by passing between the electrode 521 and the electrode 522 constituting the first electrode pair 52. Thereafter, the resin sheet 40 further passes between the electrode 531 and the electrode 532 by the transport roller 54. Thereby, the resin sheet 40 is again subjected to the liquid repellent treatment (second liquid repellent treatment step). That is, the second liquid repellent treatment is performed on the upper surface 40 a by passing between the electrode 531 and the electrode 532 constituting the second electrode pair 53.

撥液処理された樹脂シート４０である撥液性樹脂シート１１は、搬送ローラ５４により搬出口５１ｂから大気圧プラズマ処理装置５０の系外（すなわち、装置の外側）に搬出される。この方法では、上面４０ａの撥液処理時間は、樹脂シート４０の搬送速度により調整され得る。樹脂シート４０の搬送速度は、搬送ローラ５４の回転速度を調整することによって制御され得る。   The liquid repellent resin sheet 11 which is the resin sheet 40 subjected to the liquid repellent treatment is carried out of the system of the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 (that is, outside the apparatus) from the carry-out port 51b by the transport roller 54. In this method, the liquid repellent treatment time of the upper surface 40 a can be adjusted by the transport speed of the resin sheet 40. The conveyance speed of the resin sheet 40 can be controlled by adjusting the rotation speed of the conveyance roller 54.

この撥液処理工程Ｓ１２によって、純水を滴下して測定した接触角が８５°以上１２０°以下の撥液性を有する上面４０ａを備えた樹脂シート４０が得られる。撥液処理部３２によって撥液処理された樹脂シート４０が撥液性樹脂シート１１である。この場合、撥液処理が施された主面４０ａは、主面１１ａに対応する。   By this liquid repellent treatment step S12, a resin sheet 40 having a top surface 40a having liquid repellency with a contact angle measured by dropping pure water of 85 ° to 120 ° is obtained. The resin sheet 40 subjected to the liquid repellent treatment by the liquid repellent treatment unit 32 is the liquid repellent resin sheet 11. In this case, the main surface 40a subjected to the liquid repellent treatment corresponds to the main surface 11a.

図７（ａ）〜図７（ｃ）は、樹脂シートの搬送状態と雰囲気ガスの流れ状態とを模式的に示す図面である。   Fig.7 (a)-FIG.7 (c) are drawings which show typically the conveyance state of a resin sheet, and the flow state of atmospheric gas.

図７（ａ）は、樹脂シート４０が電極５２１と電極５２２との間に位置する場合を模式的に示している。図７（ａ）の状態では、電極５２１と電極５２２との間に樹脂シート４０が位置するため、第２の電極対５３側に雰囲気ガスＧが流れる空間が、第１の電極対５２側より狭い。その結果、第２の電極対５３側に雰囲気ガスＧが流れやすい。   FIG. 7A schematically shows a case where the resin sheet 40 is located between the electrode 521 and the electrode 522. In the state of FIG. 7A, since the resin sheet 40 is positioned between the electrode 521 and the electrode 522, the space in which the atmospheric gas G flows on the second electrode pair 53 side is larger than that on the first electrode pair 52 side. narrow. As a result, the atmospheric gas G tends to flow to the second electrode pair 53 side.

次に、図７（ｂ）は、図７（ａ）の場合より樹脂シート４０が第２の電極対５３側に搬送された状態を示している。図７（ｂ）では、樹脂シート４０が第１の電極対５２及び第２の電極対５３のいずれにも重なる位置にあるため、雰囲気ガスＧが流れる空間が、第１の電極対５２側と第２の電極対５３側とでほぼ同じである。その結果、雰囲気ガスＧが第１の電極対５２及び第２の電極対５３側に均等に流れやすい。   Next, FIG.7 (b) has shown the state by which the resin sheet 40 was conveyed by the 2nd electrode pair 53 side rather than the case of Fig.7 (a). In FIG. 7B, since the resin sheet 40 is in a position overlapping both the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53, the space through which the atmospheric gas G flows is the first electrode pair 52 side. It is almost the same on the second electrode pair 53 side. As a result, the atmospheric gas G tends to flow evenly toward the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53 side.

更に、図７（ｃ）は、図７（ｂ）の場合より樹脂シート４０が第２の電極対５３側に搬送された状態を示している。図７（ｃ）では、樹脂シート４０が電極５３１と電極５３２との間に位置にあるため、図７（ａ）の場合と逆に、第１の電極対５２側に雰囲気ガスＧが流れやすい。   Furthermore, FIG.7 (c) has shown the state by which the resin sheet 40 was conveyed by the 2nd electrode pair 53 side rather than the case of FIG.7 (b). In FIG. 7C, since the resin sheet 40 is located between the electrode 531 and the electrode 532, the atmosphere gas G tends to flow to the first electrode pair 52 side, contrary to the case of FIG. .

図７（ａ）〜図７（ｃ）に示したように、一枚の樹脂シート４０を搬送しながら、撥液処理を施す場合、第１の電極対５２及び第２の電極対５３に流れる雰囲気ガスＧの量に時間的な不均一性が生じる。しかしながら、第１の電極対５２と第２の電極対５３とをガス供給路５６１の両側に配置し、撥液処理を２回行っているので、主面４０ａの撥液性のムラを低減できる。   As shown in FIG. 7A to FIG. 7C, when the liquid repellent treatment is performed while transporting one resin sheet 40, it flows to the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53. Temporal non-uniformity occurs in the amount of the atmospheric gas G. However, since the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53 are arranged on both sides of the gas supply path 561 and the liquid repellent treatment is performed twice, the liquid repellent unevenness of the main surface 40a can be reduced. .

図４では、上壁５１２にガス排出路５７を設けた大気圧プラズマ処理装置５０の構成例を示した。しかしながら、図８に示した大気圧プラズマ処理装置６０のように、チャンバ部５１を排気カバー部６１で覆ってもよい。この場合、排気カバー部６１には、搬入口５１ａと搬出口５１ｂとに対応する位置に、搬入口６１ａと搬出口６１ｂとが形成されていればよい。また、排気カバー６１内に連通した排気管６２が図示しないガス排気装置に接続されていればよい。   In FIG. 4, the structural example of the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 which provided the gas discharge path 57 in the upper wall 512 was shown. However, the chamber portion 51 may be covered with the exhaust cover portion 61 as in the atmospheric pressure plasma processing apparatus 60 shown in FIG. In this case, the exhaust cover portion 61 only needs to have the carry-in port 61a and the carry-out port 61b formed at positions corresponding to the carry-in port 51a and the carry-out port 51b. Further, the exhaust pipe 62 communicating with the exhaust cover 61 may be connected to a gas exhaust device (not shown).

次に、反射ドット形成部３３について説明する。反射ドット形成部３３は、反射ドット形成工程Ｓ１３を実施する。反射ドット形成部３３は、例えば、インクジェット印刷（又はインクジェット法）又はスクリーン印刷により反射ドット１２を形成する。インクジェット印刷を利用した場合について反射ドット形成部３３の一例及び反射ドット形成工程Ｓ１３を具体的に説明する。   Next, the reflective dot forming unit 33 will be described. The reflective dot formation part 33 implements reflective dot formation process S13. The reflective dot forming unit 33 forms the reflective dots 12 by, for example, ink jet printing (or ink jet method) or screen printing. An example of the reflective dot forming unit 33 and the reflective dot forming step S13 will be specifically described in the case of using inkjet printing.

インクジェット印刷により反射ドット１２を形成する場合、反射ドット形成部３３は、液体インクＩを所定のパターンで主面４０ａに印刷する印刷部３３１（図９参照）と、液体インクＩを固化せしめる液体インク固化部３３２（図１０参照）とを備える。ここで、「印刷」とは、液体インクＩを所定のパターンで滴下することを意味する。印刷部３３１の例は、インクジェットヘッドである。液体インク固化部３３２の例は、紫外線ランプといった紫外線源である。この場合、液体インク固化部３３２は、液体インク硬化部である。図９は、インクジェット法により反射ドットを形成する場合の一工程を示す図面である。図１０は、インクジェット法により反射ドットを形成する場合において図９に続く一工程を示す図面である。図１０では、液体インク固化部３３２の例である紫外線源を模式的に示している。   When the reflective dots 12 are formed by inkjet printing, the reflective dot forming unit 33 includes a printing unit 331 (see FIG. 9) that prints the liquid ink I in a predetermined pattern on the main surface 40a, and a liquid ink that solidifies the liquid ink I. A solidifying unit 332 (see FIG. 10). Here, “printing” means dropping the liquid ink I in a predetermined pattern. An example of the printing unit 331 is an inkjet head. An example of the liquid ink solidifying unit 332 is an ultraviolet ray source such as an ultraviolet lamp. In this case, the liquid ink solidifying unit 332 is a liquid ink curing unit. FIG. 9 is a drawing showing a step in the case of forming reflective dots by the ink jet method. FIG. 10 is a drawing showing one step following FIG. 9 in the case of forming reflective dots by the ink jet method. FIG. 10 schematically shows an ultraviolet ray source as an example of the liquid ink solidifying unit 332.

この場合、印刷部３３１と撥液性樹脂シート１１との位置を相対的に走査することによって、撥液性樹脂シート１１の主面１１ａに所定のパターンで液体インクＩが滴下される（液体インクを滴下する工程）。滴下された液体インクＩが液体インク固化部３３２によって硬化されることによって、反射ドット１２が形成され得る（液体インクを固化させる工程）。   In this case, the liquid ink I is dropped in a predetermined pattern on the main surface 11a of the liquid repellent resin sheet 11 by relatively scanning the positions of the printing unit 331 and the liquid repellent resin sheet 11 (liquid ink). Step of dripping. The dropped liquid ink I is cured by the liquid ink solidifying unit 332, whereby the reflective dots 12 can be formed (step of solidifying the liquid ink).

図１０に示した形態では、液体インク固化部３３２は紫外線源である。しかしながら、液体インク固化部３３２は、液体インクＩの特性に応じたものであればよい。液体インクＩの特性に応じて、紫外線源のように液体インクを硬化させる装置の代わりに、液体インクを乾燥させて液体インクを固化させる乾燥装置であってもよい。この場合、液体インクＩは水溶性インクであり得る。   In the form shown in FIG. 10, the liquid ink solidifying unit 332 is an ultraviolet ray source. However, the liquid ink solidifying unit 332 may be anything according to the characteristics of the liquid ink I. Depending on the characteristics of the liquid ink I, a drying device that dries the liquid ink and solidifies the liquid ink instead of a device that cures the liquid ink such as an ultraviolet ray source may be used. In this case, the liquid ink I can be a water-soluble ink.

一実施形態において、反射ドット形成部３３は、ドット径が２０μｍ以上１２０μｍ以下の反射ドット１２を形成する。ドット径の調整は、液体インクＩの滴下量により調整され得る。また、反射ドット形成部３３は、複数の反射ドット１２のうち任意の隣接する２つの反射ドット１２を選択した場合に、その隣接する２つの反射ドット１２の間隔が８０μｍ以上２００μｍ以下であるように複数の反射ドット１２を形成してもよい。隣接する２つの反射ドット１２の間隔は、液体インクＩを滴下する位置によって調整され得る。複数の反射ドット１２のうちから任意に選択された隣接する２つの反射ドット１２のそれぞれの間隔が上記範囲であればドット同士がくっつかない。   In one embodiment, the reflective dot forming unit 33 forms the reflective dots 12 having a dot diameter of 20 μm or more and 120 μm or less. The adjustment of the dot diameter can be adjusted by the dropping amount of the liquid ink I. In addition, when any two adjacent reflection dots 12 are selected from the plurality of reflection dots 12, the reflection dot forming unit 33 is configured such that the interval between the two adjacent reflection dots 12 is 80 μm or more and 200 μm or less. A plurality of reflective dots 12 may be formed. The interval between two adjacent reflective dots 12 can be adjusted by the position where the liquid ink I is dropped. If the interval between two adjacent reflective dots 12 arbitrarily selected from the plurality of reflective dots 12 is within the above range, the dots do not stick to each other.

上記説明したように、樹脂シート製造部３１による樹脂シート製造工程Ｓ１１と、撥液処理部３２による撥液処理工程Ｓ１２とにより、撥液性樹脂シートが製造され得る。従って、図２における樹脂シート製造工程Ｓ１１と、撥液処理部３２による撥液処理工程Ｓ１２とは、撥液性樹脂シートの製造工程に対応する。   As described above, the liquid-repellent resin sheet can be manufactured by the resin sheet manufacturing step S11 by the resin sheet manufacturing unit 31 and the liquid-repellent processing step S12 by the liquid-repellent processing unit 32. Therefore, the resin sheet manufacturing step S11 in FIG. 2 and the liquid repellent treatment step S12 by the liquid repellent treatment unit 32 correspond to the steps of manufacturing the liquid repellent resin sheet.

以上述べた撥液性樹脂シートの製造装置としての大気圧プラズマ処理装置５０及びそれを含む製造システム３０並びに撥液性樹脂シートの製造方法及びそれを含む導光板の製造方法の作用効果について説明する。   The atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 as the liquid repellent resin sheet manufacturing apparatus described above, the manufacturing system 30 including the same, the method of manufacturing the liquid repellent resin sheet, and the effect of the method of manufacturing the light guide plate including the same will be described. .

撥液処理する際に、大気圧プラズマを発生させるため、第１の電極対５２及び第２の電極対５３には、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力がそれぞれ供給される。１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２によって生じる大気圧プラズマを利用して樹脂シート４０に撥液処理を施しているので、樹脂シート４０が損傷しにくいと共に、異常放電により大気圧プラズマ処理のための装置（例えば、大気圧プラズマ装置５０）が損傷しにくい。その結果、撥液性処理を施した樹脂シート４０に液体インクＩを利用した反射ドット１２を形成した導光板１０の製造歩留まりが向上する。撥液処理する際に、大気圧プラズマを発生させるため、第１の電極対５２及び第２の電極対５３には、好ましくは、２Ｗ／ｃｍ２〜１５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力がそれぞれ供給される。２Ｗ／ｃｍ２〜１５Ｗ／ｃｍ２の電力密度によって生じる大気圧プラズマを利用して樹脂シート４０に撥液処理を施している場合には、樹脂シート４０が更に損傷しにくいと共に、異常放電により大気圧プラズマ処理のための装置（例えば、大気圧プラズマ装置５０）が更に損傷しにくい。その結果、撥液性処理を施した樹脂シート４０に液体インクＩを利用した反射ドット１２を形成した導光板１０の製造歩留まりが更に向上し得る。 When the liquid-repellent treatment, for generating an atmospheric pressure plasma, the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53, each supplied power corresponding to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 Is done. Since by using atmospheric plasma generated by 1W / cm 2 ~25W / cm 2 is subjected to liquid-repellent treatment on the resin sheet 40, the resin sheet 40 is hardly damaged, for atmospheric plasma treatment by abnormal discharge The apparatus (for example, the atmospheric pressure plasma apparatus 50) is not easily damaged. As a result, the manufacturing yield of the light guide plate 10 in which the reflective dots 12 using the liquid ink I are formed on the resin sheet 40 subjected to the liquid repellent treatment is improved. In order to generate atmospheric pressure plasma during the liquid repellent treatment, the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53 preferably have a power corresponding to a power density of 2 W / cm 2 to 15 W / cm 2. Are supplied respectively. When using an atmospheric pressure plasma generated by the power density of 2W / cm 2 ~15W / cm 2 is subjected to liquid-repellent treatment on the resin sheet 40, with the resin sheet 40 is further hardly damaged, large by abnormal discharge An apparatus for atmospheric pressure plasma processing (for example, the atmospheric pressure plasma apparatus 50) is further less likely to be damaged. As a result, the manufacturing yield of the light guide plate 10 in which the reflective dots 12 using the liquid ink I are formed on the resin sheet 40 subjected to the liquid repellent treatment can be further improved.

更に、雰囲気ガスＧに、Ｈｅよりも重いガスであるＡｒを使用しているので、上記のように、大気圧プラズマによる撥液処理で従来採用されている電力密度（例えば、３０Ｗ／ｃｍ２〜１００Ｗ／ｃｍ２）より低い電力密度であっても、樹脂シート４０に所望の撥液処理を施すことができる。 Further, since Ar, which is a gas heavier than He, is used as the atmospheric gas G, as described above, the power density (for example, 30 W / cm 2 to 30 W / cm 2 to 4) conventionally employed in the liquid repellent treatment using atmospheric pressure plasma. Even if the power density is lower than 100 W / cm 2 ), the resin sheet 40 can be subjected to a desired liquid repellent treatment.

更にまた、図４に例示した大気圧プラズマ処理装置５０を利用した撥液処理では、一つの樹脂シート４０に対して撥液処理を２回行っている。すなわち、電極５２１と電極５２２との間の大気圧プラズマによる第１の撥液処理と、電極５３１と電極５３２との間の大気圧プラズマによる第２の撥液処理とが樹脂シート４０が搬送されながら実施される。そのため、樹脂シート４０の上面４０ａに所望の撥液処理をより確実に施し得る。   Furthermore, in the liquid repellent treatment using the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 illustrated in FIG. 4, the liquid repellent treatment is performed twice on one resin sheet 40. That is, the first liquid repellent treatment using atmospheric pressure plasma between the electrode 521 and the electrode 522 and the second liquid repellent treatment using atmospheric pressure plasma between the electrode 531 and the electrode 532 are transported. While being implemented. Therefore, the desired liquid repellent treatment can be more reliably performed on the upper surface 40a of the resin sheet 40.

更に、第１の電極対５２と第２の電極対５３とを利用する場合に、樹脂シート４０の搬送方向において、第１の電極対５２と第２の電極対５３との間から雰囲気ガスＧをチャンバ部５１内に供給している。そのため、図７（ａ）〜図７（ｃ）を利用して説明したように、上面４０ａにおける撥液性の不均一性が低減される。従って、撥液性樹脂シート１１を利用して反射ドット付樹脂シートである導光板１０を製造した場合、反射ドット１２のドット径の不均一性が解消される。その結果、反射ドット径の不均一性に起因するムラが低減された導光板１０が得られる。従って、外観不良を抑制しながら導光板１０を効率的に製造し得る。   Furthermore, when the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53 are used, the atmosphere gas G is generated between the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53 in the transport direction of the resin sheet 40. Is supplied into the chamber portion 51. Therefore, as described with reference to FIGS. 7A to 7C, the non-uniformity of liquid repellency on the upper surface 40a is reduced. Therefore, when the light guide plate 10 that is a resin sheet with reflective dots is manufactured using the liquid repellent resin sheet 11, the non-uniformity of the dot diameter of the reflective dots 12 is eliminated. As a result, the light guide plate 10 in which unevenness due to the non-uniformity of the reflective dot diameter is reduced is obtained. Therefore, the light guide plate 10 can be efficiently manufactured while suppressing appearance defects.

また、枚葉処理においては、樹脂シート４０が大きい方が撥液処理の不均一性が生じやすい傾向にある。しかしながら、前述したように、第１の撥液処理と第２の撥液処理とを行うことによって、より大きな樹脂シート４０に対してもより均一に撥液処理を施し得る。   Further, in the single wafer processing, the larger the resin sheet 40 tends to cause non-uniformity of the liquid repellent processing. However, as described above, by performing the first liquid repellent treatment and the second liquid repellent treatment, the larger resin sheet 40 can be subjected to the liquid repellent treatment more uniformly.

撥液性樹脂シート１１を利用して導光板１０を製造していることから、反射ドット１２の高さをより高くし得る。反射ドット１２の高さが高い方が導光板１０から出射される輝度の向上が高くなる傾向にあるので、導光板１０では、より高い輝度の出射光が得られる。   Since the light guide plate 10 is manufactured using the liquid repellent resin sheet 11, the height of the reflective dots 12 can be increased. Since the higher the reflective dots 12 are, the higher the brightness emitted from the light guide plate 10 tends to be, the light guide plate 10 can obtain emitted light with higher brightness.

撥液性樹脂シート１１において撥液処理された主面１１ａに対して純水に対する接触角が８５°以上１２０°以下である場合、反射ドット１２同士の連結が抑制さしながら所望のドット径を有する反射ドット１２を形成し得る。   When the contact angle with respect to pure water is 85 ° or more and 120 ° or less with respect to the main surface 11a subjected to the liquid repellent treatment in the liquid repellent resin sheet 11, the desired dot diameter is controlled while suppressing the connection of the reflective dots 12 to each other. The reflective dots 12 having the same can be formed.

以下、実施例を参照して本発明の作用効果を具体的に説明する。ただし、本発明は、以下の実施例には限定されない。   Hereinafter, the effects of the present invention will be specifically described with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

（実施例１）
導光板１０を構成する撥液性樹脂シート１１を次のようにして準備した。まず、撥液性樹脂シート１１となる樹脂シート４０を準備した。樹脂シート４０の大きさは３７０ｍｍ×３２０ｍｍ×４ｍｍであった。樹脂シート４０を構成する材料はポリメタクリル酸メチルである。このポリメタクリル酸メチル製の樹脂シート４０の上面４０ａを図８に示した大気圧プラズマ処理装置６０を利用して撥液処理を行って、撥液性樹脂シート１１を製造した。 Example 1
A liquid repellent resin sheet 11 constituting the light guide plate 10 was prepared as follows. First, the resin sheet 40 used as the liquid repellent resin sheet 11 was prepared. The size of the resin sheet 40 was 370 mm × 320 mm × 4 mm. The material constituting the resin sheet 40 is polymethyl methacrylate. The top surface 40a of the polymethyl methacrylate resin sheet 40 was subjected to a liquid repellent treatment using the atmospheric pressure plasma processing apparatus 60 shown in FIG.

実施例１では、平面視形状が略長方形である電極５２１，５２２，５３１，５３２を採用した。各電極５２１，５２２，５３１，５３２における長さＬ１は２０ｍｍであり、長さＬ２は４００ｍｍであった。電極５２１と電極５２２との間及び電極５３１と電極５３２との間の距離Ｌ４は６ｍｍとした。樹脂シート４０の搬送方向において、第１の電極対５２と第２の電極対５３との間の距離Ｌ１２は１３５ｍｍであった。 In Example 1, the electrodes 521, 522, 531 and 532 having a substantially rectangular shape in plan view were employed. The length L1 of each electrode 521, 522, 531, 532 was 20 mm, and the length L2 was 400 mm. The distance L4 between the electrode 521 and the electrode 522 and between the electrode 531 and the electrode 532 was 6 mm. In the transport direction of the resin sheet 40, the distance L 12 between the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53 was 135mm.

大気圧プラズマ処理装置５０内で発生させる大気圧プラズマに用いた雰囲気ガスＧは、ＡｒとＣＦ４との混合ガスとした。Ａｒに対するＣＦ４の濃度は０．３３容量％とした。このＡｒに対するＣＦ４の濃度は、Ａｒを１５０Ｌ／ｍｉｎ、ＣＦ４を０．５Ｌ／ｍｉｎの流量でチャンバ部５１内に供給することによって実現した。チャンバ部５１内の酸素濃度は１０００ｐｐｍ以下であった。 The atmospheric gas G used for the atmospheric pressure plasma generated in the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50 was a mixed gas of Ar and CF 4 . The concentration of CF 4 with respect to Ar was 0.33% by volume. The concentration of CF 4 with respect to Ar was realized by supplying Ar into the chamber 51 at a flow rate of 150 L / min and CF 4 at 0.5 L / min. The oxygen concentration in the chamber part 51 was 1000 ppm or less.

撥液処理は次のようにして行った。すなわち、電源５５として周波数が３０ｋＨｚの高周波電源を用いて、第１及び第２の電極対５２，５３のそれぞれを構成する電極間に１．１ｋＷの電力を供給して、大気圧プラズマを生じせしめた。この際、電極５２１と電極５２２との間及び電極５３１と電極５３２との間に印加される電圧はそれぞれ６．２ｋＶであった。電極５２１，５２２，５３１，５３２における電力密度は、６．９Ｗ／ｃｍ２（＝１１００Ｗ／（４０ｃｍ×２ｃｍ×２））である。そして、搬送ローラ５４により放電している電極５２１と電極５２２との間及び電極５３１と電極５３２との間に５ｍ／ｍｉｎの搬送速度で樹脂シート４０を挿入して樹脂シート４０の上面４０ａに撥液処理を施した。樹脂シート４０の厚み方向において、樹脂シート４０の下面４０ｂとその下面４０ｂに対向する電極５２２，５３２との間の距離は０．５ｍｍであり、樹脂シート４０の上面４０ａと上面４０ａに対向する電極５２１，５３１との間の距離は１．５ｍｍであった。１秒当たりに流入する雰囲気ガスＧの体積は、実質的に撥液処理に寄与するプラズマ放電空間の実効体積Ｖに対して１０４倍であった。 The liquid repellent treatment was performed as follows. That is, a high frequency power source having a frequency of 30 kHz is used as the power source 55 and 1.1 kW of power is supplied between the electrodes constituting each of the first and second electrode pairs 52 and 53 to generate atmospheric pressure plasma. It was. At this time, the voltage applied between the electrode 521 and the electrode 522 and between the electrode 531 and the electrode 532 was 6.2 kV, respectively. The power density at the electrodes 521, 522, 531 and 532 is 6.9 W / cm 2 (= 1100 W / (40 cm × 2 cm × 2)). Then, the resin sheet 40 is inserted between the electrode 521 and the electrode 522 discharged by the conveyance roller 54 and between the electrode 531 and the electrode 532 at a conveyance speed of 5 m / min to repel the upper surface 40 a of the resin sheet 40. Liquid treatment was applied. In the thickness direction of the resin sheet 40, the distance between the lower surface 40b of the resin sheet 40 and the electrodes 522 and 532 facing the lower surface 40b is 0.5 mm, and the electrodes facing the upper surface 40a and the upper surface 40a of the resin sheet 40 The distance between 521 and 531 was 1.5 mm. The volume of the atmospheric gas G that flows in per second was 104 times the effective volume V of the plasma discharge space that substantially contributes to the liquid repellent treatment.

撥液性樹脂シート１１を製造した段階で、撥液性樹脂シート１１の損傷の有無を目視により評価した。そして、目視により異常が無ければ、製造した撥液性樹脂シート１１を「損傷無し」と評価した。このように目視で撥液性樹脂シート１１の評価を行うが、実施例１及び他の実施例で使用した装置では、電力密度が過大（例えば、従来のように３０Ｗ／ｃｍ２〜１００Ｗ／ｃｍ２）であれば、樹脂シート４０に損傷が生じる前に、異常放電が生じて装置が破損する恐れがある。実施例１では、そのような装置の破損も生じなかった。 At the stage where the liquid repellent resin sheet 11 was manufactured, the presence or absence of damage to the liquid repellent resin sheet 11 was visually evaluated. And if there was no abnormality visually, the manufactured liquid repellent resin sheet 11 was evaluated as "no damage". In this way, the liquid repellent resin sheet 11 is visually evaluated. However, in the apparatuses used in Example 1 and other examples, the power density is excessive (for example, 30 W / cm 2 to 100 W / cm as in the past). If 2 ), before the resin sheet 40 is damaged, abnormal discharge may occur and the device may be damaged. In Example 1, such a device was not damaged.

実施例１の撥液性樹脂シート１１では、損傷は無かったので、製造された撥液性樹脂シート１１の撥液性を有する主面１１ａに複数の反射ドット１２を所定のパターンで形成した。その結果、導光板１０が得られた。反射ドット１２は、前述したインクジェット印刷を用いて行った。反射ドットの直径は約７０μｍであった。   Since the liquid-repellent resin sheet 11 of Example 1 was not damaged, the plurality of reflective dots 12 were formed in a predetermined pattern on the liquid-repellent main surface 11a of the manufactured liquid-repellent resin sheet 11. As a result, the light guide plate 10 was obtained. The reflective dots 12 were performed using the ink jet printing described above. The diameter of the reflective dot was about 70 μm.

また、実施例１で製造した撥液性樹脂シート１１の撥液処理された主面１１ａに純水を滴下して測定した接触角は、９３．２°であった。接触角は、ＪＩＳ Ｒ３２５７の静滴法に準じて測定した。   Further, the contact angle measured by dropping pure water on the liquid repellent main surface 11a of the liquid repellent resin sheet 11 produced in Example 1 was 93.2 °. The contact angle was measured according to the JIS R3257 sessile drop method.

（実施例２）
撥液処理において、以下の点を変更したこと以外は、実施例１と同様にして撥液性樹脂シート１１及び導光板１０を得た。
・電源５５に電気的に接続された第１及び第２の電極対５２，５３に２．４ｋＷの電力を供給した。この際、電極５２１，５２２間及び電極５３１，５３２間には、それぞれ１２ｋＶの電圧が印加された。電極５２１，５２２，５３１，５３２における電力密度は、１５Ｗ／ｃｍ２（＝２４００Ｗ／（４０ｃｍ×２ｃｍ×２ｃｍ））である。
・樹脂シート４０の搬送速度を１０ｍ／ｍｉｎに変更した。
・下面４０ｂと電極５２２，５３２との間の距離を１．０ｍｍに変更すると共に、上面４０ａと電極５２１，５３１との間の距離を１．０ｍｍに変更した。 (Example 2)
In the liquid repellent treatment, a liquid repellent resin sheet 11 and a light guide plate 10 were obtained in the same manner as in Example 1 except that the following points were changed.
A power of 2.4 kW was supplied to the first and second electrode pairs 52 and 53 electrically connected to the power supply 55. At this time, a voltage of 12 kV was applied between the electrodes 521 and 522 and between the electrodes 531 and 532. The power density of the electrodes 521, 522, 531 and 532 is 15 W / cm 2 (= 2400 W / (40 cm × 2 cm × 2 cm)).
-The conveyance speed of the resin sheet 40 was changed to 10 m / min.
The distance between the lower surface 40b and the electrodes 522 and 532 was changed to 1.0 mm, and the distance between the upper surface 40a and the electrodes 521 and 531 was changed to 1.0 mm.

上記のように撥液処理条件を変更して撥液性樹脂シート１１を製造する場合、装置の破壊は生じなかった。また、製造された撥液性樹脂シート１１を目視評価した際、異常は見られなかった。更に、製造された撥液性樹脂シート１１の主面１１ａの接触角を実施例１と同様にして測定した。得られた接触角は９１．５°であった。   In the case where the liquid repellent resin sheet 11 was produced by changing the liquid repellent treatment conditions as described above, the apparatus was not broken. Moreover, when the manufactured liquid-repellent resin sheet 11 was visually evaluated, no abnormality was observed. Further, the contact angle of the main surface 11a of the manufactured liquid repellent resin sheet 11 was measured in the same manner as in Example 1. The contact angle obtained was 91.5 °.

(実施例３）
５３５ｍｍ×３１１ｍｍ×３ｍｍの樹脂シートを使用した点、及び、撥液処理において、以下の点を変更した点以外は、実施例１と同様にして撥液性樹脂シート１１及び導光板１０を得た。
・長さＬ１，Ｌ２，Ｌ４をそれぞれ４０ｍｍ、８２０ｍｍ、及び５ｍｍにそれぞれ変更した。実施例３では、スペーサＳ１，Ｓ２（図５参照）を用いて、スペーサＳ１，Ｓ２間の長さＬ３を５７５ｍｍとした。
・第１の電極対５２と第２の電極対５３との間の距離Ｌ１２を１５０ｍｍに変更した。
・電源５０に電気的に接続された第１及び第２の電極対５２，５３に１．５ｋＷの電力を供給した。電極５２１，５２２，５３１，５３２における電力密度は、３．３Ｗ／ｃｍ２である。
・樹脂シート４０の搬送速度を１０ｍ／ｍｉｎとした。
・下面４０ｂと電極５２２，５３２との間の距離を１．０ｍｍに変更すると共に、上面４０ａと電極５２１，５３１との間の距離を１．０ｍｍに変更した。 Example 3
A liquid repellent resin sheet 11 and a light guide plate 10 were obtained in the same manner as in Example 1 except that a 535 mm × 311 mm × 3 mm resin sheet was used and the following points were changed in the liquid repellent treatment. .
The lengths L1, L2, and L4 were changed to 40 mm, 820 mm, and 5 mm, respectively. In Example 3, using the spacers S1 and S2 (see FIG. 5), the length L3 between the spacers S1 and S2 was set to 575 mm.
- a first electrode pair 52 a distance L 12 between the second electrode pair 53 was changed to 150 mm.
A power of 1.5 kW was supplied to the first and second electrode pairs 52 and 53 electrically connected to the power supply 50. The power density at the electrodes 521, 522, 531 and 532 is 3.3 W / cm 2 .
-The conveyance speed of the resin sheet 40 was 10 m / min.
The distance between the lower surface 40b and the electrodes 522 and 532 was changed to 1.0 mm, and the distance between the upper surface 40a and the electrodes 521 and 531 was changed to 1.0 mm.

上記のように撥液処理条件を変更して撥液性樹脂シート１１を製造する場合、装置の破壊は生じなかった。また、製造された撥液性樹脂シート１１を目視評価した際、異常は見られなかった。   In the case where the liquid repellent resin sheet 11 was produced by changing the liquid repellent treatment conditions as described above, the apparatus was not broken. Moreover, when the manufactured liquid-repellent resin sheet 11 was visually evaluated, no abnormality was observed.

（実施例４）
５２５ｍｍ×３０１ｍｍ×２ｍｍの樹脂シートを使用した点、及び、撥液処理において、以下の点を変更した点以外は、実施例３と同様にして撥液性樹脂シート１１及び導光板１０を得た。
・長さＬ４を４ｍｍに変更した。
・スペーサＳ１，Ｓ２間の長さＬ３を５６５ｍｍに変更した。
・電源５５に電気的に接続された第１及び第２の電極対５２，５３に１．３ｋＷの電力を供給した。電極５２１，５２２，５３１，５３２における電力密度は、２．９Ｗ／ｃｍ２である。 (Example 4)
A liquid repellent resin sheet 11 and a light guide plate 10 were obtained in the same manner as in Example 3 except that a 525 mm × 301 mm × 2 mm resin sheet was used and the following points were changed in the liquid repellent treatment. .
-The length L4 was changed to 4 mm.
-The length L3 between the spacers S1 and S2 was changed to 565 mm.
A power of 1.3 kW was supplied to the first and second electrode pairs 52 and 53 electrically connected to the power supply 55. The power density at the electrodes 521, 522, 531 and 532 is 2.9 W / cm 2 .

上記のように撥液処理条件を変更して撥液性樹脂シート１１を製造する場合、装置の破壊は生じなかった。また、製造された撥液性樹脂シート１１を目視評価した際、異常は見られなかった。   In the case where the liquid repellent resin sheet 11 was produced by changing the liquid repellent treatment conditions as described above, the apparatus was not broken. Moreover, when the manufactured liquid-repellent resin sheet 11 was visually evaluated, no abnormality was observed.

（実施例５）
５８７ｍｍ×１０２８ｍｍ×３ｍｍの樹脂シートを使用した点、及び、撥液処理において、以下の点を変更した点以外は、実施例３と同様にして撥液性樹脂シート１１及び導光板１０を得た。
・スペーサＳ１，Ｓ２間の長さＬ３を６２７ｍｍに変更した。
・ＣＦ４濃度を１．０容量％に変更した。このＣＦ４の濃度は、Ａｒを２８０Ｌ／ｍｉｎ、ＣＦ４を２．８Ｌ／ｍｉｎの流量でチャンバ部５１内に供給することによって実現した。 (Example 5)
A liquid repellent resin sheet 11 and a light guide plate 10 were obtained in the same manner as in Example 3 except that a 587 mm × 1028 mm × 3 mm resin sheet was used and the following points were changed in the liquid repellent treatment. .
-The length L3 between the spacers S1 and S2 was changed to 627 mm.
· CF 4 was changed to a concentration of 1.0% by volume. This CF 4 concentration was realized by supplying Ar into the chamber 51 at a flow rate of 280 L / min and CF 4 at 2.8 L / min.

長さＬ３を６２７ｍｍに変更した一方、電力は、実施例３と同様に１．５ｋＷであることから、実施例５において、電極５２１，５２２，５３１，５３２における電力密度は、３．０Ｗ／ｃｍ２である。 While the length L3 was changed to 627 mm, the power was 1.5 kW as in Example 3. Therefore, in Example 5, the power density at the electrodes 521, 522, 531 and 532 was 3.0 W / cm. 2 .

上記のように撥液処理条件を変更して撥液性樹脂シート１１を製造する場合、装置の破壊は生じなかった。また、製造された撥液性樹脂シート１１を目視評価した際、異常は見られなかった。   In the case where the liquid repellent resin sheet 11 was produced by changing the liquid repellent treatment conditions as described above, the apparatus was not broken. Moreover, when the manufactured liquid-repellent resin sheet 11 was visually evaluated, no abnormality was observed.

（ムラの評価結果）
実施例１〜５の導光板１０における反射ドット１２のパターンのムラの評価結果を表１に示す。得られた導光板１０を光源にかざし、非印刷面、すなわち、反射ドット１２が形成されていない面の側から複数の反射ドット１２のパターンをみてムラを評価した。ムラは次の３段階で評価した。すなわち、光源に対して導光板をかざす角度に依存せずにムラがほとんど視認されない場合を◎、光源に対して導光板をかざす角度によってムラが視認される場合を○、光源に対して導光板をかざす角度によらず明らかにムラが生じている場合を×とした。

Figure 0005486702
(Evaluation results of unevenness)
Table 1 shows the evaluation results of the pattern unevenness of the reflective dots 12 in the light guide plate 10 of Examples 1 to 5. The obtained light guide plate 10 was held over a light source, and unevenness was evaluated by looking at the pattern of the plurality of reflective dots 12 from the non-printed surface, that is, the surface where the reflective dots 12 were not formed. The unevenness was evaluated in the following three stages. That is, the case where the unevenness is hardly visible without depending on the angle at which the light guide plate is held over the light source, the case where the unevenness is visually recognized depending on the angle at which the light guide plate is held over the light source, and the light guide plate against the light source The case where unevenness was clearly generated regardless of the angle over which the mark was held was marked as x.
Figure 0005486702

表１から理解されるように、低い電力密度を利用して樹脂シート４０に撥液処理を施しても、所定のパターンに対応した反射ドット１２を形成できる。すなわち、樹脂シート４０の所定の面に均一に撥液性を付与できる。   As understood from Table 1, even when the resin sheet 40 is subjected to a liquid repellent treatment using a low power density, the reflective dots 12 corresponding to a predetermined pattern can be formed. That is, liquid repellency can be imparted uniformly to a predetermined surface of the resin sheet 40.

以上、本発明の種々の実施形態及び実施例について説明したが、本発明は、上記実施形態及び実施例に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。例えば、撥液処理装置は、第１の電極対５２及び第２の電極対５３を有するとしたが、電極対は一組でもよいし、３組以上でもよい。ただし、複数の樹脂シート４０を枚葉処理する場合には、電極５２１，５２２の間及び電極５３１，５３２の間において雰囲気ガスＧが流入可能な空間領域が時間的に変化する。その結果、電極５２１，５２２の間及び電極５３１，５３２の間への雰囲気ガスＧの流入量が変化するので、電極対を２組以上設けることが好ましい。この場合、撥液処理が主面４０ａに２回以上施されるので、より均一に撥液性を主面４０ａに付与し得るからである。撥液処理装置を利用して複数の樹脂シート４０を枚葉処理する例に限らず、長尺の樹脂シート４０に撥液処理を行ってもよい。   Although various embodiments and examples of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments and examples, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention. For example, the liquid repellent treatment apparatus has the first electrode pair 52 and the second electrode pair 53, but the electrode pair may be one set or three or more sets. However, in the case where a plurality of resin sheets 40 are subjected to a single wafer process, a space region into which the atmospheric gas G can flow between the electrodes 521 and 522 and between the electrodes 531 and 532 changes with time. As a result, since the inflow amount of the atmospheric gas G between the electrodes 521 and 522 and between the electrodes 531 and 532 changes, it is preferable to provide two or more electrode pairs. In this case, the liquid repellency treatment is performed twice or more on the main surface 40a, so that the liquid repellency can be imparted to the main surface 40a more uniformly. The liquid repellent treatment may be performed on the long resin sheet 40 without being limited to the example in which the plurality of resin sheets 40 are processed by using the liquid repellent treatment apparatus.

樹脂シート４０の上面４０ａに撥液処理が施される場合について、具体的に説明したが、上面４０ａと下面４０ｂのうちの一方に撥液処理が施されればよい。上面４０ａと下面４０ｂとがどちらにも撥液処理を施す場合、上面４０ａと下面４０ｂに面する電極との間及び下面４０ｂと下面４０ｂに面する電極との間のそれぞれにおいて撥液処理に寄与するプラズマ放電空間を形成すればよい。この場合、実効体積Ｖは、すべての撥液処理に寄与するプラズマ放電空間の体積の和である。   Although the case where the liquid repellent treatment is performed on the upper surface 40a of the resin sheet 40 has been specifically described, the liquid repellent treatment may be performed on one of the upper surface 40a and the lower surface 40b. When both the upper surface 40a and the lower surface 40b are subjected to the liquid repellent treatment, they contribute to the liquid repellent treatment between the upper surface 40a and the electrode facing the lower surface 40b and between the lower surface 40b and the electrode facing the lower surface 40b. A plasma discharge space may be formed. In this case, the effective volume V is the sum of the volumes of the plasma discharge space that contributes to all the liquid repellent treatments.

電源５５は、大気圧プラズマ生成用の一対の電極に大気圧プラズマを生じせしめる交流電圧を印加できれば特に限定されない。例えば、大気圧プラズマを生成するための電源は、パルス電源でもよいし、又は、パルス電源と、サイン波生成器とを組み合わせたものでもよい。プラズマの発生に利用し得るパルス電源の特性の例は次のとおりである。すなわち、繰り返し周波数は１ＭＨｚ以下であり、波形の立ち上がり時間は１００μｓｅｃ以下であり、パルス印加時間は１ｍｓｅｃ以下である。また、交流電圧の周波数や、交流電圧を生成するための印加波形も特に限定されない。   The power supply 55 is not particularly limited as long as an AC voltage that generates atmospheric pressure plasma can be applied to a pair of electrodes for generating atmospheric pressure plasma. For example, the power source for generating atmospheric pressure plasma may be a pulse power source, or a combination of a pulse power source and a sine wave generator. Examples of characteristics of a pulse power source that can be used for generating plasma are as follows. That is, the repetition frequency is 1 MHz or less, the waveform rise time is 100 μsec or less, and the pulse application time is 1 msec or less. Further, the frequency of the AC voltage and the applied waveform for generating the AC voltage are not particularly limited.

撥液性樹脂シートの製造装置である大気圧プラズマ処理装置５０では、前述したように、複数の搬送ローラ５４が、互いに対向する一対の電極の間に樹脂シート４０を配置するためのシート配置部として機能する。シート配置部は、互いに対向する一対の電極の間に樹脂シート４０を配置できれば搬送ローラ５４に限定されない。例えば、樹脂シート４０を載置する台でもよい。   In the atmospheric pressure plasma processing apparatus 50, which is a liquid repellent resin sheet manufacturing apparatus, as described above, a plurality of transport rollers 54 arrange the resin sheet 40 between a pair of electrodes facing each other. Function as. The sheet placement unit is not limited to the transport roller 54 as long as the resin sheet 40 can be placed between a pair of electrodes facing each other. For example, a stand on which the resin sheet 40 is placed may be used.

図２に例示導光板１０の製造方法では、樹脂シート製造工程Ｓ１１と撥液処理工程Ｓ１２とを実施することで、撥液性樹脂シート１１が製造され得る。よって、樹脂シート製造工程Ｓ１１と撥液処理工程Ｓ１２とは、撥液性樹脂シートの製造方法に対応する。しかしながら、例えば、樹脂シートとして既存のものを使用する場合は、樹脂シート製造工程Ｓ１１は備え無くても良い。   In the manufacturing method of the light guide plate 10 illustrated in FIG. 2, the liquid repellent resin sheet 11 can be manufactured by performing the resin sheet manufacturing step S11 and the liquid repellent treatment step S12. Therefore, the resin sheet manufacturing step S11 and the liquid repellent treatment step S12 correspond to a method for manufacturing a liquid repellent resin sheet. However, for example, when an existing resin sheet is used, the resin sheet manufacturing step S11 may not be provided.

撥液性樹脂シート１１は、導光板１０に適用される場合に限らない。撥液性樹脂シート１１は、撥液化された面を利用する光学部品などに適用可能である。   The liquid repellent resin sheet 11 is not limited to being applied to the light guide plate 10. The liquid repellent resin sheet 11 can be applied to an optical component using a liquid repellent surface.

１０…導光板、１１…撥液性樹脂シート、１１ａ…裏面（主面）、１１ｂ…出射面（主面）、１２…反射ドット、３０…導光板の製造システム、３１…樹脂シート製造部、３２…撥液処理部、３３…反射ドット形成部、４０…樹脂シート、４０ａ…上面（主面）、４０ｂ…下面（主面）、５０…大気圧プラズマ処理装置（撥液性樹脂シートの製造装置）、５１…チャンバ部、５２…第１の電極対（第１の一対の電極）、５５１，５５２…電極（対向する一対の電極）、５３…第２の電極対（第２の一対の電極）、５３１，５３２…（対向する一対の電極）、５４…搬送ローラ（搬送部）、５５…電源、５６…ガス供給部、５５１，５５２…電極（第１の電極対が有する対向する一対の電極）、Ｇ…雰囲気ガス。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Light guide plate, 11 ... Liquid-repellent resin sheet, 11a ... Back surface (main surface), 11b ... Outgoing surface (main surface), 12 ... Reflection dot, 30 ... Light guide plate manufacturing system, 31 ... Resin sheet manufacturing part, 32 ... Liquid repellent treatment part, 33 ... Reflective dot forming part, 40 ... Resin sheet, 40a ... Upper surface (main surface), 40b ... Lower surface (main surface), 50 ... Atmospheric pressure plasma treatment apparatus (Manufacture of liquid repellent resin sheet) Device), 51 ... chamber portion, 52 ... first electrode pair (first pair of electrodes), 551, 552 ... electrode (pair of opposing electrodes), 53 ... second electrode pair (second pair of electrodes) Electrodes), 531, 532 (a pair of opposing electrodes), 54 ... a conveyance roller (conveyance unit), 55 ... a power source, 56 ... a gas supply unit, 551, 552 ... an electrode (a pair of opposed electrodes of the first electrode pair) Electrode), G ... atmosphere gas.

Claims (19)

撥液処理が施された面を有する撥液性樹脂シートを製造する方法であって、
対向して配置された一対の電極間に大気圧プラズマを雰囲気ガス中で発生させることによって、前記一対の電極間に配置される樹脂シートの主面に、前記大気圧プラズマによって撥液処理を施す工程を有し、
前記電極には、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力が供給され、
前記雰囲気ガスは、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含み、
前記一対の電極のうち前記樹脂シートの主面と反対側に配置される電極は、前記一対の電極を収容するチャンバ部の壁に固定された固定電極であり、
前記撥液処理を施す工程では、前記樹脂シートを搬送部によって搬送しながら前記撥液処理を行い、
前記搬送部は、前記樹脂シートと前記固定電極との間に隙間を生じた状態で、前記樹脂シートを支持しながら前記樹脂シートを搬送する、
撥液性樹脂シートの製造方法。 A method for producing a liquid repellent resin sheet having a surface subjected to a liquid repellent treatment,
By generating atmospheric pressure plasma in an atmospheric gas between a pair of electrodes arranged opposite to each other, a liquid repellent treatment is applied to the main surface of the resin sheet arranged between the pair of electrodes by the atmospheric pressure plasma. Having a process,
The electrode is supplied with electric power corresponding to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 ,
The atmospheric gas, seen contains argon and perfluorocarbons,
Of the pair of electrodes, the electrode disposed on the opposite side of the main surface of the resin sheet is a fixed electrode fixed to a wall of a chamber portion that houses the pair of electrodes,
In the step of performing the liquid repellent treatment, the liquid repellent treatment is performed while the resin sheet is conveyed by a conveyance unit,
The transport unit transports the resin sheet while supporting the resin sheet in a state where a gap is generated between the resin sheet and the fixed electrode.
A method for producing a liquid repellent resin sheet. 前記樹脂シートと、前記固定電極との間の距離が０ｍｍより大きい、請求項１記載の撥液性樹脂シートの製造方法。The method for producing a liquid-repellent resin sheet according to claim 1, wherein a distance between the resin sheet and the fixed electrode is greater than 0 mm. 前記撥液処理を施す工程は、
第１の一対の電極間に前記樹脂シートを搬送しながら前記樹脂シートの前記主面に前記大気圧プラズマによって第１の撥液処理を施す工程と、
前記樹脂シートの搬送方向において前記第１の一対の電極の下流側に配置された第２の一対の電極間に前記樹脂シートを搬送しながら前記主面に前記大気圧プラズマによって第２の撥液処理を施す工程と
を有し、
前記樹脂シートの搬送方向において前記第１の一対の電極と前記第２の一対の電極との間から、前記第１の一対の電極間と前記第２の一対の電極間に前記雰囲気ガスを供給する、
請求項１又は２記載の撥液性樹脂シートの製造方法。 The step of applying the liquid repellent treatment includes
Performing a first liquid repellent treatment by the atmospheric pressure plasma on the main surface of the resin sheet while conveying the resin sheet between a first pair of electrodes;
A second liquid repellency is generated by the atmospheric pressure plasma on the main surface while transporting the resin sheet between a second pair of electrodes disposed downstream of the first pair of electrodes in the transport direction of the resin sheet. And a process of applying treatment.
Supplying the atmospheric gas between the first pair of electrodes and between the second pair of electrodes from between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes in the transport direction of the resin sheet To
The manufacturing method of the liquid repellent resin sheet of Claim 1 or 2 . 前記撥液処理を施す工程では、複数の樹脂シートを前記第１の一対の電極間及び前記第２の一対の電極間に順に搬送しながら、前記複数の樹脂シートの各々の前記主面に前記第１の撥液処理及び前記第２の撥液処理を施す、
請求項３に記載の撥液性樹脂シートの製造方法。 In the step of performing the liquid repellency treatment, the plurality of resin sheets are sequentially conveyed between the first pair of electrodes and between the second pair of electrodes, and the main surface of each of the plurality of resin sheets is Applying a first liquid repellent treatment and the second liquid repellent treatment;
The manufacturing method of the liquid repellent resin sheet of Claim 3 . 前記パーフルオロカーボンが４フッ化炭素である、請求項１〜４の何れか一項記載の撥液性樹脂シートの製造方法。 The method for producing a liquid-repellent resin sheet according to any one of claims 1 to 4 , wherein the perfluorocarbon is carbon tetrafluoride. 撥液処理が施された面を有する撥液性樹脂シートを製造する工程であって、
対向して配置された一対の電極間に大気圧プラズマを雰囲気ガス中で発生させることによって、前記一対の電極間に配置される樹脂シートの主面に、前記大気圧プラズマによって撥液処理を施す工程を有し、
前記電極には、１Ｗ／ｃｍ ２ 〜２５Ｗ／ｃｍ ２ の電力密度に対応する電力が供給され、
前記雰囲気ガスは、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含む、
前記撥液性樹脂シートを製造する工程と、
液体インクを固化させることによって、前記撥液性樹脂シートにおいて撥液処理が施された前記主面に、前記撥液性樹脂シート内を伝搬する光を反射する複数の反射ドットを形成する工程と、
を備える、
導光板の製造方法。 A step of producing a liquid-repellent resin sheet having a surface subjected to liquid-repellent treatment,
By generating atmospheric pressure plasma in an atmospheric gas between a pair of electrodes arranged opposite to each other, a liquid repellent treatment is applied to the main surface of the resin sheet arranged between the pair of electrodes by the atmospheric pressure plasma. Having a process,
The electrode is supplied with electric power corresponding to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 ,
The atmospheric gas includes argon and perfluorocarbon,
Producing the liquid repellent resin sheet;
Forming a plurality of reflective dots that reflect light propagating in the liquid repellent resin sheet on the main surface of the liquid repellent resin sheet that has been subjected to a liquid repellent treatment by solidifying the liquid ink; ,
Comprising
Manufacturing method of light guide plate. 前記撥液処理を施す工程は、The step of applying the liquid repellent treatment includes
第１の一対の電極間に前記樹脂シートを搬送しながら前記樹脂シートの前記主面に前記大気圧プラズマによって第１の撥液処理を施す工程と、Performing a first liquid repellent treatment by the atmospheric pressure plasma on the main surface of the resin sheet while conveying the resin sheet between a first pair of electrodes;
前記樹脂シートの搬送方向において前記第１の一対の電極の下流側に配置された第２の一対の電極間に前記樹脂シートを搬送しながら前記主面に前記大気圧プラズマによって第２の撥液処理を施す工程とA second liquid repellency is generated by the atmospheric pressure plasma on the main surface while transporting the resin sheet between a second pair of electrodes disposed downstream of the first pair of electrodes in the transport direction of the resin sheet. The process of applying the treatment and
を有し、Have
前記樹脂シートの搬送方向において前記第１の一対の電極と前記第２の一対の電極との間から、前記第１の一対の電極間と前記第２の一対の電極間に前記雰囲気ガスを供給する、Supplying the atmospheric gas between the first pair of electrodes and between the second pair of electrodes from between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes in the transport direction of the resin sheet To
請求項６記載の導光板の製造方法。The manufacturing method of the light-guide plate of Claim 6. 前記撥液処理を施す工程では、複数の樹脂シートを前記第１の一対の電極間及び前記第２の一対の電極間に順に搬送しながら、前記複数の樹脂シートの各々の前記主面に前記第１の撥液処理及び前記第２の撥液処理を施す、In the step of performing the liquid repellency treatment, the plurality of resin sheets are sequentially conveyed between the first pair of electrodes and between the second pair of electrodes, and the main surface of each of the plurality of resin sheets is Applying a first liquid repellent treatment and the second liquid repellent treatment;
請求項７に記載の導光板の製造方法。The manufacturing method of the light-guide plate of Claim 7. 前記パーフルオロカーボンが４フッ化炭素である、請求項６〜８の何れか一項記載の導光板の製造方法。The manufacturing method of the light-guide plate as described in any one of Claims 6-8 whose said perfluorocarbon is carbon tetrafluoride. 前記反射ドットを形成する工程は、
インクジェット法によって前記液体インクを前記撥液処理が施された前記主面に滴下する工程と、
前記液体インクを固化させる工程と、
を有する、
請求項６〜９の何れか一項記載の導光板の製造方法。 The step of forming the reflective dots includes
Dropping the liquid ink onto the main surface subjected to the liquid repellent treatment by an inkjet method;
Solidifying the liquid ink;
Having
The manufacturing method of the light-guide plate as described in any one of Claims 6-9 . 前記液体インクは、紫外線硬化インクであり、
前記液体インクを固化させる工程では、前記液体インクへの紫外線照射によって前記液体インクを硬化させる、
請求項１０記載の導光板の製造方法。 The liquid ink is an ultraviolet curable ink ,
In the step of solidifying the liquid ink, the liquid ink is cured by irradiating the liquid ink with ultraviolet rays.
The manufacturing method of the light-guide plate of Claim 10 . 前記反射ドットの直径が２０μｍ以上１２０μｍ以下である、請求項６〜１１の何れか一項記載の導光板の製造方法。 The manufacturing method of the light-guide plate as described in any one of Claims 6-11 whose diameters of the said reflective dot are 20 micrometers or more and 120 micrometers or less. 前記反射ドットを形成する工程では、複数の前記反射ドットのうち隣接する２つの前記反射ドットの間隔が８０μｍ以上２００μｍ以下である、請求項６〜１２の何れか一項記載の導光板の製造方法。 The method of manufacturing a light guide plate according to any one of claims 6 to 12 , wherein, in the step of forming the reflective dots, an interval between two adjacent reflective dots among the plurality of reflective dots is 80 µm or more and 200 µm or less. . 前記撥液性樹脂シートを製造する工程で製造された前記撥液性樹脂シートが有する撥液処理された前記主面の純水に対する接触角が８５°以上１２０°以下である、請求項６〜１２の何れか一項記載の導光板の製造方法。 The contact angle with respect to the pure water of the liquid repellent treated main surface of the liquid repellent resin sheet produced in the step of producing the liquid repellent resin sheet is 85 ° or more and 120 ° or less . The method for producing a light guide plate according to any one of claims 12 to 13 . 撥液処理が施された面を有する撥液性樹脂シートを製造する装置であって、
対向して配置された一対の電極と、
前記一対の電極間に樹脂シートを配置するシート配置部と、
前記一対の電極間に大気圧プラズマを発生させるための電圧を前記一対の電極に印加する電源と、
前記一対の電極間に雰囲気ガスを供給するガス供給部と、
を備え、
前記電極には、前記電源から、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力が供給され、
前記雰囲気ガスは、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含み、
前記一対の電極のうち前記シート配置部側の電極は、前記一対の電極を収容しているチャンバ部の壁に固定された固定電極であり、
前記シート配置部は、前記樹脂シートを搬送する搬送部であり、
前記搬送部は、前記樹脂シートと前記固定電極との間に隙間を生じた状態で、前記樹脂シートを支持しながら前記樹脂シートを搬送する、
撥液性樹脂シートの製造装置。 An apparatus for producing a liquid repellent resin sheet having a surface subjected to a liquid repellent treatment,
A pair of opposing electrodes,
A sheet placement section for placing a resin sheet between the pair of electrodes;
A power supply for applying a voltage to the pair of electrodes to generate atmospheric pressure plasma between the pair of electrodes;
A gas supply unit for supplying an atmospheric gas between the pair of electrodes;
With
The said electrodes from said power supply, power is supplied that corresponds to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 ,
The atmospheric gas, seen contains argon and perfluorocarbons,
Of the pair of electrodes, the electrode on the sheet placement portion side is a fixed electrode fixed to the wall of the chamber portion that houses the pair of electrodes,
The sheet placement unit is a transport unit that transports the resin sheet,
The transport unit transports the resin sheet while supporting the resin sheet in a state where a gap is generated between the resin sheet and the fixed electrode.
Manufacturing equipment for liquid repellent resin sheet. 前記樹脂シートと前記固定電極との間の距離が０ｍｍより大きい、請求項１５記載の撥液性樹脂シートの製造装置。The liquid repellent resin sheet manufacturing apparatus according to claim 15, wherein a distance between the resin sheet and the fixed electrode is greater than 0 mm. ２組の前記一対の電極を備え、
２組の前記一対の電極のうち第１の一対の電極と第２の一対の電極とは、前記搬送部による前記樹脂シートの搬送方向に沿って離して配置されており、
前記ガス供給部は、前記搬送方向において、前記第１の一対の電極と前記第２の一対の電極との間から前記雰囲気ガスを前記第１の一対の電極間及び前記第２の一対の電極間に供給する、
請求項１５又は１６記載の撥液性樹脂シートの製造装置。 Two sets of the pair of electrodes,
Of the two sets of the pair of electrodes, the first pair of electrodes and the second pair of electrodes are arranged apart along the transport direction of the resin sheet by the transport unit,
The gas supply unit transfers the atmospheric gas from between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes in the transport direction between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes. Supply in between,
The apparatus for producing a liquid repellent resin sheet according to claim 15 or 16 . 樹脂シートの主面に大気圧プラズマによって撥液処理を施す撥液処理部と、
前記主面に、前記樹脂シート内を伝搬する光を反射する複数の反射ドットを形成する反射ドット形成部と、
を備え、
前記撥液処理部は、
対向して配置された一対の電極と、
前記一対の電極間に樹脂シートを配置するシート配置部と、
前記一対の電極間に大気圧プラズマを発生させるための電圧を前記一対の電極に印加する電源と、
前記一対の電極間に雰囲気ガスを供給するガス供給部と、
を備え、
前記電極には、前記電源から、１Ｗ／ｃｍ２〜２５Ｗ／ｃｍ２の電力密度に対応する電力が供給され、
前記雰囲気ガスは、アルゴン及びパーフルオロカーボンを含む、
導光板の製造システム。 A liquid repellent treatment portion for subjecting the principal surface of the resin sheet to a liquid repellent treatment by atmospheric pressure plasma;
A reflective dot forming part for forming a plurality of reflective dots that reflect light propagating in the resin sheet on the main surface;
With
The liquid repellent treatment part is
A pair of opposing electrodes,
A sheet placement section for placing a resin sheet between the pair of electrodes;
A power supply for applying a voltage to the pair of electrodes to generate atmospheric pressure plasma between the pair of electrodes;
A gas supply unit for supplying an atmospheric gas between the pair of electrodes;
With
The said electrodes from said power supply, power is supplied that corresponds to a power density of 1W / cm 2 ~25W / cm 2 ,
The atmospheric gas includes argon and perfluorocarbon,
Light guide plate manufacturing system. 前記撥液処理部は、２組の前記一対の電極を備え、
前記シート配置部は、前記樹脂シートを搬送する搬送部であり、
２組の前記一対の電極のうち第１の一対の電極と第２の一対の電極とは、前記搬送部による前記樹脂シートの搬送方向に沿って離して配置されており、
前記ガス供給部は、前記搬送方向において、前記第１の一対の電極と前記第２の一対の電極との間から前記雰囲気ガスを前記第１の一対の電極間及び前記第２の一対の電極間に供給する、
請求項１８記載の導光板の製造システム。 The liquid repellent treatment part includes two pairs of the pair of electrodes,
The sheet placement unit is a transport unit that transports the resin sheet,
Of the two sets of the pair of electrodes, the first pair of electrodes and the second pair of electrodes are arranged apart along the transport direction of the resin sheet by the transport unit,
The gas supply unit transfers the atmospheric gas from between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes in the transport direction between the first pair of electrodes and the second pair of electrodes. Supply in between,
The light guide plate manufacturing system according to claim 18 .
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