JP5446098B2 - オンチップカラーフィルタ用フォトマスク - Google Patents
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Description
フィルタ配列を部分的に取り出したのが図3である。四角形状の青色フィルタBの4辺に接するように市松模様状に四角形状の緑色フィルタGが配置されており、青色フィルタBの対角に赤色フィルタRが配置されている。
の開口パターン33と、遮光パターン31とが形成されたオンチップカラーフィルタ用フォトマスク30を用いてパターン露光、現像等のパターニング処理を行って、半導体基板11上の所定位置に緑色フィルタ21Gを形成する(図13(b)及び図14参照)。
都合上、マスクパターンの遮光部と開口部は色逆煮表示している。すなわち、図16ないし図20において黒部は光透過部を、白部は遮光部を示している。なお、着色レジストとしてポジタイプのものを用いる場合には、22のパターンの白黒は図16から図20の白黒と同じになる。
ここで補正部32に形成するパターンは、カラーフィルタ形成用の着色レジストを、露光、現像しても、その解像限界を超えるために開口パターン通りに現像されず角が完全に丸め込まれてしまう、極めて微細な形状のパターンである。なお、解像限界を超えるのは、必ずしもレジストの解像限界についてである必要はなく、場合によっては、露光機の解像限界や、現像機の解像限界、エッチング装置の解像限界などでもよい。結果的に、現像後のカラーフィルタ材料の形状が、補正部32に形成したパターンと全く同一にはならず、角が丸め込まれるように形成されればよい。
成用の各開口パターンの四隅の連結部に配置する。これにより当該連結部での遮光部の面積は、この補正部32がない単純な市松模様状の場合よりも0.015μm2大きい。したがって、前記補正パターンを設けたことにより、前記第1色フィルタ形成用パターンの面積が、前記補正パターンなしの単純な市松模様状の場合と比較して、小さくなる。よって、補正部32により、第1色(例えば、緑色)フィルタ形成用の各開口パターン33の四隅の連結部は、遮光率が上昇し、カラーフィルタ形成用着色レジストは残り難くなる。すなわち、ブリッジは細くなる。
光、現像しても、その解像限界を超えるために開口パターン通りに現像されず角が完全に丸め込まれてしまう、極めて微細な形状のパターンである。なお、解像限界を超えるのは、必ずしもレジストの解像限界についてである必要はなく、場合によっては、露光機の解像限界や、現像機の解像限界、エッチング装置の解像限界などでもよい。結果的に、現像後のカラーフィルタ材料の形状が、補正部32に形成したパターンと全く同一にはならず、角が丸め込まれるように形成されればよい。
21、24……緑色感光層
21c……連結部
21G、24G、G……緑色フィルタ
22、25……青色感光層
22B、25B、B……青色フィルタ
23、26……赤色感光層
33R、26R、R……赤色フィルタ
30……緑色フィルタ用フォトマスク
31……ブランクパターン(例えば、ネガレジスト使用の場合は遮光部、ポジレジスト使用の場合は開口部である)
32……補正部
33……第1色フィルタ形成用パターン(例えば、ネガレジスト使用の場合は開口部、ポジレジスト使用の場合は遮光部である)
GP……緑色フィルタ形成用パターン
Claims (4)
- 固体撮像素子の光電変換素子に対応した各々平面視四角形状の着色フィルタをネガタイプのレジストを用いたフォトリソグラフィー法にて作製するために使用するフォトマスクであって、前記フォトマスクは、第2色、もしくは第3色フィルタの4辺に接するように市松模様状に配置された第1色フィルタを作製するための第1色フィルタ用フォトマスクであり、前記第1色フィルタに対応するように配置された四角形状の第1色フィルタ形成用パターンの4隅の連結部に四角形の補正パターンを設けたことにより、前記第1色フィルタ形成用パターンの面積が、前記補正パターンなしの単純な市松模様状の場合と比較して、小さくなることを特徴とするオンチップカラーフィルタ用フォトマスク。
- 前記補正パターンが、露光機の解像限界、現像機の解像限界、フォトレジストの解像限界、第1色フィルタ用材料を溶解させるエッチング装置の加工限界のうち、少なくともいずれか一つの限界を超える微細なパターンを有することを特徴とする請求項1に記載のオンチップカラーフィルタ用フォトマスク。
- 前記補正パターンが、四角形パターンの組合せ、重ね合せのいずれか、又は組合せ及び重ね合せからなることを特徴とする請求項1又は2に記載のオンチップカラーフィルタ用フォトマスク。
- 前記補正パターンが、1辺0.1〜0.4マイクロメートルの四角形パターンの組合せ、重ね合せのいずれか、又は組合せ及び重ね合せからなることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のオンチップカラーフィルタ用フォトマスク。
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