JP5428169B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
また、本発明は、前記半導体装置の製造方法に用いるダイボンディングフィルムに関する。
さらに、本発明は、前記ダイボンディングフィルムを用いてなる半導体装置に関する。
最大応力(Pa)=最大荷重(N)/試料の断面積(m2)
最大荷重伸度(%)=[(最大荷重におけるチャック間長さ(mm)−30)/30]×100
引張破断伸度(%)=[(破断時のチャック間長さ(mm)−30)/30]×100
(実施例1)
温度計、撹拌機および塩化カルシウム管を備えた500mlの四つ口フラスコに、ジアミンとして1,3−ビス(3−アミノプロピル)テトラメチルジシロキサン(0.06mol)、4,9−ジオキサドデカン−1,12−ジアミン(0.04mol)、溶剤としてN−メチル−2−ピロリドン150gを加え、60℃にて撹拌、溶解した。ジアミンの溶解後、1,10−(デカメチレン)ビストリメリテート二無水物(0.02mol)と4,4’−オキシジフタル酸二無水物(0.08mol)を少量ずつ添加した。60℃で3時間反応させたのち、N2ガスを吹き込みながら170℃で3時間加熱し、水を溶剤の一部と共沸除去した。反応液をポリイミド樹脂の溶液として得た。
最大応力:42.7MPa
最大荷重伸度:2.9%
引張破断伸度:3.0%
引張破断伸度/最大荷重伸度:104%
エポキシ樹脂としてビスフェノールF型エポキシ樹脂(エポキシ当量160、東都化成株式会社製商品名YDF−8170C)30重量部、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量210、東都化成株式会社製商品名YDCN−703)10重量部、エポキシ樹脂の硬化剤としてフェノールノボラック樹脂(大日本インキ化学工業株式会社製商品名プライオーフェンLF2882)27重量部、エポキシ基含有アクリル系共重合体としてエポキシ基含有アクリルゴム(ゲル パーミエーション クロマトグラフィーによる重量平均分子量80万、グリシジルメタクリレート3重量%、Tg−7℃、ナガセケムテックス株式会社製商品名HTR−860P−3DR)28重量部、硬化促進剤としてイミダゾール系硬化促進剤(四国化成工業株式会社製キュアゾール2PZ−CN)0.1重量部、シリカフィラー(アドマテックス株式会社製アドマファインSO−C2(比重:2.2g/cm3))95重量部、シランカップリング剤として日本ユニカー株式会社製商品名A−189 0.25重量部および日本ユニカー株式会社製商品名A−1160 0.5重量部を含む組成物に、シクロヘキサノンを加えて撹拌混合し、真空脱気して接着剤ワニスを得た。
実施例1と同一のフィルムを使用し、ダイシング時のブレードハイトはダイボンディングフィルムを完全に切断する高さ(60μm)とした。ブレードハイト以外はすべて実施例1と同一の条件で試験を行った。
実施例2と同一のフィルムを使用し、ダイシング時のブレードハイトはダイボンディングフィルムを完全に切断する高さ(90μm)とした。ブレードハイト以外はすべて実施例2と同一の条件で試験を行った。
図5(a)及び(b)に、それぞれ実施例1及び比較例1で得られた半導体チップの側面の写真、図6(a)及び(b)に、それぞれ実施例2及び比較例2で得られた半導体チップの側面の写真を示す。半導体チップの側面の写真において、下部が接着剤層である。
2 ダイボンディングフィルム
3 ダイシングテープ
4 ダイシングブレード
5 配線付基板
6 ボンディングワイヤ
7 封止樹脂
Claims (3)
- ダイボンディングフィルムと、前記ダイボンディングフィルム上に積層された半導体ウェハとを含む積層品を回転刃で切断する工程と、積層品をエキスパンドする工程とを有する半導体装置の製造方法において、
前記ダイボンディングフィルムは、引張破断伸度が5%未満であり、最大荷重時の伸度に対する引張破断伸度の比率が110%未満であり、
前記切断する工程において、前記ダイボンディングフィルムを厚み方向に完全には切断せず、前記ダイボンディングフィルムの厚みの一部を残し、
前記エキスパンドする工程において、エキスパンドの量を1〜30mm、エキスパンドの速度を1〜500mm/sとすることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法に用いるダイボンディングフィルム。
- 請求項2に記載のダイボンディングフィルムを用いてなる半導体装置。
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