JP5441762B2 - 積層体の製造方法 - Google Patents
積層体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5441762B2 JP5441762B2 JP2010045378A JP2010045378A JP5441762B2 JP 5441762 B2 JP5441762 B2 JP 5441762B2 JP 2010045378 A JP2010045378 A JP 2010045378A JP 2010045378 A JP2010045378 A JP 2010045378A JP 5441762 B2 JP5441762 B2 JP 5441762B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sapphire substrate
- single crystal
- aluminum nitride
- crystal layer
- nitride single
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 167
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 137
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 137
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 129
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 122
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 98
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 83
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 40
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 40
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 31
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 15
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 25
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 23
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 10
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 9
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 7
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 7
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 7
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 7
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 4
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 3
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 3
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N Hydrazine Chemical compound NN OAKJQQAXSVQMHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 2
- 238000001947 vapour-phase growth Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical group [AlH3] AZDRQVAHHNSJOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N aluminum gallium Chemical compound [Al].[Ga] RNQKDQAVIXDKAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 229960004424 carbon dioxide Drugs 0.000 description 1
- 229940105305 carbon monoxide Drugs 0.000 description 1
- 229910002090 carbon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005441 electronic device fabrication Methods 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 1
- MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N nitrogen oxide Inorganic materials O=[N] MWUXSHHQAYIFBG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000001953 recrystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000000859 sublimation Methods 0.000 description 1
- 230000008022 sublimation Effects 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Description
Al2O3(s)+3H2(g)→2Al(g)+3H2O(g)・・・ 第一段階
2Al(g)+N2(g)→2AlN(s) ・・・ 第二段階
Al2O3(s)+3H2(g)+N2(g)→2AlN(s)+3H2O(g)・・・全体
(sは固体、gは気体を示すものとする。)。
本発明において使用するサファイア基板は、特に制限されるものではなく、市販のものを使用することができる。中でも、結晶性のよい窒化アルミニウム単結晶層を形成するためには、結晶欠陥の存在しないサファイア基板を使用することが好ましい。
本発明においては、サファイア基板を加熱する際、窒素原子を有する窒素源ガスおよび水素ガスからなる混合ガス雰囲気を形成しなければならない。
窒素原子を有する窒素源ガス、および水素ガスからなる混合ガス雰囲気下において、サファイア基板を1350℃以上1750℃以下の温度で加熱する。
本発明において、サファイア基板を加熱する装置(反応容器)は、特に制限されるものではなく、公知の構造のものが使用できる。ただし、窒素原子を有する窒素源ガス、および水素ガスの混合ガス雰囲気中で、サファイア基板が1350以上1750℃以下の温度に制御できる構造の装置を使用することが好ましい。また、サファイア基板中の温度差を50℃以内に保つことが出来る設計であることが望ましい。具体的には、サファイア基板を加熱するための被加熱体としてタングステンを用い、該タングステンよりなる被加熱体を高周波加熱できるような装置を使用することが好ましい。
上記記載の方法により、サファイア基板上に窒化アルミニウム単結晶層が形成された積層体を製造することが出来る。
実験には、石英製の反応器を有する装置を使用した。詳しくは、該反応容器内にタングステン製の被加熱体を設置し、該被加熱体を高周波加熱することにより、被加熱体上のサファイア基板を加熱でき、サファイア基板(被加熱体)の横方向から窒素源ガス、および水素ガスの混合ガスを供給できる装置を用いた。なお、タングステン製の被加熱体は、放射温度計で温度が確認できるようにし、サファイア基板の温度を調整した。
サファイア基板の加熱温度を、1600℃に変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、窒化アルミニウム単結晶層をサファイア基板上に形成した。
サファイア基板の加熱温度を1700℃に変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、窒化アルミニウム単結晶層をサファイア基板上に形成した。
サファイア基板の加熱温度を1400℃に変更した以外は、実施例1と同様の操作を行い、窒化アルミニウム単結晶層をサファイア基板上に形成した。
実施例5
サファイア基板の加熱温度を1700℃とし、反応器内の全圧力を1atmとした状態で、窒素供給量6000sccm、水素供給量4000sccmの混合ガスを供給した以外は、実施例1と同様の操作を行い、窒化アルミニウム単結晶層をサファイア基板上に形成した。
サファイア基板の加熱温度を1600℃とし、1600℃での加熱時間を20分間とした以外は、実施例1と同様の操作を行い、窒化アルミニウム単結晶層をサファイア基板上に形成した。
サファイア基板の加熱温度を1600℃に変更し、水素ガス供給量のみ10000sccmとした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
サファイア基板の加熱温度を1600℃に変更し、窒素ガス供給量のみ10000sccmとした以外は、実施例1と同様の操作を行った。
サファイア基板の加熱温度を1300℃に変更した以外は、実施例1と同様の操作を行った。
Claims (4)
- 窒素原子を有する窒素源ガス、および水素ガスからなる混合ガス雰囲気下において、サファイア基板を1350℃以上1750℃以下の温度に加熱することにより、該サファイア基板表面に窒化アルミニウム単結晶層が形成された積層体を製造することを特徴とする積層体の製造方法。
- 前記サファイア基板を1450℃以上1650℃以下の温度で加熱することを特徴とする請求項1に記載の積層体の製造方法。
- 前記窒素源ガスとして、窒素ガスを使用することを特徴とする請求項1又は2に記載の積層体の製造方法。
- 前記窒素源ガス、および水素ガスからなる混合ガスを500sccm以上50000sccm以下の供給量でサファイア基板上へ流通させることにより、該混合ガス雰囲気とすることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の積層体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010045378A JP5441762B2 (ja) | 2010-03-02 | 2010-03-02 | 積層体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010045378A JP5441762B2 (ja) | 2010-03-02 | 2010-03-02 | 積層体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011178623A JP2011178623A (ja) | 2011-09-15 |
JP5441762B2 true JP5441762B2 (ja) | 2014-03-12 |
Family
ID=44690550
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010045378A Active JP5441762B2 (ja) | 2010-03-02 | 2010-03-02 | 積層体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5441762B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5896470B2 (ja) * | 2012-11-16 | 2016-03-30 | 国立大学法人名古屋大学 | AlN単結晶の製造方法 |
JP6436024B2 (ja) * | 2015-09-14 | 2018-12-12 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素エピタキシャル基板の製造方法 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4959468B2 (ja) * | 2006-09-08 | 2012-06-20 | 株式会社トクヤマ | Iii族窒化物の製造方法およびその装置 |
-
2010
- 2010-03-02 JP JP2010045378A patent/JP5441762B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011178623A (ja) | 2011-09-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5324110B2 (ja) | 積層体およびその製造方法 | |
KR100718188B1 (ko) | 비극성 a면 질화물 반도체 단결정 기판 및 이의 제조방법 | |
JP4441415B2 (ja) | 窒化アルミニウム単結晶積層基板 | |
JP5295871B2 (ja) | Iii族窒化物半導体基板の製造方法 | |
JP4877712B2 (ja) | 窒化アルミニウム単結晶積層基板および窒化アルミニウム単結晶膜の製造方法 | |
WO2012042961A1 (ja) | GaN結晶の成長方法およびGaN結晶基板 | |
JP2004039810A (ja) | Iii族窒化物半導体基板およびその製造方法 | |
TW200949026A (en) | Method for growing group iii nitride crystal | |
JP4838766B2 (ja) | Iii族窒化物半導体基板の製造方法およびiii族窒化物半導体基板 | |
JP5665463B2 (ja) | Iii族窒化物半導体素子製造用基板およびiii族窒化物半導体自立基板またはiii族窒化物半導体素子の製造方法 | |
US9896780B2 (en) | Method for pretreatment of base substrate and method for manufacturing layered body using pretreated base substrate | |
JP2010010613A (ja) | 積層体、自立基板製造用基板、自立基板およびこれらの製造方法 | |
JP2011042542A (ja) | Iii族窒化物基板の製造方法およびiii族窒化物基板 | |
JP2010280562A (ja) | Iii族窒化物結晶の製造方法、iii族窒化物結晶基板およびiii族窒化物半導体デバイス | |
EP1523033A1 (en) | Group iii nitride crystal and method for producing same | |
JP5542570B2 (ja) | 単結晶窒化アルミニウムの製造方法 | |
JP5441762B2 (ja) | 積層体の製造方法 | |
CN110714190B (zh) | Iii族氮化物基板和iii族氮化物结晶的制造方法 | |
JP4481118B2 (ja) | 高結晶性窒化アルミニウム積層基板の製造方法 | |
JP2006351641A (ja) | Iii族窒化物半導体基板の製造方法 | |
JP2008162887A (ja) | Iii族窒化物半導体基板 | |
JP2009120425A (ja) | GaN半導体基板の製造方法およびGaN半導体基板 | |
JP2008230868A (ja) | 窒化ガリウム結晶の成長方法および窒化ガリウム結晶基板 | |
JP2009221056A (ja) | 結晶成長方法、結晶成長装置、および半導体デバイス | |
JP4885997B2 (ja) | Iii族窒化物半導体基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20121120 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130709 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130711 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130924 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131028 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131119 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5441762 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |