JP5438271B2

JP5438271B2 - 分解処理装置に対する被処理ガスの送出方法及び分解処理装置

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Publication number: JP5438271B2
Application number: JP2007323570A
Authority: JP
Inventors: 章浩竹内
Original assignee: Chubu Electric Power Co Inc
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Priority date: 2007-12-14
Filing date: 2007-12-14
Publication date: 2014-03-12
Anticipated expiration: 2027-12-14
Also published as: JP2009142766A

Description

本発明は、分解処理装置に対する被処理ガスの送出方法及び分解処理装置に関する。

近年、オゾン層破壊低減のためにフロン類の生産・使用規制が始まる前に生産された冷蔵庫や冷房装置（エアコン）が廃棄されつつある。また、フロン類、ハロン類は、工業製品等の洗浄に多用されている。それらの含ハロゲン化合物は、高い温暖化係数を示す温室効果ガスとして、又、フロン類はさらにオゾン層破壊ガスとしても知られている。以下、フロン類、ハロン類のハロゲンを含む化合物や、ハロゲンガス等を総称して「含ハロゲン化合物」という。

このため、使用済みの回収した廃棄含ハロゲン化合物を、効率的に分解処理する方法及び装置が要望されている。そこで、当該要望に応えるべく分解処理装置が、例えば、特許文献１、特許文献２が提案されている。

これらの分解処理装置では、廃棄含ハロゲン化合物を分解処理する場合、酸化カルシウムを主成分とする反応処理剤（すなわち、吸着剤）と、廃棄含ハロゲン化合物を反応させて処理をする。
特開２００４−２６１７２６号公報特開２００１−７９３４４号公報

ところで、常温大気圧下のもとで、液体となっている含ハロゲン化合物を分解処理する場合は、液体の含ハロゲン化合物をガス化して、反応管内に導入した方が好適である。
これは、含ハロゲン化合物を液体の状態のまま反応管内に供給した場合には、反応管内にある吸着剤の一部にしか供給できず、この結果、分解反応の偏りが生じて含ハロゲン化合物を充分に分解処理できなくなる虞があるからである。

しかし、液体の含ハロゲン化合物は、大気圧下で０℃未満の沸点を有する含ハロゲン化合物よりも沸点が高いため、加熱等により気化しても、被処理ガスが通過する管路の外部環境の温度（例えば、冬場）により容易に凝縮して再液化してしまい、反応管内に含ハロゲン化合物を安定して定量的に供給することができなくなる。この結果、反応管内で好適に被処理ガスの分解処理を行うことができなくなる問題があった。

又、液体の含ハロゲン化合物を分解処理する際に、ガス化した含ハロゲン化合物を、温度に応じて可変定量的に分解処理装置内に供給するのが好適である。
これは、分解処理装置の反応管内では、被処理ガスは吸着剤等に対しては発熱反応で分解されるが、反応管内で分解反応に与る被処理ガスが少なくなれば、発熱も少なくなるため、反応管内の温度が下がる。このような場合、必要以上に反応管内の温度を下げないために、反応管内に定量的に送っている被処理ガスの量を増加させる。又、反対に、反応管内で分解反応に与る被処理ガスが多くなれば、発熱が多くなるため、反応管内の温度が上がる。このような場合、必要以上に反応管内の温度を上げさせないために、反応管内に定量的に送っている被処理ガスの量を減少させる。

このように、被処理ガスが処理される状況によって反応管内の温度が変わる場合、それに応じて、反応管内に送出する含ハロゲン化合物の供給量を変えるのが望ましい。しかし、従来は反応管内の温度に応じて可変定量的にガス化した含ハロゲン化合物を反応管に供給する分解処理装置は提案されていない。

本発明の目的は、液体の含ハロゲン化合物をガス化した被処理ガスを分解処理装置の反応管に連続的に送出して反応管内で前記含ハロゲン化合物の発熱反応を伴う分解処理を行う場合に、反応管内の温度に応じて含ハロゲン化合物を含む被処理ガスを可変定量して供給できるとともに、ガス化した含ハロゲン化合物が再液化することなく、安定して反応管内に供給することができる分解処理装置に対する被処理ガスの送出方法及び分解処理装置を提供することにある。

上記問題点を解決するために、請求項１に記載の発明は、０℃以上、かつ大気圧の下で液体の含ハロゲン化合物を、非加熱かつ水蒸気を含有しないキャリアガスによりガス化して、前記キャリアガスと前記ガス化した前記含ハロゲン化合物を含む被処理ガスを分解処理装置の反応管に連続的に送出して、該反応管内で前記含ハロゲン化合物の発熱反応を伴う分解処理を行う分解処理装置に対する被処理ガスの送出方法であって、前記反応管の温度を検出し、前記温度が予め設定された第１閾値よりも低い場合は前記含ハロゲン化合物の送出量を多くして、また、前記温度が予め設定された第２閾値（＞第１閾値）よりも高い場合は前記含ハロゲン化合物の送出量を少なくして、前記被処理ガスを、前記反応管内の温度に応じた定量で送出した後、前記反応管内に連続的に送出される前記含ハロゲン化合物の分圧を、前記被処理ガスが通過する管路における温度の飽和蒸気圧以下にして、前記含ハロゲン化合物を含む被処理ガスを反応管に送出することを特徴とする分解処理装置に対する被処理ガスの送出方法を要旨とするものである。なお、本願発明での液体の含ハロゲン化合物とは、大気圧下で、０℃以上の沸点を有する含ハロゲン化合物をいう。例えば常温常圧で液体となる含ハロゲン化合物を含む趣旨である。

請求項２の発明は、請求項１において、前記反応管内に送出される含ハロゲン化合物の分圧を飽和蒸気圧以下にする際、被処理ガスに対してキャリアガスを注入することにより前記含ハロゲン化合物の分圧を、前記被処理ガスが通過する管路における温度の飽和蒸気圧以下にするものである。

請求項３の発明は、０℃以上、かつ大気圧の下で液体の含ハロゲン化合物が、非加熱かつ水蒸気を含有しないキャリアガスによりガス化されて、前記キャリアガスと前記ガス化された前記含ハロゲン化合物を含む被処理ガスが反応管に連続的に導入されて、該反応管内で前記含ハロゲン化合物の発熱反応を伴う分解処理が行われる分解処理装置において、前記被処理ガスを送出する可変定量送出手段と、前記反応管の温度を検出する温度センサと、前記温度が予め設定された第１閾値よりも低い場合は前記含ハロゲン化合物の送出量を多くし、前記温度が予め設定された第２閾値（＞第１閾値）よりも高い場合は前記含ハロゲン化合物の送出量を少なくするように前記可変定量送出手段を制御する制御装置と、前記反応管の上流に設けられ、前記反応管内に連続的に送出される前記含ハロゲン化合物の分圧を、前記被処理ガスが通過する管路における温度の飽和蒸気圧以下にする分圧設定装置と、を備え、前記分圧設定装置が前記可変定量送出手段と前記反応管の間の管路に設けられていることを特徴とする分解処理装置を要旨とするものである。

請求項４の発明は、請求項３において、前記分圧設定装置が、前記被処理ガスに対してキャリアガスを注入することにより前記含ハロゲン化合物の分圧を、前記被処理ガスが通過する管路における温度の飽和蒸気圧以下にするものである。

請求項１及び請求項３の発明によれば、液体の含ハロゲン化合物をガス化し、前記ガス化した被処理ガスを分解処理装置の反応管に連続的に送出して反応管内で前記含ハロゲン化合物の発熱反応を伴う分解処理を行う場合に、含ハロゲン化合物を含む被処理ガスを反応管の温度に応じた定量で供給できるとともに、ガス化した含ハロゲン化合物が再液化することなく、安定して反応管内に供給することができる。

請求項２及び請求項４の発明によれば、被処理ガスに対してキャリアガスを注入することにより、含ハロゲン化合物の分圧を飽和蒸気圧以下に容易に実現することができる。

以下、本発明を具体化した実施形態を図１を参照して説明する。図１には含ハロゲン化合物の分解処理装置及び被処理ガスの供給路の概略図を示している。
図１に示すように、キャリアガスボンベ７０には、キャリアガスが貯蔵され、キャリアガスボンベ７０からキャリアガスが管路８４に設けられたレギュレータ７２を介して、貯蔵ボンベ７４に注入される。本実施形態では、キャリアガスは窒素ガスとしているが、アルゴンガス等の不活性ガスであってもよい。貯蔵ボンベ７４には、０℃以上、かつ大気圧下で液体となる含ハロゲン化合物が貯蔵されている。本実施形態では、貯蔵ボンベ７４には含ハロゲン化合物としてハロン２４０２がされている。又、キャリアガスボンベ７０から供給されたキャリアガスにより、液体の含ハロゲン化合物の一部がガス化されて貯蔵ボンベ７４から、管路８４の温度における飽和蒸気圧以下の分圧で送出される。又、レギュレータ７２と貯蔵ボンベ７４との間には開閉バルブ７２ａが設けられている。

貯蔵ボンベ７４から送出された含ハロゲン化合物のガス（以下、キャリアガス及び含ハロゲン化合物を含むガスを被処理ガスという）は、チュービングポンプ７８にて分解処理装置１０に送出される。チュービングポンプ７８は、一定時間に一定量のガスを送出可能であり、時間当たりの回転量が変更されることにより、可変定量ポンプとして作用する。チュービングポンプ７８は可変定量送出手段に相当する。

制御装置８０は、後述する分解処理装置１０における反応管２０内の反応帯２６の温度を検出する温度センサ８２の検出値に基づいて、チュービングポンプ７８の時間当たりの回転量を可変制御する。制御装置８０は、反応管内の温度に応じて、可変定量送出手段を、該反応管に対し液体の含ハロゲン化合物をガス化した被処理ガスを可変定量可能に制御する制御手段に相当する。

貯蔵ボンベ７４とチュービングポンプ７８との間には、開閉バルブ７６が設けられている。チュービングポンプ７８と分解処理装置１０間の管路８４には、開閉バルブ８６が設けられるとともに、ブロア８８を介してキャリアガスとしての分圧調整用エアが注入される。前記ブロア８８、及び管路８４に分圧調整用エアを注入する注入管８９により分圧設定装置９０が構成されている。なお、ブロア８８の代わりにファンであってもよい。

ここで、ブロア８８にて注入される分圧調整用エアによる分圧調整について説明する。
前述したようにチュービングポンプ７８は、可変定量ポンプであるため、一定時間当たりに送出される被処理ガスの定量は、後述する反応管２０の温度に応じて可変となる。この場合、管路８４の温度が一定の場合において、前記定量が最大値となる場合は最小値となる場合よりも、チュービングポンプ７８から送出される含ハロゲン化合物の分圧は大きい。

一方、飽和蒸気圧は、温度が上昇すれば高くなり、温度が低下すれば低下することから、管路８４が外部環境の温度によって低下すれば、含ハロゲン化合物の飽和蒸気圧も低下する。

このため、チュービングポンプ７８の定量が最大となって含ハロゲン化合物の分圧が大きくなり、かつ、含ハロゲン化合物の飽和蒸気圧が低下する管路８４の温度が低い場合において、ガス化した含ハロゲン化合物が再液化する可能性がある。

そこで、本実施形態では、分解処理装置１０に接続される管路８４の外部環境の温度変化が予めマージンをとって予測されている。そして、この温度変化の最小値（最低温度）において、かつ、チュービングポンプ７８の最大の定量となるように駆動された際においても、含ハロゲン化合物の飽和蒸気圧以下に含ハロゲン化合物の分圧がなるように、ブロア８８により供給される分圧調整用エアの供給量が設定されている。なお、本実施形態ではブロア８８にて注入される分圧調整用エアの注入量は固定されている。

なお、ここで前記最低温度とは、管路８４は冬場と夏場のように外部環境によってその温度が変化するため、前記外部環境の影響により生ずる温度の最小値のことである。
このようにして、管路８４に分圧調整用エアが注入されることにより、チュービングポンプ７８から送出された含ハロゲン化合物の分圧がさらに低下して、管路８４の温度における飽和蒸気圧以下の分圧で送出される。

次に、含ハロゲン化合物の分解処理装置の概要を説明する。
分解処理装置１０は、反応管２０に、吸着剤からなる充填層２２が形成されて、同充填層２２に対して含ハロゲン化合物を含む被処理ガスが連続的に導入・導出されて、含ハロゲン化合物が分解されながら吸着剤に主として反応吸着されて接触されることにより含ハロゲン化合物の処理が行われる。

前記吸着剤は、カルシウム系のものが使用される。カルシウム系の吸着剤としては、石灰石やドロマイトを焼成して得られる生石灰（ＣａＯ）や軽焼ドロマイト（ＣａＯ・ＭｇＯ）がある。又、カルシウム系の吸着剤としては、他に、消石灰（Ｃａ（ＯＨ）_２）、石灰石（炭酸カルシウム（ＣａＣＯ_３））、けい酸カルシウム（ＣａＳｉＯ_３）等も使用可能である。又、カルシウム系の吸着剤には、軽焼ドロマイト（ＣａＯ・ＭｇＯ）のように酸化マグネシウムを含んでいても良い。本実施形態では、吸着剤として、生石灰（ＣａＯ）や軽焼ドロマイト（ＣａＯ・ＭｇＯ）を使用する。

前記吸着剤の粒径は、粒子形状により異なるが、通常２〜５０ｍｍ、望ましくは５〜１０ｍｍが好適である。なお、粒径が小さすぎると、充填層２２（ガス拡散帯、反応帯）の空隙率が低くてガス流れが阻害され、反対に、粒径が大きすぎると、粒子内へのガス拡散が不充分である。

又、分解処理装置１０により分解処理される被処理ガスは、フロン類、ハロン類を含む含ハロゲン化合物である。なお、本実施形態では、前述したように、含ハロゲン化合物としてハロン２４０２（沸点４７℃）を使用するが、他のハロン類であってもよい。さらに、液体の含ハロゲン化合物として、例えば、フロン類としては、フロン-１１（沸点２３．８℃），フロン-１１３（沸点４７．６℃）の特定フロン類や、ＨＣＦＣ-１２３（沸点２７．９℃）、ＨＣＦＣ-１４１ｂ（沸点３２．２℃）、ＨＣＦＣ-２２５ｃｂ（沸点５６．１℃）のＨＣＦＣ（ハイドロクロロフルオロカーボン）がある。又、液体の含ハロゲン化合物としてフロン類の他の例としては、ＨＦＣ-４３-１０mes（沸点５５．０℃）、ＨＦＣ-２４５fa（沸点１５．３℃）、ＨＦＣ-365mfc（沸点４０．２℃）のＨＦＣ（ハイドロフルオロカーボン）や、Ｃ５Ｆ１２（沸点３０．０℃）、Ｃ６Ｆ１４（沸点５６．０℃）のＰＦＣ（パラフルオロカーボン）等が挙げられる。なお、前記各含ハロゲン化合物の沸点は大気圧下のものである。

これらのガス濃度は、１０〜１００vol％が好ましく、３０〜１００vol％がさらに好ましい。なお、濃度が１０vol％未満であると、加熱する際に多くのエネルギーを必要とするため好ましくない。

フロン類、及びハロン類の分解処理は、好ましくは、７００〜１４００℃の温度下で吸着剤に接触させることによって行われる。この温度が７００℃未満であると、分解処理能力が低下する。１４００℃を越えると、フロン類、及びハロン類との反応性が低下するため好ましくない。なお、フロン類、及びハロン類の分解処理は、公知の発熱反応を伴う。

本実施形態の反応管２０は垂直立て型とされ、前記充填層２２がガス拡散帯２４と反応帯２６が上下に形成される。反応管２０の上部は、第１冷却手段２８が形成され、同第１冷却手段２８の上方には、投入口３０を有する吸着剤供給ホッパ３２が配置されている。前記第１冷却手段２８は、反応管２０のガス拡散帯２４の対応部位に配置されている。又、反応管２０において、第１冷却手段２８の上方の位置には、管路８４に接続された被処理ガス導入口３４が設けられている。

反応管２０の反応帯２６対応部位には加熱部としての電熱ヒータＨ１、Ｈ２が設けられている。電熱ヒータＨ１，Ｈ２は、図示しない制御手段で出力制御可能となっている。加熱手段としては、電熱ヒータ（抵抗発熱体）に限らず、誘導加熱等の他の電気加熱手段あるいは燃焼加熱等の火力加熱手段であってもよい。電熱ヒータＨ１は、反応管２０の外面に設けられた筒状電熱ヒータからなる。電熱ヒータＨ２は、反応帯２６対応部位のみ加熱部とされたシーズドヒータ（電熱ヒータ）からなる。なお、電熱ヒータＨ１、Ｈ２を反応管２０の反応帯２６の内外に設けるのは、反応帯２６の横断面内外の温度差を小さくするためである。ここで、反応管２０の外部に設けられる加熱手段のみ、又は反応管２０の内部に設けられる加熱手段のみ設けられていてもよく、或いは、反応管２０の内部に設けられる加熱手段が複数設けられていてもよい。

反応帯２６に対応する反応管２０の下部は下方に延びる導管３６として設けられている。導管３６の外周には、筒状の覆い管３８が配置されている。覆い管３８と導管３６との間には、空隙３８ａが設けられていて、導管３６の下部開口から排出されるガスを案内して、覆い管３８に設けられた被処理ガス導出口４０から排出する。被処理ガス導出口４０には、図示しないが、例えば、集塵槽等の所要の後処理設備に接続されている。そして、覆い管３８の外周には第２冷却手段としての水冷ジャケット４２が設けられている。

そして、被処理ガス導入口３４と被処理ガス導出口４０との一方側又は双方側には、ガス流れを吸引により発生させるために、差圧発生手段として図示しないブロアが設けられている。差圧発生手段は、通常、加圧輸送機となる送風機（ファン、ブロア）又は減圧輸送機となる圧縮機（コンプレッサ）を、適宜、要求処理量、反応管２０の吸着剤の充填密度に対応させて適宜選定すればよい。

又、導管３６は、反応管２０の下部の充填層２２を下方に配置された吸着剤排出機構４４に導く。
吸着剤排出機構４４は、例えば強制排出手段としてスクリューコンベヤ４６から構成され、強制排出手段の吸着剤流入口側と、反応管２０の下端側（吸着剤流出口）との間には、吸着剤が移動する前記覆い管３８が配置されている。

覆い管３８及び導管３６は、水冷ジャケット４２により反応管２０の下端側から流出（流下）してきた吸着剤を冷却する作用を奏して吸着剤冷却帯４８を形成する。
なお、この吸着剤冷却帯４８は、スクリューコンベヤ４６等の強制排出手段と協働して、強制排出手段の出口５０を介しての被処理ガス導出口４０との間のガス流れを絞る作用も奏する。被処理ガス導出口４０と強制排出手段の出口５０との間に、流体流れの圧損を発生させる吸着剤充填部が形成されるためである。この作用により、被処理ガス導入口３４から被処理ガス導出口４０への被処理ガスの流れが円滑となる。

次に、含ハロゲン化合物の分解処理装置１０の分解処理について説明する。
まず、スクリューコンベヤ４６を停止させた状態で、吸着剤供給ホッパ３２内に投入口３０から、覆い管３８の下部内及び反応管２０内を吸着剤にて充填し、さらに、吸着剤供給ホッパ３２が略一杯になるまで吸着剤を投入する。

次に、電熱ヒータＨ１，Ｈ２をオン（ＯＮ）として、反応帯２６の内部雰囲気温度を、含ハロゲン化合物の分解反応温度以上となるまで昇温させ維持する。ここで、分解反応温度の設定温度は、分解反応、すなわち、効率の見地から、通常、７００℃以上とする。そして、上限は、熱効率及び化学平衡の見地から、約１４００℃以下、望ましくは９００℃以下とする。

ここで、当該設定温度は、反応帯２６の略中央部位置、例えば、図１のＤ点ないしＥ点におけるものとする。
そして、通常、第１冷却手段２８を備えたガス拡散帯２４は、分解反応温度未満である。ここで、ガス拡散帯２４は、通常、分解反応温度より格段に低い温度、高くて２００℃以下、通常１００℃以下の温度雰囲気になっている（例えば、図１のＢ点）。これは、ガス拡散帯２４を形成する吸着剤の充填層２２の熱伝導率が非常に低く、反応帯２６の温度影響を受け難いためである。

この状態で、図示しないブロアを運転させると、含ハロゲン化合物は、被処理ガス導入口３４から反応管２０の充填層２２内へ吸引導入される。すると、被処理ガス導入口３４から吸引導入された被処理ガスは、ガス拡散帯２４で拡散されながら反応帯２６ヘ輸送（搬送）される。このとき、ガス拡散帯２４における吸着剤の雰囲気温度は、被処理ガスの分解反応温度未満である。このため、被処理ガスは、吸着剤の充填隙間で拡散されながら反応帯２６に移動する。

反応帯２６に到達した被処理ガスは、反応帯２６で、分解後、吸着剤に反応吸着されてハロゲン成分が除去された排ガスとして被処理ガス導出口４０から排出される。
なお、ガス拡散帯２４の反応帯２６との境界部には、温度傾斜ゾーン（例えば、１００℃以上６００℃未満）である移行帯（中間帯）が存在する。

そして、スクリューコンベヤ４６を駆動させると、反応管２０内の吸着剤は重力により、下方へ徐々に移動する。導管３６内の吸着剤は移動により放熱冷却される。そして、吸着反応が済んだ使用済み吸着剤は、導管３６、覆い管３８内で水冷ジャケット４２でさらに強制冷却されて、スクリューコンベヤ４６の入口に到達し、さらに、コンベヤの出口５０から図示しない回収コンテナ内に落下排出される。

ここで、反応管２０の温度である反応帯２６の温度は温度センサ８２により検出される。この温度センサ８２の温度検出により、分解処理時に発熱反応に与る含ハロゲン化合物の量の度合いを制御装置８０が判定する。

なお、反応帯２６での温度は、電熱ヒータＨ１，Ｈ２の加熱による寄与分と、分解処理時の発熱反応よる寄与分がある。この場合、例えば、電熱ヒータＨ１，Ｈ２の加熱による寄与分が一定の場合、分解処理時の発熱反応の寄与分の変化が温度変化に大きく関係する。このことから、予め試験等により、電熱ヒータＨ１，Ｈ２のみの寄与分については、未反応状態で、温度計測しておけば、発熱反応の寄与分については、すなわち、発熱反応に与る含ハロゲン化合物の量の度合いについては判定を行うことができる。

制御装置８０は、この温度が予め設定された第１閾値よりも低いと判定すれば、発熱反応に与る含ハロゲン化合物が少なく、すなわち、反応管２０に送出される含ハロゲン化合物が少ないと判定して、含ハロゲン化合物の反応管２０に対する送出量を多くするべくチュービングポンプ７８の時間当たりの回転量を増加させる。

この結果、チュービングポンプ７８から送出される含ハロゲン化合物の分圧が高いガスが送出される。なお、この場合において、ブロア８８による分圧調整用エアの注入により、前記分圧は管路８４の温度における飽和蒸気圧以下となる。

又、温度センサ８２により検出された反応帯２６の温度が第２閾値（＞第１閾値）よりも高ければ、制御装置８０は、反応管２０に送出される含ハロゲン化合物が多すぎると判定して、含ハロゲン化合物の反応管２０に対する送出量を少なくするべくチュービングポンプ７８の時間当たりの回転量を低下させる。この結果、チュービングポンプ７８から送出される含ハロゲン化合物の分圧が低いガスが送出される。なお、この場合、ブロア８８による分圧調整用エアの注入により、前記分圧は管路８４の温度における飽和蒸気圧以下となる。

さて、本実施形態では下記の特徴がある。
（１）本実施形態の被処理ガスの送出方法では、ハロン２４０２（含ハロゲン化合物）の分圧を、被処理ガスが通過する管路８４における温度の飽和蒸気圧以下にして、ハロン２４０２を含む被処理ガスを反応管２０に連続的に送出するようにした。又、本実施形態の分解処理装置１０は、反応管２０の上流に、ハロン２４０２含ハロゲン化合物の分圧を、被処理ガスが通過する管路８４における温度の飽和蒸気圧以下にする分圧設定装置９０が設けられている。

この結果、液体のハロン２４０２（含ハロゲン化合物）をガス化した場合に、ガス化したハロン２４０２が再液化することなく、安定してハロン２４０２を含む被処理ガスを反応管２０内に供給することができる。

（２）本実施形態の被処理ガスの送出方法では、被処理ガスを、反応管２０内の温度に応じて可変定量で送出するとともに、反応管２０内に送出されるハロン２４０２（含ハロゲン化合物）の分圧を、被処理ガスが通過する管路８４における温度の飽和蒸気圧以下にする。

又、上記の方法を実現するために、本実施形態の分解処理装置１０は、反応管２０内の温度に応じて、反応管２０に対し液体のハロン２４０２をガス化した被処理ガスを可変定量可能に送出するチュービングポンプ７８（可変定量送出手段）を備え、分圧設定装置９０がチュービングポンプ７８と反応管２０の間の管路８４に設けられている。

この結果、反応管２０の温度に応じてハロン２４０２を含む被処理ガスを可変定量して供給できるとともに、ガス化したハロン２４０２が再液化することなく、安定して反応管２０内に供給することができる。

（３）本実施形態の被処理ガスの送出方法では、反応管２０内に送出されるハロン２４０２の分圧を飽和蒸気圧以下にする際、被処理ガスに対して分圧調整用エア（キャリアガス）を注入することによりハロン２４０２の分圧を、被処理ガスが通過する管路８４における温度の飽和蒸気圧以下にする。

又、上記被処理ガスの送出方法を実現するために、本実施形態の分解処理装置１０では、分圧設定装置９０が、被処理ガスに対して分圧調整用エア（キャリアガス）を注入することによりハロン２４０２の分圧を、被処理ガスが通過する管路８４における温度の飽和蒸気圧以下にする。

この結果、被処理ガスに対して分圧調整用エア（キャリアガス）を注入することにより、ハロン２４０２の分圧を飽和蒸気圧以下に容易に実現することができる。
なお、本発明の実施形態は以下のように変更してもよい。

○ 前記実施形態では反応管２０を垂直立て型としたが、傾斜立て型であっても、吸着剤を自重落下可能な傾斜角度なら、上記垂直立て型と同様な作用効果を期待できる。
○ 前記実施形態において、反応管２０内の吸着剤の充填層２２を固定層として、バッチ的に所定量のガスを処理後、処理ガス導入を止めて、スクリューコンベヤ４６を駆動させて、反応管２０内の吸着剤の充填層２２を、吸着剤供給ホッパ３２から未使用の吸着剤を流下させた未使用吸着剤に入れ替えてもよい。

○ 前記実施形態では、吸着剤をカルシウム系とマグネシウム系の両方でもよいとしたが、カルシウム系の吸着剤でのみ被処理ガスを分解処理する分解処理装置１０でもよい。
○ 前記実施形態では可変定量送出手段はチュービングポンプ７８で構成したが、ロータリーポンプ、ギヤポンプ、ダイヤフラム式ポンプ等により構成してもよい。

一実施形態の図１には含ハロゲン化合物の分解処理装置及び被処理ガスの供給路の概略図。他の実施形態の被処理ガスの供給路の概略図。

符号の説明

１０…分解処理装置、２０…反応管、
７８…チュービングポンプ（可変定量送出手段、定量送出手段）、
８８…ブロア、９０…分圧設定装置。

Claims

０℃以上、かつ大気圧の下で液体の含ハロゲン化合物を、非加熱かつ水蒸気を含有しないキャリアガスによりガス化して、前記キャリアガスと前記ガス化した前記含ハロゲン化合物を含む被処理ガスを分解処理装置の反応管に連続的に送出して、該反応管内で前記含ハロゲン化合物の発熱反応を伴う分解処理を行う分解処理装置に対する被処理ガスの送出方法であって、
前記反応管の温度を検出し、
前記温度が予め設定された第１閾値よりも低い場合は前記含ハロゲン化合物の送出量を多くして、また、
前記温度が予め設定された第２閾値（＞第１閾値）よりも高い場合は前記含ハロゲン化合物の送出量を少なくして、
前記被処理ガスを、前記反応管内の温度に応じた定量で送出した後、前記反応管内に連続的に送出される前記含ハロゲン化合物の分圧を、前記被処理ガスが通過する管路における温度の飽和蒸気圧以下にして、前記含ハロゲン化合物を含む被処理ガスを反応管に送出することを特徴とする分解処理装置に対する被処理ガスの送出方法。
前記反応管内に送出される含ハロゲン化合物の分圧を飽和蒸気圧以下にする際、被処理ガスに対してキャリアガスを注入することにより前記含ハロゲン化合物の分圧を、前記被処理ガスが通過する管路における温度の飽和蒸気圧以下にするものである請求項１に記載の分解処理装置に対する被処理ガスの送出方法。
０℃以上、かつ大気圧の下で液体の含ハロゲン化合物が、非加熱かつ水蒸気を含有しないキャリアガスによりガス化されて、前記キャリアガスと前記ガス化された前記含ハロゲン化合物を含む被処理ガスが反応管に連続的に導入されて、該反応管内で前記含ハロゲン化合物の発熱反応を伴う分解処理が行われる分解処理装置において、
前記被処理ガスを送出する可変定量送出手段と、
前記反応管の温度を検出する温度センサと、
前記温度が予め設定された第１閾値よりも低い場合は前記含ハロゲン化合物の送出量を多くし、前記温度が予め設定された第２閾値（＞第１閾値）よりも高い場合は前記含ハロゲン化合物の送出量を少なくするように前記可変定量送出手段を制御する制御装置と、
前記反応管の上流に設けられ、前記反応管内に連続的に送出される前記含ハロゲン化合物の分圧を、前記被処理ガスが通過する管路における温度の飽和蒸気圧以下にする分圧設定装置と、を備え、
前記分圧設定装置が前記可変定量送出手段と前記反応管の間の管路に設けられていることを特徴とする分解処理装置。
前記分圧設定装置が、前記被処理ガスに対してキャリアガスを注入することにより前記含ハロゲン化合物の分圧を、前記被処理ガスが通過する管路における温度の飽和蒸気圧以下にするものである請求項３に記載の分解処理装置。