JP5482958B1 - 検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】検査機を上下に並べた構成において、基板を出し入れする作業性を向上させる。
【解決手段】基板が出し入れされ、入れられた基板を検査する第1検査機及び第2検査機と、第1検査機を載せる第1台であって、第1検査機に対して基板が出し入れされる第1出入位置と、第1出入位置よりも上方であって、第1出入位置で入れられた基板を検査中の第1検査機を位置させるための第1検査位置と、に移動可能な第1台と、第1台の下方に配置されると共に第2検査機を載せる第2台であって、第2検査機に対して基板が出し入れされる第2出入位置と、第2出入位置よりも下方であって、第2出入位置で入れられた基板を検査中の第2検査機を位置させるための第2検査位置と、に移動可能な第2台と、第1出入位置と第1検査位置とに第1台を昇降させると共に、第2出入位置と第2検査位置とに第2台を昇降させる昇降機構と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】基板が出し入れされ、入れられた基板を検査する第1検査機及び第2検査機と、第1検査機を載せる第1台であって、第1検査機に対して基板が出し入れされる第1出入位置と、第1出入位置よりも上方であって、第1出入位置で入れられた基板を検査中の第1検査機を位置させるための第1検査位置と、に移動可能な第1台と、第1台の下方に配置されると共に第2検査機を載せる第2台であって、第2検査機に対して基板が出し入れされる第2出入位置と、第2出入位置よりも下方であって、第2出入位置で入れられた基板を検査中の第2検査機を位置させるための第2検査位置と、に移動可能な第2台と、第1出入位置と第1検査位置とに第1台を昇降させると共に、第2出入位置と第2検査位置とに第2台を昇降させる昇降機構と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、検査装置に関する。
特許文献1には、プリント基板に対して電気的な検査を行う基板検査装置が開示されている。
本発明は、検査機を上下に並べた構成において、基板を出し入れする作業性を向上させることを目的とする。
請求項1の発明は、基板が出し入れされ、入れられた基板を検査する第1検査機及び第2検査機と、前記第1検査機を載せる第1台であって、該第1検査機に対して前記基板が出し入れされる第1出入位置と、前記第1出入位置よりも上方であって、前記第1出入位置で入れられた基板を検査中の前記第1検査機を位置させるための第1検査位置と、に移動可能な前記第1台と、前記第1台の下方に配置されると共に前記第2検査機を載せる第2台であって、該第2検査機に対して前記基板が出し入れされる第2出入位置と、前記第2出入位置よりも下方であって、前記第2出入位置で入れられた基板を検査中の第2検査機を位置させるための第2検査位置と、に移動可能な前記第2台と、前記第1出入位置と前記第1検査位置とに前記第1台を昇降させると共に、前記第2出入位置と前記第2検査位置とに前記第2台を昇降させる昇降機構と、を備える。
請求項2の発明では、前記第2検査機は、前記基板が入れられる際に前記第1台側へ移動することで開けられる蓋部を備え、前記第1検査位置は、開けられた前記蓋部から前記第1台が退避する位置である。
請求項3の発明では、前記昇降機構は、前記第1台を前記第1検査位置に、前記第2台を前記第2出入位置に、一体に上昇させ、前記第1台を前記第1出入位置に、前記第2台を前記第2検査位置に、一体に降下させる。
請求項4の発明では、前記昇降機構は、前記第1検査機に対して前記基板への検査開始の操作がなされると、前記第1台を前記第1検査位置に上昇させる。
請求項5の発明では、前記昇降機構は、前記第2検査機に対して前記基板への検査開始の操作がなされると、前記第2台を前記第2検査位置に降下させる。
請求項6の発明では、前記第1検査機及び前記第2検査機の検査終了を表示する表示部を備え、前記昇降機構は、前記第1検査機及び前記第2検査機のうち、先に検査が終了した検査機を、検査開始の順番に関わらず、当該検査機の出入位置に昇降可能に構成されている。
本発明の請求項1の構成によれば、第1台及び第2台が昇降しない場合に比べ、基板を出し入れする作業性が向上する。
本発明の請求項2の構成によれば、第1台が退避しない場合に比べ、第2検査機の蓋部が第1台に干渉することを抑制できる。
本発明の請求項3の構成によれば、単一の昇降機によって、第1台及び第2台の昇降を行うことができる。
本発明の請求項4の構成によれば、第1台を上昇させる操作が不要となる。
本発明の請求項5の構成によれば、第2台を降下させる操作が不要となる。
本発明の請求項6の構成によれば、先に検査が終了した検査機に対して、検査開始の順番に関わらず、基板の出し入れ作業を行える。
以下に、本発明に係る実施形態の一例を図面に基づき説明する。
(本実施形態に係る検査装置10)
まず、本実施形態に係る検査装置10の構成を説明する。図1及び図2は、検査装置10の構成を示す斜視図である。図3〜図6は、検査装置10の構成を示す側面図である。なお、下記の説明で用いるX方向、−X方向、Y方向(上方)、−Y方向(下方)、Z方向及び−Z方向は、図中に示す矢印方向である。また、図中の「○」の中に「×」が記載された記号は、紙面の手前から奥へ向かう矢印を意味し、図中の「○」の中に「・」が記載された記号は、紙面の奥から手前へ向かう矢印を意味する。さらに、図3〜図6において、検査装置10における可動部分(可動体40)を分かりやすくするため、ドットを付している。
まず、本実施形態に係る検査装置10の構成を説明する。図1及び図2は、検査装置10の構成を示す斜視図である。図3〜図6は、検査装置10の構成を示す側面図である。なお、下記の説明で用いるX方向、−X方向、Y方向(上方)、−Y方向(下方)、Z方向及び−Z方向は、図中に示す矢印方向である。また、図中の「○」の中に「×」が記載された記号は、紙面の手前から奥へ向かう矢印を意味し、図中の「○」の中に「・」が記載された記号は、紙面の奥から手前へ向かう矢印を意味する。さらに、図3〜図6において、検査装置10における可動部分(可動体40)を分かりやすくするため、ドットを付している。
検査装置10は、図1に示されるように、本体フレーム20と、本体フレーム20の内部に配置され本体フレーム20に対して上下方向(−Y、Y方向)に昇降可能な可動体40と、を備えている。さらに、検査装置10は、可動体40の上部に配置された第1検査機70と、可動体40の下部に配置された第2検査機80と、可動体40の下方(−Y方向)に配置され可動体40を昇降させる昇降機90(昇降機構の一例)と、を備えている。
第1検査機70及び第2検査機80は、基板K(回路基板)に対して電気的な検査をする装置である。電気的な検査としては、例えば、インサーキット検査、ファンクション検査などがある。第1検査機70及び第2検査機80は、具体的には、それぞれ、検査機本体72、82と、検査機本体72、82の上部に開閉可能に設けられた蓋部74、84と、を有している。蓋部74、84は、検査機本体72、82のZ方向端部で支持部(ヒンジ部)73、83によって支持されている。これにより、蓋部74、84のZ方向端部を支点に−Z方向端部が上方(Y方向)へ回転することで、蓋部74、84が開けられる。また、蓋部74、84は、開けられた状態からZ方向端部を支点に−Z方向端部が下方(−Y方向)へ回転することで閉められる。
検査機本体72、82は、箱状に形成されており、蓋部74、84が開けられた状態において上部が開放される。検査機本体72、82の開放された上部に対して、検査対象である基板Kが出し入れされる。そして、検査機本体72、82内に基板Kが入れられた後、蓋部74、84が閉められた状態において、当該基板Kに対して電気的な検査が行われる。
なお、検査機本体72、82には、検査開始の操作をするための操作部(図示省略)が設けられている。また、作業者は、検査装置10の−Z方向側の側面に対して対面した状態で、第1検査機70及び第2検査機80に対して基板Kの出し入れ作業を行う。
本体フレーム20は、検査装置10における固定部分であり、板状の底部22と、底部22の4隅から上方へ立設された4つの支柱24A、24B、24C、24D(以下、24A〜24D)と、4つの支柱24A〜24Dの各々の上端部を連結する4つの梁26A、26B、26C、26Dと、を有している。
底部22は、昇降機90が載せられる部分であり、四角形状の底板22Eと、底板22Eの周囲を囲んで枠状をなす4つの底梁22A、22B、22C、22D(以下、22A〜22Dという)と、を有している。4つの底梁22A〜22Dは、その4隅で、脚部21によって、検査装置10が設置される床面(図示省略)上に支持されている。
支柱24A〜24Dの各々は、具体的には、4つの底梁22A〜22Dの接続部分である隅部の各々で上方に立設されている。底梁22AのZ方向側部分には、支柱24Aに対向する対向柱28Aが、支柱24Aとの間に後述のコロ47A、49Aが配置可能な隙間を有して立設されている。底梁22Aの−Z方向側部分には、支柱24Bに対向する対向柱28Bが、支柱24Bとの間に後述のコロ47B、49Bが配置可能な隙間を有して立設されている。対向柱28A及び対向柱28Bの上端部は、梁26Aに連結されている。
底梁22Cの−Z方向側部分には、支柱24Cに対向する対向柱28Cが、支柱24Cとの間に後述のコロ47Cが配置可能な隙間を有して立設されている。底梁22CのZ方向側部分には、支柱24Dに対向する対向柱28Dが、支柱24Dとの間に後述のコロ47Dが配置可能な隙間を有して立設されている。対向柱28C及び対向柱28Dの上端部は、梁26Cに連結されている。
対向柱28Aの上下方向中間部と対向柱28Bの上下方向中間部との間には、対向柱28Aと対向柱28Bとを連結する上下一対の上梁27A及び下梁29Aが配置されている。上梁27Aと下梁29Aとの間には、上梁27A及び下梁29Aを斜めに連結する前後一対のレール部材23A、25Aが設けられている。一対のレール部材23A、25Aは、下端側が下梁29Aの−Z方向側に接続され、上端側が上梁27AのZ方向側に接続されている。すなわち、一対のレール部材23A、25Aは、上方へいくにつれて徐々にZ方向側にずれるように傾斜している。これにより、一対のレール部材23A、25Aは、後述のコロ43Aを、上方へいくにつれて徐々にZ方向側にずれるように案内する構成とされている。
また、対向柱28Cの上下方向中間部と対向柱28Dの上下方向中間部との間には、対向柱28Cと対向柱28Dとを連結する上下一対の上梁27C及び下梁(図示省略)が配置されている。当該下梁は、下梁29Aに対するX方向側に配置された梁である。上梁27Cと当該下梁との間には、上梁27C及び当該下梁を斜めに連結する前後一対のレール部材23C、25Cが設けられている。一対のレール部材23C、25Cは、下端側が当該下梁の−Z方向側に接続され、上端側が上梁27CのZ方向側に接続されている。すなわち、一対のレール部材23C、25Cは、上方へいくにつれて徐々にZ方向側にずれるように傾斜している。これにより、一対のレール部材23C、25Cは、後述のコロ43Aの反対側(X方向側)に配置されたコロ(図示省略)を、上方へいくにつれて徐々にZ方向側にずれるように案内する構成とされている。
可動体40は、検査装置10における可動部分であり、本体フレーム20の内側の空間に収容された状態で、検査装置10における固定部分としての本体フレーム20に対して上下方向(−Y、Y方向)に昇降可能に構成されている。具体的には、可動体40は、板状の底部42と、底部42の4隅から上方(Y方向)へ立設された4つの支柱44A、44B、44C、44D(以下、44A〜44D)と、4つの支柱44A〜44Dの各々の上端部を連結する3つの梁46A、46C、46Dと、を有している。
底部42は、四角形状の底板42Eと、底板42Eの周囲を囲んで枠状をなす4つの底梁42A、42B、42C、42D(以下、42A〜42Dという)と、を有している。4つの支柱44A〜44Dの各々は、具体的には、4つの底梁42A〜42Dの接続部分である隅部の各々で上方(Y方向)に立設されている。
支柱44Aと支柱44Bとの間には、支柱44Aの上下方向中間部と支柱44Bの上下方向中間部とをZ方向に連結する連結梁45Aが設けられている。支柱44Cと支柱44Dとの間には、支柱44Cの上下方向中間部と支柱44Dの上下方向中間部とをZ方向に連結する連結梁45Cが設けられている。
連結梁45A及び連結梁45C上には、第1検査機70を載せる第1台50がZ方向に移動可能に設けられている。第1台50は、連結梁45A及び連結梁45Cに対してZ方向に移動可能に設けられた平面視にてコの字状の移動部材52と、第1検査機70が載せられる載せ板54と、を有している。
移動部材52は、連結梁45A上にZ方向に移動可能に配置されZ方向に長さを有する棒状の移動部52Aと、連結梁45C上にZ方向に移動可能に配置されZ方向に長さを有する棒状の移動部52Bと、移動部52Aの−Z方向部分と移動部52Bの−Z方向部分とを連結する連結部52Cと、を有している。
載せ板54は、矩形状をしており、−Z方向端部が移動部材52の連結部52Cに固定されている。載せ板54のZ方向端部は、−Z方向端部よりも高い位置に配置されており、載せ板54は傾斜している。載せ板54のZ方向端部は、連結梁45A及び連結梁45Cの各々から上方(Y方向)へ立設された支持部材56で支持されている。載せ板54の−Z方向端部には、載せ板54に載せられた第1検査機70の−Z方向への移動(落下)を規制する規制部材58が設けられている。
さらに、底部42の底板42E上には、第2検査機80を載せる第2台60が設けられている。第2台60は、第2検査機80が載せられる載せ板64を有している。載せ板64は、矩形状をしており、−Z方向端部が可動体40の底梁42Bに固定されている。載せ板64のZ方向端部は、−Z方向端部よりも高い位置に配置されており、載せ板64は傾斜している。載せ板64のZ方向端部は、可動体40の底板42Eから上方(Y方向)へ立設された2つの支持部材66(図2、図3参照)で支持されている。載せ板64の−Z方向端部には、載せ板64に載せられた第2検査機80の−Z方向への移動(落下)を規制する規制部材68が設けられている。
このように、本実施形態では、第1台50に第1検査機70が載せられ、第1台50の下方にある第2台60に第2検査機80が載せられることで、第1検査機70及び第2検査機80が上下に並んで配置される。これにより、第1検査機70及び第2検査機80が水平方向に並んで配置される場合に比べ、検査装置10の設置面積(占有面積)が小さくなる。
また、第1検査機70及び第2検査機80の各々は、傾斜した載せ板54、64に載せられて傾いた状態で設置されるので、水平方向に向いた状態で設置される場合に比べ、第1検査機70及び第2検査機80の占有面積が小さくなる。
さらに、第1検査機70及び第2検査機80は、上面が作業者側を向くように傾いた状態で設置されるので、第1検査機70及び第2検査機80に対する基板Kの出し入れ作業がしやすくなっている。
また、本実施形態では、可動体40の梁46Aの側面におけるZ方向端部及び−Z方向端部には、それぞれ、支柱24Aと対向柱28Aとの間に配置されるコロ47A、支柱24Bと対向柱28Bとの間に配置されるコロ47Bが設けられている。すなわち、コロ47Aとコロ47Bとによって、対向柱28A及び対向柱28Bが挟まれている。
可動体40の底梁42Aの側面におけるZ方向端部及び−Z方向端部には、それぞれ、支柱24Aと対向柱28Aとの間に配置されるコロ49A、支柱24Bと対向柱28Bとの間に配置されるコロ49Bが設けられている。すなわち、コロ49Aとコロ49Bとによって、対向柱28A及び対向柱28Bが挟まれている。
可動体40の梁46Cの側面におけるZ方向端部及び−Z方向端部には、それぞれ、支柱24Cと対向柱28Cとの間に配置されるコロ47C、支柱24Dと対向柱28Dとの間に配置されるコロ47Dが設けられている。すなわち、コロ47Cとコロ47Dとによって、対向柱28C及び対向柱28Dが挟まれている。
可動体40の底梁42Cの側面におけるZ方向端部及び−Z方向端部には、それぞれ、支柱24Cと対向柱28Cとの間に配置されるコロ(図示省略)、支柱24Dと対向柱28Dとの間に配置されるコロ(図示省略)が設けられている。すなわち、これらのコロによって、対向柱28C及び対向柱28Dが挟まれている。
コロ47A、47B、47C、47D、49A、49B等が、支柱24A〜24Dの各々と対向柱28A〜28Dの各々との間で案内されることで、可動体40は、本体フレーム20に対して、上下方向(−Y、Y方向)に昇降可能とされている。そして、可動体40に設けられた第1台50は、第1検査機70に対して基板Kが出し入れされる第1出入位置(図2、図5及び図6に示す位置)と、第1出入位置よりも上方であって、第1出入位置で入れられた基板Kを検査中の第1検査機70を位置させるための第1検査位置(図1、図3及び図4に示す位置)と、に移動可能とされている。
第2台60は、第2検査機80に対して基板Kが出し入れされる第2出入位置(図1、図3及び図4に示す位置)と、第2出入位置よりも下方であって、第2出入位置で入れられた基板Kを検査中の第2検査機80を位置させるための第2検査位置(図2、図5及び図6に示す位置)と、に移動可能とされている。
本実施形態では、第1台50及び第2台60は、単一の構造物(可動体40)に設けられているため、一体に移動(変位)する。従って、本実施形態では、第1台50が第1出入位置に位置する状態において、第2台60は、第2検査位置に位置する。また、第1台50が第1検査位置に位置する状態において、第2台60は、第2出入位置に位置する。
さらに、本実施形態では、第1台50の移動部材52の移動部52Aの側面及び移動部52Bの側面には、それぞれ、一対のレール部材23A、25Aの間に配置されたコロ43Aと、一対のレール部材23C、25Cの間に配置されたコロ(図示省略)と、が設けられている。
これにより、第1台50は、上昇するにつれて徐々にZ方向側にずれ、降下するにつれて徐々に−Z方向側にずれるようになっている。そして、第1検査位置(図2、図5及び図6に示す位置)は、第2検査機80における開けられた蓋部84から第1台50が、Z方向側に退避する位置とされている。すなわち、第1台50は、第2検査機80における開けられた蓋部84が干渉しない位置に退避するようになっている。
昇降機90(昇降機構の一例)は、第1台50を第1出入位置と第1検査位置とに昇降させると共に、第2台60を第2出入位置と第2検査位置とに昇降させる装置である。具体的には、昇降機90は、互いの長手方向中央部が回転可能に連結されて側面視(X方向視)にてX字状をなす2組のリンク部材91A、92Aと、リンク部材91A、92Aの下端部が連結された底部94と、リンク部材91A、92Aの上端部が連結された持上部96と、を有している。
2つのリンク部材91Aは、互いに対向して配置されており、2つのリンク部材92Aも、同様に、互いに対向して配置されている。なお、2つのリンク部材91Aの一方の図示を省略している。
底部94は、具体的には、2つのリンク部材91Aの下端部を回転可能に支持し、2つのリンク部材92Aの下端部を回転可能且つ−Z方向(Z方向)に移動可能に支持している。
持上部96は、具体的には、2つのリンク部材92Aの上端部を回転可能に支持し、2つのリンク部材91Aの上端部を回転可能且つ−Z方向(Z方向)に移動可能に支持している。
リンク部材91Aの上端部とリンク部材92Aの上端部との間隔が狭くなるように、リンク部材91A、92Aが駆動部(図示省略)によって立ち上がることにより、持上部96が上昇する。これにより、第1台50が第1検査位置に位置し、第2台60が第2出入位置に位置するように、可動体40を持ち上げる。
また、リンク部材91Aの上端部とリンク部材92Aの上端部との間隔が広くなるように、リンク部材91A、92Aが駆動部(図示省略)によって傾倒することにより、持上部96が降下する。これにより、第1台50が第1出入位置に位置し、第2台60が第2検査位置に位置するように、可動体40を降下させる。
なお、本体フレーム20の支柱24Cには、昇降機90を操作するための操作部98が設けられている。操作部98には、第1操作ボタン98Aと、第2操作ボタン98B、及び第3操作ボタン98Cが設けられている。
第1台50が第1出入位置に位置する停止状態(第2台60が第2検査位置に位置する停止状態)において、第1操作ボタン98Aが操作されると、昇降機90の持上部96が上昇し、第1台50を第1検査位置に移動させる(第2台60を第2出入位置に移動させる)。
第1台50が第1検査位置に位置する停止状態(第2台60が第2出入位置に位置する停止状態)において、第1操作ボタン98Aが操作されると、昇降機90の持上部96が降下し、第1台50を第1出入位置に移動させる(第2台60を第2検査位置に移動させる)。
なお、第2操作ボタン98Bは、可動体40(第1台50及び第2台60)が上昇(又は降下)している状態において操作されることで、降下(又は昇降)する。また、第3操作ボタン98Cは、緊急停止用の操作ボタンであり、可動体40(第1台50及び第2台60)が昇降している状態において操作されることで、昇降動作が停止する。
さらに、検査装置10は、図3に示されるように、第1検査機70及び第2検査機80の検査状態(検査状況)や検査結果を表示する表示部14を備えている。表示部14は、具体的には、第1検査機70の検査状態を示す第1表示装置(ディスプレイ)14Aと、第2検査機80の検査状態を示す第2表示装置(ディスプレイ)14Bと、を有している。なお。表示部14は、図1及び図2において図示を省略している。
第1表示装置14A及び第2表示装置14Bの各々は、例えば、第1検査機70の後方側、第2検査機80の後方側に配置されており、支柱44Aに固定されている。第1表示装置14A及び第2表示装置14Bは、表示画面(表示部分)が−Z方向側を向いており、検査装置10の−Z方向側の側面に対面する作業者が視認できるようになっている。なお、第1表示装置14A及び第2表示装置14Bは、可動体40の昇降に伴って位置が変動しても、作業者が視認できるように位置及び向き(傾き)が調整されている。すなわち、第1表示装置14A及び第2表示装置14Bは、第1台50が第1検査位置及び第1出入位置のいずれの位置に位置する場合でも、(第2台60が第2出入位置及び第2検査位置のいずれの位置に位置する場合でも、)作業者が視認できるようになっている。
第1表示装置14A及び第2表示装置14Bの各々は、例えば、第1検査機70及び第2検査機80における検査作業が実行中か、終了した(停止した)か、を表示する。また、第1表示装置14A及び第2表示装置14Bの各々は、例えば、第1検査機70及び第2検査機80における基板Kに対する検査結果が、良好か、不良かを表示する。従って、作業者は、この表示に基づき、後述の検査手順のように、基板Kの取り出し作業や、昇降機90の昇降操作を行う。なお、単一の表示部で、第1検査機70及び第2検査機80の検査状態(検査状況)や検査結果を表示するようになっていてもよい。
(検査装置10を用いた検査手順(検査方法))
次に、本実施形態に係る作用として、検査装置10を用いた検査手順の一例を説明する。ここでは、最初に、第1台50が第1検査位置に位置し、第2台60が第2出入位置に位置するもの(図3に示す状態)として説明する。
次に、本実施形態に係る作用として、検査装置10を用いた検査手順の一例を説明する。ここでは、最初に、第1台50が第1検査位置に位置し、第2台60が第2出入位置に位置するもの(図3に示す状態)として説明する。
当該検査手順では、まず、図4に示されるように、作業者が、第2出入位置に位置する第2台60上の第2検査機80の蓋部84を開ける。続いて、作業者は、第2検査機80の検査機本体82内へ、開放された上部から基板Kを入れて蓋部84を閉める。そして、作業者は、検査機本体82の操作部(図示省略)を操作して検査を開始する。
次に、作業者が、本体フレーム20にある操作部98の第1操作ボタン98Aを操作すると、図5に示されるように、可動体40が降下する。これにより、第1台50が第1出入位置に位置し、第2台60が第2検査位置に位置する。このとき、第2検査機80において基板Kに対する検査が実施されている状態となっている。
次に、図6に示されるように、作業者が、第1出入位置に位置する第1台50上の第1検査機70の蓋部74を開ける。続いて、作業者が、第1検査機70の検査機本体72内へ、開放された上部から基板Kを入れて蓋部74を閉める。そして、作業者は、検査機本体72の操作部(図示省略)を操作して検査を開始する。
次に、作業者が、本体フレーム20にある操作部98の第1操作ボタン98Aを操作すると、図3に示されるように、可動体40が上昇する。これにより、第1台50が第1検査位置に位置し、第2台60が第2出入位置に位置する。このとき、第1検査機70において基板Kに対する検査が実施されている状態となっている。作業者が、第2表示装置14Bにて第2検査機80における基板Kへの検査の終了を確認すると、作業者は、第2検査機80の蓋部84を開けて、検査が終了した基板Kを取り出し、次に検査を行う基板Kを検査機本体82へ入れて、蓋部84を閉める。再び、作業者は、検査機本体82の操作部(図示省略)を操作して検査を開始する。
以上の手順を繰り返すことで、第1検査機70及び第2検査機80において基板Kへの検査が行われる。
なお、例えば、第2検査機80の検査開始後に、第1検査機70での検査開始した場合に、第1検査機70において検査開始直後に基板Kの不良が発見されると、第2検査機80での検査が終了する前に、第1検査機70の検査が終了する場合がある。すなわち、第1検査機70及び第2検査機80において検査が終了する順番は、第1検査機70及び第2検査機80において検査を開始した順番と関係ない。従って、作業者は、第1表示装置14A及び第2表示装置14Bによって、第1検査機70及び第2検査機80のうち、検査の終了を先に確認できたほうの台(第1台50又は第2台60)を出入位置(第1出入位置又は第2出入位置)に移動させて、基板Kの出し入れ作業(入れ替え作業)を行う。このようにすることにより、検査を終了した検査機(第1検査機70、第2検査機80)に対して、基板Kの出し入れ作業を迅速に行える。
以上のように、本実施形態では、第2検査機80に対して基板Kを出し入れする際には、第1検査機70は第1検査位置に上昇した状態となっており、第1検査機70が基板Kの出し入れ作業の邪魔になりにくい。一方、第1検査機70に対して基板Kを出し入れする際には、第2検査機80は第2検査位置に降下した状態となっており、第2検査機80が基板Kの出し入れ作業の邪魔になりにくい。
このため、本実施形態に係る検査装置10によれば、基板Kを出し入れする作業性が向上する。また、第1検査機70及び第2検査機80の一方に対して、基板Kの出し入れ作業を行っている際には、第1検査機70及び第2検査機80の他方は、基板Kに対する検査を行っているので、検査効率が向上する。
さらに、本実施形態では、第1台50は、第1出入位置から第1検査位置へ上昇すると、Z方向に退避するので、第2検査機80の蓋部84を開けた場合でも、蓋部84が第1台50に干渉することが抑制される。
また、第1台50及び第2台60は、単一の可動体40に設けられているので、一体に移動する。このため、本実施形態のように、単一の昇降機90によって、第1台50及び第2台60の昇降が行え、検査装置10の装置構成が小型化、簡素化される。
(変形例)
上記実施形態では、第1台50及び第2台60は、単一の可動体40に設けられて一体に昇降するようになっていたが、これに限られず、第1台50及び第2台60は、別体に構成されて、独立して昇降するようになっていてもよい。この場合では、第1台50及び第2台60の各々を昇降させる昇降機が必要となる。
上記実施形態では、第1台50及び第2台60は、単一の可動体40に設けられて一体に昇降するようになっていたが、これに限られず、第1台50及び第2台60は、別体に構成されて、独立して昇降するようになっていてもよい。この場合では、第1台50及び第2台60の各々を昇降させる昇降機が必要となる。
上記実施形態では、第1台50の載せ板54及び第2台60の載せ板64が傾斜していたが、これに限られない。載せ板54及び載せ板64が水平方向に沿って配置され、第1検査機70及び第2検査機80が水平方向に向いた状態で配置されていてもよい。
上記実施形態では、第1検査機70及び第2検査機80の蓋部74、84は、回転により開閉されていたが、これに限られない。蓋部74、84は、例えば、上方へのスライドにより開けられる構成であってもよい。
上記実施形態では、第1台50は、第2検査機80の蓋部84に干渉しないように、Z方向に退避するようになっていたが、これに限られない。例えば、X方向又は−X方向に退避する構成であってもよい。また、第2検査機80の蓋部84に干渉しない程度に間隔をあけて、上方へ退避する構成であってもよい。
上記実施形態では、可動体40の昇降操作を行う操作部98と、第1検査機70及び第2検査機80の検査開始を行う操作部と、が別々に設けられていたが、これに限られない。
例えば、操作部98が、検査開始の操作と、可動体40の昇降操作とを兼ねる構成であってもよい。具体的には、例えば、第2検査機80に対して基板Kへの検査開始の操作が、操作部98においてなされると、第2台60が第2検査位置に降下されるように構成される。この構成によれば、第2台60を降下させる操作が不要となる。
さらに、第1検査機70に対して基板Kへの検査開始の操作が、操作部98においてなされると、第1台50が第1検査位置に上昇されるように構成される。この構成によれば、第1台50を上昇させる操作が不要となる。
本発明は、上記の実施形態に限るものではなく、種々の変形、変更、改良が可能である。例えば、上記に示した変形例は、適宜、複数を組み合わせて構成しても良い。
10 検査装置
14 表示部
50 第1台
60 第2台
70 第1検査機
80 第2検査機
84 蓋部
90 昇降機(昇降機構の一例)
K 基板
14 表示部
50 第1台
60 第2台
70 第1検査機
80 第2検査機
84 蓋部
90 昇降機(昇降機構の一例)
K 基板
Claims (6)
- 基板が出し入れされ、入れられた基板を検査する第1検査機及び第2検査機と、
前記第1検査機を載せる第1台であって、該第1検査機に対して前記基板が出し入れされる第1出入位置と、前記第1出入位置よりも上方であって、前記第1出入位置で入れられた基板を検査中の前記第1検査機を位置させるための第1検査位置と、に移動可能な前記第1台と、
前記第1台の下方に配置されると共に前記第2検査機を載せる第2台であって、該第2検査機に対して前記基板が出し入れされる第2出入位置と、前記第2出入位置よりも下方であって、前記第2出入位置で入れられた基板を検査中の第2検査機を位置させるための第2検査位置と、に移動可能な前記第2台と、
前記第1出入位置と前記第1検査位置とに前記第1台を昇降させると共に、前記第2出入位置と前記第2検査位置とに前記第2台を昇降させる昇降機構と、
を備える検査装置。 - 前記第2検査機は、前記基板が入れられる際に前記第1台側へ移動することで開けられる蓋部を備え、
前記第1検査位置は、開けられた前記蓋部から前記第1台が退避する位置である請求項1に記載の検査装置。 - 前記昇降機構は、
前記第1台を前記第1検査位置に、前記第2台を前記第2出入位置に、一体に上昇させ、
前記第1台を前記第1出入位置に、前記第2台を前記第2検査位置に、一体に降下させる
請求項1又は2に記載の検査装置。 - 前記昇降機構は、前記第1検査機に対して前記基板への検査開始の操作がなされると、前記第1台を前記第1検査位置に上昇させる請求項1〜3のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記昇降機構は、前記第2検査機に対して前記基板への検査開始の操作がなされると、前記第2台を前記第2検査位置に降下させる請求項1〜4のいずれか1項に記載の検査装置。
- 前記第1検査機及び前記第2検査機の検査終了を表示する表示部を備え、
前記昇降機構は、前記第1検査機及び前記第2検査機のうち、先に検査が終了した検査機を、検査開始の順番に関わらず、当該検査機の出入位置に昇降可能に構成されている請求項1〜5のいずれか1項に記載の検査装置。
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