JP2009206361A - 切削装置及び板状物の切削方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削ブレードが回転可能に装着された切削手段と、切削ブレードの位置合わせ用基準線が形成された光学系を有し板状物の切削位置を検出するアライメント手段と、該位置合わせ用基準線の位置を記憶し切削ブレードの切削送りを制御する制御手段とを備えた切削装置であって、該切削ブレードの回転軸方向の一方側に配設され、該切削ブレードまでの距離を検出するブレード検出手段を具備し、前記制御手段は該ブレード検出手段で検出した切削ブレードまでの距離を記憶するように構成する。
【選択図】図8
Description
18 チャックテーブル
24 切削手段
26 スピンドル
28,28A,28B 切削ブレード
30 スピンドルユニット
36 ブレードマウント
40 固定ブラケット
54 固定ナット
66 ブレード検出ブロック
80 ブレード検出手段
82 ヘアライン合わせ用被加工物
84 位置合わせ用基準線(ヘアライン)
86 加工溝
Claims (2)
- 板状物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された板状物を切削する切削ブレードが回転可能に装着された切削手段と、切削ブレードの位置合わせ用基準線が形成された光学系を有し板状物の切削位置を検出するアライメント手段と、該位置合わせ用基準線の位置を記憶し切削ブレードの切削送りを制御する制御手段とを備えた切削装置であって、
該切削ブレードの回転軸方向の一方側に配設され、該切削ブレードまでの距離を検出するブレード検出手段を具備し、
前記制御手段は該ブレード検出手段で検出した切削ブレードまでの距離を記憶することを特徴とする切削装置。 - 請求項1記載の切削装置を用いて板状物を切削する切削方法であって、
第1の切削ブレードで板状物に加工溝を形成する溝形成工程と、
該溝形成工程で形成された加工溝と切削ブレードの前記位置合わせ用基準線との距離Dを検出し、前記制御手段に記憶させるブレード誤差検出工程と、
該ブレード誤差検出工程を実施した後、前記ブレード検出手段で第1の切削ブレードまでの距離yを検出して、検出値を該制御手段に記憶させる第1ブレード距離検出工程と、
該第1ブレード距離検出工程を実施した後に、前記第1の切削ブレードを取り外し第2の切削ブレードを取り付けるブレード交換工程と、
該ブレード交換工程後に、前記ブレード検出手段で前記第2の切削ブレードまでの距離y´を検出する第2ブレード距離検出工程と、
該第1ブレード距離検出工程で検出した第1の距離yと該第2ブレード距離検出工程で検出した第2の距離y´との差分(y−y´)を算出し、該差分を該ブレード誤差検出工程で検出した距離Dに加算した値{D+(y−y´)}を算出する補正値算出工程と、
該補正値算出工程で算出した値{D+(y−y´)}を切削送りピッチに加算して板状物の切削を行う切削工程と、
を具備したことを特徴とする板状物の切削方法。
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