JP5421224B2 - マイクロメトリック構成部材の密閉空洞の気密性を検査する方法およびその方法を実施するマイクロメトリック構成部材 - Google Patents
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Description
表示エレメントと反応できる反応性流体の存在下で光学的または電気的な特性が恒久的に変化して気密性を検査できる表示エレメントを空洞内に備えるマイクロメトリック構成部材を容器内に配置するステップと、
上述の構成部材を内蔵する容器を気密封止するステップと、
数日のような所定の期間中、上述の構成部材に前記空洞内の圧力より高い流体圧力を受けさせるために、反応性流体を導入する手段を備える前記容器を加圧された反応性流体で充填するステップと、
空洞を透過し、かつ表示エレメントと反応した反応性流体の量に基づいて、光学的または電気的な手段により表示エレメントの特性の変化を検査して、空洞の気密性を求めるステップと、を含むことを特徴とする。
多数のマイクロメトリック構成部材に対する検査時間を減少させるために、これらのウェーハは全て、所定の期間、容器内で反応性流体の圧力を受ける。これらのウェーハを、それぞれの構成部材についての電気的検査の実施前後に上述のウェーハの製造工程の最後に容器内に配置する。マイクロメトリック構成部材のそれぞれの空洞において、大気圧に近い圧力においてアルゴンのような不活性気体が、それぞれの構造部材を保護する。
パラヂウム抵抗器であり、また反応性気体は水素である。その抵抗器は、それぞれの構成部材の外部から抵抗を測定できるように、マイクロメトリック構成部材を通過する導電性経路により接続される。
その構成部材は、気密性を検査する表示エレメントを空洞内に備え、その表示エレメントの光学的または電気的な特性が、構成部材の空洞の気密性を検査するために、表示エレメントと反応できる反応性流体の存在下で恒久的に変化することを特徴とする。
または選択的な堆積により得ることができる。化学的エッチング技法は、空洞内に銅またはチタンの層を形成するのが難しいことがある。かくして、この第1の実施形態において、銅またはチタンの真空下での蒸発による堆積の技法を使用することが好ましい。
好ましくは銅層は堆積され、これはこの堆積方法により容易に達成される。
て、p0は、平衡状態における酸素圧力、すなわち200ミリバールであり、またTは、漏れ速度により求められる交換時定数である。この交換時定数は、マイクロメトリック構成部材の大部分の場合における空洞に対して十分な気密性を保証するために、少なくとも20年でなければならない。原点における曲線の傾斜は、かくして、p0/Tにより定義される。密閉容器内のマイクロメトリック構成部材が、たとえば、20バールの酸素圧力を受ける場合、原点における傾斜は大きくなり、また酸素の導入速度は、100倍加速される。
Claims (5)
- 基板(2)の一部分上またはその中に形成される構造部材(5、6、10)と、前記構造部材を保護するために前記基板の領域上に固定されるキャップ(3)とを備える少なくとも1個のマイクロメトリック構成部材(1)の密閉空洞(14)であって、前記キャップの内面、前記構造部材、前記基板の領域により取囲まれる前記空洞の気密性を測定する方法において、
前記マイクロメトリック構成部材(1)を容器(30)内に配置するステップであって、前記構成部材が気密性を検査する表示エレメント(15)を前記密閉空洞(14)内に備え、前記表示エレメントの電気的特性が、前記表示エレメントと反応できる反応性流体の存在下で恒久的に変化する、前記配置するステップと、
前記構成部材を内蔵する前記容器を気密封止するステップと、
前記容器が前記反応性流体を導入する手段(35〜39)を備え、所定の期間、前記構成部材に前記前記空洞内の圧力より高い流体圧力を受けさせるために、加圧された反応性流体で前記容器を充填するステップと、
前記空洞(14)を透過し、かつ前記表示エレメントと反応した反応性流体の量の関数として、前記表示エレメントの特性の変化を電気的に検査して、前記空洞の気密性を求めるステップと、を含み、
そして、少なくとも1個のウェハ(1’)の前記同一の基板(2)上に形成され、かつマイクロメトリック構成部材のそれぞれの構造部材を密閉するために前記基板へ固定されるキャップ(3)のプレート(3’)を有する前記マイクロメトリック構成部材(1)の前記空洞(14)、または数個のマイクロメトリック構成部材のそれぞれの空洞が、周囲圧力に近い圧力において不活性気体を含み、および前記表示エレメント(4)が、前記基板(2)のそれぞれの領域の一部分上に形成されるパラヂウム抵抗器(15)であり、電気的特性を検査するために、絶縁された導電性経路(16、18)が、前記抵抗器を接続し、かつ前記マイクロメトリック構成部材を通過する方法であって、前記容器(30)には、10バールよりも高い圧力で、反応性流体として水素が充填され、パラヂウム抵抗器の値が、前記所定の期間中に前記空洞を透過した水素の量の関数として変えられることを特徴とする方法。 - 同一の基板(2)上に形成され、かつマイクロメトリック構成部材のそれぞれの構造部材を密閉するために前記基板へ固定されるキャップ(3)のプレート(3’)を有する数個のマイクロメトリック構成部材(1)を、それぞれのウェハが備える数個のウェハ(1’)が、前記容器(30)内に配置されて、所定の期間、前記容器に導入される反応性流体により圧力を受けた状態にされることを特徴とする請求項1に記載される方法。
- 反応性流体が充填され前記容器(30)の内部が、前記所定の期間中、加熱手段(40、41)により、周囲温度よりも高い温度まで加熱されることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 上述の請求項1から3のいずれか1項に記載の方法を実施するのに好適なマイクロメトリック構成部材(1)において、前記構成部材は、基板(2)の一部分上またはその中に形成される構造部材(5、6、10)と、前記構造部材を保護するために前記基板の領域上に固定されるキャップ(3)とを備え、密閉空洞(14)が前記キャップの内面、前記構造部材、前記基板の前記領域により取囲まれるマイクロメトリック構成部材(1)であって、気密性を検査する表示エレメント(4、15)を前記空洞内に備え、前記表示エレメントの電気的特性が、前記構成部材の前記空洞の気密性を検査するために、前記表示エレメントと反応する反応性流体の存在下で恒久的に変化することを特徴とする、前記マイクロメトリック構成部材(1)。
- 前記空洞(14)が大気圧に近い圧力において不活性気体を含み、前記表示エレメント(15)が前記基板(2)の前記領域の一部分上に形成されるパラヂウム抵抗器であり、電気的特性を検査するために、絶縁された導電性経路が、前記抵抗器を接続し、かつ前記マイクロメトリック構成部材を通過することを特徴とする請求項4に記載のマイクロメトリック構成部材(1)。
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