JP5449998B2 - プルーフマスの回転を最小化する慣性センサを吊るすためのシステムおよび方法 - Google Patents
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- 入力回転軸に沿う回転を測定するための微小電気機械システム(MEMS)装置(80)であって、前記装置は、
基板と、
少なくとも1つのプルーフマス(81)と、
吊り下げシステムと、を有し、
前記吊り下げシステムは、少なくとも2つのクロスバー(82)と、
少なくとも1つの前記プルーフマスを前記クロスバーの1つに接続する少なくとも1つの屈曲部(83)と、
少なくとも2つのアンカー吊り下げ素子(84)と、を有し、前記アンカー吊り下げ素子(84)は、第1分割部分および第2分割部分を備える分割支持梁(86)を有し、少なくとも2つの前記アンカー吊り下げ素子は、少なくとも2つの前記クロスバーと基板アンカーとの間に接続され、前記第1分割部分および前記第2分割部分の第1端部は第1幅だけ隔てられて前記基板アンカーに接続され、前記第1分割部分および前記第2分割部分の第2端部は第2幅だけ隔てられて前記クロスバーに接続され、前記第1幅は前記第2幅よりも小さい、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、少なくとも2つの前記アンカー吊り下げ素子は、差動力に応答する、少なくとも1つの前記プルーフマスの前記入力回転軸の周りの回転運動に抵抗し、且つ、共通モード入力力による直線運動に抵抗するように構成される、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、前記アンカー吊り下げ素子はさらに、前記第1分割部分を前記第2分割部分に接続するアンカー(88)を有し、前記第1分割部分および前記第2分割部分は湾曲している、装置。
- 請求項1に記載の装置であって、
前記少なくとも2つのクロスバーは、前記第1分割部分を前記第2分割部分に接続する薄いクロスバーを有する、装置。 - 請求項1に記載の装置であって、
前記少なくとも1つの屈曲部は、差動力に応答する入力回転軸の周りの前記少なくとも1つのプルーフマスの回転運動に抵抗するように構成される、装置。 - 請求項5に記載の装置であって、
前記少なくとも1つの屈曲部は、実質的にヘアピンバネ形状である、装置。 - 請求項6に記載の装置であって、
少なくとも2つの屈曲部は、作動力に応答する入力回転軸の周りの前記少なくとも1つのプルーフマスの回転運動に抵抗するために、厚さ、長さ、幅、密度、形状及び材料のうち少なくとも1つが異なるように構成されている、装置。
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