JP5403567B2 - 温度特性計測装置 - Google Patents
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Description
10・・・電子部品搭載プレート
30・・・温度制御素子
35・・・温度制御ユニット
70・・・プローブユニット
90・・・予熱ユニット
82・・・マスタ温度計測装置
100・・・温度計測用マスタ
D・・・電子部品
Claims (2)
- 電子部品の温度特性を計測する温度特性計測装置であって、
電子部品が載置される電子部品載置エリアを有する電子部品搭載プレートと、
前記電子部品載置エリアに載置された前記電子部品の出力を計測する出力計測装置と、
前記電子部品載置エリアに前記電子部品と同様に載置され温度に依存した信号を出力する温度計測用マスタと、
前記温度計測用マスタの出力から前記温度計測用マスタの温度を計測するマスタ温度計測装置と、
前記電子部品載置エリアを加熱または冷却する第1の温度制御素子と、
前記第1の温度制御素子とは異なる温度で当該電子部品載置エリアを加熱または冷却する第2の温度制御素子と、を備え、
前記電子部品搭載プレートの搬送路には、前記電子部品エリアが前記第1の温度制御素子によって加熱または冷却される第1位置と、前記電子部品エリアが前記第2の温度制御素子によって加熱または冷却される第2位置とが設定され、
更に前記第1位置には第1プローブユニットが配置されると共に、前記第2位置には第2プローブユニットが配置され、
前記第1プローブユニットは、
前記第1位置の前記電子部品搭載プレートに載置された前記電子部品の出力を計測する第1電子部品計測位置及び前記第1電子部品計測位置から退避した第1電子部品退避位置の間で、上下方向に移動自在な第1電子部品側プローブと、
前記第1位置の前記電子部品搭載プレートに載置された前記温度計測用マスタの出力を計測する第1計測位置及び前記第1計測位置から退避した第1退避位置の間で、上下方向に移動自在な第1マスタ側プローブと、を有し、
前記第2プローブユニットは、
前記第2位置の前記電子部品搭載プレートに載置された前記電子部品の出力を計測する第2電子部品計測位置及び前記第2電子部品計測位置から退避した第2電子部品退避位置の間で、上下方向に移動自在な第2電子部品側プローブと、
前記第2位置の前記電子部品搭載プレートに載置された前記温度計測用マスタの出力を計測する第2計測位置及び前記第2計測位置から退避した第2退避位置の間で、上下方向に移動自在な第2マスタ側プローブと、を有し、
前記第1位置では、前記第1電子部品側プローブによる前記電子部品の出力計測と、前記第1マスタ側プローブによる前記温度計測用マスタの出力計測と、が略同時に行われ、
前記第2位置では、前記第2電子部品側プローブによる前記電子部品の出力計測と、前記第2マスタ側プローブによる前記温度計測用マスタの出力計測と、が略同時に行われることを特徴とする、温度特性計測装置。 - 前記第1温度制御素子または前記第2温度制御素子を制御する温度制御ユニットを備え、
前記温度制御ユニットは、前記マスタ温度計測装置が計測した前記温度計測用マスタの温度に基づいて前記第1温度制御素子または前記第2温度制御素子を制御することを特徴とする、請求項1記載の温度特性計測装置。
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