JP5444682B2 - 液状体の吐出方法、有機el素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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この方法によれば、第1吐出工程において隣り合うノズルを同時に選択して液滴を吐出しても、第1吐出工程における液状体の塗布量のばらつきを考慮して、第2吐出工程において必要量に対して残りの液状体を適正に吐出することができる。
この方法によれば、第1吐出工程では、略矩形状の膜形成領域において長手方向の隔壁部の近傍に液滴を配置することができるので、液状体が濡れ広がり難い長手方向における吐出ムラを低減できる。
この方法によれば、第1吐出工程では、略矩形状の膜形成領域において長手方向の隔壁部にその一部が掛かるように液滴を配置することができるので、液状体が濡れ広がり難い長手方向における吐出ムラをより確実に低減できる。
この方法によれば、吐出工程における液状体の吐出ムラが低減され、必要量の液状体が膜形成領域に塗布されるので、成膜工程では所望の膜厚を有する発光層を備えた有機EL素子を製造することができる。すなわち、吐出ムラに起因する輝度ムラが低減され、所望の発光特性を有する有機EL素子を製造することができる。
この方法によれば、吐出ムラに起因する輝度ムラが低減され、少なくとも赤、緑、青、3色の発光が得られる有機EL素子を製造することができる。
この方法によれば、吐出工程における液状体の吐出ムラが低減され、必要量の液状体が膜形成領域に塗布されるので、成膜工程では所望の膜厚を有する着色層を備えたカラーフィルタを製造することができる。すなわち、吐出ムラに起因する色ムラが低減され、所望の光学特性を有するカラーフィルタを製造することができる。
<液状体の吐出装置>
まず、機能性材料を含む液状体を液滴として被吐出物に吐出可能な吐出装置について、図1〜図5を参照して説明する。図1は吐出装置の構成を示す概略斜視図である。
移動台22は、ガイドレール21の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ(図示省略)により主走査方向(Y軸方向)に移動する。移動台22には、タイミング信号生成部としてのエンコーダ12(図4参照)が設けられている。
エンコーダ12は、移動台22の主走査方向(Y軸方向)への相対移動に伴って、ガイドレール21に並設されたリニアスケール(図示省略)の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。なお、エンコーダ12の配設は、これに限らず、例えば、移動台22を回転軸に沿って主走査方向(Y軸方向)に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダ12を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータなどが挙げられる。
ステージ5はワークWを吸着固定可能であると共に、回転機構6によってワークW内の基準軸を正確に主走査方向(Y軸方向)、副走査方向(X軸方向)に合わせることが可能となっている。
また、ワークW上において液状体が吐出される膜形成領域の配置に応じて、ワークWを例えば90度旋回させることも可能である。
キャリッジ8には、複数の吐出ヘッド50(図2参照)が搭載されたヘッドユニット9が取り付けられている。
また、吐出ヘッド50に液状体を供給するための液状体供給機構(図示省略)と、複数の吐出ヘッド50の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ48(図4参照)とが設けられている。
移動台32がキャリッジ8を副走査方向(X軸方向)に移動させてヘッドユニット9をワークWに対して対向配置する。
また、吐出ヘッド50ごとに吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構60(図4参照)を備えている。そして、これらの構成を統括的に制御する制御部40を備えている。なお、図1では、メンテナンス機構および重量計測機構60は、図示省略した。
また、各系統のタイミングは周期的となっているため、吐出条件が各吐出タイミング間で一様となり、液滴の吐出量を主走査方向に対して安定化させることができる。
また、ラッチ信号LATの1周期内(1ラッチ内)において、3つの駆動波形PL1,PL2,PL3が発生するので、同一の圧電素子に1ラッチ内で3つの駆動波形PL1,PL2,PL3を印加すれば、同一ノズル52から吐出タイミングを変えて3滴の液滴を吐出することができる。
さらに、1ラッチ内の3つの駆動波形PL1,PL2,PL3をそれぞれ別の圧電素子に印加すれば、3つのノズル52から液滴を異なる吐出タイミングで吐出することができる。すなわち、3つのノズル52が時分割駆動される。
また、駆動波形PL1,PL2,PL3において、振幅の幅(実質的には中間電位との間の電位差すなわち駆動電圧)や波形の勾配などをそれぞれ変えることによって、ノズル52から吐出される液滴の吐出量を異ならせることが可能である。言い換えれば、同一ノズル52の圧電素子に異なる形状の駆動波形PL1,PL2,PL3のうち1つを選択して印加すれば液滴の吐出量の補正が可能である。
以降、ノズル52の圧電素子に駆動波形を印加することを、ノズル52に駆動波形を印加すると表現する。
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について、実施例を挙げて説明する。本実施形態の液状体の吐出方法は、X軸方向(副走査方向)およびY軸方向(主走査方向)にマトリクス状に配置された略矩形状の膜形成領域に必要量の液状体を液滴として吐出(配置)するものである。なお、膜形成領域は、ワークW上において隔壁部により区画されている。また、隔壁部または隔壁部の表面が液状体に対して撥液性を有している。膜形成領域内は塗布される液状体の濡れ性を考慮して親液性を付与する表面処理を施してもよい。
図6(a)および(b)は実施例1の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。同図(a)に示すように、略矩形状の膜形成領域Aは、R、G、B、3種の液状体が吐出されるものであって、同種の液状体が吐出される膜形成領域AがX軸方向(副走査方向)に沿って直線的に配列し、異種の液状体が吐出される膜形成領域AがY軸方向(主走査方向)に並列する所謂ストライプ方式の配置となっている。各膜形成領域Aは、長手方向がX軸方向に沿うように配列している。
同図(a)に示すように、複数のノズル52(ノズル列52c)を膜形成領域Aの長手方向(X軸方向あるいは副走査方向)に相対配置して、長手方向と直交するY軸方向(主走査方向)に主走査し、膜形成領域Aに掛かる複数のノズル52から液滴を吐出する場合、ノズル52間において吐出された液滴の吐出量がクロストークなどによりばらつくと、必要量の液状体を膜形成領域Aに塗布できないおそれがある。
また、第1吐出工程で吐出された液滴群D1の塗布量が所定の塗布量よりも多い場合には、例えば他の駆動波形PL2,PL3を駆動波形PL1に比べて液滴の吐出量が少なくなるように補正しておく。第2吐出工程では、3つのノズル52に補正後の3つの駆動波形PL1,PL2,PL3を順次印加して液滴群D2を吐出すれば、必要量の液状体を安定して膜形成領域Aに塗布することができる。
液状体ごとに吐出特性(液滴の吐出量や吐出速度など)に影響する物性(粘度、表面張力など)が異なる場合には、例えば液状体に応じた駆動波形PL1,PL2,PL3を生成して選択できるようにすればよい。ただし、このように駆動波形の種類を増やすことは吐出装置10における電気的な構成が複雑になってしまうので、一般的には、物性がほぼ同一となるように液状体ごとの調整(例えば溶媒の選択や濃度の調整など)を行う。
図7(a)および(b)は実施例2の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。同図(a)に示すように、実施例2の液状体の吐出方法における第1吐出工程は、実施例1と同様である。すなわち、長手方向の隔壁部にその一部が掛かるように液滴群D1を吐出する。第2吐出工程では、膜形成領域Aに掛かるノズル52ごとに液滴の吐出量が補正された液滴群D2を時分割駆動により吐出すると共に、X軸方向(副走査方向)において最も隔壁部に近い2つのノズル52から液滴D3をそれぞれ追加吐出している。したがって、第1吐出工程における液滴群D1の塗布量が少なく、第2吐出工程で液滴の吐出量が補正された液滴群D2を吐出したとしても、必要量に到達しない場合には、さらに第2吐出工程において液滴の吐出数を増やして対応する方法である。
図8(a)および(b)は実施例3の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例3の液状体の吐出方法は、実施例1や実施例2の液状体の吐出方法に対して、第1吐出工程と第2吐出工程とがいずれも時分割駆動により行われている点が基本的に異なる。
図9(a)〜(d)は実施例4の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例4の液状体の吐出方法は、実施例1〜実施例3の液状体の吐出方法に対して、複数のノズル52(ノズル列52c)と膜形成領域Aとの相対的な配置が異なっている。
続いて、同図(b)に示すように、ノズル52がもう一方の長手方向の隔壁部の近傍に位置するように複数のノズル52を相対配置する(副走査する)。そして、先ほどと同様に少なくとも2つの角部の近傍に液滴を吐出する。すなわち、第1吐出工程では、少なくとも4つの角部の近傍に液滴を配置するように、隣り合うノズル52を同時に選択して液滴群D7を吐出する。
第2吐出工程では、時分割駆動により液滴を吐出すると共に、補正された駆動波形PL1,PL2,PL3のうちから1つの駆動波形を印加することにより、吐出量が補正された液滴を吐出することが可能である。もちろん、液状体の塗布量の調整は、時分割駆動を用いる第2吐出工程において液滴の吐出数を調整する方法を採用してもよい。
また、実施例1〜実施例3に比べて必要量の液状体を塗布するための主走査あるいは副走査の回数が増えるものの、膜形成領域Aの吐出ムラが目立ち易い長手方向において高密度に液滴を配置することが可能である。
<有機EL装置>
次に、本実施形態の有機EL(エレクトロルミネセンス)素子の製造方法を適用して製造された有機EL素子を有する有機EL装置について図10および図11を参照して説明する。図10は有機EL装置を示す概略正面図、図11は有機EL装置の要部概略断面図である。
次に、本実施形態の有機EL素子の製造方法について図12〜図14を参照して説明する。図12は有機EL装置の製造方法を示すフローチャート、図13(a)〜(d)および図14(e)〜(h)は有機EL素子の製造方法を示す概略断面図である。
液状体70を塗布する方法としては、実施形態1において説明した液状体(インク)を吐出ヘッド50のノズル52から吐出可能な吐出装置10を用いる。吐出ヘッド50とワークWである素子基板101とを対向させ、吐出ヘッド50から液状体70を吐出する。吐出された液状体70は、液滴として親液処理された陽極131に着弾して濡れ拡がる。また、乾燥後の正孔注入層の膜厚がおよそ50〜70nmとなるように、膜形成領域Aの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。
液状体80は、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含み、中間層形成材料として、前述したトリフェニルアミン系ポリマーを重量比で0.1%程度含んだものを用いた。粘度はおよそ6mPa・sである。
液状体80を塗布する方法としては、液状体70を塗布する場合と同様に、実施形態1の吐出装置10を用いる。乾燥後の中間層の膜厚がおよそ10〜20nmとなるように、膜形成領域Aの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。
液状体90R,90G,90Bは、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含んでおり、発光層形成材料としてPFを重量比で0.7%含んだものを用いた。粘度はおよそ14mPa・sである。
液状体90R,90G,90Bを塗布する方法は、やはり実施形態1の吐出装置10を用い、それぞれ異なる吐出ヘッド50に充填されて吐出される。
発光層の成膜にあたり、液状体90R,90G,90Bを膜形成領域Aに吐出ムラなく、且つ必要量を安定的に吐出することができる実施形態1の液状体の吐出方法を用いた。すなわち、第1吐出工程では、液状体90R,90G,90Bが濡れ広がり難い隔壁部133の近傍に液滴を吐出し、第2吐出工程では、時分割駆動により必要量に対して残りの液状体90R,90G,90Bを液滴として吐出した。第2吐出工程では、吐出量および/または吐出数が補正された液滴を吐出している。乾燥後の発光層の膜厚がおよそ50〜100nmとなるように、膜形成領域Aの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。
陰極134の材料としては、ITOとCa、Ba、Al等の金属やLiF等のフッ化物とを組み合わせて用いるのが好ましい。特に機能層132R,132G,132Bに近い側に仕事関数が小さいCa、Ba、LiFの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいITOを形成するのが好ましい。また、陰極134の上にSiO2、SiN等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極134の酸化を防止することができる。陰極134の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、CVD法等が挙げられる。特に機能層132R,132G,132Bの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。そして、ステップS7へ進む。
<液晶表示装置>
次に、本実施形態のカラーフィルタを備えた液晶表示装置について図15を参照して説明する。図15は液晶表示装置の構成を示す概略分解斜視図である。
次に、本実施形態のカラーフィルタ205の製造方法について図16を参照して説明する。図16(a)〜(f)はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。
先の液状体の吐出工程において、吐出ムラが低減され、必要量の液状体230R,230G,230Bが膜形成領域Aごとに安定的に塗布されているので、ほぼ一定の膜厚を有する着色層205R,205G,205Bを形成することができる。なお、着色層205R,205G,205Bの膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも3色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体230R,230G,230Bを対応する膜形成領域Aに吐出すればよい。
Claims (6)
- 複数のノズルを有する吐出ヘッドと、隔壁部により区画された膜形成領域を有する基板とを対向配置して相対移動させる走査の間に、前記ノズルから機能性材料を含む液状体を前記膜形成領域に吐出する液状体の吐出方法であって、
前記走査において、液滴が前記隔壁部の近傍または前記液滴の一部が前記隔壁部に掛かって着弾するようにノズルを選択して、前記液状体を前記液滴として前記膜形成領域に吐出する第1吐出工程と、
前記複数のノズルのうち隣り合うノズルからは同時に吐出しないようにノズルを選択して、前記液状体を液滴として吐出する第2吐出工程とを備え、
前記第2吐出工程は、前記膜形成領域に付与される前記液状体の必要量に基づいて、吐出量および/または吐出数が補正された前記液滴を吐出するとともに、前記複数のノズルのうち隣り合うノズルからは同時に吐出しないようにノズルを選択して吐出したときの前記液滴の吐出量と、隣り合うノズルから同時に吐出したときの前記液滴の吐出量とを比較した情報に基づいて、吐出量および/または吐出数が補正された前記液滴を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。 - 前記基板上の前記隔壁部により区画された前記膜形成領域は平面的に略矩形状であり、
前記第1吐出工程は、前記膜形成領域の長手方向に沿って前記複数のノズルからなるノズル列を対向配置して前記長手方向と交差する方向に前記走査を行い、前記長手方向の前記隔壁部の近傍に前記液滴を吐出することを特徴とする請求項1に記載の液状体の吐出方法。 - 前記基板上の前記隔壁部により区画された前記膜形成領域は平面的に略矩形状であり、
前記第1吐出工程は、前記膜形成領域の長手方向に沿って前記複数のノズルからなるノズル列を対向配置して前記長手方向と交差する方向に前記走査を行い、吐出された前記液滴の少なくとも一部が前記長手方向の前記隔壁部に掛かるように前記液滴を吐出することを特徴とする請求項1に記載の液状体の吐出方法。 - 基板上に区画形成された膜形成領域に発光層を含む複数の薄膜層からなる機能層を有する有機EL素子の製造方法であって、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、前記膜形成領域ごとに機能性材料を含む液状体を吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記膜形成領域に少なくとも発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機EL素子の製造方法。 - 前記吐出工程は、異なる発光色が得られる複数種の前記液状体をそれぞれ所望の前記膜形成領域に吐出し、
前記成膜工程は、吐出された複数種の前記液状体を固化して、少なくとも赤、緑、青、3色の前記発光層を形成することを特徴とする請求項4に記載の有機EL素子の製造方法。 - 前記膜形成領域であって、赤色の着色層を有する第1膜形成領域と、緑色の着色層を有する第2膜形成領域と、青色の着色層を有する第3膜形成領域と、が基板上に区画形成されたカラーフィルタの製造方法であって、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、
前記第1膜形成領域に赤色の着色層を形成するための第1液状体と、
前記第2膜形成領域に緑色の着色層を形成するための第2液状体と、
前記第3膜形成領域に青色の着色層を形成するための第3液状体と、を吐出する吐出工程と、
吐出された前記第1、第2、第3液状体を固化して、前記赤色の着色層と前記緑色の着色層と前記青色の着色層とを形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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