JP5419427B2 - 処理液装置の処理液制御方法 - Google Patents
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Description
上記構成によると、中間受け渡し槽として、ワーク搬送経路の両側にボックス部を備えたボックス槽を備えているので、簡単な構成で、給液量及び排液量を少なくすることができ、給液作業及び排液作業を短くすることができる。
図1〜図9は、本発明に係る処理液制御方法を実施するための処理液装置に関する図であり、具体的には電気めっき装置内の洗浄工程部分を示している。なお、説明の都合上、ワーク搬送方向Fと直交する水平方向を「左右方向」として、以下説明する。
図1において、洗浄工程の後半部を構成する浸漬洗浄槽22、出口側ボックス槽23、空ステージ24及びシャワー槽25は、一定高さの架台42上に載置されており、上記各槽22,23,24,25の下方に、貯液槽43が配置されている。出口側ボックス槽23の上方には図示しない架台を介してカラム槽(給液機構)47が配設されている。
図4において、浸漬洗浄槽22と出口側のボックス槽23との間の縦壁(槽壁)82と、ボックス槽23と空ステージ24との間の縦壁83とには、それぞれスライド式のゲート部材93を有するゲート装置84、85が設けられている。また、図3の浸漬洗浄槽22の入口側ボックス槽21と浸漬洗浄槽22との間並びに入口側ボックス槽21と空ステージ20との間にも、前記出口側と同様なゲート装置84、85がそれぞれ設けられている。
図5により、出口側ボックス槽23のワーク搬送経路41内の洗浄液を排出する時の制御内容及び貯液槽43内の洗浄液の制御内容を説明する。ワーク搬送経路41内の洗浄液を排出する際には、排液管45の開閉弁52を開き、排液口46および排液管45を通して洗浄液を貯液槽43内に排出するが、制御機構54のタイマー機能で開閉弁52の開時間を制御することにより(あるいは、レベルセンサーをワーク搬送経路41内に設置することにより)、ボックス槽23の底面より上方位置で、かつ、給液口62の上端縁62aの上方近傍位置のレベルL1で、ワーク搬送経路41内に洗浄液が残留するように排出する。また、前記洗浄液のレベルL1は、搬送状態のワークWの下端より低い位置に設定されている。
洗浄工程における作業の全体の流れを説明する。
(1)図3において、めっき処理前(又はめっき処理済み)のワークWが、入口側の空ステージ20まで搬送された状態では、浸漬洗浄槽22と入口側ボックス槽21との間のゲート装置84を閉じ、入口側ボックス槽21と空ステージ20との間のゲート装置85を開き、入口側ボックス槽21内を空状態とし、空ステージ20内のワークWを、ゲート装置85を介して入口側ボックス槽21内まで搬送する。
洗浄処理後の後半の工程に基づいて、本実施の形態の効果を詳しく説明する。
(1)図5において、ワークWを洗浄処理後、浸漬洗浄槽22から縦壁82のゲート装置84を通して出口側ボックス槽23のワーク搬送経路41へ移送する際には、前段階として、出口側ボックス槽23の搬送方向Fの両側のゲート装置84、85を閉じた状態とし、給液口62の扉68を開くことにより、ボックス部23a内の洗浄液を給液口62からワーク搬送経路41内に供給する。そして、ワーク搬送経路41内の洗浄液が浸漬洗浄槽22内の洗浄液レベルL2と略一致する程度まで給液した時点で、自動的に扉68を閉じる。次に、出口側ボックス槽23と浸漬洗浄槽22との間のゲート装置84を開き、ワークWを浸漬処理槽22から出口側ボックス槽23のワーク搬送経路41内に搬送し、上記ゲート装置84を閉じる。
(1)図9は、中間受け渡し槽の変形例であり、一つのボックス部23aを有するボックス槽23を示している。図9において、ボックス槽23は、ワーク搬送経路の両側のうち、一方のみにボックス部23aを配置してあり、このボックス部23aの壁部に、給液口62、扉68及び駆動部69を備えている。その他の構造は図4と同様であり、図4と同じ部品には同じ番号を附してある。かかるボックス槽23を備えている場合でも、前記実施の形態と同様な効果を得ることができる。
21 入口側ボックス槽(中間受け渡し槽の一例)
22 浸漬洗浄槽(浸漬処理槽の一例)
23 出口側ボックス槽(中間受け渡し槽の一例)
23a ボックス部
41 ボックス槽内のワーク搬送経路
45 排液管
46 排液口
52 排液管の開閉弁
54 タイマー機能を有する制御機構
62 給液口
68 給液口の扉
82,83 縦壁(槽壁の一例)
84,85 ゲート装置
88 ワーク通過口
123 中間受け渡し槽の別の例
Claims (4)
- 所定範囲量の処理液を常時貯留してワークを浸漬処理する浸漬処理槽と、
ワーク通過口を有する槽壁を介して前記浸漬処理槽に隣接配置される中間受け渡し槽であって、ワーク搬送経路と、該ワーク搬送経路内へ給液する給液口と、前記ワーク搬送経路の底面から排液する排液口とを有する中間受け渡し槽と、
前記中間受け渡し槽の下方に配置された貯液槽と、
前記排液口から前記貯液槽へ向けて下方に延びる排液管と、
該排液管に設けられた開閉弁と、
該開閉弁を制御する制御機構と、を備えている、処理液装置の処理液制御方法において、
前記中間受け渡し槽では、ワーク通過時に、前記給液口から前記ワーク搬送経路への給液と前記排液口から前記貯液槽への排液が交互に実施され、
前記排液時に、前記ワーク搬送経路内の残留処理液のレベルが、前記給液口の上端より上方位置で、かつ、搬送状態の前記ワークの下端より低い位置に保たれるように、前記開閉弁を開閉制御する、ことを特徴とする処理液装置の処理液制御方法。 - 請求項1に記載の処理液装置の処理液制御方法において、
前記中間受け渡し槽は、前記ワーク搬送経路を挟んで配置された一対のボックス部を備え、前記給液口は、前記ボックス部から前記ワーク搬送経路へ給液するように開口している、処理液装置の処理液制御方法。 - 請求項1又は2に記載の処理液装置の処理液制御方法において、
前記排液管の下端が、前記貯液槽内の処理液に常時浸漬するように、貯液槽内の処理液のレベルを制御する、処理液装置の処理液制御方法。 - 請求項1乃至3のいずれか一つに記載の処理液装置の処理液制御方法において、
前記給液口の上端が、前記ワーク搬送経路内のワークの下端よりも下方に位置している、処理液装置の処理液制御方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008296752A JP5419427B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 処理液装置の処理液制御方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010121185A JP2010121185A (ja) | 2010-06-03 |
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ID=42322768
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JP2008296752A Active JP5419427B2 (ja) | 2008-11-20 | 2008-11-20 | 処理液装置の処理液制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5419427B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5731917B2 (ja) | 2011-06-30 | 2015-06-10 | 上村工業株式会社 | 表面処理装置およびめっき槽 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0456799A (ja) * | 1990-06-22 | 1992-02-24 | Kawasaki Steel Corp | 連続電気めっき装置におけるめっき液循環装置 |
JPH07211669A (ja) * | 1994-01-12 | 1995-08-11 | Fujitsu Ltd | めっき装置及びめっき方法 |
JP3974314B2 (ja) * | 2000-07-11 | 2007-09-12 | カシオマイクロニクス株式会社 | 化学処理装置 |
JP2002327296A (ja) * | 2001-04-27 | 2002-11-15 | Ins Japan Kk | 水平移動をするメツキ装置,その他の水平移動方法 |
JP4022115B2 (ja) * | 2002-09-06 | 2007-12-12 | 豊 佐藤 | ダム式連続浸漬処理装置 |
JP4447439B2 (ja) * | 2004-11-30 | 2010-04-07 | 日立協和エンジニアリング株式会社 | めっき装置及びめっき方法 |
JP4704181B2 (ja) * | 2005-10-20 | 2011-06-15 | 上村工業株式会社 | 浸漬処理装置 |
JP5026114B2 (ja) * | 2007-03-13 | 2012-09-12 | 株式会社アイプラント | メッキ処理システム |
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2008
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010121185A (ja) | 2010-06-03 |
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