JP5391190B2 - 処理チャンバの排気ガス流量の制御方法及び処理装置 - Google Patents
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Description
100 処理チャンバ
106 給気管路
108 ガス拡散板
110 通気孔
112 排気管路
114 APC
122 圧力ゲージ
126 排気制御装置
Claims (22)
- 圧力ゲージ、及び複数本の排気管路を備えた処理チャンバの排気ガス流量の制御方法であって、
前記圧力ゲージを利用して処理チャンバ内の圧力を測定するステップと、
測定された前記処理チャンバ内の圧力が所定の圧力値になるように排気管路全体の総開口度を決めるステップと、
前記排気管路全体の総開口度を各排気管路の開口度に配分して、当該各排気管路の開口度を設定するステップと、
前記設定された開口度に基づいて各排気管路の開口度を調整することにより、当該各排気管路から排気されるガスの流量を独立に調節するステップと、を含み、
前記処理チャンバ内の上側部分にガス拡散板がさらに設けられることを特徴とする処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。 - 前記排気管路全体の総開口度を決めるステップと各排気管路の開口度を設定するステップは、マイクロプロセッサで行なわれることを特徴とする請求項1に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 前記各排気管路の開口度は、前記排気管路全体の総開口度を各排気管路に均等に配分した値に、予め決められた比率であって、基準となる開口度に対する排気管路の開口度の比率である各排気管路の開口比を掛けて求めることを特徴とする請求項1に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 前記各排気管路の開口比は、予め実験により工程条件に応じて異なって決められることを特徴とする請求項3に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 前記各排気管路の開口度は、前記排気管路全体の総開口度を各排気管路に均等に配分した値に、予め決められた各排気管路の開口度のオフセット量を足して求めることを特徴とする請求項1に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 前記各排気管路の開口度のオフセット量は、予め実験により工程条件に応じて異なって決められることを特徴とする請求項5に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 前記処理チャンバは、少なくとも1本の給気管路を含むことを特徴とする請求項1に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 前記複数本の排気管路は、前記処理チャンバの底面に配設されることを特徴とする請求項1に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 前記ガス拡散板は、複数の通気孔を有する多孔板であることを特徴とする請求項1に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 前記圧力ゲージは、静電容量型圧力計であることを特徴とする請求項1に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 前記各排気管路の開口度は、自動圧力コントローラ(APC)により調節されることを特徴とする請求項1に記載の処理チャンバの排気ガス流量の制御方法。
- 処理チャンバを備えた処理装置であって、
前記処理チャンバ内の圧力を測定する圧力ゲージと、
前記処理チャンバ内のガスを排気する複数の排気管路と、
前記処理チャンバから排気される排気ガス流量を制御する排気制御装置と、
前記処理チャンバ内の上側部分に設けられたガス拡散板と、を含み、
前記排気制御装置は、
前記圧力ゲージで測定された前記処理チャンバ内の圧力が所定の圧力になるように前記排気管路全体の総開口度を決め、
前記排気管路全体の総開口度を各排気管路の開口度に配分して、当該各排気管路の開口度を設定し、
前記設定された開口度に基づいて各排気管路の開口度を調整することにより、当該各排気管路から排気されるガスの流量を独立に調節することを特徴とする処理装置。 - 前記排気制御装置は、マイクロプロセッサであることを特徴とする請求項12に記載の処理装置。
- 前記排気制御装置において設定される前記各排気管路の開口度は、前記排気管路全体の総開口度を各排気管路に均等に配分した値に、予め決められた比率であって、基準となる開口度に対する排気管路の開口度の比率である各排気管路の開口比を掛けて求めることを特徴とする請求項12に記載の処理装置。
- 前記各排気管路の開口比は、予め実験により工程条件に応じて異なって決められることを特徴とする請求項14に記載の処理装置。
- 前記排気制御装置において設定される前記各排気管路の開口度は、前記排気管路全体の総開口度を各排気管路に均等に配分した値に、予め決められた各排気管路の開口度のオフセット量を足して求めることを特徴とする請求項12に記載の処理装置。
- 前記各排気管路の開口度のオフセット量は、予め実験により工程条件に応じて異なって決められることを特徴とする請求項16に記載の処理装置。
- 前記処理チャンバは、少なくとも1本の給気管路を含むことを特徴とする請求項12に記載の処理装置。
- 前記複数本の排気管路は、前記処理チャンバの底面に配設されることを特徴とする請求項12に記載の処理装置。
- 前記ガス拡散板は、複数の通気孔を有する多孔板であることを特徴とする請求項12に記載の処理装置。
- 前記圧力ゲージは、静電容量型圧力計であることを特徴とする請求項12に記載の処理装置。
- 前記排気制御装置において設定される前記各排気管路の開口度は、自動圧力コントローラ(APC)により調節されることを特徴とする請求項12に記載の処理装置。
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