JP5450401B2 - 搬送装置、位置教示方法及びセンサ治具 - Google Patents
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Description
本発明の第1の態様にかかる搬送装置は、アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置であって、鉛直方向をZ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をY方向とし、Y方向及びZ方向に対して直角な方向をX方向としたとき、投光部から受光部への光軸を少なくとも1つ持ち、前記光軸を複数もつ場合は、前記光軸がX方向、Y方向及びZ方向の3方向の中の所望の2方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、複数の前記光軸の中の少なくとも1つの前記光軸が前記所望の2方向に平行でないように前記投光部と前記受光部を配置した透過光式センサと、前記光軸を遮光することが可能な1つ以上の目標部材と、前記目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を前記透過光式センサから取得し、前記位置情報に基づいて、前記搬送軌跡上の所定の目標位置についての教示情報を算出する教示情報算出手段と、前記教示情報算出手段によって算出された前記目標位置についての前記教示情報に基づいて、前記被搬送物の搬送位置を制御する制御手段と、を備え、前記透過光式センサは、前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部のどちらか一方に設置され、前記透過光式センサの設置されていない前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に前記目標部材が設置されていることを特徴とする。
本発明の第2の態様にかかる位置教示方法は、本発明の第1の態様にかかる位置教示方法の前記目標部材が、2つ以上であり、かつ、少なくとも2つの前記目標部材の中心を通るS軸の方向とY方向またはX方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする。
これにより、上述した本発明の第2の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
これにより、上述した本発明の第3の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
これにより、上述した本発明の第4の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
これにより、上述した本発明の第5の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
これにより、上述した本発明の第6の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
これにより、上述した本発明の第7の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
これにより、上述した本発明の第8の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
これにより、上述した本発明の第9の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
これにより、上述した本発明の第10の態様にかかる搬送装置と同等の効果が得られる。
150 ウエハ収納容器
12 搬送ロボット(本体部)
11 ロードポート
13 X軸テーブル
21 支柱部
22 第1アーム
23 第2アーム
24 ウエハ搬送部24
25 旋回部
30 センサ治具
32 透過光式センサ
41、42 光軸
50 遮光治具
51、52 遮光ピン
60 教示情報算出部
61 Z軸補正情報算出部
62 θ軸補正情報算出部
63 X軸補正情報算出部
64 Y軸補正情報算出部
65 S軸補正情報算出部
70 制御部
75 駆動部
76 ワイヤレス信号発信機
77 バッテリー
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部60のZ軸補正情報算出部61で実行される。搬送ロボット12を−Z軸方向に移動しながら、光軸41または光軸42のどちらか一方の光軸の遮光ピン51に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置10のZ軸方向の駆動情報から遮光ピン51のZ方向上端の中心位置を算出し、搬送位置のZ方向の位置情報とウエハ搬送装置10のZ軸方向の位置情報とを一致するように補正する教示情報を算出する。尚、搬送ロボット12の動作及教示情報の算出方法の詳細については後述(図9及び図10の説明を参照)する。
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部60のθ軸補正情報算出部62で実行される。搬送ロボット12を+Y軸方向に移動しながら、光軸41または光軸42のどちらか一方の光軸の遮光ピン51に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置10のY軸方向の駆動情報と、更に、搬送ロボット12をX軸方向に移動しながら、遮光した光軸41または光軸42のどちらか一方の光軸の遮光ピン51に対する投光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置10のX軸方向の駆動情報とから、ウエハ搬送装置10のY軸方向とY方向とのズレ角度を算出する。即ち、ウエハ搬送装置10のY軸方向とY方向とを一致するように補正する教示情報を算出する。ここで、ウエハ搬送部24の回転中心軸をθ軸と呼ぶ。尚、搬送ロボット12の動作及教示情報の算出方法の詳細については後述(図11、図12及び図13の説明を参照)する。
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部60のX軸補正情報算出部63で実行される。搬送ロボット12を+Y軸方向に移動しながら、光軸41及び光軸42の遮光ピン51に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置10のY軸方向の駆動情報から、搬送位置のX方向の位置情報とウエハ搬送装置10のX軸方向の位置情報とのズレ量を算出する。即ち、搬送位置のX方向の位置情報とウエハ搬送装置10のX軸方向の位置情報とを一致するように補正する教示情報を算出する。尚、搬送ロボット12の動作及教示情報の算出方法の詳細については後述(図14、図15、図16、及び図20の説明を参照)する。
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部60のY軸補正情報算出部64で実行される。搬送ロボット12を+Y軸方向に移動しながら、光軸41及び光軸42の遮光ピン51に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置10のY軸方向の駆動情報から、搬送位置のY方向の位置情報とウエハ搬送装置10のY軸方向の位置情報とを一致するように補正する教示情報を算出する。尚、搬送ロボット12の動作及教示情報の算出方法の詳細については後述(図21及び図22の説明を参照)する。
この補正についての教示情報の算出は、教示情報算出部60のS軸補正情報算出部65で実行される。S軸がY方向であるときは、遮光ピン51の中心位置から搬送ロボット12を+Y軸方向に移動しながら、光軸41及び光軸42の遮光ピン52に対する遮光開始タイミングにおけるウエハ搬送装置10のY軸方向の駆動情報から、遮光治具50のS軸と搬送位置の設計上のY方向とのズレ角度を算出する。即ち、遮光治具50のS軸と搬送位置の設計上のY方向とを一致するように補正する教示情報を算出する。
図7に示すように、まず、ロードポート11に遮光治具50を設置し、搬送ロボット12のウエハ搬送部24にセンサ治具30を設置する(S100)。
ここで、aは、位置Cから位置DへのX軸方向への移動量であり、dは、遮光ピン51の直径である。
関係式(2)を使用して、上述のステップS305で、ウエハ搬送装置10のY軸方向とY方向とのズレ角度βを算出する。
cosθ=x´/x ・・・・・(4)
ここで、yは、位置Cから位置EへのY軸方向への移動量である。
関係式(5)を使用して、上述のステップS405で、搬送位置のX方向の位置情報とウエハ搬送装置10のX軸方向の位置情報とズレ量xを算出する。尚、本実施例では、θ=0であるので、下記の関係式(5´)を使用して、上述のステップS405で、搬送位置のX方向の位置情報とウエハ搬送装置10のX軸方向の位置情報とズレ量xを算出する。
次に、図17から図19を参照して、図7のS軸補正処理(S104)の詳細を説明する。図17は、S軸補正処理(S104)の処理手順の一例を示すフローチャート図である。図18は、搬送ロボット12の動作の一例を説明するための図である。また、図19は、S軸補正の教示情報の算出方法を説明するための図である。
ここで、bは遮光ピン51の中心と遮光ピン52の中心との間に距離である。
また、関係式(5)より、x´´は、下記の関係式(7)で表される。
ここで、y´は、位置Fから位置GへのY軸方向への移動量である。
関係式(8)を使用して、上述のステップS504で、遮光治具50を設置上のY方向(S軸)と搬送位置の設計上のY方向とのズレ角度γを算出する。尚、本実施例では、θ=0であるので、下記の関係式(8´)を使用して、上述のステップS504で、遮光治具50を設置上のY方向(S軸)と搬送位置の設計上のY方向とのズレ角度γを算出する。
次に、図20を参照して、図7の2次X軸補正処理(S105)の詳細を説明する。図20は、2次X軸補正処理(S105)の処理手順の一例を示すフローチャート図である。尚、2次X軸補正処理(S105)は1次X軸補正処理(S103)と同様である。1次X軸補正処理では遮光ピン51についての光軸41及び光軸42の遮光した位置でズレ量を算出しているが、2次X軸補正処理では遮光ピン52についての光軸41及び光軸42の遮光した位置でズレ量を算出している。
Claims (21)
- アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置であって、
鉛直方向をZ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をY方向とし、Y方向及びZ方向に対して直角な方向をX方向とし、前記搬送部の直進方向をR方向としたとき、
投光部から受光部への光軸を少なくとも2つ持ち、
前記光軸がX方向、Y方向及びZ方向の3方向の中の所望の2方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、少なくとも1つの前記光軸が前記所望の2方向のいずれとも平行でなく、かつ、少なくとも2つの前記光軸はR方向に平行でないように前記投光部と前記受光部が配置された透過光式センサと、
前記光軸を遮光することが可能な1つ以上の目標部材と、
前記目標部材が前記光軸を投光状態から遮光したときまたは遮光状態から投光したときの位置情報を前記透過光式センサから取得し、前記位置情報に基づいて、前記搬送軌跡上の所定の目標位置についての教示情報を算出する教示情報算出手段と、
前記教示情報算出手段によって算出された前記目標位置についての前記教示情報に基づいて、前記被搬送物の搬送位置を制御する制御手段と、
を備え、
前記搬送部の先端部と前記目標位置の近傍部のいずれか一方に前記透過光式センサが設置され、他方に前記目標部材が設置されており、
前記教示情報算出手段は、
Z方向へ前記光軸を1つの前記目標部材に対して相対的に移動させて、当該目標部材により1つの前記R方向に平行でない光軸が遮光されたときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのZ方向の位置補正をする前記教示情報を算出するZ軸補正情報算出手段と、
1つの前記目標部材により1つの前記R方向に平行でない光軸が遮光されるまで、R方向へ相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、前記1つの光軸が再び投光するまで、X方向へ前記1つの光軸を前記1つの目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、R方向とY方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するθ軸補正情報算出部と、
R方向へ前記光軸を1つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、2つの前記R方向に平行でない光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのX方向の位置補正する前記教示情報を算出するX軸補正情報算出手段と、
を備えている
ことを特徴とする搬送装置。 - 前記目標部材は、2つ以上であり、かつ、いずれか2つの前記目標部材の中心を通るS軸の方向とY方向またはX方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材間の相対位置が既知であることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記S軸の方向が、Y方向またはX方向であることを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。
- 前記S軸の方向がY方向に一致して前記S軸を通る前記2つの目標部材をそれぞれ第1目標部材及び第2目標部材とし、
前記教示情報算出手段は、
前記第1目標部材の中心からR方向へ1つの前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
さらにR方向へ別の前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
前記1つの光軸及び前記別の光軸が遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記S軸とY方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するS軸補正情報算出手段を備えている
ことを特徴とする請求項3に記載の搬送装置。 - 前記S軸の方向がX方向に一致して前記S軸を通る前記2つの目標部材をそれぞれ第1目標部材及び第2目標部材とし、
前記教示情報算出手段は、
前記第1目標部材の中心からX方向へ1つの前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
さらにX方向へ別の前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
前記1つの光軸及び前記別の光軸が遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記S軸とX方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するS軸補正情報算出手段を備えている
ことを特徴とする請求項3に記載の搬送装置。 - 前記S軸の方向がY方向及びX方向のいずれとも一致せず、前記S軸を通る前記2つの目標部材をそれぞれ第1目標部材及び第2目標部材とし、
前記教示情報算出手段は、
前記第1目標部材の中心からR方向へ1つの前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
さらにR方向へ別の前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
前記1つの光軸及び前記別の光軸が遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記S軸から算出されるY方向と設計上のY方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出するS軸補正情報算出手段を備えている
ことを特徴とする請求項2に記載の搬送装置。 - 前記目標部材を2つ以上備え、
前記教示情報算出手段は、
R方向へ前記光軸を、前記X軸補正情報産出手段で用いた前記目標部材とは別の前記目標部材に対して相対的に平行移動させ、2つの前記R方向に平行でない光軸がそれぞれ遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのX方向の位置補正する前記教示情報を算出し、算出されたX方向の位置補正する前記教示情報と前記X軸補正情報算出手段によって算出されたX方向の位置補正する前記教示情報とからX軸方向の位置情報とズレ情報を算出する2次X軸情報算出手段を更に備えている
ことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の搬送装置。 - 前記教示情報算出手段は、
少なくとも2つの前記R方向に平行でない光軸を1つの前記目標部材に対してR方向へ相対的に平行移動させて、それぞれの前記光軸が遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのR方向の前記教示情報を算出するY軸補正情報算出部を、さらに備えている
ことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の搬送装置。 - 請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の搬送装置であって、
前記目標部材に対する相対位置が既知で前記光軸を遮光することが可能な1つ以上の仮目標部材をさらに備え、
前記教示情報算出手段は、
さらに前記仮目標部材を用いて前記光軸を遮光または投光させることで前記教示情報を取得する
ことを特徴とする搬送装置。 - アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置に、前記搬送軌跡上の所定の目標位置を教示する位置教示方法であって、
鉛直方向をZ方向とし、前記平面上にある設計上の直線移動方向をY方向とし、Y方向及びZ方向に対して直角な方向をX方向とし、前記搬送部の直進方向をR方向としたとき、
前記搬送装置は、
投光部から受光部への光軸を少なくとも2つ持ち、
前記光軸がX方向、Y方向及びZ方向の3方向の中の所望の2方向からなる投影面上でそれぞれが平行でなく、かつ、少なくとも1つの前記光軸が前記所望の2方向のいずれとも平行でなく、かつ、少なくとも2つの前記光軸がR方向に平行でないように前記投光部と前記受光部が配置された透過光式センサを、前記搬送部の先端部または前記目標位置の近傍部に設置しており、
(a)前記透過光式センサが設置されていない前記目標位置の近傍部または前記搬送部の先端部に設置された前記光軸を遮光することが可能な1つ以上の目標部材に対して、前記所望の2方向のいずれかに順次相対的に移動させることにより、前記目標位置についての教示情報を算出する工程を有し、
前記工程(a)は、
(b)Z方向へ前記光軸を1つの前記目標部材に対して相対的に移動させて、前記目標部材により1つの前記R方向に平行でない光軸が遮光されたときの前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのZ方向の位置補正をする前記教示情報を算出する工程と、
(c)1つの前記目標部材により1つの前記R方向に平行でない光軸が遮光されるまで、R方向へ相対的に平行移動させたときの前記位置情報と、前記1つの光軸が再び投光するまで、X方向へ前記1つの光軸を前記1つの目標部材に対して相対的に平行移動させたときの前記位置情報とに基づいて、R方向とY方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程と、
(d)R方向へ前記光軸を1つの前記目標部材に対して相対的に平行移動させて、2つの前記R方向に平行でない光軸がそれぞれ遮光したときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのX方向の位置補正する前記教示情報を算出する工程と、有している
ことを特徴とする位置教示方法。 - 前記目標部材は、2つ以上であり、かつ、少なくとも2つの前記目標部材の中心を通るS軸の方向とY方向またはX方向との角度が既知であり、かつ、前記目標部材の相対位置が既知であることを特徴とする請求項10に記載の位置教示方法。
- 少なくとも2つの前記目標部材の中心を通るS軸の方向が、Y方向またはX方向であることを特徴とする請求項11に記載の位置教示方法。
- Y方向に一致する前記S軸を通る前記2つの目標部材の一方を第1目標部材とし、他方を前記目標部材を第2目標部材とし、
前記工程(a)は、
(e1)前記第1目標部材の中心からR方向へ1つの前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
さらにR方向へ別の前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
前記1つの前記光軸及び前記別の光軸が遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記S軸とY方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程をさらに有している
ことを特徴とする請求項12に記載の位置教示方法。 - X方向に一致する前記S軸を通る前記2つの目標部材の一方を第1目標部材とし、他方を第2目標部材とし、
前記工程(a)は、
(e2)前記第1目標部材の中心からX方向へ1つの前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
さらにX方向へ別の前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
前記1つの前記光軸及び前記別の光軸が遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記S軸とX方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程を有している
ことを特徴とする請求項12に記載の位置教示方法。 - Y方向及びX方向のいずれとも一致しない前記S軸を通る前記2つの目標部材の一方を第1目標部材とし、他方を第2目標部材とし、
前記工程(a)は、
(e3)前記第1目標部材の中心からR方向へ1つの前記R方向に平行でない光軸を前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
さらにR方向へ別の前記R方向に平行でない光軸が前記第2目標部材で遮光されるまで相対的に平行移動させ、
前記1つの光軸及び前記別の光軸が遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記S軸から算出されるY方向と設計上のY方向とのズレ角度を補正する前記教示情報を算出する工程を有している
ことを特徴とする請求項11に記載の位置教示方法。 - 前記目標部材は、2つ以上であり、
前記工程(a)は、
(f)R方向へ前記光軸を前記工程(d)で用いた前記目標部材とは別の前記目標部材に対して相対的に平行移動させ、2つの前記R方向に平行でない光軸がそれぞれ遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのX方向の位置補正する前記教示情報を算出し、算出された前記教示情報と前記工程(d)によって算出されたX方向の位置補正する前記教示情報とからX軸方向の位置情報とズレ情報を算出する工程を更に有している
ことを特徴とする請求項10から請求項15のいずれか1項に記載の位置教示方法。 - 前記工程(a)は、
(g)少なくとも2つの前記R方向に平行でない光軸を1つの前記目標部材に対してR方向へ相対的に平行移動させて、それぞれの前記光軸が遮光されたときの各前記位置情報に基づいて、前記目標位置についてのR方向の前記教示情報を算出する工程を、さらに有している
ことを特徴とする、請求項10から請求項16のいずれか1項に記載の位置教示方法。 - 請求項10から請求項17のいずれか1項に記載の位置教示方法であって、
前記目標部材に対する相対位置が既知で前記光軸を遮光することが可能な1つ以上の仮目標部材をさらに備え、
前記工程(a)では、
さらに前記仮目標部材を用いて前記光軸を遮光または投光させることで前記教示情報を取得する
ことを特徴とする位置教示方法。 - 目標部材との相対的な平行移動を含んだ教示のための動作を記憶する搬送装置で用いられる、透過光式センサを用いて前記目標部材を検出するセンサ治具であって、
前記透過光式センサの投光部から受光部への光軸を少なくとも2つ持ち、
前記目標部材を検出するために前記搬送装置に対して所定の位置で配置された状態では、
前記光軸がX方向、Y方向及びZ方向の3方向の中の所望の2方向からなる同一投影面上でそれぞれが平行でなく、
かつ、少なくとも1つの前記光軸が前記投影面上における前記目標部材への相対的な移動方向及び前記移動方向に対して直角な方向に対して平行でなく、
かつ、少なくとも1つの前記光軸が前記所望の2方向に平行とならないように前記投光部及び前記受光部が設けられていることを特徴とするセンサ治具。 - 請求項19に記載のセンサ治具であって、
前記目標部材により前記光軸が遮光されたときのオンオフ信号を送信するワイヤレス信号発信機と、
前記透過光式センサおよび前記ワイヤレス信号発信機に電源を供給するバッテリーとを、
更に備えていることを特徴とするセンサ治具。 - アームの先端に設置された搬送部によって被搬送物を保持して予め設定された搬送軌跡上を搬送する、鉛直方向の上下移動、並びに、鉛直方向に対して直角な平面上の直線移動及び旋回移動が可能な搬送装置であって、
請求項20に記載のセンサ治具と、前記ワイヤレス信号発信機から送信された信号を受信するワイヤレス信号受信機と、
を備え、前記センサ治具の前記透過光式センサにより取得された、前記目標部材が前記光軸を投光から遮光したときまたは遮光から投光したときの位置情報に基づいて、前記搬送軌跡上の所定の目標位置についての教示情報を算出することを特徴とする搬送装置。
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