JP2010094615A

JP2010094615A - 液状体の吐出方法、有機ｅｌ素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法

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Publication number: JP2010094615A
Application number: JP2008268317A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Kitabayashi; 厚史北林
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2008-10-17
Filing date: 2008-10-17
Publication date: 2010-04-30
Anticipated expiration: 2028-10-17
Also published as: JP5444682B2

Abstract

【課題】吐出ムラを低減し、必要量の液状体を膜形成領域に安定して吐出することが可能な液状体の吐出方法、これを用いた有機ＥＬ素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法を提供すること。
【解決手段】本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズル５２による走査において、液滴が隔壁部の近傍または液滴の一部が隔壁部に掛かって着弾するようにノズル５２を選択して、液状体を複数の液滴からなる液滴群Ｄ１として膜形成領域Ａに吐出する第１吐出工程と、複数のノズル５２のうち隣り合うノズル５２からは同時に吐出しないようにノズル５２を選択して、液状体を複数の液滴からなる液滴群Ｄ２として吐出する第２吐出工程とを備え、第２吐出工程は、膜形成領域Ａに付与される液状体の必要量に基づいて、吐出量および／または吐出数が補正された液滴を吐出する。
【選択図】図６

Description

本発明は、機能性材料を含む液状体を吐出して薄膜を形成する液状体の吐出方法、有機ＥＬ素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法に関する。

液状体の吐出方法として、被吐出物と複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドとを相対移動させ、複数のノズルからなるノズル列のうち被吐出物の膜形成領域に掛かる隣り合うノズルからは同時に液状体を吐出しないように使用するノズルを選択して吐出を行う第１吐出工程と、膜形成領域に掛かる隣り合うノズルからは同時に液状体を吐出しないように第１吐出工程とは異なる組み合わせのノズルを選択して吐出を行う第２吐出工程とを備えた吐出方法が知られている（特許文献１）。

上記吐出方法は、ノズルから液状体を吐出するためのエネルギー発生手段を所謂時分割駆動する方法であって、隣り合うノズル間における電気的、機械的なクロストークにより吐出される液状体の吐出量がばらつくことを低減しようとするものである。

特開２００７−１５２３３９号公報

しかしながら、上記従来の吐出方法では、隣り合うノズルを同時に選択しないことから、吐出される液状体を膜形成領域において所望の位置に着弾させることができないおそれがある。例えば、略矩形状の膜形成領域に液状体を液滴として吐出する場合、膜形成領域の角部は液状体が濡れ広がりにくいので、角部または角部の近傍に液滴を吐出したい。ところが上記従来の吐出方法を用いた場合には、膜形成領域に対するノズルの走査において角部に掛かるノズルがあっても、隣り合うノズル同士が同時に選択されないので、当該角部に掛かるノズルを選択しないことが起こる。したがって、当該走査では膜形成領域の角部に液滴を配置できない。すなわち、所望の位置に液滴を着弾させることができないおそれがあった。

このような、従来の吐出方法を有機ＥＬ素子の製造やカラーフィルタの製造に適用すると、結果的に膜形成領域の角部において吐出ムラが発生し易く、有機ＥＬ素子の場合には輝度ムラ、カラーフィルタの場合には色ムラとなるおそれがあった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例の液状体の吐出方法は、複数のノズルを有する吐出ヘッドと、隔壁部により区画された膜形成領域を有する基板とを対向配置して相対移動させる走査の間に、前記ノズルから機能性材料を含む液状体を前記膜形成領域に吐出する液状体の吐出方法であって、前記走査において、液滴が前記隔壁部の近傍または前記液滴の一部が前記隔壁部に掛かって着弾するようにノズルを選択して、前記液状体を前記液滴として前記膜形成領域に吐出する第１吐出工程と、前記複数のノズルのうち隣り合うノズルからは同時に吐出しないようにノズルを選択して、前記液状体を液滴として吐出する第２吐出工程とを備え、前記第２吐出工程は、前記膜形成領域に付与される前記液状体の必要量に基づいて、吐出量および／または吐出数が補正された前記液滴を吐出することを特徴とする。

この方法によれば、第１吐出工程では、隔壁部に近いところに液滴を吐出することができ、第２吐出工程では、ノズル間のクロストークを低減した状態で吐出量および／または吐出数が補正された液滴を吐出する。したがって、まず、膜形成領域内において液状体が濡れ広がり難い部分に先に液状体を塗布した後に、必要量に対して残りの液状体を適正に塗布することができる。すなわち、膜形成領域内の吐出ムラを低減しつつ、必要量の液状体を吐出することができる。

［適用例２］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記第２吐出工程は、前記複数のノズルのうち隣り合うノズルからは同時に吐出しないようにノズルを選択して吐出したときの前記液滴の吐出量と、隣り合うノズルから同時に吐出したときの前記液滴の吐出量とを比較した情報に基づいて、吐出量および／または吐出数が補正された前記液滴を吐出することを特徴とする。
この方法によれば、第１吐出工程において隣り合うノズルを同時に選択して液滴を吐出しても、第１吐出工程における液状体の塗布量のばらつきを考慮して、第２吐出工程において必要量に対して残りの液状体を適正に吐出することができる。

［適用例３］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記基板上の前記隔壁部により区画された前記膜形成領域は平面的に略矩形状であり、前記第１吐出工程は、前記膜形成領域の長手方向に沿って前記複数のノズルからなるノズル列を対向配置して前記長手方向と交差する方向に前記走査を行い、前記長手方向に沿った前記隔壁部の近傍に前記液滴を吐出することが好ましい。
この方法によれば、第１吐出工程では、略矩形状の膜形成領域において長手方向の隔壁部の近傍に液滴を配置することができるので、液状体が濡れ広がり難い長手方向における吐出ムラを低減できる。

［適用例４］上記適用例の液状体の吐出方法において、前記基板上の前記隔壁部により区画された前記膜形成領域は平面的に略矩形状であり、前記第１吐出工程は、前記膜形成領域の長手方向に沿って前記複数のノズルからなるノズル列を対向配置して前記長手方向と交差する方向に前記走査を行い、吐出された前記液滴の少なくとも一部が前記長手方向の前記隔壁部に掛かるように前記液滴を吐出するとしてもよい。
この方法によれば、第１吐出工程では、略矩形状の膜形成領域において長手方向の隔壁部にその一部が掛かるように液滴を配置することができるので、液状体が濡れ広がり難い長手方向における吐出ムラをより確実に低減できる。

［適用例５］本適用例の有機ＥＬ素子の製造方法は、基板上に区画形成された膜形成領域に発光層を含む複数の薄膜層からなる機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、前記膜形成領域ごとに機能性材料を含む液状体を吐出する吐出工程と、吐出された前記液状体を固化して、前記膜形成領域に少なくとも発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、吐出工程における液状体の吐出ムラが低減され、必要量の液状体が膜形成領域に塗布されるので、成膜工程では所望の膜厚を有する発光層を備えた有機ＥＬ素子を製造することができる。すなわち、吐出ムラに起因する輝度ムラが低減され、所望の発光特性を有する有機ＥＬ素子を製造することができる。

［適用例６］上記適用例の有機ＥＬ素子の製造方法において、前記吐出工程は、異なる発光色が得られる複数種の前記液状体をそれぞれ所望の前記膜形成領域に吐出し、前記成膜工程は、吐出された複数種の前記液状体を固化して、少なくとも赤、緑、青、３色の前記発光層を形成するとしてもよい。
この方法によれば、吐出ムラに起因する輝度ムラが低減され、少なくとも赤、緑、青、３色の発光が得られる有機ＥＬ素子を製造することができる。

［適用例７］本適用例のカラーフィルタの製造方法は、前記膜形成領域であって、赤色の着色層を有する第１膜形成領域と、緑色の着色層を有する第２膜形成領域と、青色の着色層を有する第３膜形成領域と、が基板上に区画形成されたカラーフィルタの製造方法であって、上記適用例の液状体の吐出方法を用い、前記第１膜形成領域に赤色の着色層を形成するための第１液状体と、前記第２膜形成領域に緑色の着色層を形成するための第２液状体と、前記第３膜形成領域に青色の着色層を形成するための第３液状体と、を吐出する吐出工程と、吐出された前記第１、第２、第３液状体を固化して、前記赤色の着色層と前記緑色の着色層と前記青色の着色層とを形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする。
この方法によれば、吐出工程における液状体の吐出ムラが低減され、必要量の液状体が膜形成領域に塗布されるので、成膜工程では所望の膜厚を有する着色層を備えたカラーフィルタを製造することができる。すなわち、吐出ムラに起因する色ムラが低減され、所望の光学特性を有するカラーフィルタを製造することができる。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面に従って説明する。なお、使用する図面は、説明する部分が認識可能な状態となるように、適宜拡大または縮小して表示している。

（実施形態１）
＜液状体の吐出装置＞
まず、機能性材料を含む液状体を液滴として被吐出物に吐出可能な吐出装置について、図１〜図５を参照して説明する。図１は吐出装置の構成を示す概略斜視図である。

図１に示すように、吐出装置１０は、被吐出物である平板状のワークＷを第１の方向としての主走査方向（Ｙ軸方向）に移動させるワーク移動機構２０と、ヘッドユニット９を主走査方向に直交する第２の方向としての副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させるヘッド移動機構３０とを備えている。

ワーク移動機構２０は、一対のガイドレール２１と、一対のガイドレール２１に沿って移動する移動台２２と、移動台２２上に回転機構６を介して配設されたワークＷを載置するステージ５とを備えている。
移動台２２は、ガイドレール２１の内部に設けられたエアスライダとリニアモータ（図示省略）により主走査方向（Ｙ軸方向）に移動する。移動台２２には、タイミング信号生成部としてのエンコーダ１２（図４参照）が設けられている。
エンコーダ１２は、移動台２２の主走査方向（Ｙ軸方向）への相対移動に伴って、ガイドレール２１に並設されたリニアスケール（図示省略）の目盛を読み取って、タイミング信号としてのエンコーダパルスを生成する。なお、エンコーダ１２の配設は、これに限らず、例えば、移動台２２を回転軸に沿って主走査方向（Ｙ軸方向）に相対移動するよう構成し、回転軸を回転させる駆動部を設けた場合には、エンコーダ１２を駆動部に設けてもよい。駆動部としては、サーボモータなどが挙げられる。
ステージ５はワークＷを吸着固定可能であると共に、回転機構６によってワークＷ内の基準軸を正確に主走査方向（Ｙ軸方向）、副走査方向（Ｘ軸方向）に合わせることが可能となっている。
また、ワークＷ上において液状体が吐出される膜形成領域の配置に応じて、ワークＷを例えば９０度旋回させることも可能である。

ヘッド移動機構３０は、一対のガイドレール３１と、一対のガイドレール３１に沿って移動する移動台３２とを備えている。移動台３２には、回転機構７を介して吊設されたキャリッジ８が設けられている。
キャリッジ８には、複数の吐出ヘッド５０（図２参照）が搭載されたヘッドユニット９が取り付けられている。
また、吐出ヘッド５０に液状体を供給するための液状体供給機構（図示省略）と、複数の吐出ヘッド５０の電気的な駆動制御を行うためのヘッドドライバ４８（図４参照）とが設けられている。
移動台３２がキャリッジ８を副走査方向（Ｘ軸方向）に移動させてヘッドユニット９をワークＷに対して対向配置する。

吐出装置１０は、上記構成の他にも、ヘッドユニット９に搭載された複数の吐出ヘッド５０のノズル目詰まり解消、ノズル面の異物や汚れの除去などのメンテナンスを行うメンテナンス機構が、複数の吐出ヘッド５０を臨む位置に配設されている。
また、吐出ヘッド５０ごとに吐出された液状体を受けて、その重量を計測する電子天秤などの計測器を有する重量計測機構６０（図４参照）を備えている。そして、これらの構成を統括的に制御する制御部４０を備えている。なお、図１では、メンテナンス機構および重量計測機構６０は、図示省略した。

図２は吐出ヘッドの構造を示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図である。

図２（ａ）に示すように、吐出ヘッド５０は、所謂２連のものであり、２連の接続針５４を有する液状体の導入部５３と、導入部５３に積層されたヘッド基板５５と、ヘッド基板５５上に配置され内部に液状体のヘッド内流路が形成されたヘッド本体５６とを備えている。接続針５４は、前述した液状体供給機構（図示省略）に配管を経由して接続され、液状体をヘッド内流路に供給する。ヘッド基板５５には、フレキシブルフラットケーブル（図示省略）を介してヘッドドライバ４８（図４参照）に接続される２連のコネクタ５８が設けられている。

ヘッド本体５６は、駆動手段としての圧電素子で構成されたキャビティを有する加圧部５７と、ノズル面５１ａに２つのノズル列５２ａ，５２ｂが相互に平行に形成されたノズルプレート５１とを有している。

図２（ｂ）に示すように、２つのノズル列５２ａ，５２ｂは、それぞれ複数（１８０個）のノズル５２がピッチＰ１でほぼ等間隔に並べられており、互いにピッチＰ１の半分のピッチＰ２ずれた状態でノズル面５１ａに配設されている。この場合、ピッチＰ１は、およそ１４１μｍである。よって、ノズル列５２ｃに直交する方向から見ると３６０個のノズル５２がおよそ７０．５μｍのノズルピッチで配列した状態となっている。また、ノズル５２の径は、およそ２７μｍである。

吐出ヘッド５０は、ヘッドドライバ４８から電気信号としての駆動信号が圧電素子に印加されると加圧部５７のキャビティの体積変動が起こり、これによるポンプ作用でキャビティに充填された液状体が加圧され、ノズル５２から液状体を液滴として吐出することができる。

吐出ヘッド５０における駆動手段は、圧電素子に限らない。アクチュエータとしての振動板を静電吸着により変位させる電気機械変換素子や、液状体を加熱してノズル５２から液滴として吐出させる電気熱変換素子（サーマル方式）でもよい。

図３は、ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。詳しくは、ワークＷに対向する側から見た図である。

図３に示すように、ヘッドユニット９は、複数の吐出ヘッド５０が配設されるヘッドプレート９ａを備えている。ヘッドプレート９ａには、３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ａと、同じく３つの吐出ヘッド５０からなるヘッド群５０Ｂの合計６個の吐出ヘッド５０が搭載されている。この場合、ヘッド群５０ＡのヘッドＲ１（吐出ヘッド５０）とヘッド群５０ＢのヘッドＲ２（吐出ヘッド５０）とは同種の液状体を吐出する。他のヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様である。すなわち、３種の異なる液状体を吐出可能な構成となっている。

１つの吐出ヘッド５０によって描画可能な描画幅をＬ₀とし、これをノズル列５２ｃの有効長とする。以降、ノズル列５２ｃとは、３６０個のノズル５２から構成されるものを指す。

この場合、ヘッドＲ１とヘッドＲ２は、主走査方向（Ｙ軸方向）から見て隣り合うノズル列５２ｃが主走査方向と直交する副走査方向（Ｘ軸方向）に１ノズルピッチを置いて連続するように主走査方向に並列して配設されている。したがって、同種の液状体を吐出するヘッドＲ１とヘッドＲ２の有効な描画幅Ｌ₁は、描画幅Ｌ₀の２倍となっている。ヘッドＧ１とヘッドＧ２、ヘッドＢ１とヘッドＢ２においても同様に主走査方向（Ｙ軸方向）に並列して配置されている。

なお、吐出ヘッド５０に設けられるノズル列５２ｃは、２連に限らず、１連でもよい。また、ヘッドユニット９における吐出ヘッド５０の配置は、これに限定されるものではない。

次に吐出装置１０の制御系について説明する。図４は、吐出装置の制御系を示すブロック図である。図４に示すように、吐出装置１０の制御系は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０、ヘッド移動機構３０、重量計測機構６０などを駆動する各種ドライバを有する駆動部４６と、駆動部４６を含め吐出装置１０を統括的に制御する制御部４０とを備えている。

駆動部４６は、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０の各リニアモータをそれぞれ駆動制御する移動用ドライバ４７と、吐出ヘッド５０を駆動制御するヘッドドライバ４８と、重量計測機構６０を駆動制御する重量計測用ドライバ４９とを備えている。この他にもメンテナンス機構を駆動制御するメンテナンス用ドライバなどを備えているが図示省略した。

制御部４０は、ＣＰＵ４１と、ＲＯＭ４２と、ＲＡＭ４３と、Ｐ−ＣＯＮ４４とを備え、これらは互いにバス４５を介して接続されている。Ｐ−ＣＯＮ４４には、上位コンピュータ１１が接続されている。ＲＯＭ４２は、ＣＰＵ４１で処理する制御プログラムなどを記憶する制御プログラム領域と、描画動作や機能回復処理などを行うための制御データなどを記憶する制御データ領域とを有している。

ＲＡＭ４３は、ワークＷに描画を行うための描画データを記憶する描画データ記憶部、ワークＷおよび吐出ヘッド５０（実際には、ノズル列５２ｃ）の位置データを記憶する位置データ記憶部などの各種記憶部を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。Ｐ−ＣＯＮ４４には、駆動部４６の各種ドライバなどが接続されており、ＣＰＵ４１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ４４は、上位コンピュータ１１からの各種指令などをそのままあるいは加工してバス４５に取り込むと共に、ＣＰＵ４１と連動して、ＣＰＵ４１などからバス４５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部４６に出力する。

そして、ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して各種検出信号、各種指令、各種データなどを入力し、ＲＡＭ４３内の各種データなどを処理した後、Ｐ−ＣＯＮ４４を介して駆動部４６などに各種の制御信号を出力することにより、吐出装置１０全体を制御している。例えば、ＣＰＵ４１は、吐出ヘッド５０、ワーク移動機構２０およびヘッド移動機構３０を制御して、ヘッドユニット９とワークＷとを対向配置させる。そして、ヘッドユニット９とワークＷとの相対移動に同期して、ヘッドユニット９に搭載された各吐出ヘッド５０の複数のノズル５２からワークＷに液状体を液滴として吐出するようにヘッドドライバ４８に制御信号を送出する。この場合、Ｙ軸方向へのワークＷの移動に同期して液状体を吐出することを主走査と呼び、Ｘ軸方向にヘッドユニット９を移動させることを副走査と呼ぶ。本実施形態の吐出装置１０は、主走査と副走査とを組み合わせて複数回繰り返すことにより液状体を吐出描画することができる。主走査は、吐出ヘッド５０に対して一方向へのワークＷの移動に限らず、ワークＷを往復させて行うこともできる。

エンコーダ１２は、ヘッドドライバ４８に電気的に接続され、主走査に伴ってエンコーダパルスを生成する。主走査では、所定の移動速度で移動台２２を移動させるので、エンコーダパルスが周期的に発生する。

例えば、主走査における移動台２２の移動速度を２００ｍｍ／ｓｅｃ、吐出ヘッド５０を駆動する駆動周波数（言い換えれば、連続して液滴を吐出する場合の吐出タイミング）を２０ｋＨｚとすると、主走査方向における液滴の吐出分解能は、移動速度を駆動周波数で除することにより得られるので、１０μｍとなる。すなわち、１０μｍのピッチで液滴をワークＷ上に配置することが可能である。実際の液滴の吐出タイミングは、周期的に発生するエンコーダパルスをカウントして生成されるラッチ信号に基づいている。

上位コンピュータ１１は、制御プログラムや制御データなどの制御情報を吐出装置１０に送出する。また、ワークＷ上の膜形成領域ごとに所定量の液状体を液滴として配置する吐出制御データとしての配置情報を生成する配置情報生成部の機能を有している。配置情報は、膜形成領域における液滴の吐出位置（言い換えれば、ワークＷとノズル５２との相対位置）、液滴の配置数（言い換えれば、ノズル５２ごとの吐出数）、主走査における複数のノズル５２のＯＮ／ＯＦＦ、吐出タイミングなどの情報を、例えば、ビットマップとして表したものである。上位コンピュータ１１は、上記配置情報を生成するだけでなく、ＲＡＭ４３に一旦格納された上記配置情報を修正することも可能である。

図５は駆動波形を示すタイミングチャートである。図５に示すように、複数のノズル５２に対応して配設された駆動手段としての圧電素子には、ラッチ信号ＬＡＴのタイミングでラッチされたノズル５２ごとのＯＮ／ＯＦＦデータ（吐出データ）に従い、３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうちから１つが選択されて供給される。そして、駆動波形が供給されるタイミングで、ノズル５２から液滴が吐出される。なお、各駆動波形は、圧電素子に供給されることで規定量の液滴が吐出されるように設計されている。

駆動波形の選択は、駆動波形の供給タイミングを規定する制御信号ＣＨ１〜ＣＨ３により行われる。すなわち、制御信号ＣＨ１によって第１系統のタイミングの駆動波形ＰＬ１が、制御信号ＣＨ２によって第２系統のタイミングの駆動波形ＰＬ２が、制御信号ＣＨ３によって第３系統のタイミングの駆動波形ＰＬ３がそれぞれ選択される。

本実施形態では、膜形成領域に掛かる隣り合うノズル５２に対応する圧電素子に、駆動波形の供給タイミングの系統（ラッチ信号ＬＡＴを基準とした相対的な序列）を個々に対応づけることにより、吐出タイミングの重複が起こりえないように駆動波形を印加することが可能である。このような駆動波形の駆動手段（圧電素子）に対する印加の方法を時分割駆動という。時分割駆動により、少なくとも電気的なクロストークが好適に低減され、クロストークに起因するノズル５２間の吐出特性（液滴の吐出量や吐出速度など）のバラツキが相対的に緩和される。
また、各系統のタイミングは周期的となっているため、吐出条件が各吐出タイミング間で一様となり、液滴の吐出量を主走査方向に対して安定化させることができる。
また、ラッチ信号ＬＡＴの１周期内（１ラッチ内）において、３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３が発生するので、同一の圧電素子に１ラッチ内で３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３を印加すれば、同一ノズル５２から吐出タイミングを変えて３滴の液滴を吐出することができる。
さらに、１ラッチ内の３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３をそれぞれ別の圧電素子に印加すれば、３つのノズル５２から液滴を異なる吐出タイミングで吐出することができる。すなわち、３つのノズル５２が時分割駆動される。
また、駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３において、振幅の幅（実質的には中間電位との間の電位差すなわち駆動電圧）や波形の勾配などをそれぞれ変えることによって、ノズル５２から吐出される液滴の吐出量を異ならせることが可能である。言い換えれば、同一ノズル５２の圧電素子に異なる形状の駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうち１つを選択して印加すれば液滴の吐出量の補正が可能である。
以降、ノズル５２の圧電素子に駆動波形を印加することを、ノズル５２に駆動波形を印加すると表現する。

前述したように吐出装置１０において、吐出分解能をおよそ１０μｍとすると、３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３を連続的に使用するノズル５２に印加したときには、吐出タイミングを変えて主走査方向におよそ３．３μｍの最小ピッチで液滴を吐出することが可能である。すなわち、時分割駆動における実質的な吐出分解能は、３．３μｍとなる。

＜液状体の吐出方法＞
次に、本実施形態の液状体の吐出方法について、実施例を挙げて説明する。本実施形態の液状体の吐出方法は、Ｘ軸方向（副走査方向）およびＹ軸方向（主走査方向）にマトリクス状に配置された略矩形状の膜形成領域に必要量の液状体を液滴として吐出（配置）するものである。なお、膜形成領域は、ワークＷ上において隔壁部により区画されている。また、隔壁部または隔壁部の表面が液状体に対して撥液性を有している。膜形成領域内は塗布される液状体の濡れ性を考慮して親液性を付与する表面処理を施してもよい。

（実施例１）
図６（ａ）および（ｂ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。同図（ａ）に示すように、略矩形状の膜形成領域Ａは、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３種の液状体が吐出されるものであって、同種の液状体が吐出される膜形成領域ＡがＸ軸方向（副走査方向）に沿って直線的に配列し、異種の液状体が吐出される膜形成領域ＡがＹ軸方向（主走査方向）に並列する所謂ストライプ方式の配置となっている。各膜形成領域Ａは、長手方向がＸ軸方向に沿うように配列している。

膜形成領域Ａの平面積や形状とこれに吐出され着弾したときの液滴の濡れ広がり方にもよるが、一般的に隔壁部で区画された膜形成領域Ａの角部（コーナ部）は液滴が濡れ広がり難い。言い換えれば、角部において吐出ムラが発生し易い。

また、膜形成領域Ａに機能性材料を含む液状体を塗布し、乾燥させて機能性材料からなる機能膜を形成する場合、所望の膜厚や膜形状を有する機能膜を形成するには、必要量の液状体を液滴として確実に膜形成領域Ａに吐出（塗布または配置）する必要がある。
同図（ａ）に示すように、複数のノズル５２（ノズル列５２ｃ）を膜形成領域Ａの長手方向（Ｘ軸方向あるいは副走査方向）に相対配置して、長手方向と直交するＹ軸方向（主走査方向）に主走査し、膜形成領域Ａに掛かる複数のノズル５２から液滴を吐出する場合、ノズル５２間において吐出された液滴の吐出量がクロストークなどによりばらつくと、必要量の液状体を膜形成領域Ａに塗布できないおそれがある。

そこで、実施例１の液状体の吐出方法は、まず、同図（ａ）に示すように、主走査において膜形成領域Ａに掛かるノズル５２から長手方向の隔壁部にその一部が着弾するように液滴を吐出する第１吐出工程を行う。主走査において、膜形成領域Ａには６個のノズル５２が掛っている。長手方向において最も隔壁部に近いノズル５２が確実に選択され、隔壁部の長手方向に沿って６個の液滴からなる液滴群Ｄ１を吐出する。膜形成領域Ａには合計１２個の液滴が着弾する。液滴群Ｄ１は、膜形成領域Ａに掛かる６つのノズル５２に３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうち同一系統のタイミングの駆動波形を印加することにより吐出される。

吐出された液滴群Ｄ１は、その一部が隔壁部に掛かったとしても、隔壁部の表面が撥液性を有しているため、液滴群Ｄ１は膜形成領域Ａ内に収容され濡れ広がる。

次に、同図（ｂ）に示すように、膜形成領域Ａに掛かる６つのノズル５２を時分割駆動して、液滴群Ｄ２を吐出する第２吐出工程を行う。したがって、長手方向に配列する６つのノズル５２のうち３つずつのノズル５２に対して駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３が順次印加される。よって、隣り合うノズル５２は同時に選択されない。言い換えれば、隣り合うノズル５２から同時に液滴は吐出されない。また、３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３が互いに異なる波形形状を有していれば、３つのノズル５２間では異なる吐出量の液滴を安定的に吐出することができる。

例えば、第１吐出工程では、３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうち駆動波形ＰＬ１を選択されたノズル５２に印加する。これにより、膜形成領域Ａに掛かる６つのノズル５２から同時に液滴が吐出される。一方で、６つのノズル５２に駆動波形ＰＬ１が同時に印加されることにより、クロストークの影響でノズル５２間の液滴の吐出量がばらつく。第１吐出工程における液滴群Ｄ１の塗布量のばらつきは、複数のノズル５２を同時に選択して吐出された液状体の重量を前述した重量計測機構６０（図４参照）により計測すれば、求めることができる。

膜形成領域Ａに必要量の液状体を吐出（塗布）するために、上記液滴群Ｄ１の塗布量のばらつき情報から、第１吐出工程における塗布量が所定の塗布量よりも少ない場合には、例えば他の駆動波形ＰＬ２，ＰＬ３を駆動波形ＰＬ１に比べて液滴の吐出量が多くなるように補正しておく。第２吐出工程では、３つのノズル５２に補正後の３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３を順次印加して液滴群Ｄ２を吐出する。時分割駆動により液滴群Ｄ２を吐出するので、吐出量が補正された液滴が安定的に吐出される。

このような実施例１の液状体の吐出方法によれば、膜形成領域Ａに掛かる６つのノズル５２からそれぞれ３回の吐出が行われ、合計１８個の液滴が膜形成領域Ａに着弾する。第１吐出工程では、長手方向の隔壁部に沿って液滴群Ｄ１が吐出される。また、第２吐出工程では、膜形成領域Ａに付与される液状体の必要量に基づいて、吐出量が補正された液滴からなる液滴群Ｄ２が吐出される。したがって、先に吐出された液滴群Ｄ１は、隔壁部に沿って濡れ広がり、後から吐出された液滴群Ｄ２を加えることによって、膜形成領域Ａに満遍なく必要量の液状体が行き渡る。

第１吐出工程における液滴群Ｄ１の吐出の仕方は、長手方向の隔壁部にその一部が掛かるように吐出したが、これに限らず、長手方向の隔壁部の近傍に着弾するように吐出すればよい。第１吐出工程および第２吐出工程における液滴群Ｄ１，Ｄ２の着弾位置は、前述したように実質的な吐出分解能の単位（およそ３．３μｍ）で制御が可能である。
また、第１吐出工程で吐出された液滴群Ｄ１の塗布量が所定の塗布量よりも多い場合には、例えば他の駆動波形ＰＬ２，ＰＬ３を駆動波形ＰＬ１に比べて液滴の吐出量が少なくなるように補正しておく。第２吐出工程では、３つのノズル５２に補正後の３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３を順次印加して液滴群Ｄ２を吐出すれば、必要量の液状体を安定して膜形成領域Ａに塗布することができる。

なお、図６（ａ）および（ｂ）では、Ｒの膜形成領域Ａに液状体を液滴として吐出する方法を示したが、他の異なる種類の液状体が吐出されるＧおよびＢの膜形成領域Ａについても同様な主走査（第１吐出工程と第２吐出工程とを有する）を行う。したがって、実施例１の液状体の吐出方法によれば、異なる種類（３種）の液状体を液滴として対応する膜形成領域Ａに必要量を安定的に塗布することができる。
液状体ごとに吐出特性（液滴の吐出量や吐出速度など）に影響する物性（粘度、表面張力など）が異なる場合には、例えば液状体に応じた駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３を生成して選択できるようにすればよい。ただし、このように駆動波形の種類を増やすことは吐出装置１０における電気的な構成が複雑になってしまうので、一般的には、物性がほぼ同一となるように液状体ごとの調整（例えば溶媒の選択や濃度の調整など）を行う。

（実施例２）
図７（ａ）および（ｂ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。同図（ａ）に示すように、実施例２の液状体の吐出方法における第１吐出工程は、実施例１と同様である。すなわち、長手方向の隔壁部にその一部が掛かるように液滴群Ｄ１を吐出する。第２吐出工程では、膜形成領域Ａに掛かるノズル５２ごとに液滴の吐出量が補正された液滴群Ｄ２を時分割駆動により吐出すると共に、Ｘ軸方向（副走査方向）において最も隔壁部に近い２つのノズル５２から液滴Ｄ３をそれぞれ追加吐出している。したがって、第１吐出工程における液滴群Ｄ１の塗布量が少なく、第２吐出工程で液滴の吐出量が補正された液滴群Ｄ２を吐出したとしても、必要量に到達しない場合には、さらに第２吐出工程において液滴の吐出数を増やして対応する方法である。

このような吐出方法の基本的な考え方によれば、第１吐出工程における液滴群Ｄ１の塗布量が多く、第２吐出工程で液滴の吐出量が補正された液滴群Ｄ２を吐出すると、必要量を越えてしまう場合には、第２吐出工程において液滴の吐出数を減らして調整することも可能である。すなわち、実施例２の液状体の吐出方法は、第２吐出工程において、時分割駆動により吐出量と吐出数とが補正された液滴を吐出する方法である。第２吐出工程が時分割駆動により液滴を吐出するので、吐出量と吐出数とが補正された液滴を安定的に吐出することができる。

（実施例３）
図８（ａ）および（ｂ）は実施例３の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例３の液状体の吐出方法は、実施例１や実施例２の液状体の吐出方法に対して、第１吐出工程と第２吐出工程とがいずれも時分割駆動により行われている点が基本的に異なる。

同図（ａ）に示すように、第１吐出工程は、主走査により膜形成領域Ａに掛かる６つのノズル５２を時分割駆動してノズル５２ごとに２滴の液滴を吐出し、膜形成領域Ａに液滴群Ｄ４，Ｄ５を着弾させる。液滴群Ｄ４はこれまで説明したとおり３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３をそれぞれ別の選択されたノズル５２に印加することにより吐出できる。その一方で２回目の吐出を従来どおりの時分割駆動の方法に当て嵌めると、想像線で示した吐出位置となってしまう。そこで、実施例３の液状体の吐出方法では、第１吐出工程において吐出された液滴が膜形成領域Ａの角部に着弾するように１周期内で発生する３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３の選択の仕方を変えることにより、吐出タイミングを調整している。すなわち、隣り合うノズル５２から同時に吐出しないようにノズル５２を選択すると共に、吐出された液滴が膜形成領域Ａの角部の近傍または角部の隔壁部に一部が掛かるように吐出する。これによって液滴群Ｄ５の吐出を可能としている。第１吐出工程では、主走査における膜形成領域Ａに掛かるノズル５２の数や実質的な配置（ノズルピッチ）によって、膜形成領域Ａのすべての角部（４箇所）の近傍に液滴を着弾させることができない場合がある。それでも、Ｘ軸方向（副走査方向）において隔壁部に最も近いノズル５２を少なくとも選択して液滴を吐出することにより、角部における吐出ムラを低減可能である。

そして、同図（ｂ）に示すように、第２吐出工程では、主走査において膜形成領域Ａに掛かる６つのノズル５２を時分割駆動してそれぞれ１滴ずつ液滴を吐出する。これにより液滴群Ｄ６を膜形成領域Ａ内に配置する。

実施例３の液状体の吐出方法によれば、時分割駆動により液滴群Ｄ４，Ｄ５，Ｄ６を吐出する。したがって、実施例１の場合と同様に、膜形成領域Ａごとに１８個の液滴を配置し、ノズル５２間のクロストークによる吐出量のばらつきを抑制できる。また、予め液滴の吐出量を補正した駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３を用いることにより、ノズル５２間の吐出量のばらつきを分散させることができる。結果的に必要量の液状体を膜形成領域Ａごとにより安定して塗布することができる。なお、他の種類の液状体が吐出されるＧ、Ｂの膜形成領域Ａについても同様な主走査を行って液状体を吐出する。

（実施例４）
図９（ａ）〜（ｄ）は実施例４の液状体の吐出方法を示す概略平面図である。実施例４の液状体の吐出方法は、実施例１〜実施例３の液状体の吐出方法に対して、複数のノズル５２（ノズル列５２ｃ）と膜形成領域Ａとの相対的な配置が異なっている。

同図（ａ）に示すように、異なる液状体が吐出されるＲ、Ｇ、Ｂの膜形成領域ＡがＸ軸方向（副走査方向）に並列している。同種の液状体が吐出される膜形成領域ＡはＹ軸方向（主走査方向）に直線的に配列している。略矩形状の膜形成領域Ａは、長手方向がＹ軸方向（主走査方向）と合致するように配置されている。同種の液状体を吐出する複数のノズル５２は、対応する膜形成領域Ａの配置ピッチと合致するようにＸ軸方向（副走査方向）に沿って相対配置されている。このようなノズル５２の相対配置によれば、主走査によって膜形成領域Ａの長手方向に連続的に液滴を吐出（配置）可能である。

Ｘ軸方向（副走査方向）における膜形成領域Ａの配置ピッチとノズル５２のノズルピッチとは必ずしも合致しない。したがって、Ｙ軸方向（主走査方向）に対して複数のノズル５２の配列（ノズル列５２ｃ）が交差するように傾けて相対配置することにより、膜形成領域Ａの配置ピッチとノズル５２のノズルピッチとを合わせる。

第１吐出工程では、まず同図（ａ）に示すように、Ｘ軸方向（副走査方向）においてノズル５２が長手方向の隔壁部の近傍に位置するように複数のノズル５２を相対配置する。そして、膜形成領域Ａに対してＹ軸方向にノズル５２が相対移動する主走査の間に、ノズル５２に駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうちから１つを選択的に印加することにより、少なくとも２つの角部の近傍に液滴を吐出する。もちろん、主走査方向に吐出分解能を単位として連続的に液滴を吐出してもよい。
続いて、同図（ｂ）に示すように、ノズル５２がもう一方の長手方向の隔壁部の近傍に位置するように複数のノズル５２を相対配置する（副走査する）。そして、先ほどと同様に少なくとも２つの角部の近傍に液滴を吐出する。すなわち、第１吐出工程では、少なくとも４つの角部の近傍に液滴を配置するように、隣り合うノズル５２を同時に選択して液滴群Ｄ７を吐出する。

次に、第２吐出工程では、まず同図（ｃ）に示すように、Ｘ軸方向（副走査方向）においてノズル５２が膜形成領域Ａのほぼ中央に位置するように複数のノズル５２を相対配置する。続いて、時分割駆動により膜形成領域Ａの掛かる各ノズル５２を駆動して３滴の液滴を吐出する。すなわち、隣り合うノズル５２からは同時に吐出しないようにして、液滴群Ｄ８を吐出する。続いて、必要量の液状体を膜形成領域Ａに付与するために、３つの駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうち先の液滴群Ｄ８と異なる吐出タイミングの駆動波形を選択して、時分割駆動により３つの液滴を吐出する。これにより、同図（ｄ）に示すように、着弾位置（吐出位置）が液滴群Ｄ８の合間となる液滴群Ｄ９を吐出する。
第２吐出工程では、時分割駆動により液滴を吐出すると共に、補正された駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３のうちから１つの駆動波形を印加することにより、吐出量が補正された液滴を吐出することが可能である。もちろん、液状体の塗布量の調整は、時分割駆動を用いる第２吐出工程において液滴の吐出数を調整する方法を採用してもよい。

実施例４の液状体の吐出方法によれば、液状体が濡れ広がり難い膜形成領域Ａのすべての角部の近傍に液滴を吐出すると共に、必要量の液状体を安定的に膜形成領域Ａに塗布することができる。すなわち、吐出ムラを低減して必要量の液状体を安定的に吐出することができる。
また、実施例１〜実施例３に比べて必要量の液状体を塗布するための主走査あるいは副走査の回数が増えるものの、膜形成領域Ａの吐出ムラが目立ち易い長手方向において高密度に液滴を配置することが可能である。

実施例１〜実施例４の液状体の吐出方法において、膜形成領域Ａに吐出される液滴の数（吐出数）は、Ｒ、Ｇ、Ｂの膜形成領域Ａごとに同数であることに限定されない。例えば、Ｒ、Ｇ、Ｂの異なる液状体が吐出される膜形成領域Ａごとに吐出数を変えてもよい。言い換えれば、液状体の塗布量を変えてもよい。

（実施形態２）
＜有機ＥＬ装置＞
次に、本実施形態の有機ＥＬ（エレクトロルミネセンス）素子の製造方法を適用して製造された有機ＥＬ素子を有する有機ＥＬ装置について図１０および図１１を参照して説明する。図１０は有機ＥＬ装置を示す概略正面図、図１１は有機ＥＬ装置の要部概略断面図である。

図１０に示すように、本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）、３色の発光画素１０７を備えた素子基板１０１と、素子基板１０１に所定の間隔を置いて対向配置された封止基板１０２とを備えている。封止基板１０２は、複数の発光画素１０７が設けられた発光領域１０６を封着するように、高い気密性を有する封着剤を用いて素子基板１０１に接合されている。

発光画素１０７は、後述する発光素子としての有機ＥＬ素子１１２（図１１参照）を備えるものであって、同色の発光が得られる発光画素１０７が、図面上の縦方向に配列した所謂ストライプ方式となっている。なお、実際には、発光画素１０７は微細なものであり、図示の都合上拡大して現している。

素子基板１０１は、封止基板１０２よりも一回り大きく、額縁状に張り出した部分には、発光画素１０７を駆動する２つの走査線駆動回路部１０３と１つのデータ線駆動回路部１０４が設けられている。走査線駆動回路部１０３、データ線駆動回路部１０４は、例えば、電気回路が集積されたＩＣとして素子基板１０１に実装してもよいし、当該駆動回路部１０３，１０４を素子基板１０１の表面に直接形成してもよい。

素子基板１０１の端子部１０１ａには、これらの駆動回路部１０３，１０４と外部駆動回路とを接続するための中継基板１０５が実装されている。中継基板１０５は、例えば、フレキシブル回路基板などを用いることができる。

図１１に示すように、有機ＥＬ装置１００において、有機ＥＬ素子１１２は、画素電極としての陽極１３１と、陽極１３１を区画する隔壁部１３３と、陽極１３１上に形成された有機膜からなる発光層を含む機能層１３２とを有している。また、機能層１３２を介して陽極１３１と対向するように形成された共通電極としての陰極１３４を有している。

隔壁部１３３は、フェノールまたはポリイミドなどの絶縁性を有する感光性樹脂からなり、発光画素１０７を構成する陽極１３１の周囲を一部覆って、複数の陽極１３１をそれぞれ区画するように設けられている。

陽極１３１は、素子基板１０１上に形成されたＴＦＴ素子１０８の３端子のうちの１つに接続しており、例えば、透明電極材料であるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）を厚さ１００ｎｍ程度に成膜した電極である。なお、図示省略したが、陽極１３１の下層（平坦化層１２８側）に、絶縁層を介してＡｌからなる反射層が設けられている。当該反射層は、機能層１３２における発光を封止基板１０２側に反射するものである。また、当該反射層はＡｌに限定されず、発光を反射する機能（反射面）を有していればよい。例えば、絶縁性の有機材料あるいは無機材料を用いて凹凸を有する反射面を形成する方法、陽極１３１自体を反射機能を有する導電材料で構成し、表面層にＩＴＯ膜を形成する方法などが挙げられる。

陰極１３４は、同じく、ＩＴＯなどの透明電極材料により形成されている。

本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、いわゆるトップエミッション型の構造となっており、陽極１３１と陰極１３４との間に駆動電流を流して機能層１３２で発光した光を上記反射層で反射させて封止基板１０２側から取り出す。したがって、封止基板１０２は透明なガラス等からなる基板を用いる。また、素子基板１０１は、透明基板および不透明基板のいずれも用いることができる。不透明基板としては、例えば、アルミナ等のセラミックス、ステンレススチール等の金属シートに表面酸化などの絶縁処理を施したものの他に、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられる。

素子基板１０１には、有機ＥＬ素子１１２を駆動する回路部１１１が設けられている。すなわち、素子基板１０１の表面にはＳｉＯ₂を主体とする下地保護層１２１が下地として形成され、その上にはシリコン層１２２が形成されている。このシリコン層１２２の表面には、ＳｉＯ₂および／またはＳｉＮを主体とするゲート絶縁層１２３が形成されている。

また、シリコン層１２２のうち、ゲート絶縁層１２３を挟んでゲート電極１２６と重なる領域がチャネル領域１２２ａとされている。なお、このゲート電極１２６は、図示しない走査線の一部である。一方、シリコン層１２２を覆い、ゲート電極１２６を形成したゲート絶縁層１２３の表面には、ＳｉＯ₂を主体とする第１層間絶縁層１２７が形成されている。

また、シリコン層１２２のうち、チャネル領域１２２ａのソース側には、低濃度ソース領域および高濃度ソース領域１２２ｃが設けられる一方、チャネル領域１２２ａのドレイン側には低濃度ドレイン領域および高濃度ドレイン領域１２２ｂが設けられて、いわゆるＬＤＤ（Light Doped Drain）構造となっている。これらのうち、高濃度ソース領域１２２ｃは、ゲート絶縁層１２３と第１層間絶縁層１２７とにわたって開孔するコンタクトホール１２５ａを介して、ソース電極１２５に接続されている。このソース電極１２５は、電源線（図示せず）の一部として構成されている。一方、高濃度ドレイン領域１２２ｂは、ゲート絶縁層１２３と第１層間絶縁層１２７とにわたって開孔するコンタクトホール１２４ａを介して、ソース電極１２５と同一層からなるドレイン電極１２４に接続されている。

ソース電極１２５およびドレイン電極１２４が形成された第１層間絶縁層１２７の上層には、例えばアクリル系の樹脂成分を主体とする平坦化層１２８が形成されている。この平坦化層１２８は、アクリル系やポリイミド系等の、耐熱性絶縁性樹脂などによって形成されたもので、ＴＦＴ素子１０８やソース電極１２５、ドレイン電極１２４などによる表面の凹凸をなくすために形成された公知のものである。

そして、陽極１３１が、この平坦化層１２８の表面上に形成されると共に、該平坦化層１２８に設けられたコンタクトホール１２８ａを介してドレイン電極１２４に接続されている。すなわち、陽極１３１は、ドレイン電極１２４を介して、シリコン層１２２の高濃度ドレイン領域１２２ｂに接続されている。陰極１３４は、ＧＮＤに接続されている。したがって、スイッチング素子としてのＴＦＴ素子１０８により、上記電源線から陽極１３１に供給され陰極１３４との間で流れる駆動電流を制御する。これにより、回路部１１１は、所望の有機ＥＬ素子１１２を発光させカラー表示を可能としている。

なお、有機ＥＬ素子１１２を駆動する回路部１１１の構成は、これに限定されるものではない。

機能層１３２は、有機膜からなる正孔注入層、中間層、発光層を含む複数の薄膜層からなり、陽極１３１側からこの順で積層されている。本実施形態において、これらの薄膜層は液滴吐出法（インクジェット法）を用いて成膜されている。

正孔注入層の材料としては、例えば、ポリエチレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）等のポリチオフェン誘導体にドーパントとしてのポリスチレンスルホン酸（ＰＳＳ）を加えた混合物（ＰＥＤＯＴ／ＰＳＳ）や、ポリスチレン、ポリピロール、ポリアニリン、ポリアセチレンやその誘導体を用いてもよい。

中間層は、正孔注入層と発光層との間に設けられ、発光層に対する正孔の輸送性（注入性）を向上させると共に、発光層から正孔注入層に電子が浸入することを抑制するために設けられている。すなわち、発光層における正孔と電子との結合による発光の効率を改善するものである。中間層の材料としては、例えば、正孔輸送性が良好なトリフェニルアミン系ポリマーを含んだものが挙げられる。

発光層の材料としては、例えば、赤色、緑色、青色の発光が得られるポリフルオレン誘導体（ＰＦ）、ポリパラフェニレンビニレン誘導体（ＰＰＶ）、ポリフェニレン誘導体（ＰＰ）、ポリパラフェニレン誘導体（ＰＰＰ）、ポリビニルカルバゾール（ＰＶＫ）、ＰＥＤＯＴ等のポリチオフェニレン誘導体、ポリメチルフェニレンシラン（ＰＭＰＳ）等を用いることができる。また、これらの高分子材料に、ペリレン系色素、クマリン系色素、ローダミン系色素等の高分子材料や、ルブレン、ペリレン、９，１０−ジフェニルアントラセン、テトラフェニルブタジエン、ナイルレッド、クマリン６、キナクドリン等低分子材料をドープしてもよい。

このような有機ＥＬ素子１１２を有する素子基板１０１は、透明な熱硬化型エポキシ樹脂等を封着部材として用いた封着層１３５を介して透明な封止基板１０２と隙間なくベタ封止されている。

本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、後述する有機ＥＬ素子１１２の製造方法を用いて製造されており、発光層がほぼ一定の膜厚を有しているため、異なる発光色が得られる機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂにおいてそれぞれ所望の発光特性が得られる。

なお、本実施形態の有機ＥＬ装置１００は、トップエミッション型に限定されず、共通電極としての陰極１３４を反射機能を有する不透明なＡｌ等の導電材料を用いて成膜し、有機ＥＬ素子１１２の発光を陰極１３４で反射させて、素子基板１０１側から取り出すボトムエミッション型の構造としてもよい。

＜有機ＥＬ素子の製造方法＞
次に、本実施形態の有機ＥＬ素子の製造方法について図１２〜図１４を参照して説明する。図１２は有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート、図１３（ａ）〜（ｄ）および図１４（ｅ）〜（ｈ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図である。

図１２に示すように、本実施形態の有機ＥＬ素子の製造方法は、隔壁部形成工程（ステップＳ１）と、隔壁部が形成された基板に表面処理を施す表面処理工程（ステップＳ２）と、正孔注入層形成工程（ステップＳ３）と、中間層形成工程（ステップＳ４）と、発光層形成工程（ステップＳ５）と、陰極形成工程（ステップＳ６）と、有機ＥＬ素子が形成された素子基板１０１と封止基板１０２とを接合する封止基板接合工程（ステップＳ７）とを少なくとも備えている。なお、素子基板１０１上に回路部１１１（図１１参照）を形成する工程や回路部１１１に電気的に接続した陽極１３１を形成する工程は、公知の製造方法を用いればよく、本実施形態では詳細の説明は省略する。したがって、図１３（ａ）〜（ｄ）および図１４（ｅ）〜（ｈ）では、回路部１１１の図示を省略している。

図１２のステップＳ１は、隔壁部形成工程である。ステップＳ１では、図１３（ａ）に示すように、陽極１３１の周囲の一部を覆って陽極１３１ごとを区画するように隔壁部１３３を形成する。形成方法としては、例えば、陽極１３１が形成された素子基板１０１の表面に、感光性のフェノール樹脂またはポリイミド樹脂をおよそ１〜３μｍ程度の厚みで塗布する。塗布方法としては、転写法、スリットコート法などが挙げられる。そして、発光画素１０７の形状に対応したマスクを用いて露光し、現像することにより複数の隔壁部１３３を形成することができる。以降、隔壁部１３３により区画された発光画素１０７の領域を膜形成領域Ａと呼ぶ。そして、ステップＳ２へ進む。

図１２のステップＳ２は、表面処理工程である。ステップＳ２では、隔壁部１３３が形成された素子基板１０１の表面に親液処理と撥液処理とを施す。まず、酸素を処理ガスとするプラズマ処理を行い、主に無機材料からなる陽極１３１の表面に親液処理を施す。次に、ＣＦ₄などのフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理を行い、有機材料からなる隔壁部１３３の表面にフッ素を導入して撥液処理を施す。そして、ステップＳ３へ進む。

図１２のステップＳ３は、正孔注入層形成工程である。ステップＳ３では、まず、図１３（ｂ）に示すように、正孔注入輸送層形成材料を含む液状体７０を膜形成領域Ａに塗布する。液状体７０は、例えば、溶媒としてジエチレングリコールと水（純水）とを含んでおり、正孔注入層形成材料としてＰＥＤＯＴ／ＰＳＳを重量比で０．５％程度含んだものを用いた。粘度がおよそ２０ｍＰａ・ｓ以下となるように溶媒の割合が調整されている。
液状体７０を塗布する方法としては、実施形態１において説明した液状体（インク）を吐出ヘッド５０のノズル５２から吐出可能な吐出装置１０を用いる。吐出ヘッド５０とワークＷである素子基板１０１とを対向させ、吐出ヘッド５０から液状体７０を吐出する。吐出された液状体７０は、液滴として親液処理された陽極１３１に着弾して濡れ拡がる。また、乾燥後の正孔注入層の膜厚がおよそ５０〜７０ｎｍとなるように、膜形成領域Ａの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。

乾燥工程では、素子基板１０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体７０の溶媒成分を乾燥させて除去し、図１３（ｃ）に示すように膜形成領域Ａの陽極１３１上に正孔注入層１３２ａを形成する。なお、本実施形態では、各膜形成領域Ａに同一材料からなる正孔注入層１３２ａを形成したが、後に形成される発光層に対応して正孔注入層１３２ａの材料を発光色ごとに変えてもよい。そしてステップＳ４へ進む。

図１２のステップＳ４は、中間層形成工程である。ステップＳ４では、図１３（ｄ）に示すように、中間層形成材料を含む液状体８０を膜形成領域Ａに付与する。
液状体８０は、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含み、中間層形成材料として、前述したトリフェニルアミン系ポリマーを重量比で０．１％程度含んだものを用いた。粘度はおよそ６ｍＰａ・ｓである。
液状体８０を塗布する方法としては、液状体７０を塗布する場合と同様に、実施形態１の吐出装置１０を用いる。乾燥後の中間層の膜厚がおよそ１０〜２０ｎｍとなるように、膜形成領域Ａの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。

乾燥工程では、素子基板１０１を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体８０の溶媒成分を乾燥させて除去し、図１４（ｅ）に示すように膜形成領域Ａの正孔注入層１３２ａ上に中間層１３２ｃを形成する。そしてステップＳ５へ進む。

図１２のステップＳ５は、発光層形成工程である。ステップＳ５では、図１４（ｆ）に示すように、発光層形成材料を含む液状体９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂをそれぞれ対応する膜形成領域Ａに塗布する。
液状体９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂは、例えば、溶媒としてシクロヘキシルベンゼンを含んでおり、発光層形成材料としてＰＦを重量比で０．７％含んだものを用いた。粘度はおよそ１４ｍＰａ・ｓである。
液状体９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを塗布する方法は、やはり実施形態１の吐出装置１０を用い、それぞれ異なる吐出ヘッド５０に充填されて吐出される。
発光層の成膜にあたり、液状体９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを膜形成領域Ａに吐出ムラなく、且つ必要量を安定的に吐出することができる実施形態１の液状体の吐出方法を用いた。すなわち、第１吐出工程では、液状体９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂが濡れ広がり難い隔壁部１３３の近傍に液滴を吐出し、第２吐出工程では、時分割駆動により必要量に対して残りの液状体９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂを液滴として吐出した。第２吐出工程では、吐出量および／または吐出数が補正された液滴を吐出している。乾燥後の発光層の膜厚がおよそ５０〜１００ｎｍとなるように、膜形成領域Ａの面積に応じた必要量を液滴として吐出した。そして乾燥工程へ進む。

本実施形態における吐出された液状体９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの乾燥工程は、一般的な加熱乾燥に比べて溶媒成分を比較的均一に乾燥可能な減圧乾燥法を用いている。第１吐出工程および第２吐出工程により、膜形成領域Ａに満遍なく必要量の液状体９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂが塗布されている。したがって、図１４（ｇ）に示すように、乾燥後に形成された発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂは膜形成領域Ａごとにほぼ一定の膜厚を有する。そして、ステップＳ６へ進む。

図１２のステップＳ６は、陰極形成工程である。ステップＳ６では、図１４（ｈ）に示すように、隔壁部１３３と各機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂとを覆うように陰極１３４を形成する。これにより有機ＥＬ素子１１２が構成される。
陰極１３４の材料としては、ＩＴＯとＣａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物とを組み合わせて用いるのが好ましい。特に機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＩＴＯを形成するのが好ましい。また、陰極１３４の上にＳｉＯ₂、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極１３４の酸化を防止することができる。陰極１３４の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。そして、ステップＳ７へ進む。

図１２のステップＳ７は、封止基板接合工程である。ステップＳ７では、有機ＥＬ素子１１２が形成された素子基板１０１に透明な封着層１３５を塗布して、透明な封止基板１０２と隙間なくベタ封止する（図１１参照）。さらに封止基板１０２の外周領域において水分や酸素等の進入を防ぐ接着層を設けて接合することが望ましい。

以上のような有機ＥＬ素子１１２の製造方法によれば、液滴吐出法により成膜された機能層１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂは、成膜ムラが低減され、それぞれほぼ一定の膜厚の発光層１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂを有している。したがって、成膜ムラに起因する輝度ムラが低減された有機ＥＬ素子１１２を製造することができる。

このようにして製造された異なる発光が得られる有機ＥＬ素子１１２を備えた有機ＥＬ装置１００は、所望の発光特性が実現され、見映えのよいカラー表示が可能である。

（実施形態３）
＜液晶表示装置＞
次に、本実施形態のカラーフィルタを備えた液晶表示装置について図１５を参照して説明する。図１５は液晶表示装置の構成を示す概略分解斜視図である。

図１５に示すように、本実施形態の液晶表示装置２００は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）透過型の液晶表示パネル２２０と、液晶表示パネル２２０を照明する照明装置２１６とを備えている。液晶表示パネル２２０は、３色の着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂを有するカラーフィルタ２０５を備えた対向基板２０１と、画素電極２１０に３端子のうちの１つが接続されたスイッチング素子としてのＴＦＴ素子２１１を有する素子基板２０８と、一対の基板２０１，２０８によって挟持された液晶（図示省略）とを備えている。また、液晶表示パネル２２０の外面側となる一対の基板２０１，２０８の表面には、透過する光を偏向させる上偏光板２１４と下偏光板２１５とが配設される。

対向基板２０１は、透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に隔壁部２０４によってマトリクス状に区画された複数の膜形成領域に、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）、３色の着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂが形成されている。隔壁部２０４は、Ｃｒなどの遮光性を有する金属あるいはその酸化膜からなるブラックマトリクスと呼ばれる下層バンク２０２と、下層バンク２０２の上（図面では下向き）に形成された有機化合物からなる上層バンク２０３とにより構成されている。また、隔壁部２０４と着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂとを覆う平坦化層としてのオーバーコート層（ＯＣ層）２０６と、ＯＣ層２０６を覆うように形成されたＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明導電膜からなる対向電極２０７とを備えている。対向基板２０１は上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタ２０５の製造方法を用いて製造されている（実施例１〜実施例４の液状体の吐出方法うち、例えば実施例３を適用）。

素子基板２０８は、同じく透明なガラス等の材料からなり、液晶を挟む表面側に絶縁膜２０９を介してマトリクス状に形成された画素電極２１０と、画素電極２１０に対応して形成された複数のＴＦＴ素子２１１とを有している。ＴＦＴ素子２１１の３端子のうち、画素電極２１０に接続されない他の２端子は、互いに絶縁された状態で画素電極２１０を囲むように格子状に配設された走査線２１２とデータ線２１３とに接続されている。

照明装置２１６は、例えば光源として白色のＬＥＤ、ＥＬ、冷陰極管等を用い、これらの光源からの光を液晶表示パネル２２０に向かって出射することができる導光板や拡散板、反射板等の構成を備えたものであれば、どのようなものでもよい。

本実施形態の液晶表示装置２００は、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用したカラーフィルタ２０５の製造方法を用いて製造された着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂを有する対向基板２０１を備えているので、色ムラ等の表示不具合の少ない高い表示品質を有する。

なお、液晶表示パネル２２０は、アクティブ素子としてＴＦＴ素子２１１を有したものに限らず、少なくとも一方の基板にカラーフィルタを備えるものであれば、画素を構成する電極が互いに交差するように配置されるパッシブ型の液晶表示装置でもよい。また、上下偏光板２１４，２１５は、視角依存性を改善する目的等で用いられる位相差フィルムなどの光学機能性フィルムと組み合わされたものでもよい。

＜カラーフィルタの製造方法＞
次に、本実施形態のカラーフィルタ２０５の製造方法について図１６を参照して説明する。図１６（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。

まず、図１６（ａ）に示すように、対向基板２０１の表面に、膜形成領域Ａを区画するように隔壁部２０４を形成する（隔壁部形成工程）。形成方法としては、真空蒸着法やスパッタ法により、ＣｒやＡｌなどの金属膜または金属化合物の膜を対向基板２０１の表面に遮光性を有するように成膜する。そしてフォトリソグラフィ法により、感光性樹脂（フォトレジスト）を塗布して膜形成領域Ａが開口するように露光・現像・エッチングして下層バンク２０２を形成する。続いてフォトリソグラフィ法により、感光性の隔壁部形成材料をおよそ２μｍの厚みで塗布して露光・現像し、下層バンク２０２上に上層バンク２０３を形成する。隔壁部２０４は、下層バンク２０２と上層バンク２０３とからなる所謂二層バンク構造となっている。なお、隔壁部２０４は、これに限らず、遮光性を有する感光性の隔壁部形成材料を用いて形成した上層バンク２０３のみの一層構造としてもよい。

次に、後の液状体の吐出工程において、吐出された液状体が膜形成領域Ａに着弾して濡れ拡がるように、対向基板２０１の表面を親液処理する。また、吐出された液状体の一部が上層バンク２０３に着弾したとしても膜形成領域Ａ内に収まるように、上層バンク２０３の少なくとも頭頂部を撥液処理する。

表面処理方法としては、隔壁部２０４が形成された対向基板２０１に対して、Ｏ₂を処理ガスとするプラズマ処理とフッ素系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、膜形成領域Ａが親液処理され、その後感光性樹脂からなる上層バンク２０３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。なお、上層バンク２０３を形成する材料自体が撥液性を有していれば後者の処理を省くこともできる。

続いて、吐出装置１０のステージ５に表面処理されたワークＷである対向基板２０１を載置する。そして、図１６（ｂ）に示すように、対向基板２０１が載置されたステージ５と吐出ヘッド５０との主走査方向への相対移動に同期して、吐出ヘッド５０の複数のノズル５２から例えばＲ（赤）の着色層形成材料が含まれた液状体２３０Ｒを液滴として膜形成領域Ａに吐出する（液状体の第１吐出工程および第２吐出工程）。他の液状体２３０Ｇ，２３０Ｂにおいても同様である。これにより、図１６（ｃ）に示すように、吐出ムラが低減され、必要量の液状体が膜形成領域Ａごとに塗布される。

次に、図１６（ｄ）に示すように、対向基板２０１に吐出された液状体２３０Ｒ，２３０Ｇ，２３０Ｂから溶媒成分を蒸発させて、着色層形成材料からなる着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂを成膜する（成膜工程）。本実施形態では、液状体２３０Ｒ，２３０Ｇ，２３０Ｂに含まれる溶媒をほぼ一定速度で乾燥することが可能な減圧乾燥装置に対向基板２０１をセットして減圧乾燥し、Ｒ、Ｇ、Ｂ、３色の着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂを形成した。なお、１色の液状体を吐出して乾燥する工程を３回繰り返してもよい。
先の液状体の吐出工程において、吐出ムラが低減され、必要量の液状体２３０Ｒ，２３０Ｇ，２３０Ｂが膜形成領域Ａごとに安定的に塗布されているので、ほぼ一定の膜厚を有する着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂを形成することができる。なお、着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂの膜厚は、色ごとに設定すればよく、必ずしも３色が同一でなくてもよい。必要な膜厚の設定に基づいて、必要量の液状体２３０Ｒ，２３０Ｇ，２３０Ｂを対応する膜形成領域Ａに吐出すればよい。

次に、図１６（ｅ）に示すように、着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂと上層バンク２０３とを覆うように平坦化層としてのＯＣ層２０６を形成する（平坦化層形成工程）。形成方法としては、スピンコート法、ロールコート法などによりアクリル系樹脂をコーティングして乾燥させる方法が挙げられる。また、感光性アクリル樹脂をコーティングしてから紫外光を照射して硬化させる方法も採用することができる。膜厚は、およそ１００ｎｍである。なお、着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂが形成された対向基板２０１の表面が比較的に平坦ならば、平坦化層形成工程を省いてもよい。

次に、図１６（ｆ）に示すように、ＯＣ層２０６の上にＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などからなる対向電極２０７を成膜する（対向電極成膜工程）。成膜方法としては、ＩＴＯなどの導電材料をターゲットとして真空中で蒸着あるいはスパッタする方法が挙げられる。膜厚は、およそ１０ｎｍである。形成された対向電極２０７は、適宜必要な形状（パターン）に加工される。なお、液晶表示装置２００の構成によっては、対向電極２０７を必要としない場合もある。

このようなカラーフィルタ２０５の製造方法によれば、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用して３色の着色層形成材料を含む液状体２３０Ｒ，２３０Ｇ，２３０Ｂを対応する膜形成領域Ａに吐出しているため、乾燥後に色ムラが低減され、ほぼ一定の膜厚を有する着色層２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂを形成することができる。すなわち、所望の光学特性を有するカラーフィルタ２０５を製造することができる。

液晶表示装置２００は、このようなカラーフィルタ２０５を備えた対向基板２０１を用いて構成されているため、見映えのよいカラー表示が可能である。

上記実施形態以外にも様々な変形例が考えられる。以下、変形例を挙げて説明する。

（変形例１）上記実施形態１における吐出装置１０の構成は、これに限定されない。例えば、ヘッドプレート９ａに搭載される吐出ヘッド５０の配置は、吐出される液状体の種類によってその配置を変えてもよい。

（変形例２）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、膜形成領域Ａの形状および配置は、これに限定されない。例えば、ストライプ方式の配置だけでなく、モザイク方式やデルタ方式の配置においても適用できる。

（変形例３）上記実施形態１の液状体の吐出方法において、時分割駆動を実現する駆動波形ＰＬ１，ＰＬ２，ＰＬ３の構成は、これに限定されない。例えば、２種類の波形構成としても時分割駆動は可能である。

（変形例４）上記実施形態２の有機ＥＬ素子１１２の製造方法において、上記実施形態１の液状体の吐出方法を適用するのは、着色層形成材料を含む液状体９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂの吐出工程に限定されない。例えば、正孔注入層形成材料を含む液状体７０や中間層形成材料を含む液状体８０の吐出工程においても適用可能である。

（変形例５）上記実施形態２の有機ＥＬ装置１００において、発光画素１０７の構成は、これに限定されない。例えば、発光画素１０７に備えた有機ＥＬ素子１１２を白色発光可能な構成とする。そして、封止基板１０２側に３色のカラーフィルタを備える構成とする。これによれば、同様に輝度ムラが低減された見映えのよいカラー表示が可能となる。

（変形例６）上記実施形態３のカラーフィルタ２０５の製造方法において、吐出される液状体は、３色に限定されない。例えば、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に他の色を加えた多色の液状体を吐出してもよい。

吐出装置の構成を示す概略斜視図。（ａ）は吐出ヘッドの構造を示す斜視図、（ｂ）はノズルの配置状態を示す平面図。ヘッドユニットにおける吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。吐出装置の制御系を示すブロック図。駆動波形を示すタイミングチャート。（ａ）および（ｂ）は実施例１の液状体の吐出方法を示す概略平面図。（ａ）および（ｂ）は実施例２の液状体の吐出方法を示す概略平面図。（ａ）および（ｂ）は実施例３の液状体の吐出方法を示す概略平面図。（ａ）〜（ｄ）は実施例４の液状体の吐出方法を示す概略平面図。有機ＥＬ装置を示す概略正面図。有機ＥＬ装置の要部概略断面図。有機ＥＬ装置の製造方法を示すフローチャート。（ａ）〜（ｄ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。（ｅ）〜（ｈ）は有機ＥＬ素子の製造方法を示す概略断面図。液晶表示装置の構成を示す概略分解斜視図。（ａ）〜（ｆ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。

符号の説明

５０…吐出ヘッド、５２…ノズル、９０Ｒ，９０Ｇ，９０Ｂ…発光層形成材料を含む液状体、１０１…基板としての素子基板、１１２…有機ＥＬ素子、１３２ｒ，１３２ｇ，１３２ｂ…発光層、１３２Ｒ，１３２Ｇ，１３２Ｂ…機能層、１３３…隔壁部、２０１…基板としての対向基板、２０４…隔壁部、２０５…カラーフィルタ、２０５Ｒ，２０５Ｇ，２０５Ｂ…着色層、Ａ…膜形成領域。

Claims

複数のノズルを有する吐出ヘッドと、隔壁部により区画された膜形成領域を有する基板とを対向配置して相対移動させる走査の間に、前記ノズルから機能性材料を含む液状体を前記膜形成領域に吐出する液状体の吐出方法であって、
前記走査において、液滴が前記隔壁部の近傍または前記液滴の一部が前記隔壁部に掛かって着弾するようにノズルを選択して、前記液状体を前記液滴として前記膜形成領域に吐出する第１吐出工程と、
前記複数のノズルのうち隣り合うノズルからは同時に吐出しないようにノズルを選択して、前記液状体を液滴として吐出する第２吐出工程とを備え、
前記第２吐出工程は、前記膜形成領域に付与される前記液状体の必要量に基づいて、吐出量および／または吐出数が補正された前記液滴を吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
前記第２吐出工程は、前記複数のノズルのうち隣り合うノズルからは同時に吐出しないようにノズルを選択して吐出したときの前記液滴の吐出量と、隣り合うノズルから同時に吐出したときの前記液滴の吐出量とを比較した情報に基づいて、吐出量および／または吐出数が補正された前記液滴を吐出することを特徴とする請求項１に記載の液状体の吐出方法。
前記基板上の前記隔壁部により区画された前記膜形成領域は平面的に略矩形状であり、
前記第１吐出工程は、前記膜形成領域の長手方向に沿って前記複数のノズルからなるノズル列を対向配置して前記長手方向と交差する方向に前記走査を行い、前記長手方向の前記隔壁部の近傍に前記液滴を吐出することを特徴とする請求項１または２に記載の液状体の吐出方法。
前記基板上の前記隔壁部により区画された前記膜形成領域は平面的に略矩形状であり、
前記第１吐出工程は、前記膜形成領域の長手方向に沿って前記複数のノズルからなるノズル列を対向配置して前記長手方向と交差する方向に前記走査を行い、吐出された前記液滴の少なくとも一部が前記長手方向の前記隔壁部に掛かるように前記液滴を吐出することを特徴とする請求項１または２に記載の液状体の吐出方法。
基板上に区画形成された膜形成領域に発光層を含む複数の薄膜層からなる機能層を有する有機ＥＬ素子の製造方法であって、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、前記膜形成領域ごとに機能性材料を含む液状体を吐出する吐出工程と、
吐出された前記液状体を固化して、前記膜形成領域に少なくとも発光層を形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とする有機ＥＬ素子の製造方法。
前記吐出工程は、異なる発光色が得られる複数種の前記液状体をそれぞれ所望の前記膜形成領域に吐出し、
前記成膜工程は、吐出された複数種の前記液状体を固化して、少なくとも赤、緑、青、３色の前記発光層を形成することを特徴とする請求項５に記載の有機ＥＬ素子の製造方法。
前記膜形成領域であって、赤色の着色層を有する第１膜形成領域と、緑色の着色層を有する第２膜形成領域と、青色の着色層を有する第３膜形成領域と、が基板上に区画形成されたカラーフィルタの製造方法であって、
請求項１乃至４のいずれか一項に記載の液状体の吐出方法を用い、
前記第１膜形成領域に赤色の着色層を形成するための第１液状体と、
前記第２膜形成領域に緑色の着色層を形成するための第２液状体と、
前記第３膜形成領域に青色の着色層を形成するための第３液状体と、を吐出する吐出工程と、
吐出された前記第１、第２、第３液状体を固化して、前記赤色の着色層と前記緑色の着色層と前記青色の着色層とを形成する成膜工程と、を備えたことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。