JP5473820B2 - 基板保持具及び基板搬送システム - Google Patents
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Description
よりも小さな試料(例えば、6インチウェーハ2S)の観察検査用のホールダ50にあって、ホールダ50の載置面28の規定外領域部分Qに、ウェーハ傾きセンサ47a,47bの出力を基に「ホールダ50上にウェーハ2Sは正常に搭載されている」と試料搬送装置10に判断させないように、この規定外領域部分Qに異常搭載されたウェーハ2Sの姿勢を保持する傾き検出用のピン51が配置されている。
まず、前提条件として、傾き検出用ピン51は、ロードロック室24内の規定外領域部分Qに6インチウェーハ2Sが異常搭載されそうになる場合に、このウェーハ2Sが乗り上げてウェーハ傾きセンサ47a,47bのいずれかの光軸通路と交差するように、規定外領域部分Qに配置されている。
1) 傾き検出用ピン51は、ロードロック室24の内壁に接する小口径ウェーハ2Sの直径円内の、かつ、ロードロック室24の内壁から小口径ウェーハ2Sの半径以上離れているロードロック室24内の規定外領域部分Q(図10中の網掛け部分)に、ウェーハ傾きセンサ47(47a,47b)の光軸通路をそれ自体が遮光しないように立設配置されている、
2) 一の傾き検出用ピン51に対して規定領域部分Pの外周回りに沿って隣り合う別の傾き検出用ピン51は、一の傾き検出用ピン51に接した状態の小口径ウェーハ2Sの直径円内の規定外領域部分Qに、ウェーハ傾きセンサ47(47a,47b)の光軸通路をそれ自体が遮光しないように立設配置されている、
3) 傾き検出用ピン51は、規定外領域部分Qの一部が、ロードロック室24内の載置面28の小口径ウェーハ2Sを搭載する規定領域部分Pと接する若しくは重なる場合には、規定領域部分Pと外接するように配置され、ウェーハ2Sを規定領域部分Pに対して位置決め固定するための、固定ピン41(41a,41b)又は可動ピン42を兼ねる、
ようになっている。
図11に示すように、図10に示した傾き検出用ピンの第1の配置例では、ピン51a,51c,51d,51eは、ロードロック室24の内壁の隣り合う二辺に接する小口径ウェーハ2Sの直径円内の、かつ、ロードロック室24のこの隣り合う内壁それぞれから小口径ウェーハ2Sの半径以上離れているロードロック室24内の規定外領域部分Qt(図11中の、網掛け部分)に、規定領域部分P及びウェーハ傾きセンサ47(47a,47b)の光軸通路を避けて配置されている。
図12に示した例では、さらに規定外領域部分Qtと隣り合う両方の規定外領域部分Quとにも位置する傾き検出用ピン51a,51b,51c,51dの中、ピン51a,51bはそれぞれ固定ピン41を、ピン51cは可動ピン42を兼ねる構成としたものである。
図13に示した例では、一の異常搭載状態のウェーハ2Sの直径円R3と、別の異常搭載状態のウェーハ2Sの直径円R4とが離間し、その間に規定外領域部分Qvが介在する場合の傾き検出用ピン51の配置例に関する。
図14に示した例では、上述した第3の配置例にしたがって、傾き検出用ピン51aから順番に、ロードロック室24の内壁に沿って異常搭載状態のウェーハ2Sの直径円Rの中心rを図中の一点鎖線で示した矩形状の軌跡上を変化させて、傾き検出用ピン51gまで立設配置した構成を示したものである。なお、図示の例では、傾き検出用ピン51bは可動ピン42を兼ね、傾き検出用ピン51e,51gはそれぞれ固定ピン41を兼ねるようになっている。
1) 傾き検出用ピン51は、ロードロック室24の内壁に接する小口径ウェーハ2Sの直径円内の、かつ、ロードロック室24の内壁から小口径ウェーハ2Sの半径以上離れているロードロック室24内の規定外領域部分Q(図10中の網掛け部分)に、ウェーハ傾きセンサ47(47a,47b)の光軸通路を避けて配置されている、
2) 一の傾き検出用ピン51に対して規定領域部分Pの外周回りに隣り合う別の傾き検出用ピン51は、一の傾き検出用ピン51に接した状態の小口径ウェーハ2Sの直径円内の規定外領域部分Qに、ウェーハ傾きセンサ47(47a,47b)の光軸通路をそれ自体が遮光しないように立設配置されている、
3) 傾き検出用ピン51は、規定外領域部分Qの一部が、ロードロック室24内の載置面28の小口径ウェーハ2Sを搭載する規定領域部分Pと接する若しくは重なる場合には、規定領域部分Pと外接するように配置され、ウェーハ2Sを規定領域部分Pに対して位置決め固定するための、固定ピン41(41a,41b)又は可動ピン42を兼ねる、
との前提条件を基に、上述した第1〜第3の配置例を適宜組み合わせて観察仕様サイズの試料よりも小さな試料の観察検査用のホールダ50を作成することができ、通常搬送する観察仕様サイズの試料(ウェーハ2L)より小さい試料(ウェーハ2S)を搬送しても、試料(ウェーハ2S)の異常搭載を確実に検出することができる。
2S 小口径ウェーハ、 10 試料搬送装置、 11 ロードポート、
12 試料搬送ロボット、 13 ウェーハ収納ケース、
14 ミニエンバイラメント方式試料搬送機構、 20 走査型電子顕微鏡本体、
21 ロードロック部、 22 ステージ部、 23 鏡筒部、
24 ロードロック室、 25 試料室、 26 ホールダ、 27 ホイール、
28 載置面、 29 試料ステージ、 30 ホールダ、 31 筐体、
32 ベース部、 33 レール、 34 ロードドア、 35 ゲートバルブ、
36,37 取付台、 41 固定ピン、 42 可動ピン、 43 支持ピン、
46 ウェーハ有無センサ、 47 ウェーハ傾きセンサ、 50 ホールダ、
51 傾き検出用ピン
Claims (3)
- 載置面上に通常の観察仕様サイズの通常基板よりも小さな観察仕様サイズの小型基板が観察試料として搭載され、前記通常基板が観察試料として搭載される通常基板保持具と同様な載置面外寸を有する前記小型基板の基板保持具であって、
前記載置面上における前記小型基板が搭載される規定領域を規定するとともに、前記規定領域に搭載された前記小型基板が前記載置面上の規定外領域へ移動するのを規制するため、前記載置面に立設配置され、前記規定領域に搭載されている前記小型基板の周面と当接する位置決め用ピンと、
試料観察の際、前記通常基板が搭載された前記通常基板保持具が配置される室に前記通常基板保持具に代えて配置された状態で、前記載置面上の規定外領域に搭載された前記小型基板を前記載置面に対して傾斜する状態にするため、前記室の内壁から前記小型基板の2分の1の大きさ以上離れた前記載置面上の前記規定外領域に立設配置された傾き検出用ピンと
を備え、
前記位置決め用ピン若しくは前記傾き検出用ピンの何れか一方に乗り上げて前記載置面に対して傾斜して搭載された前記小型基板が、前記通常基板保持具に対する前記通常基板の搭載姿勢を検出するために前記室の内壁所定位置に配置された発信素子と受信素子とから構成されるセンサの送受信路を遮断する
ことを特徴とする基板保持具。 - 請求項1記載の基板保持具であって、
前記傾き検出用ピンは、前記規定領域部分の外周回りに複数立設配置され、
一の傾き検出用ピンに対して前記規定領域部分の外周回りに隣り合う別の傾き検出用ピンは、一の傾き検出用ピンに接した状態の前記小型基板の大きさの範囲内の前記規定外領域部分に立設配置されている
ことを特徴とする基板保持具。 - 請求項1記載の基板保持具を、
ウェーハの異常搭載を検出するセンサが備えられたロードロック室において、通常の観察仕様サイズの通常ウェーハよりも小さな観察仕様サイズの小型ウェーハを搭載するためのホールダとして用い、
当該ホールダごと前記小型ウェーハを前記ロードロック室から荷電粒子線が照射される真空状態の試料室に搬送する
ことを特徴とする測長SEMの基板搬送システム。
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