JP3426734B2 - Turbo molecular pump - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【産業上の利用分野】本発明は、ターボ分子ポンプの改
良に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】図４は、本発明の対象とする従来のター
ボ分子ポンプの縦断面図である。このターボ分子ポンプ
では、ケーシング１の上部に吸気口２及びケーシング１
の下部の側部に排気口３を設け、ロータ６の外周に突設
された複数の動翼５をケーシング１の内周面に設けられ
た複数の静翼４の間の溝状の空間内で高速回転させるこ
とにより、矢印に示すように排気作用を得て吸気口２側
を高真空にしている。そして、同吸気口２側のフランジ
１５は接続される真空室側のフランジ１６とボルト１７
で締結されており、フランジ１５、１６間の接触面には
シール用のＯリング１８が溝に嵌装して設けられてい
る。 【０００３】ロータ６を前記のように高速回転させるた
め、ロータの上部軸受は、ロータ回転軸７に装着した永
久磁石８ａとケーシング１の下部から上方に向って伸び
る支持台１０に装着した永久磁石８ｂとを磁気的に反発
させ、あるギャップを介して対向させた磁気軸受８とな
っており、一方、ロータの下部軸受はロータ回転軸７の
軸方向及び軸直角方向に負荷能力を有するすべり軸受９
で構成されている。 【０００４】また、前記ロータ６の回転軸７に取付けら
れた回転子１１ａと前記支持台１０に取付けられた固定
子１１ｂよりなりロータ６を高速回転させるモータ１１
が回転軸７と支持台１０の間に設けられている。 【０００５】さらに、外乱によってロータ６が振れ（振
動し）た際に、上部磁気軸受８、モータ１１、動翼５、
静翼４等の回転部分と静止部分とが接触して損傷するこ
とのないよう、保護装置としてロータ回転軸７の上部及
び下部に真空中でも回転可能なボールベアリング１２、
１３が設けてある。 【０００６】前記ボールベアリング１２、１３の各々
は、そのレース外側が支持台１０に取付けられレース内
側壁はロータ回転軸７外周との間に若干の間隙が設けら
れている。ロータ６が軸直角方向に振動した場合は、上
部及び下部のボールベアリング１２、１３とロータ回転
軸７とが接触することによって振動を制約し、回転部分
と静止部分の接触、損傷が防がれる。また、軸方向に飛
び上がるように上下方向に振れた場合には、ロータ回転
軸７に取付けられた飛び上がり防止金具１４が下部のボ
ールベアリング１３に接触することで損傷が防がれるよ
うになっている。 【０００７】図５は、図４のＩ−Ｉ矢視図で、吸気口２
側のフランジ１５と真空室側のフランジ１６は取付ボル
ト１７で締結されており、前記フランジ１５、１６に設
けられた取付ボルト孔は図示のように一般的な円形であ
る。 【０００８】 【発明が解決しようとする課題】図４に示す従来のター
ボ分子ポンプは、前記のような構成であるために、通常
の外乱によって発生する振動や振れに対して保護装置と
してのボールベアリングで十分対応できるが、異常な外
乱や最悪のトラブルによって高速回転中のロータ等の回
転部分と静止部分が接触した場合には、ケーシングに回
転方向の過大なトルクがかかり、ケーシング上部のフラ
ンジ取付ボルトが破断するという問題があった。 【０００９】また、フランジ取付ボルトが破断すると、
ケーシング内部の部品が飛び出し、周囲の作業員に危険
を及ぼすなどの発生が予想される。 【００１０】本発明は、前記の問題を解消するため、高
速回転中のケーシング内部に異常が発生しても、フラン
ジ取付ボルトの破断を防止し、ケーシング外部にまで影
響を及ぼさない安全性の高いターボ分子ポンプを提供し
ようとするものである。 【００１１】 【課題を解決するための手段】本発明は、上部に吸気口
を、側壁下部に排気口を、それぞれ設け、かつ内周面に
複数の静翼を突設したケーシングと；前記各静翼に対応
して外周面に複数の動翼を突設したロータの回転軸が前
記ケーシングの支持台によって回転可能に支持されたロ
ータと；前記回転軸と前記支持台との間に設けたモータ
とを具えているターボ分子ポンプにおいて；前記ケーシ
ングの吸気口側のフランジを締結する取付ボルトのボル
ト孔の一部に、ケーシングに異常トルクがかかった場合
に取付ボルトが長円孔に沿って“く状”に変形するよう
に長円孔を設けたことを特徴とする。 【００１２】 【作用】本発明は以上のように構成されているので、ケ
ーシング上部の吸気口からケーシング下部の排気口へ真
空排気運転中に、異常な外乱やケーシング内部に最悪の
トラブルが発生した場合には、高速回転中のロータ及び
回転部分が静止部分と接触し、ケーシングに回転方向の
過大なトルクがかかり、この過大なトルクによってケー
シング上部のフランジ取付ボルトに強力な切断力が働く
ことになる。 【００１３】このとき、前記ケーシングの吸気側のフラ
ンジを締結する取付ボルトのボルト孔の一部が長円孔が
設けられているので、前記の強力な切断力によって長円
孔に沿って取付ボルトが“く状”に変形し、曲げ力と引
張力に分解されて切断エネルギーを吸収する。このよう
に、取付ボルトが曲がり、かつ伸びることでより多くの
切断エネルギーを吸収することができるので、取付ボル
トの破断が防止できる。また、取付ボルトが破断しない
状態でフランジ部が若干捩じれることはあっても、ケー
シング内部の部品が外部へ飛び出す危険を回避すること
ができる。 【００１４】 【実施例】以下、本発明の一実施例を、図１によって説
明する。図１は、図４のＩ−Ｉ矢視方向に相当する本実
施例のターボ分子ポンプのケーシング吸気側と真空室側
のフランジのボルト孔の部分を示すもので、図１（ａ）
は正常時の取付ボルトが締結された状態を示す部分断面
図、図１（ｂ）は異常時の取付ボルトが伸びた状態を示
す部分断面図、図１（ｃ）は図１（ａ）のＣ−Ｃ矢視図
である。 【００１５】図４に示す従来例と本実施例との相違点
は、ケーシング上部フランジの取付ボルトのボルト孔の
形状が異なる点にあり、その他の形状・構造は同じもの
である。よって、従来例と同一部分は、同一符号で示
し、重複する説明を省略し、本実施例を構成する特徴部
分について以下に説明する。 【００１６】本実施例は、ターボ分子ポンプのケーシン
グの吸気口側のフランジ１５の取付ボルトのボルト孔１
８の一部に長円孔を設け、ケーシングに回転方向の異常
トルクがかかった場合に取付ボルトが長円孔に沿って
“く状”に変形するように構成したものである。このよ
うな取付ボルトのボルト孔１８を有するターボ分子ポン
プにおいて、ケーシング上部の吸気口からケーシング下
部の排気口へ真空排気運転中に、異常な外乱や、ケーシ
ング内部に最悪のトラブルが発生した場合には、高速回
転中のロータ及び回転部分が静止部分と接触し、ケーシ
ングに回転方向の過大なトルクがかかり、この過大なト
ルクエネルギーによってケーシング上部のフランジ取付
ボルトに強力な切断力が働くことになる。 【００１７】図１（ａ）は、正常運転中のターボ分子ポ
ンプのケーシング吸気側と真空室側のフランジのボルト
孔の部分を示すもので、ターボ分子ポンプのケーシング
の吸気口側のフランジ１５と真空室側に固定されたフラ
ンジ１６が取付ボルト１７で締結されており、フランジ
１５に設けられた取付ボルトのボルト孔１８はフランジ
１５の上面側に図１（ｃ）で示すように長円孔が設けら
れており、また真空室側に固定されたフランジ１６には
取付ボルト１７が貫通するほぼ同じ径の円形のボルト孔
１８′が設けられている。 【００１８】本実施例において、ターボ分子ポンプに一
旦異常が発生すると、ケーシングの吸気口側のフランジ
１５が図１（ａ）中の点線矢印の方向（ロータの回転方
向）へ過大な回転エネルギーが作用するようになる。図
１（ｂ）は、この異常が発生した場合の前記ボルト孔の
部分を示すもので、フランジ１６は真空室側に固定され
ており、吸気口２側のフランジ１５に実線矢印の方向
（回転方向）へ強力な回転エネルギーが作用し、取付ボ
ルト１７に切断力が働くことになる。このとき、フラン
ジ取付ボルト１７は、ボルト孔１８の一部が図１（ｃ）
に示すような長円に孔設されているので、強力な切断力
が取付ボルト１７を長円孔に沿って“く状”に変形し、
前記強力な切断力は曲げ力と引張力に分解されて切断エ
ネルギーを吸気する。このように、取付ボルト１７が曲
がり、かつ、伸びることによって、より多くの切断エネ
ルギーを吸収することができるので、取付ボルト１７の
破断を防止することができる。 【００１９】また、取付ボルト１７が破断しない状態で
フランジ部が若干捩じれることはあっても、ケーシング
内部の部品が外部へ飛び出す危険が回避できる。 【００２０】図６は、ボルトの変位と吸収エネルギーを
表した実験データのグラフで、Ａ線は従来のボルト孔の
データ、Ｂ線は本実施例の一部に長円孔を有するボルト
孔によるデータを示したものであり、×印の位置で切断
したことを表している。この線図から、本実施例は、従
来のボルト孔を有するものに比べて、ボルトの変位は大
きいが、吸収エネルギーは約２倍以上大きく、取付ボル
トにかかる切断エネルギーを曲げ力と引張力に分解して
吸収していることが示されている。 【００２１】図２及び図３は、それぞれ本発明の他の実
施例を示す。これらの実施例は、図２及び図３に示すよ
うにボルト孔１８の長円孔の形状を縦横方向に変化させ
たもので、これらの形状を変えて実験した結果は、いず
れもＢ線に近い傾向を示すものであり、図１に示す前記
実施例と同様な作用及び効果を奏することができる。 【００２２】なお、前記各実施例においては、ケーシン
グの吸気側のフランジ１５のボルト孔１８に長円孔の部
分が設けられているが、真空室側に固定されたフランジ
１６のボルト孔１８′に長円孔の部分を設けるようにす
ることもできる。 【００２３】 【発明の効果】以上説明したように、本発明は、上部に
吸気口を、側壁下部に排気口を、それぞれ設け、かつ内
周面に複数の静翼を突設したケーシングと；前記各静翼
に対応して外周面に複数の動翼を突設したロータの回転
軸を前記ケーシングの支持台によって回転可能に支持さ
れたロータと；前記回転軸と前記支持台との間に設けた
モータとを具えているターボ分子ポンプにおいて；前記
ケーシングの吸気口側のフランジを締結する取付ボルト
のボルト孔の一部に、ケーシングに異常トルクがかかっ
た場合に取付ボルトが“く状”に変形するように長円孔
を設けたことにより、真空フランジの規格（ボルト本
数、サイズ）を変更することなく、次の効果が得られ
る。 （１） ケーシング内部に異常が発生しても、フランジ
の取付ボルトの破断を防止することができる。 （２） フランジ取付ボルトが破断しないので、ケーシ
ング内部の部品が外部に飛散することがない。 （３） これらにより周囲に危険な影響を及ぼさない安
全性の高いターボ分子ポンプを運転できる。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an improvement of a turbo-molecular pump. FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a conventional turbo-molecular pump to which the present invention is applied. In this turbo-molecular pump, the intake port 2 and the casing 1
An exhaust port 3 is provided on a lower side of the casing 1, and a plurality of moving blades 5 protruding from an outer periphery of a rotor 6 are provided in a groove-shaped space between a plurality of stationary blades 4 provided on an inner peripheral surface of the casing 1. By rotating at high speed, the exhaust action is obtained as shown by the arrow, and the intake port 2 side is set to a high vacuum. The flange 15 on the suction port 2 side is connected to the flange 16 on the vacuum chamber side to be connected and the bolt 17.
An O-ring 18 for sealing is provided on the contact surface between the flanges 15 and 16 so as to fit in the groove. In order to rotate the rotor 6 at high speed as described above, the upper bearing of the rotor includes a permanent magnet 8a mounted on the rotor rotating shaft 7 and a permanent magnet mounted on a support 10 extending upward from the lower part of the casing 1. 8b are magnetically repelled to oppose each other via a certain gap, and the lower bearing of the rotor is a sliding bearing having a load capacity in the axial direction of the rotor rotating shaft 7 and in the direction perpendicular to the axis. 9
It is composed of A motor 11 for rotating the rotor 6 at high speed, comprising a rotor 11a attached to the rotating shaft 7 of the rotor 6 and a stator 11b attached to the support base 10.
Is provided between the rotating shaft 7 and the support base 10. Further, when the rotor 6 oscillates (vibrates) due to disturbance, the upper magnetic bearing 8, the motor 11, the moving blade 5,
As a protective device, a ball bearing 12 that can rotate even in a vacuum is provided on the upper and lower portions of the rotor rotating shaft 7 so that the rotating portion such as the stationary blade 4 and the stationary portion do not come into contact with each other and be damaged.
13 are provided. Each of the ball bearings 12 and 13 has its race outer side mounted on the support base 10 and the race inner side wall provided with a slight gap between itself and the outer periphery of the rotor rotating shaft 7. When the rotor 6 vibrates in a direction perpendicular to the axis, the upper and lower ball bearings 12 and 13 and the rotor rotating shaft 7 come into contact with each other to restrict the vibration, thereby preventing contact between the rotating part and the stationary part and damage. . Further, in the case of swinging up and down so as to jump up in the axial direction, damage is prevented by contacting the jump-up prevention bracket 14 attached to the rotor rotating shaft 7 with the lower ball bearing 13. . FIG. 5 is a view taken along the line II of FIG.
The flange 15 on the side and the flange 16 on the vacuum chamber side are fastened by mounting bolts 17, and the mounting bolt holes provided in the flanges 15 and 16 have a general circular shape as shown in the figure. [0010] The conventional turbo-molecular pump shown in FIG. 4 has the above-described structure, and therefore has a ball as a protection device against vibration and run-out caused by ordinary disturbance. Bearings are sufficient, but if the rotating part such as the rotor rotating at high speed comes into contact with the stationary part due to abnormal disturbance or worst trouble, excessive torque in the rotating direction will be applied to the casing, and the flange at the top of the casing will be mounted. There was a problem that the bolt was broken. When the flange mounting bolt is broken,
It is expected that parts inside the casing will jump out and cause danger to surrounding workers. The present invention solves the above problem by preventing the flange mounting bolts from breaking even if an abnormality occurs inside the casing during high-speed rotation, and ensuring high safety without affecting the outside of the casing. It is intended to provide a turbo molecular pump. According to the present invention, there is provided a casing provided with an intake port at an upper portion, an exhaust port at a lower portion of a side wall, and a plurality of stationary vanes protruding from an inner peripheral surface; A rotating shaft of a rotor having a plurality of moving blades protruding from an outer peripheral surface corresponding to a stationary blade, the rotor being rotatably supported by a support of the casing; and a rotor provided between the rotary shaft and the support. A turbo-molecular pump having a motor; a part of a bolt hole of a mounting bolt for fastening a flange on an intake port side of the casing, the mounting bolt being extended along an oblong hole when an abnormal torque is applied to the casing; An elliptical hole is provided so as to be deformed into a "shape". Since the present invention is configured as described above, an abnormal disturbance or the worst trouble occurs inside the casing during the evacuation operation from the intake port at the upper part of the casing to the exhaust port at the lower part of the casing. In this case, the rotor and the rotating part during high-speed rotation come into contact with the stationary part, and excessive torque in the rotational direction is applied to the casing, and this excessive torque exerts a strong cutting force on the flange mounting bolt at the top of the casing. Become. At this time, since a part of the bolt hole of the mounting bolt for fastening the flange on the intake side of the casing is provided with an oblong hole, the strong bolt is used to attach the mounting bolt along the oblong hole. Is deformed into a "square shape" and decomposed into bending force and tensile force to absorb cutting energy. As described above, since the mounting bolt bends and expands, more cutting energy can be absorbed, so that the mounting bolt can be prevented from breaking. Further, even if the flange portion is slightly twisted in a state where the mounting bolt is not broken, it is possible to avoid a risk that components inside the casing jump out to the outside. An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIG. FIG. 1 shows a bolt hole portion of a flange on the casing suction side and a vacuum chamber side of the turbo-molecular pump of the present embodiment, which corresponds to the direction of the arrow II in FIG.
FIG. 1B is a partial cross-sectional view showing a state where the mounting bolts are fastened in a normal state, FIG. 1B is a partial cross-sectional view showing a state where the mounting bolts are extended in an abnormal state, and FIG. It is a CC arrow view. The difference between the conventional example shown in FIG. 4 and this embodiment is that the shape of the bolt holes of the mounting bolts on the upper flange of the casing is different, and the other shapes and structures are the same. Therefore, the same parts as those of the conventional example are denoted by the same reference numerals, overlapping description will be omitted, and the characteristic parts constituting this embodiment will be described below. In this embodiment, the bolt holes 1 of the mounting bolts of the flange 15 on the intake port side of the casing of the turbo molecular pump are described.
An elliptical hole is provided in a part of the casing 8 so that when an abnormal torque in the rotating direction is applied to the casing, the mounting bolt is deformed in a "shape" along the elliptical hole. In the turbo molecular pump having the bolt holes 18 of such mounting bolts, when an abnormal disturbance or the worst trouble occurs inside the casing during the evacuation operation from the intake port at the upper part of the casing to the exhaust port at the lower part of the casing. The rotor and the rotating part during high-speed rotation come into contact with the stationary part, and excessive torque in the rotating direction is applied to the casing. This excessive torque energy causes a strong cutting force to act on the flange mounting bolt at the upper part of the casing. . FIG. 1A shows the bolt holes of the casing suction side and the vacuum chamber side flange of the turbo-molecular pump during normal operation, and the flange 15 on the suction port side of the turbo-molecular pump casing. A flange 16 fixed to the vacuum chamber side is fastened by a mounting bolt 17, and a bolt hole 18 of the mounting bolt provided on the flange 15 has an oblong hole on the upper surface side of the flange 15 as shown in FIG. The flange 16 fixed to the vacuum chamber side is provided with a circular bolt hole 18 ′ having substantially the same diameter through which the mounting bolt 17 penetrates. In this embodiment, if an abnormality occurs in the turbo molecular pump, the flange 15 on the intake port side of the casing causes excessive rotational energy in the direction of the dotted arrow in FIG. 1A (rotation direction of the rotor). Will work. FIG. 1B shows a portion of the bolt hole when this abnormality occurs. The flange 16 is fixed to the vacuum chamber side, and the flange 15 on the intake port 2 side is rotated in the direction of a solid arrow (rotation). Direction), a strong rotational energy acts on the mounting bolt 17 to exert a cutting force. At this time, the flange mounting bolt 17 has a part of the bolt hole 18 shown in FIG.
Since the hole is formed in an oblong shape as shown in (1), a strong cutting force deforms the mounting bolt 17 into a "shape" along the oblong hole,
The strong cutting force is broken down into a bending force and a tensile force, and the cutting energy is sucked. Since the mounting bolt 17 bends and expands in this manner, more cutting energy can be absorbed, so that the mounting bolt 17 can be prevented from breaking. Further, even if the flange portion is slightly twisted in a state where the mounting bolt 17 is not broken, the danger of parts inside the casing jumping out can be avoided. FIG. 6 is a graph of experimental data showing the displacement of the bolt and the absorbed energy. The line A is data of a conventional bolt hole, and the line B is a bolt hole having an oblong hole in a part of the present embodiment. It shows the data, and indicates that cutting was performed at the position of the mark x. From this diagram, it can be seen that in this embodiment, the displacement of the bolt is larger than that of the conventional bolt hole, but the absorbed energy is about twice or more, and the cutting energy applied to the mounting bolt is reduced to bending force and tensile force. It is shown to be decomposed and absorbed. FIGS. 2 and 3 show another embodiment of the present invention. In these examples, as shown in FIGS. 2 and 3, the shape of the oblong hole of the bolt hole 18 was changed in the vertical and horizontal directions. It shows a similar tendency, and can provide the same operation and effect as the embodiment shown in FIG. In each of the above embodiments, the bolt hole 18 of the flange 15 on the suction side of the casing has an oblong hole, but the bolt hole 18 'of the flange 16 fixed to the vacuum chamber side. May be provided with an oval hole portion. As described above, the present invention provides a casing in which an intake port is provided at an upper portion, an exhaust port is provided at a lower portion of a side wall, and a plurality of vanes are protruded from an inner peripheral surface; A rotor rotatably supported by a support of the casing with a rotation shaft of a rotor having a plurality of rotor blades protruding from an outer peripheral surface corresponding to each of the stationary blades; and between the rotation shaft and the support. A turbo-molecular pump provided with a motor provided; when an abnormal torque is applied to the casing, a part of the bolt hole of the mounting bolt for fastening the flange on the intake port side of the casing is "squared". The following effects can be obtained without changing the standard (number of bolts, size) of the vacuum flange by providing the oblong hole so as to be deformed. (1) Even if an abnormality occurs inside the casing, it is possible to prevent the mounting bolt of the flange from breaking. (2) Since the flange mounting bolt does not break, parts inside the casing do not scatter outside. (3) With these, it is possible to operate a highly safe turbo-molecular pump that does not adversely affect the surroundings.

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の一実施例のターボ分子ポンプのケーシ
ング吸気側と真空室側のフランジのボルト孔の部分を示
すもので、図１（ａ）は正常時の取付ボルトが締結され
た状態を示す部分断面図であり、図１（ｂ）は異常時の
取付ボルトが伸びた状態を示す部分断面図であり、図１
（ｃ）は図１（ａ）のＣ−Ｃ矢視図である。 【図２】本発明の他の実施例のターボ分子ポンプのケー
シング吸気側と真空室側のフランジのボルト孔の部分を
示す部分断面図である。 【図３】本発明の更に他の実施例のターボ分子ポンプの
ケーシング吸気側と真空室側のフランジのボルト孔の部
分を示す部分断面図である。 【図４】従来のターボ分子ポンプの縦断面図である。 【図５】図４のＩ−Ｉ矢視図である。 【図６】前記本発明の一実施例と従来のターボ分子ポン
プにおけるケーシングのフランジの取付ボルトの変位と
吸収エネルギーを示す線図である。 【符号の説明】 １ ケーシング ２ 吸気口 ３ 排気口 ４ 静翼 ５ 動翼 ６ ロータ ７ ロータの回転軸 ８ 磁気軸受 ９ すべり軸受 １０ 支持台 １１ モータ １２、１３ ボールベアリング １５ ケーシングの吸気口側のフランジ １６ 真空室側のフランジ １７ 取付ボルト １８、１８′ 取付ボルトのボルト孔BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 shows a bolt hole portion of a flange on a casing suction side and a vacuum chamber side of a turbo-molecular pump according to an embodiment of the present invention, and FIG. FIG. 1B is a partial cross-sectional view showing a state in which the mounting bolts are fastened, and FIG. 1B is a partial cross-sectional view showing a state in which the mounting bolts are extended at the time of abnormality.
(C) is a view on arrow CC in FIG. 1 (a). FIG. 2 is a partial sectional view showing a bolt hole portion of a flange on a casing suction side and a vacuum chamber side of a turbo molecular pump according to another embodiment of the present invention. FIG. 3 is a partial sectional view showing a bolt hole portion of a flange on a casing suction side and a vacuum chamber side of a turbo molecular pump according to still another embodiment of the present invention. FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a conventional turbo-molecular pump. FIG. 5 is a view taken in the direction of the arrow II in FIG. 4; FIG. 6 is a diagram showing displacement of a mounting bolt on a flange of a casing and absorbed energy in the embodiment of the present invention and a conventional turbo-molecular pump. [Description of Signs] 1 casing 2 intake port 3 exhaust port 4 stationary blade 5 moving blade 6 rotor 7 rotor rotating shaft 8 magnetic bearing 9 slide bearing 10 support base 11 motor 12, 13 ball bearing 15 casing intake-side flange 16 Flange 17 on the vacuum chamber side Mounting bolts 18, 18 'Bolt holes for mounting bolts

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 上部に吸気口を、側壁下部に排気口を、
それぞれ設け、かつ内周面に複数の静翼を突設したケー
シングと；前記各静翼に対応して外周面に複数の動翼を
突設したロータの回転軸が前記ケーシングの支持台によ
って回転可能に支持されたロータと；前記回転軸と前記
支持台との間に設けられたモータとを備えているターボ
分子ポンプにおいて；前記ケーシングの吸気口側のフラ
ンジを締結する取付ボルトのボルト孔の一部に、ケーシ
ングに異常トルクがかかった場合に取付ボルトが“く
状”に変形するように長円孔を設けたことを特徴とする
ターボ分子ポンプ。(57) [Claims 1] An intake port at the top, an exhaust port at the bottom of the side wall,
A casing provided with a plurality of stationary blades protruding from an inner peripheral surface thereof; and a rotating shaft of a rotor having a plurality of moving blades protruding from an outer peripheral surface corresponding to each of the stationary blades is rotated by a support base of the casing. A turbo-molecular pump comprising: a rotor rotatably supported; and a motor provided between the rotary shaft and the support base; and a bolt hole of a mounting bolt for fastening a flange on an intake port side of the casing. A turbo-molecular pump, characterized in that an elliptical hole is provided in a part so that the mounting bolt is deformed in a "shape" when an abnormal torque is applied to the casing.