JP2003304134A

JP2003304134A - 弾性表面波装置及びその検査方法

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Publication number: JP2003304134A
Application number: JP2002108108A
Authority: JP
Inventors: Toshiyuki Takagi; 利幸高木
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 2002-04-10
Filing date: 2002-04-10
Publication date: 2003-10-24

Abstract

(57)【要約】【課題】外囲器のリーク検査を確実に行い得る弾性表
面波装置の検査方法を提供する。【解決手段】ベース基板と、このベース基板上に接続
されたチップと、チップの周囲を被覆する、光透過性或
いは半光透過性を有する高分子系材料からなるキャップ
とを有する弾性表面波装置を用意する。この弾性表面波
装置を有色液体の中に浸漬する。キャップの外観を観察
して、キャップの内部に有色液体が滲入しているか否か
を判断する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、弾性表面波装置及
びその検査方法に係り、特に、移動体通信分野等に使用
される弾性表面波装置の封止特性の検査方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、電波を取り扱う電子機器内のフィ
ルタ、遅延線、発振器等として、弾性表面波装置が幅広
く用いられている。移動体通信等の分野においては、電
子機器の小型化及び高信頼性化が要求され、弾性表面波
装置に対しても同様な要求がある。弾性表面波素子は、
圧電性素子基板上に形成された櫛歯型電極によって弾性
表面波の励振及び検出を行う。弾性表面波素子が形成さ
れたチップは、バンプを介してベース基板上に接続され
ている。

【０００３】従来、セラミックス製のキャップが、チッ
プを取り囲むようにベース基板に接着されていた。セラ
ミックス製のキャップによってチップを封止する外囲器
は、安価で大量生産に富む。しかし、キャップの機械的
強度及びキャップを接着するための領域を確保するた
め、高さ方向及び水平方向の外囲器サイズの縮小にそれ
ぞれ限界がある。

【０００４】そこで近年、セラミックス製のキャップの
代わりに、エポキシ系樹脂等の高分子系材料からなるキ
ャップでチップを封止する方法が用いられている。高分
子系材料からなるキャップは、流動性のある高分子系材
料の塗布／硬化によりチップ周囲を被覆する。従って、
高さ方向及び水平方向のサイズ縮小が可能になる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところで、外囲器の封
止性を検査する第１の方法として、ヘリウム（Ｈｅ）ガ
スを用いたリーク検査方法が一般的に行われている。チ
ップの封止が完了した弾性表面波装置を減圧下のチャン
バ内に載置し、その後、Ｈｅガスを流入する。チップの
封止が不完全で外囲器に隙間がある場合（封止不良があ
る場合）、Ｈｅガスは外囲器内部に流入する。Ｈｅ検査
装置により外囲器内に残留しているＨｅを検知すること
で、封止不合格品を判定する。

【０００６】しかし、Ｈｅは高分子系材料に吸着する性
質を有する。従って、封止不良がない場合であっても、
高分子系材料に吸着したＨｅが検知されてしまう。よっ
て、高分子系材料を用いた外囲器に対してはＨｅガスを
用いたリーク検査方法は使えない。

【０００７】また、外囲器の封止性を検査する第２の方
法として、空気リーク検査方法がある。弾性表面波装置
が載置されたチャンバ内に所定の空気を注入して、チャ
ンバ内の初期圧力を測定する。封止不良がある場合、空
気は外囲器内部にも流入する。このため、チャンバ内の
圧力は初期圧力に比して減少する。この減少値が所定の
基準値以上である場合、封止不合格品であると判定す
る。

【０００８】セラミックス製のキャップは、チップとの
間に隙間を形成するため、外囲器内部には比較的大きな
空間が存在していた。よって、封止不良の存在によって
圧力が大きく減少するため、不良検出感度が優れてい
た。

【０００９】しかし、高分子系材料から成るキャップは
チップ周囲を隙間無く被覆する。よって、外囲器内部に
は、櫛歯型電極のアクティブ領域に形成されるわずかな
中空領域しか存在しない。このため、封止不良があって
も圧力があまり減少せず、不良検出感度が低い。

【００１０】空気リーク検出方法では、リーク検出のた
めの容器内の圧力差の検出は、対象とするパッケージ体
積の変動により±１０Ｐａ（１／１００００気圧）程度
が限界である。検出容器の容積が１０ｍｍ×１０ｍｍ×
５ｍｍとした場合、一方１ｍｍ×１ｍｍ×２０μｍの容
積リークがあった場合には４Ｐａ程度の変動しかないた
め検出が出来ない。検出を確実にするためには１００Ｐ
ａ程度の圧力変動が確保できる５×１０^−１１ｍ^３程度
の容積リークが必要である。

【００１１】本発明はこのような従来技術の問題点を解
決するために成されたものであり、その目的は、外囲器
のリーク検査を確実に行い得る弾性表面波装置及びその
検査方法を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第１の特徴は、ベース基板と、このベース
基板上に接続されたチップと、このチップの周囲を被覆
する、光透過性或いは半光透過性を有する高分子系材料
から成るキャップとを有する弾性表面波装置であること
である。

【００１３】本発明の第２の特徴は、ベース基板と、こ
のベース基板上に接続されたチップと、チップの周囲を
被覆する、光透過性或いは半光透過性を有する高分子系
材料からなるキャップとを有する弾性表面波装置を用意
し、この弾性表面波装置を有色液体の中に浸漬し、キャ
ップの外観を観察して、キャップの内部に有色液体が滲
入しているか否かを判断する弾性表面波装置の検査方法
であることである。

【００１４】本発明の第１及び第２の特徴によれば、キ
ャップの外観を観察することにより、外囲器の不具合に
よるリーク不良の有無をきわめて容易且つ確実に、判定
することができる。

【００１５】本発明の第２の特徴において、有色液体は
インキであることが望ましい。また、有色液体の代わり
に、紫外線を吸収して可視光を発する蛍光液体を用いて
も構わない。この場合、蛍光液体の中に弾性表面波装置
を浸漬し、紫外線を照射しながらキャップの外観を観察
して、キャップの内部に蛍光液体が滲入しているか否か
を判断すればよい。

【００１６】本発明の第３の特徴は、弾性表面波を励振
或いは検出する金属電極を有するチップと、このチップ
を収納する外囲器とを有する弾性表面波装置を用意し、
この弾性表面波装置を金属電極を腐食する液体の中に浸
漬し、弾性表面波装置の電気特性を測定して、外囲器の
内部に液体が滲入しているか否かを判断する弾性表面波
装置の検査方法であることである。

【００１７】本発明の第４の特徴は、弾性表面波を励振
或いは検出する金属電極を備えるチップと、このチップ
を収納する外囲器とを有する弾性表面波装置を用意し、
この弾性表面波装置を金属電極を腐食するガス雰囲気の
中に曝し、弾性表面波装置の電気特性を測定して、外囲
器の内部にガスが滲入しているか否かを判断する弾性表
面波装置の検査方法であることである。

【００１８】本発明の第３及び第４の特徴によれば、弾
性表面波装置の電気特性を測定することにより、外囲器
の不具合によるリーク不良の有無をきわめて容易且つ確
実に、判定することができる。

【００１９】本発明の第３及び第４の特徴において、外
囲器は、チップが接続されたベース基板と、チップの周
囲を被覆する、高分子系材料から成るキャップとを有
し、弾性表面波装置は、チップとベース基板とを電気的
及び機械的に接続する突起電極を更に有することが望ま
しい。パッケージサイズの縮小のために高分子系材料か
らなるキャップを使用した場合であっても、弾性表面波
装置のリーク検査を確実に行うことができる。

【００２０】また、金属電極の周囲に形成された中空領
域の容積は５×１０^−１１ｍ^３以下であってもリーク検
査を十分実施することができる。キャップがチップの周
囲を隙間なく被覆する場合であっても、チップ上に形成
される櫛歯型電極の周囲に中空領域が形成されているた
め、金属電極を腐食する液体或いはガスによるリーク検
査を確実に行うことができる。

【００２１】本発明の第３の特徴において、金属電極を
腐食する液体は、アルカリ性溶液であることが望まし
い。この場合、アルカリ性溶液の水素指数が１２乃至１
４であることが望ましい。さらに、アルカリ性溶液は、
１乃至４モル／リットルの水酸化ナトリウムを含むこと
が望ましい。或いは、金属電極を腐食する液体は、酸性
溶液であっても構わない。この場合、酸性溶液の水素指
数が２乃至４であることが望ましい。さらに、酸性溶液
は、１乃至４モル／リットルの酢酸を含むことが望まし
い。

【００２２】本発明の第４の特徴において、金属電極を
腐食するガスは、Ｃｌ_２、ＢＣｌ_３、ＳｉＣｌ_４の少な
くとも何れか１つを含むことが望ましい。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施の形態を説明する。図面の記載において同一あるいは
類似部分には同一あるいは類似な符号を付している。た
だし、図面は模式的なものであり、層の厚みと幅との関
係、各層の厚みの比率などは現実のものとは異なること
に留意すべきである。また、図面の相互間においても互
いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていること
はもちろんである。

【００２４】（第１の実施の形態）＜弾性表面波装置について＞本発明の第１の実施の形態
では、光透過性或いは半光透過性を有する高分子系材料
からなるキャップを有する弾性表面波装置、及び有色液
体を用いた弾性表面波装置の検査方法について説明す
る。

【００２５】第１の実施の形態に係る弾性表面波装置
は、弾性表面素子が形成されたチップと、このチップを
収納する外囲器とを有する。具体的には、図２（ａ）に
示すように、弾性表面波装置は、ベース基板３と、ベー
ス基板３上に接続されたチップと、チップの周囲を被覆
する高分子系材料からなるキャップ２とを有する。即
ち、外囲器は、ベース基板３とキャップ２とを有し、チ
ップを封止している。高分子系材料は、光透過性或いは
半光透過性を有する。

【００２６】ベース基板３は、平板状の形状を有し、セ
ラミックスで作られている。また、図示は省略したが、
ベース基板３の表裏面には電極端子が配置されている。
表裏面の電極端子は、ベース基板３内部或いは側面を通
じて互いに接続されている。チップは、複数の突起電極
４を介してベース基板３上に電気的及び機械的に接続さ
れている。なお、突起電極４には、金バンプ、又はハン
ダボールが含まれる。チップは、キャップ２によって被
覆されている。

【００２７】図２（ｂ）に示すように、チップは、圧電
性素子基板１と、圧電性素子基板１上に形成された金属
電極とを有する。金属電極は、弾性表面波の励振及び検
出を行う櫛歯型電極５と、ベース基板３へ接続するため
の電極パッドと、弾性表面波を反射する為の反射器とを
有する。櫛歯型電極５は、互いに組み合わされた２以上
の櫛歯状の平面形状を有する金属電極である。

【００２８】弾性表面波素子が形成されたチップは、金
属電極が形成された面（機能面）をベース基板３に対向
させて配置されている。また、図示は省略したが、突起
電極４は、圧電性素子基板１上に形成された電極パッド
とベース基板３表面上の電極端子との間を電気的且つ機
械的に接続している。即ち、弾性表面波装置はフリップ
チップボンディング構造を有する。

【００２９】圧電性素子基板１とベース基板３間の領域
の内、櫛歯型電極５が形成されているアクティブ領域に
は、高分子系材料が配置されていない中空領域が形成さ
れている。中空領域の形状は１ｍｍ×２ｍｍ×２５μｍ
以下であり、その容積は５×１０^−１１ｍ^３以下であ
る。櫛歯型電極５が形成されたアクティブ領域を除くチ
ップの周囲は、高分子系材料によって隙間無く覆われて
いる。外囲器（２、３）は、チップを環境ストレス及び
機械的ストレスから保護する機能を有する。

【００３０】弾性表面波（ＳＡＷ）は、櫛歯型電極５に
よって励振及び検出される。櫛歯型電極５の入力インタ
ーデジタルトランスジューサに電気信号を印加し、これ
を弾性表面波に変換して圧電性素子基板１の上を伝達さ
せる。さらにもう１つの櫛歯型電極５の出力インターデ
ジタルトランスジューサに到達した弾性表面波は再度電
気信号に変換されて外部に取り出すことができる。

【００３１】高分子系材料は、透明或いは半透明な材料
であり、例えば、エポキシ樹脂やポリオレフィン系の樹
脂である。具体的には、高分子系材料として、ポリイミ
ド樹脂、ＰＰ／ＥＰＲ系ポリマーアロイ（PP/Ethylene
Propylene Rubber Blend）、ＴＥＸ（東燃化学株式会社
製、ポリオレフィン系ＴＰＥ（Polyolefine Thermoplas
tic Elastomer））、タフプレン（旭化成株式会社製、
ＳＢＳ（Styrene-Butadiene-Styrene Block Copolyme
r））、マクスロイＡ（日本合成ゴム株式会社製）、Ｘ
−９（ユニチカ株式会社製、ＰＡ／ＰＡＲ（PA/Polyary
late））、テナック（旭化成株式会社製、ＰＯＭ／ＴＰ
Ｕ（POM/Thermoplastic Polyurethane））を使用するこ
とができる。

【００３２】圧電性素子基板１として、タンタル酸リチ
ウム（ＬｉＴａＯ_３）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ
_３）、ボロン酸リチウム（Ｌｉ_２Ｂ_４Ｏ_７）、サファイ
ア、或いはクオーツ（ＳｉＯ_２）などからなる単結晶基
板、或いはチタン酸鉛（ＰｂＴｉＯ_３）、チタン酸ジル
コン酸鉛（ＰｂＺｒＴｉＯ_３（ＰＺＴ））、或いはこれ
らの固溶体からなる圧電セラミックス基板を用いること
が可能である。金属電極の材料となる金属は、例えばＡ
ｌ（アルミニウム）あるいはＡｌを主成分とする合金か
らなる。後者の場合、添加物として銅（Ｃｕ）、シリコ
ン（Ｓｉ）等を使用できる。

【００３３】図２（ａ）及び図２（ｂ）に示した弾性表
面波装置は、例えば、次の手順に従って製造される。

【００３４】（イ）まず、圧電性素子基板１上に膜厚数
十ｎｍ〜百ｎｍ程度の金属膜を成膜する。この金属膜の
上にレジスト膜を形成し、ホトリソグラフィ法でレジス
タ膜を露光・現像する。レジストパターンが形成され
る。そして、このレジストパターンをマスクとして金属
膜を反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）法で選択的にエ
ッチングする。圧電性素子基板１上に櫛歯電極５を含む
金属電極が形成される。金属膜の成膜は、金属蒸着法、
スパッタリング法等を使用することができる。

【００３５】（ロ）次に、バンプボンディング法を用い
て、チップの電極パッド上に突起電極４を形成する。そ
して、チップの櫛歯型電極５が形成された機能面をベー
ス基板３に対向させて配置する。フリップチップボンデ
ィング法を用いて、突起電極４をベース基板３上の電極
端子に接続する。突起電極４を介してチップとベース基
板３とが電気的および機械的に接続される。

【００３６】（ハ）最後に、印刷法、トランスファー形
成法、注形法（ポッティング法）、滴下法などの封止方
法を用いて、高分子系材料から成るキャップ２を形成す
る。即ち、ベース基板３上のチップの周囲を流動性のあ
る高分子系材料で被覆し、高分子系材料を加熱硬化させ
る。印刷法を用いた場合、チップの上から高分子系材料
を塗布してキャップ２を形成することができる。

【００３７】＜弾性表面波装置の検査方法＞（１）まず、図１に示すように、Ｓ０１段階において、
検査対象となる弾性表面波装置を用意する。具体的に
は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示した弾性表面波装置
を用意する。

【００３８】（２）Ｓ０２段階において、図２（ｃ）に
示すように、弾性表面波装置を有色液体６の中に浸漬す
る。有色液体６として、例えばインキなどを使用すれば
よい。弾性表面波装置の封止に不具合が存在し、リーク
がある場合、有色液体６が外囲器（２、３）内部に滲入
する。例えば、キャップ２とベース基板３の界面に隙間
がある場合、この隙間から有色液体６が滲入する。

【００３９】（３）Ｓ０３段階において、外囲器（２、
３）の外観を観察する。そして、Ｓ０４段階において、
外囲器（２、３）内部に、有色液体６が滲入しているか
否かを判定する。もし、外囲器（２、３）内部に有色液
体６が滲入していれば、外囲器（２、３）内部に有色液
体６が残る。キャップ２を構成する高分子系材料は透明
あるいは半透明な物質である為、外囲器（２、３）内部
に残る有色液体６の有無を、その外観観察で容易且つ確
実に判定することが可能である。

【００４０】（４）「有色液体６が滲入している」と判
定された場合（Ｓ０４段階でＹｅｓ）、Ｓ０５段階に進
む。Ｓ０５段階において、外囲器に気密性の不具合があ
り、その弾性表面波装置はリーク検査不合格品であると
判断される。一方、「有色液体６が滲入していない」と
判定された場合（Ｓ０４段階でＮｏ）、Ｓ０６段階に進
む。Ｓ０６段階において、外囲器の気密性に問題はな
く、その弾性表面波装置はリーク検査合格品であると判
断される。

【００４１】なお、このリーク検査の合格／不合格の判
定は、検査員の目視検査による判定であっても、画像認
識装置による判定でも、その検査精度に影響は無い。ま
た、リーク検査合格品は、弾性表面波装置の内部に有色
液体６による影響をまったく残さない。従って、外囲器
（２、３）外部に付着した有色液体６を洗浄により除去
することによって製品化可能である。

【００４２】以上説明したように、第１の実施の形態に
よれば、外囲器（２、３）の外観を観察することによ
り、弾性表面波装置の封止の不具合によるリーク不良の
有無を極めて容易且つ確実に、判定することが可能であ
る。従って、リーク不良による特性劣化などのない高い
信頼性を備えた弾性表面波装置を提供できる。

【００４３】なお、有色液体６の代わりに、紫外線を照
射することにより紫外線を吸収して可視光を発する蛍光
液体を使用しても構わない。この場合、液体浸漬後に、
弾性表面波装置に紫外線を照射することにより、外囲器
内に滲入した液体の蛍光をより容易且つ確実に検出する
ことができる。

【００４４】（第２の実施の形態）本発明の第２の実施
の形態では、金属電極を腐食する液体を用いた弾性表面
波装置の検査方法について説明する。

【００４５】検査の対象となる弾性表面波装置は、図２
（ａ）及び図２（ｂ）に示した装置に比して、キャップ
２を構成する高分子系材料が光透過性或いは半透過性を
有していない点が相違する。その他の点は一致してい
る。

【００４６】第２の実施の形態に係る弾性表面波装置
は、弾性表面素子が形成されたチップと、このチップを
収納する外囲器とを有する。具体的には、図２（ａ）に
示すように、弾性表面波装置は、ベース基板３と、ベー
ス基板３上に接続されたチップと、チップの周囲を被覆
する高分子系材料からなるキャップ２とを有する。図２
（ｂ）に示すように、チップは、圧電性素子基板１と、
圧電性素子基板１上に形成された金属電極とを有する。
金属電極は、弾性表面波の励振及び検出を行う櫛歯型電
極５と、ベース基板３へ接続するための電極パッドと、
弾性表面波を反射する為の反射器とを有する。

【００４７】弾性表面波装置の検査方法を図３を参照し
て説明する。

【００４８】（１）まず、Ｓ１１段階において、検査対
象となる弾性表面波装置を用意する。

【００４９】（２）Ｓ１２段階において、弾性表面波装
置を、金属電極を腐食する液体の中に浸漬する。金属電
極を腐食する液体として、アルカリ性溶液を使用する。
アルカリ性溶液の水素指数は、１２〜１４の範囲内であ
ることが望ましい。更に、濃度が１〜４モル／リットル
の水酸化ナトリウムを含む溶液を使用することが望まし
い。ここでは、２モル／リットルの水酸化ナトリウム水
溶液を使用する。弾性表面波装置の封止に不具合が存在
し、リーク不良がある場合、水酸化ナトリウム水溶液が
外囲器（２、３）内部に滲入する。例えば、キャップ２
とベース基板３の界面に隙間がある場合、この隙間から
水酸化ナトリウム水溶液が滲入する。滲入した水酸化ナ
トリウムは、金属電極を溶かして、弾性表面波装置の電
気特性を劣化させる。

【００５０】（３）次に、Ｓ１３段階において、弾性表
面波装置の電気特性を測定する。そして、Ｓ１４段階に
おいて、電気特性が基準値を満たしているか否かを判定
する。もし、リーク不良があれば、弾性表面波装置の電
気特性は劣化しているため、基準値を満たさない。一
方、リーク不良が無ければ、電気特性は劣化することは
なく、基準値を満たす。

【００５１】（４）「電気特性が基準値を満たしてい
る」と判定された場合（Ｓ１４段階でＹｅｓ）、Ｓ１５
段階に進む。Ｓ１５段階において、外囲器の気密性に問
題はなく、その弾性表面波装置はリーク検査合格品であ
ると判断される。一方、「電気特性が基準値を満たして
いない」と判定された場合（Ｓ１４段階でＮｏ）、Ｓ１
６段階に進む。Ｓ１６段階において、外囲器に気密性の
不具合があり、その弾性表面波装置はリーク検査不合格
品であると判断される。

【００５２】なお、リーク検査合格品は、弾性表面波装
置の内部に水酸化ナトリウムによる影響をまったく残さ
ない。従って、外囲器（２、３）外部に付着した水酸化
ナトリウムを洗浄により除去することによって製品化可
能である。

【００５３】以上説明したように、第２の実施の形態に
よれば、弾性表面波装置の電気特性を測定することによ
り、弾性表面波装置の封止の不具合によるリーク不良の
有無を極めて容易且つ確実に、判定することが可能であ
る。従って、リーク不良による特性劣化などのない高い
信頼性を備えた弾性表面波装置を提供できる。

【００５４】なお、金属電極を腐食するアルカリ性溶液
として、水酸化ナトリウム水溶液の代わりに、濃度が１
〜４モル／リットルの水酸化カリウム溶液を使用しても
構わない。また、アルカリ性溶液の代わりに、水素指数
が２〜４の範囲の酸性溶液を使用しても構わない。例え
ば、濃度が１〜４モル／リットルの酢酸を含む酸性溶液
を使用しても構わない。

【００５５】また、第２の実施の形態に係る検査方法
は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示した構成を有する弾
性表面波装置を検査対象とした。しかし、本発明はこれ
に限定されるものではない。他の構成を有する弾性表面
波装置に対しても適用可能である。例えば、図４（ａ）
及び図４（ｂ）に示す弾性表面波装置に対しても適用す
ることができる。この弾性表面波装置は、高分子系材料
からなるキャップ２の代わりに、ベース基板３に接着さ
れているセラミックス製のキャップ７を有する。キャッ
プ７は、チップの周囲を取り囲むように配置されてい
る。セラミックス製のキャップ７とチップとの間に所定
の隙間が形成されている。したがって、図４（ａ）及び
図４（ｂ）に示す弾性表面波装置は、図２（ａ）及び図
２（ｂ）に示した弾性表面波装置に比して、外囲器の内
部空間が広い。図４（ｃ）に示すように、この弾性表面
波装置を金属電極を腐食する液体８の中に浸漬する。セ
ラミックス製のキャップ７とベース基板３との界面に隙
間がある場合、この隙間から液体８が滲入する。滲入し
た液体８は、金属電極を溶かして、弾性表面波装置の電
気特性を劣化させる。

【００５６】（第２の実施の形態の変形例）第２の実施
の形態の変形例では、金属電極を腐食するガスを用いた
弾性表面波装置の検査方法について説明する。

【００５７】検査の対象となる弾性表面波装置は、第２
の実施の形態に係る弾性表面波装置と同じであり、説明
を省略する。

【００５８】図６に示すように、弾性表面波装置の検査
方法において使用する装置は、弾性表面波装置を収納す
ることができる真空チャンバ１２と、真空チャンバ１２
内を所定の真空度まで排気するポンプ１０と、金属電極
を腐食するガス９或いはこのガス濃度を調整するための
Ｈｅガスを収納したボンベ１１とを有する。ポンプ１０
及びボンベ１１は、それぞれバルブを介して真空チャン
バ１２に接続されている。ボンベ１１には、金属電極を
腐食するガス９として、塩素ガス（Ｃｌ_２）、ＢＣ
ｌ_３、ＳｉＣｌ_４が収納されている。

【００５９】次に、弾性表面波装置の検査方法を図５を
参照して説明する。

【００６０】（１）まず、Ｓ２１段階において、検査対
象となる弾性表面波装置を用意する。

【００６１】（２）Ｓ２２段階において、弾性表面波装
置を金属電極を腐食するガス９雰囲気の中に曝す。具体
的には、まず、真空チャンバ１２内に弾性表面波装置は
配置する。ポンプ１０を動作させて、真空チャンバ１２
内を所定の真空度以下まで排気する。ここでは所定の真
空度を１×１０^−１Ｐａ程度とする。もし、外囲器の気
密性に不具合があって外囲器にリーク不良があれば、外
囲器の内部空間も排気されて真空状態となる。一方、外
囲器の気密性に不具合が無くリーク不良が無ければ、外
囲器の内部空間は排気されることはない。

【００６２】ボンベ１１のバルブを開いて、例えば塩素
ガス９を真空チャンバ１２内に流入させる。真空チャン
バ１２内の圧力が０．２ＭＰａとなった時点で、ボンベ
１１のバルブを閉じる。リーク不良があれば、真空状態
であった外囲器の内部空間にも、塩素ガス９が滲入す
る。一方、リーク不良が無ければ、外囲器の内部空間に
塩素ガス９は滲入しない。この状態で４時間程度、弾性
表面波装置を放置する。リーク不良があれば、外囲器の
内部空間に滲入した塩素ガス９は、金属電極を溶かし
て、弾性表面波装置の電気特性を劣化させる。４時間程
度経過した後、塩素ガスで真空チャンバ１２内を大気圧
までパージし、弾性表面波装置を真空チャンバ１２の外
へ取り出す。

【００６３】（３）次に、Ｓ２３段階において、弾性表
面波装置の電気特性を測定する。そして、Ｓ２４段階に
おいて、電気特性が基準値を満たしているか否かを判定
する。リーク不良があれば、弾性表面波装置の電気特性
は劣化しているため、基準値を満たさない。一方、リー
ク不良が無ければ、電気特性は劣化することはなく、基
準値を満たす。

【００６４】（４）「電気特性が基準値を満たしてい
る」と判定された場合（Ｓ２４段階でＹｅｓ）、Ｓ２５
段階に進む。Ｓ２５段階において、外囲器の気密性に問
題はなく、その弾性表面波装置はリーク検査合格品であ
ると判断される。一方、「電気特性が基準値を満たして
いない」と判定された場合（Ｓ２４段階でＮｏ）、Ｓ２
６段階に進む。Ｓ２６段階において、外囲器に気密性の
不具合があり、その弾性表面波装置はリーク検査不合格
品であると判断される。

【００６５】なお、リーク検査合格品は、弾性表面波装
置の内部に塩素ガス９による影響をまったく残さない。
従って、外囲器外部に付着した塩素ガス９を洗浄により
除去することによって製品化可能である。

【００６６】第２の実施の形態の変形例においては、金
属電極を腐食するガス９として塩素ガスを使用した場合
について述べた。しかし、金属電極を腐食するガス９
は、ＢＣｌ_３、ＳｉＣｌ_４で、或いはこれらの混合ガス
であっても構わない。金属電極を腐食するガス９のガス
濃度を調整するためＨｅなどのガスを混合させてもよ
い。

【００６７】また、第２の実施の形態の変形例に係る検
査方法は、図２（ａ）及び図２（ｂ）に示した構成を有
する弾性表面波装置を対象とした。しかし、本発明はこ
れに限定されるものではない。他の構成を有する弾性表
面波装置に対しても適用可能である。例えば、図４
（ａ）及び図４（ｂ）に示す弾性表面波装置に対しても
適用することができる。この弾性表面波装置は、高分子
系材料からなるキャップ２の代わりに、ベース基板３に
接着されているセラミックス製のキャップ７を有する。
図７に示すように、この弾性表面波装置を金属電極を腐
食するガス９雰囲気に曝す。セラミックス製のキャップ
７とベース基板３との界面に隙間がある場合、この隙間
からガス９が滲入する。滲入したガス９は、金属電極を
溶かして、弾性表面波装置の電気特性を劣化させる。

【００６８】（その他の実施の形態）上記のように、本
発明は、第１乃至第２の実施の形態及びその変形例によ
って記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面は
この発明を限定するものであると理解すべきではない。
この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例
及び運用技術が明らかとなろう。

【００６９】第１乃至第２の実施の形態及びその変形例
に係る検査方法は、パッケージの種類、弾性表面波装置
の外形サイズ、形状に依らずに適用可能である。即ち、
ここではフリップチップボンディング構造を有する弾性
表面波装置について示したが、本発明はこれに限定され
るものではない。この他に、タブ（Tape Autmated Bond
ing：ＴＡＢ）テープを用いた実装などのチップサイズ
パッケージ（ＣＳＰ）方式のパッケージ構造に適用する
ことができる。

【００７０】第２の実施の形態及びその変形例に係る検
査方法は、金属リッドとコバールリングとを溶接するこ
とによりチップを封止するシーム溶接タイプの弾性表面
波装置、リードフレーム及びそれにプリモールドされた
プラスチックパッケージタイプの弾性表面波装置に対し
ても適用することができる。

【００７１】その他に、第２の実施の形態及びその変形
例に係る検査方法は、電気的素子を気密封止する必要で
あり、且つ腐食性液体或いは腐食性ガスによって腐食し
得る金属電極を有する電子部品であって、金属電極の腐
食によって電気的特性が損なわれる電子部品に対しても
適用可能である。

【００７２】このように、本発明はここでは記載してい
ない様々な実施の形態等を包含するということを理解す
べきである。したがって、本発明はこの開示から妥当な
特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ限定さ
れるものである。

【００７３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
外囲器のリーク検査を確実に行い得る弾性表面波装置及
びその検査方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る弾性表面波装
置の検査方法を示すフローチャートである。

【図２】図２（ａ）は、第１及び第２の実施の形態及び
その変形例に係る検査方法の検査対象となる高分子系材
料から成るキャプを有する弾性表面波装置を示す透過斜
視図である。図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ’切断
面に沿った断面図である。図２（ｃ）は、図２（ｂ）に
示す弾性表面波装置を金属電極を腐食する液体の中に浸
漬した状態を示す断面図である。

【図３】本発明の第２の実施の形態に係る弾性表面波装
置の検査方法を示すフローチャートである。

【図４】図４（ａ）は、第２の実施の形態及びその変形
例に係る検査方法の検査対象となるセラミックス製キャ
プを有する弾性表面波装置を示す透過斜視図である。図
４（ｂ）は、図４（ａ）のＢ−Ｂ’切断面に沿った断面
図である。図４（ｃ）は、図４（ｂ）に示す弾性表面波
装置を金属電極を腐食する液体の中に浸漬した状態を示
す断面図である。

【図５】第２の実施の形態の変形例に係る弾性表面波装
置の検査方法を示すフローチャートである。

【図６】第２の実施の形態の変形例に係る弾性表面波装
置の検査方法において、図２（ｂ）に示す弾性表面波装
置を金属電極を腐食するガス雰囲気の中に曝した状態を
示す断面図である。

【図７】第２の実施の形態の変形例に係る弾性表面波装
置の検査方法において、図４（ｂ）に示す弾性表面波装
置を金属電極を腐食するガス雰囲気の中に曝した状態を
示す断面図である。

【符号の説明】１圧電性素子基板２、７キャップ３ベース基板４突起電極５櫛歯型電極６有色液体８金属電極を腐食する液体９金属電極を腐食するガス１０ポンプ１１ボンベ１２真空チャンバ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ベース基板と、前記ベース基板上に接続されたチップと、前記チップの周囲を被覆する、光透過性或いは半光透過
性を有する高分子系材料から成るキャップとを具備する
ことを特徴とする弾性表面波装置。
【請求項２】ベース基板と、当該ベース基板上に接続
されたチップと、当該チップの周囲を被覆する、光透過
性或いは半光透過性を有する高分子系材料からなるキャ
ップとを具備する弾性表面波装置を用意し、前記弾性表面波装置を有色液体の中に浸漬し、前記キャップの外観を観察して、当該キャップの内部に
前記有色液体が滲入しているか否かを判断することを特
徴とする弾性表面波装置の検査方法。
【請求項３】前記有色液体はインキであることを特徴
とする請求項２記載の弾性表面波装置の検査方法。
【請求項４】前記有色液体の代わりに、紫外線を吸収
して可視光を発する蛍光液体の中に前記弾性表面波装置
を浸漬し、前記紫外線を照射しながら前記キャップの外観を観察し
て、当該キャップの内部に前記蛍光液体が滲入している
か否かを判断することを特徴とする請求項２記載の弾性
表面波装置の検査方法。
【請求項５】弾性表面波を励振或いは検出する金属電
極を有するチップと、当該チップを収納する外囲器とを
有する弾性表面波装置を用意し、前記弾性表面波装置を前記金属電極を腐食する液体の中
に浸漬し、前記弾性表面波装置の電気特性を測定して、前記外囲器
の内部に前記液体が滲入しているか否かを判断すること
を特徴とする弾性表面波装置の検査方法。
【請求項６】弾性表面波を励振或いは検出する金属電
極を備えるチップと、当該チップを収納し、前記金属電
極の周囲に中空部を形成する外囲器とを有する弾性表面
波装置を用意し、前記弾性表面波装置を前記金属電極を腐食するガス雰囲
気の中に曝し、前記弾性表面波装置の電気特性を測定して、前記外囲器
の内部に前記ガスが滲入しているか否かを判断すること
を特徴とする弾性表面波装置の検査方法。
【請求項７】前記金属電極の周囲に形成された中空領
域の容積は５×１０ ^−１１ｍ^３以下であることを特徴と
する請求項６記載の弾性表面波装置の検査方法。
【請求項８】前記液体は、アルカリ性溶液であること
を特徴とする請求項５記載の弾性表面波装置の検査方
法。
【請求項９】前記液体は、酸性溶液であることを特徴
とする請求項５記載の弾性表面波装置の検査方法。
【請求項１０】前記金属電極を腐食するガスは、Ｃｌ
_２、ＢＣｌ_３、ＳｉＣｌ_４の少なくとも何れか１つを含
むことを特徴とする請求項６記載の弾性表面波装置の検
査方法。