JP5463087B2 - 微細構造の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、通常の粘着シートおよび粘着テープには、以下の問題がある。すなわち、台座に固定したモールドは、破損した場合や要求される微細パターンに応じて他のモールドに交換する必要がある。ところが、通常の粘着シートおよび粘着テープでは、モールドを取り外す際の粘着力が強く、モールドを簡単に取り外すことができない。また、無理に取り外そうとすると、モールドに過度の力がかかり、モールドが変形するか破損してしまう。さらに、通常の粘着シートおよび粘着テープは、繰り返し使用することができないので、経済的ではない。
(1)感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着シート。
(2)基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、感圧性接着剤および側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着テープ。
(3)側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着シート。
(4)基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下することを特徴とするモールド固定用粘着テープ。
(5)前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す前記(1)または(3)記載のモールド固定用粘着シート。
(6)前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す前記(2)または(4)記載のモールド固定用粘着テープ。
(7)前記(2)記載のモールド固定用粘着テープを用いて微細構造を製造する方法であって、前記粘着テープを、その片面または他面の粘着剤層を介して台座に貼着する工程と、この粘着テープの他面または片面の粘着剤層を介してモールドを前記台座に固定する工程と、固定されたモールドで、硬化性樹脂組成物からなる皮膜の表面を加圧し、モールドの微細パターンを転写する工程と、微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、を含むことを特徴とする微細構造の製造方法。
(8)前記微細構造の表面からモールドを剥離した後、前記粘着テープにおける片面の粘着剤層の温度を前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度にして粘着力を低下させ、前記モールドを台座から取り外す工程を含む前記(7)記載の微細構造の製造方法。
(9)前記モールドの微細パターンがナノないしマイクロメートルスケールである前記(7)または(8)記載の微細構造の製造方法。
なお、本発明における前記「シート」は、シート状のみに限定されるものではなく、本発明の効果を損なわない限りにおいて、シート状ないしフィルム状をも含む概念である。
(第1の実施形態)
以下、本発明にかかるモールド固定用粘着シート(以下、「粘着シート」と言うことがある。)の第1の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着シートは、感圧性接着剤と側鎖結晶性ポリマーとを含有する。
次に、本発明にかかる粘着シートの第2の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着シートは、側鎖結晶性ポリマーを含有する。具体的には、本実施形態の粘着シートは、前記した側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で該側鎖結晶性ポリマーが結晶化した際に粘着力が低下する割合で、前記側鎖結晶性ポリマーを含有する。つまり、本実施形態の粘着シートは、前記側鎖結晶性ポリマーを主成分として含有する。これにより、モールドを取り外す際には、粘着シートを前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度に冷却すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが結晶化することによって粘着力が低下するので、モールドを簡単に取り外すことができる。また、粘着シートを前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度に加熱すれば、前記側鎖結晶性ポリマーが流動性を示すことによって粘着力が回復するので、繰り返し使用することができる。
(第1の実施形態)
次に、本発明にかかるモールド固定用粘着テープ(以下、「粘着テープ」と言うことがある。)の第1の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着テープは、基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなる。
次に、本発明にかかる粘着テープの第2の実施形態について説明する。本実施形態にかかる粘着テープは、基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度で粘着力が低下する。これにより、前記した第2の実施形態にかかる粘着シートと同様の効果が得られ、かつ基材フィルムを含む分、粘着シートよりも剛性が高く、取り扱い性に優れるという効果が得られる。
次に、本発明の微細構造の製造方法にかかる一実施形態について、モールドの固定に前記した第1の実施形態にかかるモールド固定用粘着テープを用い、硬化性樹脂組成物にUV硬化性樹脂組成物を用いた場合を例に挙げ、図1を参照して詳細に説明する。
2 基材フィルム
3,4 粘着剤層
10 台座
15 モールド
15a 表面
15b 裏面
16 微細パターン
20 基板
21 皮膜
22 硬化被膜
25 微細構造
26 残膜
Claims (6)
- 感圧性接着剤および少なくとも炭素数16以上の直鎖状アルキル基を有する(メタ)アクリレートを重合させて得られる側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下するモールド固定用粘着シートを用いて微細構造を製造する方法であって、
前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度において、前記粘着シートを、その片面または他面を介して台座に貼着する工程と、
この粘着シートの他面または片面を介してモールドを前記台座に固定する工程と、
固定されたモールドで、硬化性樹脂組成物からなる皮膜の表面を加圧し、モールドの微細パターンを転写する工程と、
微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、を含むことを特徴とする微細構造の製造方法。 - 基材フィルムの両面に粘着剤層を設けてなり、少なくもと片面の粘着剤層が、感圧性接着剤および少なくとも炭素数16以上の直鎖状アルキル基を有する(メタ)アクリレートを重合させて得られる側鎖結晶性ポリマーを含有し、該側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度で粘着力が低下するモールド固定用粘着テープを用いて微細構造を製造する方法であって、
前記側鎖結晶性ポリマーの融点未満の温度において、前記粘着テープを、その片面または他面の粘着剤層を介して台座に貼着する工程と、
この粘着テープの他面または片面の粘着剤層を介してモールドを前記台座に固定する工程と、
固定されたモールドで、硬化性樹脂組成物からなる皮膜の表面を加圧し、モールドの微細パターンを転写する工程と、
微細パターンが転写された皮膜を硬化させて微細構造を得る工程と、を含むことを特徴とする微細構造の製造方法。 - 前記側鎖結晶性ポリマーは、前記融点未満の温度で結晶化し、かつ前記融点以上の温度で流動性を示す請求項1または2記載の微細構造の製造方法。
- 前記微細構造の表面からモールドを剥離した後、前記粘着シートの温度を前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度にして粘着力を低下させ、前記モールドを台座から取り外す工程を含む請求項1または3記載の微細構造の製造方法。
- 前記微細構造の表面からモールドを剥離した後、前記粘着テープにおける片面の粘着剤層の温度を前記側鎖結晶性ポリマーの融点以上の温度にして粘着力を低下させ、前記モールドを台座から取り外す工程を含む請求項2または3記載の微細構造の製造方法。
- 前記モールドの微細パターンがナノないしマイクロメートルスケールである請求項1〜5のいずれかに記載の微細構造の製造方法。
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