JP5405972B2 - 撮像装置 - Google Patents
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Description
18 チャックテーブル
22 撮像装置
24 切削ユニット
28 切削ブレード
30 ケーシング
34 密閉カバーアセンブリ
36 リング照明カバー
38 環状の枠体
40 環状透明部材
42 開口
44 外周Oリング
46 仮止め部材
50 固定部材(係合部材)
62 円筒状側壁
68 内筒
70 環状テーパ部
72 撮像開口
74 リング照明取り付け部材
76 光ファイバー
76a 発光体
78 リング照明
80 エア導入路
86 内周Oリング
Claims (2)
- 撮像対象物の表面に対向する対物レンズを収容したケーシングを備えた撮像装置であって、
底面に形成された撮像開口と、該撮像開口を複数の発光体で囲繞して撮像対象物に斜め上方からの光をリング状に照射するリング照明と、該撮像開口に連通し該撮像開口からエアの噴出を許容して汚染物質の侵入を防止するエア導入路とを有し、前記ケーシングの先端部に取り付けられた密閉カバーアセンブリと、
該密閉カバーアセンブリの下端に着脱可能に装着されたリング照明カバーとを具備し、
該リング照明カバーは、環状の枠体と、該環状の枠体から立ち上がって延在し該密閉カバーアセンブリに該リング照明カバーを固定する装着部材と、該撮像開口からのエアの噴出を遮らない第1開口を中央部に有し周囲が該環状の枠体に保持された透明部材と、該密閉カバーアセンブリの底面及び該環状の枠体の上面に圧接して該透明部材の外周を囲繞する第1のOリングとを含み、
該装着部材は、ねじが挿入される穴を有するねじ固定部材と、先端に鉤状の係合部を有し板ばねから形成された仮止め部材とから構成されることを特徴とする撮像装置。 - 前記環状の枠体は、前記各発光体に対応して環状に配設された複数の照明開口と、該撮像開口からのエアの噴出を遮らないように中央部に形成された第2開口とを有し、
前記リング照明カバーは、前記密閉カバーアセンブリの底面及び該環状の枠体の上面に圧接するように該第2開口の外周に装着された第2のOリングを更に含んでいることを特徴とする請求項1記載の撮像装置。
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JP2009232997A JP5405972B2 (ja) | 2009-10-07 | 2009-10-07 | 撮像装置 |
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