JP5402507B2 - 表面被覆切削工具 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1に示すように、cBN基超高圧焼結材料を工具基体(以下、cBN工具基体という)とし、その表面に4a族金属の炭化物、窒化物、炭窒化物、炭酸化物、酸窒化物、酸化物、Al2O3等の1種の単層あるいは2種以上の複層からなり、層中の残留応力が−0.2〜0.2GPa、cBN工具基体の硬質相の残留応力が−0.5〜0GPaである、高温耐塑性変形性、耐摩耗性、耐欠損性に優れたcBN被覆工具が知られている。
また、特許文献2に示すように、cBN工具基体に4a、5a、6a族金属、Al及びSiから選ばれる少なくとも1種の金属元素の炭化物、窒化物、硼化物、酸化物等からなる硬質被覆層中に、0.1〜3GPaの圧縮残留応力を存在させた耐摩耗性、耐欠損性に優れたcBN被覆工具も知られている。
また、硬質被覆層中の応力の分布については、特許文献3に示すように、cBN工具基体表面に形成された硬質被覆層の厚さ方向に圧縮応力が変化しており、硬質被覆層の最表層で最小の圧縮応力を有し、被覆層中間点で極大の圧縮応力を示し、被覆層中間点からcBN工具基体表面までは一定の圧縮応力である応力分布を有するcBN被覆工具も知られており、このcBN被覆工具によれば、靭性、耐摩耗性、耐チッピング性が改善されることが知られている。
したがって、長期の使用に亘って、すぐれた切削性能を発揮させるためには、cBN工具基体と硬質被覆層の付着強度を向上させることが大きな課題となっている。
そこで、cBN工具基体と硬質被覆層それぞれの残留応力の値およびcBN工具基体の残留応力と硬質被覆層の残留応力との相関についてさらに調査したところ、cBN工具基体と硬質被覆層の界面における両者の残留応力がそれぞれ−2GPa以下であって、かつ、両者の差の値が0.5GPa以内である場合には、cBN工具基体と硬質被覆層間の付着強度が大きく向上することを見出したのである。
さらに、cBN工具基体と硬質被覆層の界面における両者の残留応力をそれぞれ−2GPa以下とし、かつ、両者の差の値を0.5GPa以内とした上で、硬質被覆層中の残留応力が、硬質被覆層の表面に向かうにしたがって絶対値で次第に減少するような残留応力分布を構成すると、高速断続切削加工時の衝撃的負荷により発生した亀裂の硬質被覆層内への進展を抑制できるようになるため、より一段と、チッピング、欠損の発生を防止し得るようになることを見出したのである。
したがって、cBN工具基体の残留応力及び硬質被覆層の残留応力を所定値以上とし、さらに、cBN工具基体の残留応力と硬質被覆層のそれとの差を所定値以内に抑えたcBN被覆工具、あるいは、これに加えてさらに、硬質被覆層の表面に向かうにしたがって残留応力が絶対値で次第に減少するような残留応力分布を形成せしめたcBN被覆工具は、すぐれた付着強度を有することとなり、その結果として、焼入れ鋼等の高硬度被削材の高速断続切削加工において、チッピング、欠損、剥離等の異常損傷を発生することはなく、優れた耐摩耗性を発揮するとともに、工具寿命の延命化が図られることを見出したのである。
「(1) 立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料からなる工具基体表面に、硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具であって、
前記工具基体表面と硬質被覆層との界面における、工具基体中の残留応力の値および硬質被覆層中の残留応力の値がいずれも−2GPa以下の残留応力であって、かつ、工具基体中の残留応力と硬質被覆層中の残留応力の差の値が、0.5GPa以下であることを特徴とする表面被覆切削工具。
(2) 前記硬質被覆層が、Ti,Cr,Al及びSiから選ばれる少なくとも1種の金属元素の窒化物、炭窒化物のうちの一種の単層あるいは二種以上の複層で構成されていることを特徴とする前記(1)に記載の表面被覆切削工具。
(3) 前記硬質被覆層中の残留応力の値が、硬質被覆層の表面に向かって絶対値で次第に小さくなる残留応力分布を示すことを特徴とする前記(1)または(2)に記載の表面被覆切削工具。」
を特徴とするものである。
超高圧焼結材料製工具基体中の窒化ほう素(cBN)は、きわめて硬質で、焼結材料中で分散相を形成し、そしてこの分散相によって耐摩耗性の向上に寄与する。
cBN工具基体中の他の構成成分、例えば、結合相等としては、周期律表VIa、Va、VIa族元素の窒化物、炭化物、硼化物、酸化物ならびにこれらの固溶体からなる群の中から選択された少なくとも1種とアルミニウム化合物のセラミックス系結合材を用いることができるが、その他の成分が含有されることを何ら妨げるものではない。
通常の焼結法によってcBN工具基体を作製した後、例えば、PVDにより硬質被覆層を成膜する際の前処理として、cBN工具基体に対してアルミナ粒子によるウエットブラスト処理を施し、その噴射圧力、時間を調整することにより、cBN工具基体表面から最大5μmの深さにおける残留応力の値をコントロールすることができる。
表1によれば、ウエットブラストの噴射圧力を0〜0.24GPa、噴射時間を0〜60secの間で調整することによって、cBN工具基体表面に形成される残留応力の値は、−0.27〜−3.38GPaの範囲にコントロールできることがわかる。
cBN工具基体表面に形成される残留応力の値は、cBN工具基体中に含有されるTiN相について、XRDを利用した「2θ−sin2ψ法」によって測定し、算出した。
硬質被覆層としては、Ti,Cr,Al及びSiから選ばれる少なくとも1種の金属元素の窒化物、炭窒化物のうちの一種の単層あるいは二種以上の複層から構成することができ、例えば、TiN層、TiAlN層を用いることができる。
硬質被覆層の成膜は、例えば、アークイオンプレーティング(AIP)として知られるPVD法によって行うことができ、特に、成膜条件の内のバイアス条件の調整によって、成膜される硬質被覆層中の残留応力の値をコントロールすることができる。
なお、AIP成膜の条件は、
反応ガス種 : N2、
反応ガス圧 :3 Pa、
アーク電流値:110 A、
ヒータ温度 :750 ℃、
目標膜厚 :2 μm、
である。
表2によれば、バイアス電圧を−25〜−200Vの間で調整することによって、硬質被覆層(TiAlN層)中に形成される残留応力の値は、−0.9〜−4.9GPaの範囲にコントロールできることがわかる。
また、硬質被覆層中の残留応力の値は、cBN工具基体表面の残留応力測定の場合と同様、層中のTiN相について、XRDを利用した「2θ−sin2ψ法」によって測定することができる。
なお、層厚方向に対して残留応力の値が変化する場合には、残留応力分布の値は、X線の侵入深さを変化させることにより、層中の深さ別残留応力を測定する、通称「薄膜応力測定法」により測定することができる。
また、cBN工具基体中の残留応力と硬質被覆層中の残留応力の差の値が、0.5GPaを超えると、切削加工時に、cBN工具基体と硬質被覆層との界面が脆弱化して、被覆層の剥離が生じ易くなり耐チッピング性が悪化してしまう。
したがって、本発明では、cBN工具基体表面と硬質被覆層との界面における、cBN工具基体中の残留応力の値および硬質被覆層中の残留応力の値をいずれも−2GPa以下の残留応力と定め、また、cBN工具基体中の残留応力と硬質被覆層中の残留応力の差の値は、0.5GPa以下と定めた。
乾燥後の上記本発明cBN工具基体1〜10の表面の残留応力σmを、cBN工具基体中の結合相に含有されるTiN相について、XRDを利用した「2θ−sin2ψ法」によって測定することにより算出した。
残留応力の値を表6に示す。
まず、装置内を真空排気して0.5Paの真空に保持しながら、ヒーターで装置内を500℃に加熱した後、Arガスを導入し、1.5PaのArガス雰囲気とし、cBN工具基体1に−100Vの直流バイアス電圧を印加して、前記cBN工具基体をArガスボンバード洗浄し、
ついで、前記装置内で、表5に示す条件(バイアス電圧、反応ガスの種類、反応ガス圧力、ターゲットの種類等)でアークイオンプレーティングを行い、所定の目標層厚、層種別の硬質被覆層を形成することにより、
ISO規格SNGA120412に規定するスローアウエイチップ形状の本発明cBN被覆工具1〜10(本発明1〜10という)を作製した。
また、成膜中に、バイアス電圧を変化させたものについては、層厚方向の応力分布(硬質被覆層表層における残留応力σs)を、前記と同様に、「薄膜応力測定法」により測定した。
これらの値(但し、層厚方向の応力分布については、これに代えて、硬質被覆層表層における残留応力の値σs)を、表6に示す。
乾燥後の上記比較例cBN工具基体1〜10の表面の残留応力σmを、cBN工具基体中の結合相に含有されるTiN相について、XRDを利用して「2θ−sin2ψ法」によって測定し、算出した。
残留応力の値を表9に示す。
まず、装置内を真空排気して0.5Paの真空に保持しながら、ヒーターで装置内を500℃に加熱した後、Arガスを導入し、1.5PaのArガス雰囲気とし、cBN工具基体1に−100Vの直流バイアス電圧を印加して、前記cBN工具基体をArガスボンバード洗浄し、
ついで、前記装置内で、表8に示す条件(バイアス電圧、反応ガスの種類、反応ガス圧力、ターゲットの種類等)でアークイオンプレーティングを行い、所定の目標層厚、層種別の硬質被覆層を形成することにより、
ISO規格SNGA120412に規定するスローアウエイチップ形状の比較例cBN被覆工具1〜10(比較例1〜10という)を作製した。
また、成膜中に、バイアス電圧を変化させたものについては、層厚方向の応力分布(硬質被覆層表層における残留応力σs)を、前記と同様に、「薄膜応力測定法」により測定した。
これらの値(但し、層厚方向の応力分布については、これに代えて、硬質被覆層表層における残留応力の値σs)を、表9に示す。
これに対して、比較例1〜10では、σm,σcの何れかが−2GPaを超えているか、または、σm−σcの値が0.5GPaを超えており、いずれも本発明の規定を満たさないものであることが分かる。
《切削条件1》
被削材:JIS・SUJ2の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒(硬さ:HRA60)、
切削速度: 180 m/min、
送り: 0.10 mm/rev、
切込み: 0.12 mm、
切削時間: 10 分
の条件での、焼入れ軸受鋼の湿式高速断続切削加工試験(通常の切削速度は、120m/min)、
《切削条件2》
被削材:JIS・SCr420の長さ方向等間隔4本縦溝入り丸棒(硬さ:HRA62)、
切削速度: 200 m/min、
送り: 0.10 mm/rev、
切込み: 0.12 mm、
切削時間: 10 分
の条件で、高硬度クロム鋼の湿式高速断続切削加工試験(通常の切削速度は、150m/min)、
を行い、切刃の逃げ面摩耗幅を測定した。
上記切削条件1,2による切削加工試験の測定結果を表10に示した。
これに対して、比較例cBN被覆工具1〜10においては、cBN工具基体と硬質被覆層との付着強度が劣るためチッピング、欠損、剥離等を発生し、比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。
Claims (3)
- 立方晶窒化ほう素基超高圧焼結材料からなる工具基体表面に、硬質被覆層を蒸着形成した表面被覆切削工具であって、
前記工具基体表面と硬質被覆層との界面における、工具基体中の残留応力の値および硬質被覆層中の残留応力の値がいずれも−2GPa以下の残留応力であって、かつ、工具基体中の残留応力と硬質被覆層中の残留応力の差の値が、0.5GPa以下であることを特徴とする表面被覆切削工具。 - 前記硬質被覆層が、Ti,Cr,Al及びSiから選ばれる少なくとも1種の金属元素の窒化物、炭窒化物のうちの一種の単層あるいは二種以上の複層で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の表面被覆切削工具。
- 前記硬質被覆層中の残留応力の値が、硬質被覆層の表面に向かって絶対値で次第に小さくなる残留応力分布を示すことを特徴とする請求項1または2に記載の表面被覆切削工具。
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