JP5408639B2 - 含水性スライシング用加工液組成物 - Google Patents
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Description
(イ)スラリーの粘度が初期から高く、加工後の上昇も大きいため、スライシング加工後のウエハの洗浄性が悪い。
(ロ)さらにスライシング加工性が悪く、そのためシリコンウエハの割れ、欠けが発生する事があり、歩留まりが悪かった。
(ハ)スラリーを循環使用する際、粘度の上昇が原因で使用不能となるため、廃棄スラリーの量が多く、環境の悪化およびコスト高を招いていた。
(ニ)また、長期間放置していた場合、加工液が分離することがあった。
さらに、活性剤の働きによる保水効果が高いので、水分の蒸発を抑えることができる。
スラリーの粘度上昇が少ないため、本発明の加工液をスラリーにしてマルチワイヤソー切断装置に使用すれば、効率よくシリコンのスライシングが可能となる。
(2)高分子剤は、平均分子量が1000〜50000のアルケニルコハク酸ポリアルキレンポリイミド(インフィニアム ジャパン製 NC−147)、ビスアルケニルコハク酸ポリアルキレンポリイミド(インフィニアム ジャパン製 NC−105)などを用いることができる。その中でも特にアルケニルコハク酸ポリアルキレンポリイミドが好適である。
アニオン型界面活性剤としては、アルキル基の炭素数が8〜18のアルキルベンゼンスルホン酸ナトリウム等のスルホン酸塩やアルキルサルフェートナトリウム塩、ラウリン酸ナトリウム等のカルボン酸塩、ジエチルヘキシルスルホコハク酸ナトリウム等が挙げられる。
(4)水分3〜20重量%
水分が3重量%未満では、引火の危険性が出てくる。また20重量%を超えると、基油に水を透明に可溶化するのが困難になると共に加工液の粘度も増大する。このため、スラリーの粘度の上昇が著しくなるため、ワイヤソーやバンドソー切断装置での使用が困難となる。
この際の防錆添加剤の好ましい使用量は、0.01〜1%重量である。
極圧添加剤の好ましい使用量は、0.01〜1重量%である。
上記各成分を調整した加工液の動粘度は10mm2/s~30mm2/s(40℃)が適当である。.
本発明の組成物を用いるスライシングの被加工物としては、シリコンの他、ガラス、セラミック、石英等の硬脆材料等を例示出来る。
高分子剤:アルケニルコハク酸ポリアルキレンポリイミド(インフィニアムジャパン製,NC・147)
基油:鉱油A 動粘度 22mm2/s(40℃)
鉱油B 動粘度 2.1mm2/s(40℃)
活性剤:非イオン型Aポリオキシエチレン2−エチルヘキシルエーテルHLB 11.5
非イオン型Bポリオキシエチレン2−エチルヘキシルエーテルHLB 14.6
アニオン型 ナトリウムスルホネート(松村石油研究所製スルホール465)
分子量465
アルコール オレイルアルコール
防錆剤:アルキルベンゼンスルホン酸カルシウム塩
極圧剤:硫化オレイン酸メチル
但し表中の数値は油剤全体を100%としたときの重量%を示す。
かくして得られた各組成物について、各種特性を測定した。
表1より、比較例1に比して実験例は何れも初期スラリーから粘度が低く、カーボングラファイト添加後も粘度上昇が抑制されている。
〈実機での粘度上昇〉
155mm×155mm、長さ30~40cmのシリコンインゴットをワイヤソー切断装置(日平トヤマ社製)で切断する工程を8~10時間行ない、スラリーの加工前の粘度と加工後の粘度をB型回転粘度計で測定し比較した。その結果を[表3]に示す。
粘度の単位:mPa・s,温度30℃
〈引火点測定試験〉
上記、実験例1〜6、比較例2について、クリーブランド開放式引火点測定装置にて測定した結果を[表4]に示す。
〈洗浄性試験〉
上記、実験例1、実験例3、実験例7〜9、比較例1につき、それぞれの油剤100mlに砥粒(GC#1000)100g、カーボングラファイトを10gを添加攪拌し、実機使用液スラリーを再現し、シリコンウエハ表面に均一に塗布し、その後、水に浸漬して脱脂率を測定する。
条件:液温 20℃、浸漬時間 2分、塗布面積 125×110mm、塗布量 1.5g
脱脂率 実験例1 : 94.3%
実験例3 : 98.2%
実験例7 : 54.1%
実験例8 : 46.3%
実験例9 : 36.1%
実験例10: 90.7%
実験例11: 95.7%
比較例1 : 67.2%
Claims (1)
- スラリーを用いて硬脆材料をスライシングするための加工液組成物であって、
(1)鉱油、油脂、合成エステルの少なくとも一種からなる基油、
(2)アルケニルコハク酸ポリアルキレンポリイミド及びビスアルケニルコハク酸ポリアルキレンポリイミドから選ばれる少なくとも一種の高分子剤、
(3)組成物全体量に対して、(a)非イオン型界面活性剤5〜20重量%、及び(b)アニオン型の界面活性剤5〜20重量%、及び
(4)組成物全体量に対して、水分3〜20重量%
を含有してなることを特徴とする硬脆材料用含水性スライシング用加工液組成物。
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