JP5396350B2 - 画像形成装置、及びコンピュータプログラム - Google Patents
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Description
a)一次電子線のエネルギー,電流密度,観察倍率及び試料の二次電子/後方散乱電子イールドに依存する変化。
b)電子の移動や拡散,電子ホールの再結合による消滅等に依存する時間的変化。
c)走査方法に依存する変化。
特徴量の変化量=(LkFrame)−(L1Frame) …(1)
付帯情報:時間の変化量=(1Frameの走査時間)×k
特徴量の変化量=(LOdd)−(LEven) …(2)
付帯情報:時間の変化量=(1Frameの走査時間)÷2
特徴量の変化量=(L2nd+L3rd−L1st−L4th)÷2 …(3)
付帯情報:走査方向の変化量=180度、位置ずれベクトル=(X180度,Y180度)
特徴量の変化量=(L5th+L6th−L4th−L7th)÷2 …(4)
付帯情報:走査方向の変化量=90度、位置ずれベクトル=(X90度,Y90度)
L1st=L+Ek1st+D0度 …(5)
L2nd=L+Ek1st+Ek2nd+D180度 …(6)
L3rd=L+Ek1st+Ek2nd+Ek3rd+D180度 …(7)
L4th=L+Ek1st+Ek2nd+Ek3rd+Ek4th+D0度 …(8)
L:パターン寸法の真値
となり、
(3)式,(4)式は、各々(9)式,(10)式のようになる。
特徴量の変化量=(D180度−D0度)+(E2nd−E4th)÷2 …(9)
付帯情報:走査方向の変化量=180度、位置ずれベクトル=(X180度,Y180度)
特徴量の変化量=(D90度−D0度)+(E5th−E7th)÷2 …(10)
付帯情報:走査方向の変化量=180度、位置ずれベクトル=(X180度,Y180度)
L1st=L+Ek+D0度 …(11)
L2nd=L+2Ek+D180度 …(12)
L3rd=L+3Ek+D180度 …(13)
のように表すことができる。
102 第一陽極
103 第二陽極
104 一次電子線
105 第一集束レンズ
106 第二集束レンズ
107 対物レンズ
108 絞り板
109 走査コイル
110 試料
111 二次信号分離用直交電磁界(E×B)発生器
112 二次信号
113 二次信号検出器
114 信号増幅器
115 偏向コイル
116 試料ステージ
120 高圧制御電源
121,122 レンズ制御電源
123 対物レンズ制御電源
124 走査コイル制御電源
125 偏向コイル制御電源
130 コンピュータ
131 画像メモリ
132 像表示装置
133 記録装置
134 インターフェース
135 入力装置
Claims (14)
- 荷電粒子線装置によって得られた画像データを積算することによって、積算画像を形成する演算装置を備えた画像形成装置において、
当該演算装置は、前記荷電粒子線装置の走査方向が異なる複数の画像から、前記荷電粒子線のビーム照射時間に応じて変化する特徴量の変化量に関する第1の情報と、前記ビームの走査方向の変化前と変化後の特徴量の変化量に関する第2の情報、及び/又は前記ビームの走査方向の変化前と変化後の前記画像上のパターンの位置ずれに関する第3の情報を算出するものであって、
前記第2の情報は、
(L 2nd +L 3rd −L 1st −L 4th )÷2
L 1st :走査方向θにて得られる特徴量、
L 2nd :走査方向θ+αにて得られる特徴量、
L 3rd :特徴量L 2nd を取得した後に、走査方向θ+αにて得られる特徴量、
L 4th :特徴量L 3rd を取得した後に、走査方向θにて得られる特徴量、
に基づいて算出されることを特徴とする画像形成装置。 - 請求項1において、
前記第1の情報は、異なるタイミングにて取得された異なる画像データ間の前記特徴量との差分情報であることを特徴とする画像形成装置。 - 請求項1において、
前記第2の情報は、前記走査方向の変化前に取得された特徴量と、走査方向の変化後に取得された特徴量との差分情報であることを特徴とする画像形成装置。 - 請求項1において、
前記第2の情報は、更に、
(L 5th +L 6th −L 4th −L 7th )÷2
L 5th :走査方向θ+βにて得られる特徴量、
L 6th :特徴量L 5th を取得した後に、走査方向θ+βにて得られる特徴量、
L 7th :特徴量L 6th を取得した後に、走査方向θにて得られる特徴量、
を含んでいることを特徴とする画像形成装置。 - 荷電粒子線装置によって得られた画像データを積算することによって、積算画像を形成する演算装置を備えた画像形成装置において、
当該演算装置は、前記荷電粒子線装置の走査方向が異なる複数の画像から、前記荷電粒子線のビーム照射時間に応じて変化する特徴量の変化量に関する第1の情報と、前記ビームの走査方向の変化前と変化後の特徴量の変化量に関する第2の情報、及び前記ビームの走査方向の変化前と変化後の前記画像上のパターンの位置ずれに関する第3の情報を算出し、当該第3の情報と前記第2の情報を乗算することを特徴とする画像形成装置。 - 請求項1又は5において、
前記第1の情報と、第2の情報、及び/又は第3の情報の符号を抽出することを特徴とする画像形成装置。 - 荷電粒子線装置によって得られた画像データを積算することによって、積算画像を形成する演算装置を備えた画像形成装置において、
当該演算装置は、前記荷電粒子線装置の走査方向が異なる複数の画像から、前記荷電粒子線のビーム照射時間に応じて変化する特徴量の変化量に関する第1の情報と、前記ビームの走査方向の変化前と変化後の特徴量の変化量に関する第2の情報、及び/又は前記ビームの走査方向の変化前と変化後の前記画像上のパターンの位置ずれに関する第3の情報を算出するものであって、前記演算装置は、前記第1の情報と、前記第2の情報、及び/又は第3の情報の組み合わせと、画像の歪みに関する情報とを関連付けて記憶するライブラリを備え、前記画像取得に基づいて得られる第1の情報と、前記第2の情報、及び/又は第3の情報との比較処理を行うことを特徴とする画像形成装置。 - 請求項7において、
前記画像データ取得条件は、
前記パターンの種類、或いはビームの走査方向の少なくとも1つを含んでいることを特徴とする画像形成装置。 - 請求項7において、
前記演算装置は、前記画像データ取得条件と、前記第1の情報と、前記第2の情報、及び/又は第3の情報の組み合わせを関連付けて表示装置に表示させることを特徴とする画像処理装置。 - 演算装置に、複数の画像データの積算処理を実行させて、積算画像を形成させるコンピュータプログラムにおいて、
当該プログラムは、前記演算装置に、荷電粒子線装置の走査方向が異なる複数の画像から、荷電粒子線のビーム照射時間に応じて変化する特徴量の変化量に関する第1の情報と、前記ビームの走査方向の変化前と変化後の特徴量の変化量に関する第2の情報、及び/又は前記ビームの走査方向の変化前と変化後の前記画像上のパターンの位置ずれに関する第3の情報を算出させるものであって、
前記第2の情報は、
(L 2nd +L 3rd −L 1st −L 4th )÷2
L 1st :走査方向θにて得られる特徴量、
L 2nd :走査方向θ+αにて得られる特徴量、
L 3rd :特徴量L 2nd を取得した後に、走査方向θ+αにて得られる特徴量、
L 4th :特徴量L 3rd を取得した後に、走査方向θにて得られる特徴量、
に基づいて算出されることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項10において、
前記第1の情報は、異なるタイミングにて取得された異なる画像データ間の前記特徴量との差分情報であることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項10において、
前記第2の情報は、前記走査方向の変化前に取得された特徴量と、走査方向の変化後に取得された特徴量との差分情報であることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項10において、
前記第2の情報は、更に、
(L 5th +L 6th −L 4th −L 7th )÷2
L 5th :走査方向θ+βにて得られる特徴量、
L 6th :特徴量L 5th を取得した後に、走査方向θ+βにて得られる特徴量、
L 7th :特徴量L 6th を取得した後に、走査方向θにて得られる特徴量、
を含んでいることを特徴とするコンピュータプログラム。 - 請求項10において、
前記第3の情報は、前記ビームの走査方向の変化前と変化後の前記画像上の同一パターンの位置ずれに関する情報であることを特徴とするコンピュータプログラム。
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