JP5421380B2 - モールド - Google Patents
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Description
本発明の第1の実施形態に係るモールド10について説明する。
の差とパターン幅との関係を説明する図である。
図4は、本実施形態に係るモールド100を説明する図である。
図7は、本変形例に係るモールド200を説明する図である。本変形例に係るモールド200は、図7(a)に示すように、突起220、221が、突起20、21及び突起120、121の組み合わせである点である。
モールド10を用いて、側面20b、21bとベース層30の主面とのなす角θを90°から小さくしていくと、モールド10を基板上に塗布されたポリマーを押し込んだときにどれくらいの位置ズレが生じるかを調べた。なお、側面20b、21bに対向する側面20a、21aは約90°である。
モールド100を用いて、突起120、121の上面120c、121cとベース層130の主面となす角を0°からその値を大きくしていくと、モールド100を基板上に塗布されたポリマーを押し込んだときに、どれくらいの位置ズレが生じるかを調べた。
Claims (6)
- 同一直線上に、上面及び4つの側面を有する第1及び第2の突起が対になってベース層上に複数形成され、
前記第1及び第2の突起は鏡面対称的な形状であり、
前記第1の突起を構成する第1の側面と前記第2の突起を構成する第2の側面は互いに面内で対向しており、
前記第1及び第2の側面と前記ベース層主面とのなす角θ1が85°以上90°以下であり、
前記第1の突起内で前記第1の側面に対して対向する第3の側面、及び前記第2の突起内で前記第2の側面に対して対向する第4の側面と前記ベース層主面とのなす角θ2が70°以上88°以下であり、 前記θ1は前記θ2よりも大きく、前記第1及び第2の側面と前記ベース層主面とのなす角と前記第3及び第4の側面と前記ベース層主面とのなす角との差が3°以上であるナノインプリントモールド。 - 前記第1及び第2の突起の上面と前記ベース層の主面とのなす角が3°以上20°以下である請求項1に記載のナノインプリントモールド。
- 前記第3及び第4の側面の上部がアルミ酸化物である請求項1に記載のナノインプリントモールド。
- 前記第1及び第2の突起の上面が曲面形状又は、凹凸形状である請求項1に記載のナノインプリントモールド。
- 同一直線状に、上面及び4つの側面を有する第1及び第2の突起が対になってベース層上に複数形成され、
前記第1及び第2の突起は鏡面対称的な形状であり、前記第1の突起を構成する第1の側面と前記第2の突起を構成する第2の側面は互いに面内で対向しており、
前記第1及び第2の側面と前記ベース層主面とのなす角θ1が85°以上90°以下であり、
前記第1の突起内で前記第1の側面に対して対向する第3の側面、及び前記第2の突起内で前記第2の側面に対し対向する第4の側面と前記ベース層主面とのなす角θ2が85°以上90°以下であり、
前記第1及び第2の突起の上面と前記ベース層の主面とのなす角が2°以上20°以下であり、
前記θ1は前記θ2よりも大きく、前記第1及び第2の側面と前記ベース層主面とのなす角と前記第3及び第4の側面と前記ベース層主面とのなす角との差が3°以上であるナノインプリントモールド。 - 請求項1に記載のナノインプリントモールドを用いて、基板上に塗布された光硬化型樹脂含有ポリマーを押圧して凹凸形状を前記光硬化型樹脂含有ポリマーに転写する請求項1に記載のナノインプリントモールド。
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