JP5467758B2 - Equipment with vacuum pump - Google Patents

Equipment with vacuum pump Download PDF

Info

Publication number
JP5467758B2
JP5467758B2 JP2008299180A JP2008299180A JP5467758B2 JP 5467758 B2 JP5467758 B2 JP 5467758B2 JP 2008299180 A JP2008299180 A JP 2008299180A JP 2008299180 A JP2008299180 A JP 2008299180A JP 5467758 B2 JP5467758 B2 JP 5467758B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
chamber
vacuum
vacuum pump
flange
chamber flange
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008299180A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2009138740A (en
Inventor
ロベルト・ヴァッツ
Original Assignee
プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー filed Critical プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
Publication of JP2009138740A publication Critical patent/JP2009138740A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5467758B2 publication Critical patent/JP5467758B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00—Axial-flow pumps
    • F04D19/02—Multi-stage pumps
    • F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D27/00—Control, e.g. regulation, of pumps, pumping installations or pumping systems specially adapted for elastic fluids
    • F04D27/02—Surge control
    • F04D27/0292—Stop safety or alarm devices, e.g. stop-and-go control; Disposition of check-valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/601—Mounting; Assembling; Disassembling specially adapted for elastic fluid pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D29/00—Details, component parts, or accessories
    • F04D29/60—Mounting; Assembling; Disassembling
    • F04D29/64—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps
    • F04D29/644—Mounting; Assembling; Disassembling of axial pumps especially adapted for elastic fluid pumps

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

本発明は請求項１の上位概念に記載の真空ポンプを備えた装置に関するものである。   The present invention relates to an apparatus provided with a vacuum pump according to the superordinate concept of claim 1.

高速回転ロータを備えた真空ポンプ例えばターボ分子ポンプは、ロータの高い回転周波数に基づいて高いエネルギーを貯蔵する。回転周波数はしばしば毎分数万回転に存在する。いわゆるロータ・ステータ・クラッシュにおいては、ロータおよびステータの接触が発生する。この場合、この高いエネルギーは例えばポンプ・フランジのようなポンプ構造部分を介してトルクの形で放出される。このようなロータ・ステータ・クラッシュにおいては、このときに人体に対する傷害危険が発生し且つ装置の損傷が予想されるので、ポンプのねじれが回避されなければならない。ポンプのこのねじれの結果、さらにポンプの漏れまたは破損が発生することがある。プロセス技術においては、場合により毒性ガスがポンピングされることがあり、このときこれが周囲の汚染を発生させることになる。装置の漏れの場合、ユーザの運転中のプロセスもまた著しく影響を受けるので、プロセスは一般に停止されなければならない。これにより、多くのプロセスにおいて、例えば半導体工業において、きわめて高い額に達することがあるコストが発生する。   Vacuum pumps with high-speed rotors, such as turbomolecular pumps, store high energy based on the high rotational frequency of the rotor. The rotational frequency is often present at tens of thousands of revolutions per minute. In so-called rotor-stator crashes, contact between the rotor and the stator occurs. In this case, this high energy is released in the form of torque via a pump structure such as a pump flange. In such a rotor-stator crash, the risk of injury to the human body occurs at this time and damage to the device is expected, so that twisting of the pump must be avoided. As a result of this twisting of the pump, further pump leakage or damage may occur. In process technology, toxic gases can sometimes be pumped, which will cause ambient contamination. In the case of a device leak, the process during which the user is operating is also significantly affected, so the process must generally be stopped. This creates costs in many processes, for example in the semiconductor industry, which can be very high.

真空ポンプは、高真空フランジにより、配管構造部分、滑り弁または直接容器に装着される。特に滑り弁への装着においては、急に遮断した場合、絞り弁のねじれまたは漏れの危険が存在する。容器のフランジおよび配管構造部分もまた、一般に、高いモーメントを吸収することはできない。   The vacuum pump is mounted on the piping structure part, slide valve or directly on the container by a high vacuum flange. In particular, when mounting on a slide valve, there is a risk of twisting or leakage of the throttle valve if it is shut off suddenly. Container flanges and piping structures also generally cannot absorb high moments.

場合により、真空ポンプは、フランジに追加して底部においても固定されることがあり、このことは、同一面にない固定点に基づいて、ポンプまたは滑り弁のねじれを発生することがあるので、故障のない運転は保証されていない。   In some cases, the vacuum pump may also be fixed at the bottom in addition to the flange, which can cause twisting of the pump or slip valve based on a non-coplanar fixing point, Operation without failure is not guaranteed.

したがって、ロータ・ステータ・クラッシュの場合においても真空気密性が保持されたままである、高速回転ロータを有する真空ポンプを備えた装置を提供することが本発明の課題である。   Accordingly, it is an object of the present invention to provide an apparatus with a vacuum pump having a high speed rotating rotor that remains vacuum tight in the case of a rotor-stator crash.

この課題は、請求項１の特徴を有する装置によって解決される。請求項２−８は本発明の有利な変更態様を与える。
クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能に室フランジと結合されている結合手段に真空ポンプを配置することにより、いわゆるロータ・ステータ・クラッシュにおいて放出された回転エネルギーは確実に真空室に伝達され、これにより、構造部分間の結合したがって装置全体が真空気密に保持される。ロータ・ステータ・クラッシュとは、この場合、ロータの高速回転運転中にロータとステータとが接触し、その結果として機械的変形を発生することを意味する。ロータの回転エネルギーは、あるときにはこの変形に変換され、あるときには真空ポンプのハウジングに伝達される。このときに大きなトルクが発生する。したがって、クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能な結合とは、このトルクが結合された要素を相互にねじることなく、このトルクを伝達可能なように形成されている結合を意味する。中間構造部分は、真空気密性が保持されるのみならず、損傷からもまた保護される。 This problem is solved by a device having the features of claim 1. Claims 2-8 provide advantageous modifications of the invention.
By placing the vacuum pump in a coupling means that is coupled to the chamber flange in a manner that is resistant to the crash moment, the rotational energy released in the so-called rotor-stator crash is reliably transmitted to the vacuum chamber, thereby The connection between the structural parts and thus the entire device is kept vacuum-tight. In this case, the rotor-stator crash means that the rotor and the stator come into contact with each other during high-speed rotation of the rotor, resulting in mechanical deformation. The rotational energy of the rotor is converted to this deformation at some time and transmitted to the housing of the vacuum pump at other times. At this time, a large torque is generated. Thus, a bond that is resistant to a crash moment means a bond that is configured to transmit this torque without twisting the elements to which this torque is coupled together. The intermediate structural part is not only kept vacuum tight but also protected from damage.

一変更態様において、結合手段が、真空ポンプおよび中間構造部分間に配置されている支持台として形成されていることがコスト的に有利であり且つ技術的に簡単である。これは、真空ポンプおよび中間構造部分における変形を回避する。   In one variant, it is cost-effective and technically simple that the coupling means is formed as a support base arranged between the vacuum pump and the intermediate structural part. This avoids deformations in the vacuum pump and intermediate structural parts.

一方で、支持台および室フランジ間にスペーサが配置されていることにより、結合手段が改良可能である。スペーサは、中間構造部分が締め付けられることなく、確実なねじ込み、これによる支持台と室フランジとの確実な結合を可能にする。したがって、中間構造部分の締付に基づくエラー機能が回避される。   On the other hand, since the spacer is arranged between the support base and the chamber flange, the coupling means can be improved. The spacer allows a reliable screw-in and thereby a secure connection between the support and the chamber flange without the intermediate structural part being tightened. Accordingly, an error function based on tightening of the intermediate structure portion is avoided.

簡単な解決方法において、スペーサがディスタンス・スリーブを含み、ディスタンス・スリーブは、支持台および室フランジを相互に結合するねじを少なくとも一部包囲している。ねじおよびディスタンス・スリーブは、ねじの締付によるプレストレスに基づき、室フランジ面に垂直な軸の周りの装置のねじれに対して十分に抵抗可能な剛構造を形成している。   In a simple solution, the spacer includes a distance sleeve, which surrounds at least a portion of a screw that interconnects the support base and the chamber flange. The screw and the distance sleeve form a rigid structure that is sufficiently resistant to torsion of the device about an axis perpendicular to the chamber flange surface, based on prestressing due to screw tightening.

他の変更態様において、支持台および真空ポンプが一体に形成されている。これは、両方の部品の一体結合により、例えば摩擦溶接および同等な方法により達成可能である。これは、クラッシュ・モーメントに対して十分に抵抗可能な結合をコスト的に有利に達成する。   In another modification, the support base and the vacuum pump are integrally formed. This can be achieved by an integral connection of both parts, for example by friction welding and equivalent methods. This advantageously achieves a cost-effective coupling that is sufficiently resistant to crash moments.

他の変更態様は室フランジに関するものである。室フランジは真空室に配置されているウェブと結合されている。このことから、真空室および室フランジ間の結合は室フランジ中心においてより大きな間隔を設けて得られる。これは、クラッシュ・モーメントに対する抵抗性をさらに上昇させる。   Another variation relates to the chamber flange. The chamber flange is connected to a web located in the vacuum chamber. For this reason, the connection between the vacuum chamber and the chamber flange is obtained with a greater spacing at the center of the chamber flange. This further increases the resistance to the crash moment.

装置の上記の利点は、中間構造部分が真空滑り弁として形成されているときに特に有効であり、その理由は、真空滑り弁を中間に挟むとき特にエラー機能を導きやすく、且つ構造的に複雑にし且つ費用をかけないかぎりクラッシュ・モーメントに対する抵抗性が達成されないからである。   The above advantages of the device are particularly effective when the intermediate structural part is formed as a vacuum slip valve, because it is easy to introduce an error function and is structurally complex, especially when the vacuum slip valve is sandwiched in between. This is because the resistance to the moment of crash is not achieved unless the cost is increased.

他の変更態様において、室フランジが真空室の平らな壁の上に配置されている。これらの壁は一方でコスト的な理由からできるだけ薄い肉厚であり、他方で空気圧を受けている。空気圧は壁をたわませるように働く。底面積が小さい場合には装置はこのようなたわみを受けにくく、したがって装置内に応力が導かれることはない。壁の上に複数の装置を重ねて配置することもまた可能であり、これによって相互に影響しあうことはない。   In another variant, the chamber flange is arranged on the flat wall of the vacuum chamber. These walls are on the one hand as thin as possible for cost reasons and on the other hand are subjected to air pressure. Air pressure works to bend the wall. If the bottom area is small, the device is less susceptible to such deflection and therefore no stress is introduced into the device. It is also possible to place multiple devices on the wall, so that they do not interact with each other.

一実施例により、本発明が詳細に説明され且つ利点が考察されるものとする。   By way of example, the present invention will be described in detail and advantages will be considered.

図１は室フランジに垂直な装置の軸心に沿った装置の断面図を示す。この軸心に沿って、真空ポンプ１、支持台７、中間構造部分６、室フランジ５および真空室４がこの順序で配置され且つ相互に結合されている。   FIG. 1 shows a sectional view of the device along the axis of the device perpendicular to the chamber flange. Along this axial center, the vacuum pump 1, the support 7, the intermediate structure portion 6, the chamber flange 5 and the vacuum chamber 4 are arranged in this order and connected to each other.

真空ポンプは高速回転ロータ２を有している。ロータは、ガスを真空室４から排出するためにステータ３と協働する。真空ポンプのポンプ・フランジ２５はポンプねじ１２により支持台７に着脱可能に固定されている。この結合の寸法は、最大クラッシュ・モーメントが真空ポンプ室および支持台の相互間のねじれを形成しないように決定されている。   The vacuum pump has a high-speed rotating rotor 2. The rotor cooperates with the stator 3 to discharge gas from the vacuum chamber 4. The pump flange 25 of the vacuum pump is detachably fixed to the support base 7 by a pump screw 12. The dimensions of this coupling are determined so that the maximum crash moment does not create a twist between the vacuum pump chamber and the support.

真空滑り弁として形成されている中間構造部分６は滑り弁ねじ１４により支持台と結合されている。一方、真空滑り弁は他の滑り弁ねじ１４を介して室フランジ５に着脱可能に結合されている。ポンプねじおよび滑り弁ねじの代わりに、同じ作用をなす従来技術から既知のクランプのような手段が使用されてもよい。真空ポンプ、支持台、中間構造部分および真空室のフランジ結合の間に、図示されていない従来技術から既知の、例えばエラストマー丸ひもリングのようなシール材料が設けられている。   The intermediate structural part 6, which is formed as a vacuum slide valve, is connected to the support by a slide valve screw 14. On the other hand, the vacuum slide valve is detachably coupled to the chamber flange 5 via another slide valve screw 14. Instead of a pump screw and a sliding valve screw, means such as clamps known from the prior art that perform the same function may be used. Between the vacuum pump, the support base, the intermediate structural part and the flange connection of the vacuum chamber, a sealing material known from the prior art not shown, for example an elastomeric round ring, is provided.

室フランジ５は、クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能に、円筒部分２６に例えば一体結合により固定されている。真空室の壁１６と室フランジとの間にウェブ１３が設けられている。ウェブは、真空室および室フランジと力伝達可能に、一体に、または一体形状に結合されているので、ウェブはクラッシュ・モーメントを吸収可能である。   The chamber flange 5 is fixed to the cylindrical portion 26 by, for example, an integral connection so as to be resistant to a crash moment. A web 13 is provided between the wall 16 of the vacuum chamber and the chamber flange. Since the web is connected to the vacuum chamber and the chamber flange in a unitary or unitary form so as to be able to transmit force, the web can absorb a crash moment.

支持台７および室フランジ５はねじ１１により相互に結合され、ねじはディスタンス・スリーブ１０内を貫通して挿入されている。支持台７内においてねじは貫通内孔内に通され且つ室フランジにおいてねじ山１５内にねじ込まれている。ディスタンス・スリーブにより、ねじはプレストレスを保持可能であり、即ち、高いトルクが加えられた場合でも、支持台と室フランジとの間の間隔は低減されることはない。したがって、真空滑り弁の締付は回避される。同時に、ねじを包囲するディスタンス・スリーブはねじれ抵抗性を上昇させ、即ち、装置の軸心周りにトルクが加えられた場合、ディスタンス・スリーブに転倒モーメントが発生するが、転倒モーメントに対してねじのプレストレスが抵抗する。したがって、この装置は、真空ポンプからの大きなクラッシュ・モーメントを確実に吸収し且つ真空気密性を失うことなく、支持台、ねじおよび室フランジを介して真空室にクラッシュ・モーメントを伝達することが可能である。この場合、クラッシュ・モーメントは、中間構造部分、この場合、真空滑り弁に荷重を与えることはない。   The support base 7 and the chamber flange 5 are connected to each other by a screw 11, and the screw is inserted through the distance sleeve 10. In the support base 7, the screw is passed through the through bore and screwed into the thread 15 at the chamber flange. The distance sleeve allows the screw to retain prestress, i.e. the spacing between the support and the chamber flange is not reduced even when high torque is applied. Therefore, tightening of the vacuum slip valve is avoided. At the same time, the distance sleeve that surrounds the screw increases torsional resistance, i.e., when a torque is applied around the axis of the device, a tipping moment is generated in the distance sleeve, but the screw against the tipping moment. Prestress resists. Therefore, this device can absorb large crushing moment from vacuum pump and transmit crushing moment to vacuum chamber through support base, screw and chamber flange without losing vacuum tightness It is. In this case, the crash moment does not load the intermediate structural part, in this case the vacuum slip valve.

図２に、線Ｉ−Ｉ′による装置の断面図が示されている。真空室の室壁１６は例えば短辺長さＷをもつ矩形形状を有している。この壁の上に室フランジ５が配置され、室フランジは３つのウェブ１３、１３′、１３′′と結合されている。室フランジはさらにねじ込み穴２７、２７′、２７′′を有し、支持台と室フランジとの間でねじがこのねじ込み穴内にねじ込まれる。室フランジは空間直径Ｆを有し、空間直径は真空室へのガス結合を可能にする。本装置の利点は、辺長さＷが本質的に空間直径Ｆより大きいような壁において有効となる。寸法比においてさらに肉厚が関係してくる。空気圧に基づく壁のたわみが、フランジ寸法の製作公差、即ち、ねじ込み穴２７、２７′、２７′′の壁の上の位置、ねじ込み穴の直径、ねじ込み穴の配置の製作公差を超えているときには、本質的により大きな比が存在している。   FIG. 2 shows a cross-sectional view of the device according to line II ′. The chamber wall 16 of the vacuum chamber has a rectangular shape with a short side length W, for example. A chamber flange 5 is arranged on this wall, and the chamber flange is connected to three webs 13, 13 ', 13' '. The chamber flange further has screw holes 27, 27 ', 27 ", between which the screws are screwed into the screw holes. The chamber flange has a space diameter F, which allows gas coupling to the vacuum chamber. The advantages of this device are valid for walls whose side length W is essentially larger than the space diameter F. The wall thickness is further related to the dimensional ratio. When the wall deflection due to air pressure exceeds the manufacturing tolerances of the flange dimensions, i.e. the position of the screw holes 27, 27 ', 27 "on the wall, the diameter of the screw holes, the manufacturing tolerances of the screw hole arrangement. In essence, a larger ratio exists.

真空ポンプを備えた装置の断面図である。It is sectional drawing of the apparatus provided with the vacuum pump. 線Ｉ−Ｉ′により切断された装置の平面図である。FIG. 2 is a plan view of the device cut along line II ′.

符号の説明Explanation of symbols

１ 真空ポンプ
２ ロータ
３ ステータ
４ 真空室
５ 室フランジ
６ 中間構造部分
７ 結合手段（支持台）
１０ スペーサ（ディスタンス・スリーブ）
１１ ねじ
１２ ポンプねじ
１３、１３′、１３′′ ウェブ
１４ 滑り弁ねじ
１５ ねじ山
１６ 壁
２５ ポンプ・フランジ
２６ 円筒部分
２７、２７′、２７′′ ねじ込み穴
Ｆ 空間直径
Ｗ 短辺長さ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum pump 2 Rotor 3 Stator 4 Vacuum chamber 5 Chamber flange 6 Intermediate structure part 7 Coupling means (support stand)
10 Spacer (Distance / Sleeve)
11 Screw 12 Pump screw 13, 13 ′, 13 ″ Web 14 Slide valve screw 15 Thread 16 Wall 25 Pump flange 26 Cylindrical portion 27, 27 ′, 27 ″ Screw hole F Space diameter W Short side length

Claims (6)

高速回転ロータ（２）およびステータ（３）とを有する真空ポンプ(１)と、室フランジ（５）を備えた真空室（４）と、および真空ポンプおよび真空室間に設けられている中間構造部分（６）とを備え、この場合、真空室、真空ポンプおよび中間構造部分が着脱可能に相互に結合されている、装置において、
真空ポンプが、クラッシュ・モーメントに対して抵抗可能に室フランジ（５）と結合されている結合手段（７）に配置されており、
前記結合手段（７）が、真空ポンプおよび中間構造部分間に配置されている支持台を含み、真空ポンプ（１）および中間構造部分（６）が前記支持台と着脱可能に結合されており、
前記結合手段（７）が、支持台および室フランジ（５）間に配置されているスペーサ（１０）を含むことを特徴とする装置。 A vacuum pump (1) having a high-speed rotating rotor (2) and a stator (3), a vacuum chamber (4) having a chamber flange (5), and an intermediate structure provided between the vacuum pump and the vacuum chamber Part (6), wherein the vacuum chamber, the vacuum pump and the intermediate structural part are detachably connected to each other,
A vacuum pump is arranged in the coupling means (7) which is coupled to the chamber flange (5) in a manner that can resist crushing moments ;
The coupling means (7) includes a support base disposed between the vacuum pump and the intermediate structure part, and the vacuum pump (1) and the intermediate structure part (6) are detachably connected to the support base ;
It said coupling means (7) is, the support base and the chamber flange (5) equipment you comprising a spacer (10) disposed between. 前記スペーサ（１０）がディスタンス・スリーブを含み、前記ディスタンス・スリーブは、支持台および室フランジ（５）を相互に結合するねじ（１１）を少なくとも一部包囲することを特徴とする請求項１の装置。 Wherein said spacer (10) Distance sleeves, the distance sleeve is supporting base and the chamber flange (5) screws which bind to each other (11) of claim 1, wherein the enclosing at least a portion apparatus. 支持台および真空ポンプ（１）が一体に形成されていることを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の装置。 Apparatus according to claim 1 or 2 support platform and the vacuum pump (1) is characterized in that it is formed integrally. 前記室フランジ（５）と、および前記真空室に配置されているウェブ（１３、１３′、１３′′）とが相互に結合されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の装置。 And the chamber flange (5), and said web (13, 13 ', 13'') which is arranged in the vacuum chamber to and no claim 1, characterized in that coupled to each other 3 either 1 The device according to item . 前記中間構造部分（６）が真空滑り弁を含むことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の装置。 Apparatus according to any one of the to intermediate structural part (6) of claims 1, characterized in that it comprises a vacuum slide valve 4. 前記室フランジ（５）が前記真空室（４）の平らな壁（１６）の上に配置されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の装置。 Apparatus according to any one of the chamber flange (5) to the claims 1, characterized in that it is disposed on a flat wall (16) of said vacuum chamber (4) 5.
JP2008299180A 2007-12-08 2008-11-25 Equipment with vacuum pump Active JP5467758B2 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE200710059257 DE102007059257A1 (en) 2007-12-08 2007-12-08 Arrangement with vacuum pump
DE102007059257.6 2007-12-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009138740A JP2009138740A (en) 2009-06-25
JP5467758B2 true JP5467758B2 (en) 2014-04-09

Family

ID=40139931

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008299180A Active JP5467758B2 (en) 2007-12-08 2008-11-25 Equipment with vacuum pump

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP2068000B1 (en)
JP (1) JP5467758B2 (en)
DE (1) DE102007059257A1 (en)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102016114709A1 (en) 2016-08-09 2018-02-15 Karlsruher Institut für Technologie Torque protection and flange connection with such
JP6729408B2 (en) * 2017-01-13 2020-07-22 株式会社島津製作所 Valve device
US10704715B2 (en) * 2017-05-29 2020-07-07 Shimadzu Corporation Vacuum pumping device, vacuum pump, and vacuum valve

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3426734B2 (en) * 1994-10-17 2003-07-14 三菱重工業株式会社 Turbo molecular pump
JP4484470B2 (en) * 2002-10-23 2010-06-16 エドワーズ株式会社 Molecular pump and flange
FR2867823B1 (en) * 2004-03-22 2006-07-14 Cit Alcatel SHOCK ABSORBER CONNECTION FOR VACUUM PUMP
JP4609082B2 (en) * 2005-01-25 2011-01-12 株式会社島津製作所 Flange and turbomolecular pump with this flange
DE102005059208A1 (en) * 2005-12-12 2007-06-28 Pfeiffer Vacuum Gmbh vacuum housing
JP2007278164A (en) * 2006-04-06 2007-10-25 Shimadzu Corp Fastening structure and rotary vacuum pump

Also Published As

Publication number Publication date
DE102007059257A1 (en) 2009-06-10
JP2009138740A (en) 2009-06-25
EP2068000B1 (en) 2018-08-15
EP2068000A3 (en) 2014-01-22
EP2068000A2 (en) 2009-06-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5048305B2 (en) Fixing device for vacuum pump
US6840736B2 (en) Vacuum pump
JP5467758B2 (en) Equipment with vacuum pump
JP5268925B2 (en) Vibration isolator
JP4949746B2 (en) Molecular pump and flange
WO2021058945A1 (en) Vibration damping connector systems
JP7377640B2 (en) Vacuum pumps and rotors and rotary blades used in vacuum pumps
JP6681446B2 (en) Buffer
FR2844016A1 (en) DEVICE FOR FIXING VACUUM PUMP
JP2020148142A (en) Vacuum pump, fixation method for vacuum pump, exterior body, auxiliary flange and conversion flange
JP7378697B2 (en) Vacuum pump
JP6758865B2 (en) Vacuum pump
CN107959377B (en) Spacer and electric supercharger
WO2017018405A1 (en) Pump
US20150004024A1 (en) Clamping ring with force limitation
CN111788397B (en) Vacuum pump and air door for vacuum pump
JP2006170217A (en) Turbo molecular pump
GB2587366A (en) Vibration damping connector systems
JP2010180732A (en) Fastening structure of rotary vacuum pump
JP2003172290A (en) Vacuum pump
WO2020195942A1 (en) Vacuum pump, casing, and intake opening flange
JP2006077714A (en) Damper and vacuum pump
JP6079041B2 (en) Turbomolecular pump and reinforcing member for turbomolecular pump
JP2003155997A (en) Vacuum pump
JP2015031151A (en) Turbo-molecular pump

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110627

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130219

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130516

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130521

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130816

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20130826

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20130827

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140107

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140128

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5467758

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250