JP5421595B2 - 進行波型光変調器 - Google Patents
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Description
Functional Hybrid Modules Using Low Loss Direct Attachment Technique with Plannar Lightwave Circuit and LiNbO3 Devices 」T. Yamada et al. 「ISMOT-2005」pp. 107-110, 2005では、PLC光回路とLN導波路デバイスを接続している。また、特開2005-173162では、PLC光回路とLN導波路デバイスとを接続することが記載されており、この際、二つの基板間で光導波路のモードフィールド径が異なるために、その間にモードフィールド径を調整するためのテーパー部を設けることが記載されている。
Functional Hybrid Modules Using Low Loss Direct Attachment Technique with Plannar Lightwave Circuit and LiNbO3 Devices 」T. Yamada et al. 「ISMOT-2005」pp. 107-110, 2005、および特開2005-173162では、二種類の異なる光導波路基板を接合する方法が記載されているが、両基板間での線膨張係数の不一致など、デバイスの信頼性や特性に課題がある。
前記光変調器用部品が、支持基体、電気光学材料からなる変調用基板、この変調用基板に設けられており、少なくとも一対の分岐部を備えている光導波路、前記各分岐部に対して電圧を印加し、前記分岐部を伝搬する光を変調する高周波相互作用部、および前記支持基体の上面と前記変調用基板の底面とを接着する接着層を備えており、前記変調用基板の接合面に前記光導波路の複数の端面が存在しており、
前記受動部品が、電気光学材料からなる受動部品用基板、およびこの受動部品用基板に形成されている光導波路を備えており、前記受動部品用基板に形成されている光導波路の各端面が接合面に存在しており、
前記受動部品用基板の前記接合面が前記変調用基板の前記接合面、前記接着層および前記支持基体の接合面に対して接着層を介して接合されており、前記変調用基板の前記光導波路の端面と前記受動部品用基板の前記光導波路の端面とが光学的に結合されていることを特徴とする。
前記光変調器用部品が、支持基体、電気光学材料からなる変調用基板、この変調用基板に設けられており、少なくとも一対の分岐部を備えている光導波路、前記各分岐部に対して電圧を印加し、前記分岐部を伝搬する光を変調する高周波相互作用部、および前記支持基体の上面と前記変調用基板の底面とを接着する接着層を備えており、前記変調用基板の接合面に前記光導波路の複数の端面が存在しており、
前記接続部品が、電気光学材料からなる接続部品用基板、およびこの接続部品用基板に形成されている光導波路を備えており、前記接続部品用基板に形成されている光導波路の各端面が接合面に存在しており、
前記接続部品用基板の前記接合面が前記変調用基板の前記接合面、前記接着層および前記支持基体の接合面に対して接着層を介して接合されており、前記変調用基板の前記光導波路の端面と前記接続部品用基板の前記光導波路の端面とが光学的に結合されていることを特徴とする。
Functional Hybrid Modules Using Low Loss Direct Attachment Technique with Plannar Lightwave Circuit and LiNbO3 Devices 」T. Yamada et al. 「ISMOT-2005」pp. 107-110, 2005、および特開2005-173162では、二種類の異なる光導波路基板を結合しているが、これは例えばニオブ酸リチウム光変調器と、PLC(石英系平面光回路)とを接合することで、光時分割多重モジュールを製造するものである。しかし、光変調器とPLCとはそれぞれ別個の機能を営むものであり、光変調器それ自体を能動部品(光変調作用部)と受動部品とに分割することは想定されていない。
図1は、光変調器1を概略的に示す平面図である。図2(a)は、光変調器用部品2を示す平面図であり、図2(b)は、光変調器用部品2をその端面側から見た正面図である。図3(a)は、受動部品3を示す平面図であり、図3(b)は、受動部品3を端面側から見た正面図である。図4は、光変調器1を示す側面図である。
具体的には、Xカットした3インチウエハ(LiNbO3単結晶)を使用し、チタン拡散プロセスとフォトリソグラフィー法とによって、ウエハの表面にマッハツェンダー型の光導波路を形成した。光導波路のサイズは、例えば1/e2で10μmとできる。次いで、メッキプロセスにより、信号電極10および接地電極9、11を形成した。
RF変調基板の接合部での反射戻り光を抑制するため、端面に角度6°の傾斜を設けた。チップ接合面には端面斜め研磨加工を行い、その後ARコート膜7を蒸着により形成した。
Claims (8)
- 光変調器用部品および受動部品を備えている光変調器であって、
前記光変調器用部品が、支持基体、電気光学材料からなる変調用基板、この変調用基板に設けられており、少なくとも一対の分岐部を備えている光導波路、前記各分岐部に対して電圧を印加し、前記分岐部を伝搬する光を変調する高周波相互作用部、および前記支持基体の上面と前記変調用基板の底面とを接着する接着層を備えており、前記変調用基板の接合面に前記光導波路の複数の端面が存在しており、
前記受動部品が、電気光学材料からなる受動部品用基板、およびこの受動部品用基板に形成されている光導波路を備えており、前記受動部品用基板に形成されている光導波路の各端面が接合面に存在しており、
前記受動部品用基板の前記接合面が前記変調用基板の前記接合面、前記接着層および前記支持基体の接合面に対して接着層を介して接合されており、前記変調用基板の前記光導波路の端面と前記受動部品用基板の前記光導波路の端面とが光学的に結合されていることを特徴とする、進行波型光変調器。 - 前記高周波相互作用部が、前記分岐部に対して前記電圧を印加するための信号電極および接地電極を備えていることを特徴とする、請求項1記載の光変調器。
- 前記変調用基板の前記接合面が、前記分岐部における前記伝搬光の進行方向に垂直な平面に対して傾斜していることを特徴とする、請求項1または2記載の光変調器。
- 前記変調用基板と前記受動部品用基板とが同種の材質からなることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の光変調器。
- 前記受動部品の前記光導波路が折り返し部を備えていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の光変調器。
- 光変調器用部品および光ファイバー伝搬光の接続部品を備えている光変調器であって、
前記光変調器用部品が、支持基体、電気光学材料からなる変調用基板、この変調用基板に設けられており、少なくとも一対の分岐部を備えている光導波路、前記各分岐部に対して電圧を印加し、前記分岐部を伝搬する光を変調する高周波相互作用部、および前記支持基体の上面と前記変調用基板の底面とを接着する接着層を備えており、前記変調用基板の接合面に前記光導波路の複数の端面が存在しており、
前記接続部品が、電気光学材料からなる接続部品用基板、およびこの接続部品用基板に形成されている光導波路を備えており、前記接続部品用基板に形成されている光導波路の各端面が接合面に存在しており、
前記接続部品用基板の前記接合面が前記変調用基板の前記接合面、前記接着層および前記支持基体の接合面に対して接着層を介して接合されており、前記変調用基板の前記光導波路の端面と前記接続部品用基板の前記光導波路の端面とが光学的に結合されていることを特徴とする、進行波型光変調器。 - 前記変調用基板と前記接続部品用基板とが同種の材質からなることを特徴とする、請求項6記載の光変調器。
- 前記接続部品の前記光導波路が合波部または分波部を有することを特徴とする、請求項6または7記載の光変調器。
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