JP5388817B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
前記樹脂層から前記流路の形状を有する型を形成する工程と、
前記型を覆うように前記流路形成部材となる層を設ける工程と、
前記型を除去して前記流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
なお、エーテル結合とアミド結合は主鎖中に交互に存在しても、以下の式(1)のように規則的に存在しても、ランダムに存在してももちろん良い。
具体的には、以下の式(6)、(13)で示される構造を有する化合物が使用可能である。
(13)
まず図3(a)に示されるように、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子2を備えた基板1を用意する。基板1としてはシリコンが用いられる。エネルギー発生素子2の耐用性の向上を目的として、保護層等(不図示)の各種機能層が設けることが可能である。例えば、表面にはSiN、SiC、Taの膜が設けられる場合がある。次いで図3(b)に示されるように、密着層となるポリエーテルアミド樹脂層9をスピンコート法、ロールコート法、スリットコート法等の塗布方法により形成する。
液体吐出ヘッドの作成
まず、エネルギー発生素子2としての電気熱変換素子(材質TaSiNからなるヒーター)と、液体の流路形成部位にSiNとTaの積層膜(不図示)を有するシリコン基板1を準備した(図3(a))。
ポジ型感光性樹脂を溶解する溶媒として、カルボニル基を1つもつ非環状化合物であるメチル−3−メトキシプロピオネート(MMP)(下記式(8))を用い、樹脂濃度を17wt%とした。
ポジ型感光性樹脂を溶解する溶媒として、カルボニル基を2つもつ非環状化合物であるアセチルアセトン(下記式(9))を用い、樹脂濃度を20wt%とした。
ポジ型感光性樹脂を溶解する溶媒として、カルボニル基を2つもつ非環状化合物であるアセト酢酸メチル(下記式(10))を用い,樹脂濃度を20wt%とした。
ポジ型感光性樹脂を溶解する溶媒として、カルボニル基を2つもつ非環状化合物であるアセト酢酸エチル(下記式(11))を用い,樹脂濃度を20wt%とした。
ポジ型感光性樹脂を溶解させる溶媒として、カルボニル基を1つもつ非環状化合物であるPGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(式(14))を用い、樹脂濃度を17wt%とした。
(14)
ポジ型感光性樹脂を溶解する溶媒として、カルボニル基をもたない非環状化合物であるエタノールを使用した以外は、実施例1と同様の工程にて液体吐出ヘッドを作成しようと試みた。しかし、ポジ型感光性樹脂が溶媒に溶解せず塗布することができなかった。
ポジ型感光性樹脂を溶解する溶媒として、カルボニル基をもたない非環状化合物であるイソプロピルアルコール(IPA)を使用した以外は、実施例1と同様の工程にて液体吐出ヘッドを作成しようと試みた。しかし、ポジ型感光性樹脂が溶媒に溶解せず塗布することができなかった。
ポジ型感光性樹脂を溶解する溶媒として、カルボニル基を1つもつ環状化合物であるシクロヘキサノンを用い、樹脂濃度を20wt%とした。この樹脂溶液を用いた以外は、実施例1と同様の工程にて液体吐出ヘッドを作成した。
ポジ型感光性樹脂を溶解する溶媒として、カルボニル基を1つもつ環状化合物であるγ−ブチロラクトンを用い、樹脂濃度を20wt%とした。この樹脂溶液を用いた以外は、実施例1と同様の工程にて液体吐出ヘッドを作成した。
以上のように作成した実施例および比較例の液体吐出ヘッドを、走査型電子顕微鏡を用いて観察し、吐出口表面の付着物の観察を行った。実施例1〜6の液体吐出ヘッドにおいては、吐出口付近において1μm2当たり1〜0個と付着物はほとんど見られず、また付着物の大きさも0.05μm以下と小さいものであった。一方ヘッドが作製できた比較例3、4の液体吐出ヘッドにおいては、吐出口付近において1μm2当たり2〜30個と多くの付着物が見られ、また付着物の大きさも0.05を超えて0.2μmまでと大きいものが見られる場合があった。これは、実施例では密着層を溶解することなく、溶解可能な樹脂層を形成することができたためと考えられる。
〇:吐出口付近の1μm2当たりの付着物の数がほとんど見られず、また付着物の大きさは0.05μm以下である。
×:吐出口付近の1μm2当たりの付着物の数が数個から数十個であり、付着物の大きさが0.05μmより大きい。
◎:流路パターンを形成するための露光量が10J/cm2以下であった。
〇:流路パターンを形成するために10J/cm2を超える露光量を必要とした。
◎:ウエハ中心部と外周部との膜厚差が3μm未満
〇:ウエハ中心部と外周部との膜厚差が3μm以上
(ヨレ)
〇:ヨレに起因すると考えられる画像の乱れなし
×:ヨレに起因すると考えられる画像の乱れあり
2 エネルギー発生素子
3 流路パターン
4 流路形成部材
5 吐出口
7 流路
8 パターン層
9 樹脂組成物の層
Claims (7)
- 液体を吐出する吐出口と連通する液体の流路を形成するための流路形成部材を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
基板上に、式(12)で表される構造と式(2)で表される構造とを主鎖に複数個有する化合物を含む層を設ける工程と、
[式中、X、Y、A、Bはそれぞれ独立して、炭化水素、不飽和炭化水素、および置換または未置換の芳香環のいずれかを示す。]
前記層上に、樹脂を式(3)または式(4)で表される化合物に溶解させた溶液により樹脂層を設ける工程と、
[式中、R 1 〜R 4 はそれぞれ独立して、炭素数1〜5の飽和炭化水素基または、エステル基、エーテル基、ケト基、およびヒドロキシル基のいずれかに一部が置換された炭化水素基、を示す。]
前記樹脂層から前記流路の形状を有する型を形成する工程と、
前記型を覆うように前記流路形成部材となる層を設ける工程と、
前記型を除去して前記流路を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記式(12)で表される構造と式(2)で表される構造とを主鎖に複数個有する化合物を含む層の一部を覆うように前記流路の形状を有する型を形成することを特徴とする請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記式(12)で表される構造と式(2)で表される構造とを主鎖に複数個有する化合物は、式(5)で表される構造を有することを特徴とする請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
[式中、R5〜R8はそれぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数1〜4のアルコキシ基、およびハロゲン原子のいずれかを示す。R9およびR10はそれぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、および炭素数1〜4のハロゲン化アルキル基のいずれかを示す。またAr1は置換または未置換のフェニレン、ビフェニレンおよびナフチレンのいずれかを示す。nは正の整数を示す。] - 前記樹脂が、ポリメチルイソプロペニルケトンであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記式(3)または式(4)で表される化合物がアセトン、アセチルアセトン、乳酸メチル、乳酸エチル、アセト酢酸メチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、およびアセト酢酸エチルのいずれかであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記式(3)または式(4)で表される化合物がアセト酢酸メチルおよびアセト酢酸エチルのいずれかであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記式(3)または式(4)で表される化合物が非環状化合物である請求項1乃至6のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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