JP5394264B2 - プローブユニット - Google Patents
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Description
2 コンタクトプローブ
3 プローブホルダ
4 ホルダ部材
5 保持基板
6 カートリッジ基板
21 第1プランジャ
21a、22a 先端部
21b、22b フランジ部
21c ボス部
21d、22d 基端部
22 第2プランジャ
22c 当接部
23 コイルばね
23a 密着巻き部
23b 粗巻き部
51 第1基板
52 第2基板
61 第3基板
62 第4基板
100 半導体集積回路
101、201 電極
200 回路基板
511、521、611、621 孔部
512、522、612、622 小径孔
513、523、613、623 大径孔
Claims (2)
- 略針状をなす第1プランジャ、一端が前記第1プランジャに取り付けられ、前記第1プランジャの軸線方向に沿って伸縮自在なコイルばね、および一部が前記コイルばねの他端から当該コイルばねの内周部へ挿抜自在であり、前記第1プランジャよりも長手方向の長さが長い第2プランジャをそれぞれ有し、各々が長手方向の両端で互いに異なる二つの被接触体と接触し、前記二つの被接触体の間を電気的に接続する複数の導電性のコンタクトプローブと、
各コンタクトプローブが有する前記第1プランジャおよび前記コイルばねの組を個別に収容し、少なくとも前記第1プランジャの先端を表出させつつ抜け止めした状態で保持する保持基板と、
各コンタクトプローブが有する前記第2プランジャを個別に収容し、前記第2プランジャの両端部を表出させつつ抜け止めした状態で保持するとともに、各コンタクトプローブが有する前記第1プランジャ、前記コイルばねおよび前記第2プランジャの長手方向の軸線が一致した状態で前記保持基板に対して前記第1プランジャが表出する側と反対側から着脱自在に取り付けられるカートリッジ基板と、
を備え、
前記コイルばねは、線材が密着して巻かれた密着巻き部と、前記密着巻き部に連続し、自然長における長手方向の長さが前記密着巻き部の長手方向の長さよりも長く、前記線材が前記密着巻き部よりも粗く巻かれてなり、前記密着巻き部よりも前記カートリッジ基板が取り付けられる側の近くに位置する粗巻き部とを有し、
前記第2プランジャの一部は、前記カートリッジ基板を前記保持基板に取り付けた状態で、当該第2プランジャと長手方向の軸線が一致する前記コイルばねが有する前記密着巻き部の内周まで進入して該密着巻き部に面接触可能であることを特徴とするプローブユニット。 - 前記第2プランジャは、その全長に渡って前記コイルばねの内径よりも小さい径を有する基端部を備え、前記コイルばねの他端側において前記コイルばね内部には前記基端部のみが挿入されることを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。
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