JP5387598B2 - Evaluation method - Google Patents
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Description
本発明は、評価方法及び評価装置に関する。 The present invention relates to an evaluation method and an evaluation apparatus.
有機ＥＬ装置の発光層等を製造する方法として、機能性材料を含む液状体を、ノズルを介して液滴とし、被吐出体に吐出した後乾燥させ、機能膜を形成する方法が知られている。
膜厚の均一性が高い機能膜を得るには、各ノズル間での相対的な吐出量液状体の吐出量を揃えることが重要である。そのためには、ノズルから吐出された液状体の相対的な吐出量を測定し、吐出量を校正することが重要となる。
液状体の吐出量の測定方法としては、液状体がカラーフィルター等、着色されたものであれば、液状体を乾燥させ、液状体に含まれる溶質を測定することで測定する方法を用いることができる。
また、液状体の吐出量の測定方法としては例えば液状体を、ノズルを介して被吐出体に多数吐出・塗布を行い、塗布前の被吐出体の重量と塗布後の被吐出体の重量との差を元に液状体の重量と塗布面積との相関を求める方法や、液状体のドットを３次元的に測定し体積を直接測定する方法が知られている。
また、例えば特許文献１のように、シャーレ形態を備える記録媒体にノズルから吐出された液状体を受けさせて後、天板で覆うことで液状体を円筒状に変形させてその面積を測ることで吐出量を測定する方法が知られている。
As a method of manufacturing a light emitting layer or the like of an organic EL device, a method of forming a functional film by forming a liquid material containing a functional material into droplets through a nozzle, discharging the liquid to a discharge target, and drying the liquid. Yes.
In order to obtain a functional film having a high uniformity of film thickness, it is important to align the relative discharge amount of the liquid material between the nozzles. For this purpose, it is important to calibrate the discharge amount by measuring the relative discharge amount of the liquid material discharged from the nozzle.
As a method for measuring the discharge amount of the liquid material, if the liquid material is colored, such as a color filter, it is possible to use a method of measuring the solute contained in the liquid material by drying the liquid material. it can.
In addition, as a method for measuring the discharge amount of the liquid material, for example, a large number of liquid materials are discharged and applied to the discharge target body via the nozzle, and the weight of the discharge target body before application and the weight of the discharge target body after application There are known a method for obtaining the correlation between the weight of the liquid material and the coating area based on the difference between them, and a method for directly measuring the volume by measuring the dots of the liquid material three-dimensionally.
Further, for example, as in
しかしながら、液状体として、例えば有機ＥＬ装置に用いられる発光層を形成する殆ど透明なものを用いた場合、液状体が塗布された領域とそれ以外の領域とのコントラストが取れないため、液状体が塗布された領域の観察ができず、そのため面積等を測定することは極めて困難になるという課題があった。
また、特許文献１に示す方法では、一点の測定にかかる時間が長くなるため、多点（例えば１８０点）程度の測定には、実用的な測定時間で測定することが実用上困難になるという課題があった。
However, when an almost transparent material that forms a light emitting layer used in an organic EL device, for example, is used as the liquid material, the contrast between the region where the liquid material is applied and the other region cannot be obtained. There was a problem that the coated region could not be observed, and therefore it was extremely difficult to measure the area and the like.
Further, in the method shown in
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.
［適用例１］本適用例にかかる評価方法は、溶媒中に溶質を含む機能液、または前記溶媒のみを含む透明な液状体を浸透させた領域を観察するための評価方法であって、受容層を備える透明な基板の前記受容層側に前記液状体の液滴を吐出し、前記受容層に前記液状体を浸透させた塗布領域を形成する塗布工程と、前記液状体中の前記溶媒を残した状態で、前記基板の一方の面から前記基板に光を照射し、前記基板を透過させ、他方の面側から前記塗布領域を観察する観察工程と、を含むことを特徴とする。 [Application Example 1] An evaluation method according to this application example is an evaluation method for observing a region in which a functional liquid containing a solute in a solvent or a transparent liquid containing only the solvent is permeated. A coating step of discharging droplets of the liquid material to the receiving layer side of a transparent substrate having a layer to form a coating region in which the liquid material is permeated into the receiving layer; and the solvent in the liquid material. And an observing step of irradiating the substrate with light from one side of the substrate, transmitting the substrate, and observing the application region from the other side.
これによれば、溶媒が残っている状態で、液状体が塗布された塗布領域を観察することが可能となる。光を反射させて観察する反射型の観察方法では、透明な液状体の塗布領域の観察は困難であるが、基板の一方の面から光を照射し、基板を透過させて基板の他方の面から光分布を測定する方法を用いることで塗布領域が観察できる。
この場合、溶媒が残っている状態でなければ塗布領域の観察は困難となり、溶媒が残っている状態であれば塗布領域を観察できることが経験的に確認されている。
また、溶媒だけでも塗布領域を観察できることから、例えば有機ＥＬ装置のように、溶媒による希釈率が高い機能液を用いる場合には、高額な試料を使わずに溶媒だけである程度の条件出しができることから開発コストを低減することができる。
なお、大辞泉で「透明」とは、「物体が光をよく通すこと。光が物質中を通過するとき、吸収される度合いが小さいこと」と記載されている。即ち、「透明」とは光反射率や光吸収率が０である場合に限られない。上記した記載では「透明」を「吸収される度合いが小さいこと」を含む。
According to this, it is possible to observe the application region where the liquid material is applied in a state where the solvent remains. In the reflection type observation method in which light is reflected and observed, it is difficult to observe the coated area of the transparent liquid material, but light is irradiated from one side of the substrate and transmitted through the other side of the substrate. The application area can be observed by using a method of measuring the light distribution.
In this case, it is difficult to observe the application region unless the solvent remains, and it has been empirically confirmed that the application region can be observed if the solvent remains.
In addition, since the coating area can be observed only with a solvent, when using a functional liquid with a high dilution ratio with a solvent, such as an organic EL device, a certain amount of conditions can be set with only the solvent without using an expensive sample. Development costs can be reduced.
In addition, “transparent” in Ojizumi is described as “the object passes light well. When light passes through the substance, the degree of absorption is small”. That is, “transparent” is not limited to the case where the light reflectance and light absorption are zero. In the above description, “transparent” includes “small degree of absorption”.
［適用例２］上記適用例にかかる評価方法であって、前記液滴を吐出した後に、前記液状体と反応しない透明な部材で前記受容層側の少なくとも前記塗布領域を覆い、前記観察工程を行なうことを特徴とする。 Application Example 2 In the evaluation method according to the application example described above, after discharging the droplet, at least the application region on the receiving layer side is covered with a transparent member that does not react with the liquid material, and the observation step is performed. It is characterized by performing.
上記した適用例によれば、透明な部材で塗布領域を覆うことから溶媒の蒸発が抑えられる。そのため、より正確に塗布領域を観察する観察工程を行うことができる。加えて、吐出工程と観察工程との間の経過時間による溶媒の蒸発を抑えられることから、より安定した状態で塗布領域の観察を行うことができる。 According to the application example described above, evaporation of the solvent is suppressed because the application region is covered with the transparent member. Therefore, an observation process for observing the application region more accurately can be performed. In addition, since the evaporation of the solvent due to the elapsed time between the discharge process and the observation process can be suppressed, the application region can be observed in a more stable state.
［適用例３］本適用例にかかる評価装置は、溶媒中に溶質を含む機能液、または前記溶媒のみを含む透明な液状体を、吐出ヘッドのノズルより受容層を備えた透明な基板に吐出し、前記受容層に浸透させることで形成された前記液状体の塗布領域を観察するための評価装置であって、第１方向に光を射出する光源と、前記光源の光射出方向に備えられ、前記第１方向から出力させた光を前記透明な基板を通して観察を行う撮像部と、を備えていることを特徴とする。 Application Example 3 The evaluation apparatus according to this application example discharges a functional liquid containing a solute in a solvent or a transparent liquid containing only the solvent onto a transparent substrate having a receiving layer from a nozzle of the discharge head. An evaluation apparatus for observing the application region of the liquid material formed by permeating the receptor layer, the light source emitting light in a first direction, and the light emitting direction of the light source. And an imaging unit that observes light output from the first direction through the transparent substrate.
これによれば、溶媒が残っている状態では、液状体が塗布された塗布領域を観察することが可能となる。光を反射させて観察する反射型の観察方法では、透明な液状体の塗布領域の観察は困難であるが、基板の一方の面から光を照射し、基板を透過させて基板の他方の面から光分布を測定することで塗布領域が観察できる。この場合、溶媒が残っている状態でなければ塗布領域の観察は困難となり、溶媒が残っている状態であれば塗布領域を観察できる。 According to this, in a state where the solvent remains, it is possible to observe the application region where the liquid material is applied. In the reflection type observation method in which light is reflected and observed, it is difficult to observe the coated area of the transparent liquid material, but light is irradiated from one side of the substrate and transmitted through the other side of the substrate. The application area can be observed by measuring the light distribution. In this case, it is difficult to observe the application region unless the solvent remains, and the application region can be observed if the solvent remains.
［適用例４］上記適用例にかかる評価装置であって、前記透明な基板を、前記光源と前記撮像部との間に配置し、前記光源と前記撮像部が対向する位置関係を保った状態で、前記光源と前記撮像部の位置を、前記透明な基板の平面方向に対して前記透明な基板と相対的に移動させる移動機構をさらに備えていることを特徴とする。 Application Example 4 In the evaluation apparatus according to the application example, the transparent substrate is disposed between the light source and the imaging unit, and a positional relationship in which the light source and the imaging unit face each other is maintained. The apparatus further includes a moving mechanism that moves the positions of the light source and the imaging unit relative to the transparent substrate with respect to a planar direction of the transparent substrate.
上記した適用例によれば、透明な基板の平面方向に対して前記透明な基板と相対的に移動させる移動機構を備えていることから、例えば複数の塗布領域がある場合でも、各々の塗布領域の位置に移動させて観察することが可能となり、吐出ヘッドの吐出孔が複数個あっても各々観察を行うことができる。 According to the application example described above, since the moving mechanism that moves relative to the transparent substrate with respect to the planar direction of the transparent substrate is provided, for example, even when there are a plurality of application regions, each application region It is possible to observe the image by moving it to this position, and even if there are a plurality of ejection holes of the ejection head, each can be observed.
以下、本発明を具体化した各実施形態を図面に基づいて説明する。 Hereinafter, embodiments embodying the present invention will be described with reference to the drawings.
（第１実施形態：評価方法）
図１（ａ）は、透明な液状体（以下、透明インクとも称する）を吐出器から吐出する状態を示す断面図、図１（ｂ）は、液状体を受容層に浸透させ、液状体が塗布された状態を示す断面図、図１（ｃ）は、液状体が塗布された領域の面積を測定（観察）している状態を示す模式図である。透明な液状体としては、溶媒中に溶質を含む機能液や、溶媒のみを含むものを用いることができる。
(First Embodiment: Evaluation Method)
FIG. 1A is a cross-sectional view showing a state in which a transparent liquid material (hereinafter also referred to as transparent ink) is discharged from a discharger, and FIG. 1B shows a state in which the liquid material penetrates into the receiving layer. Sectional drawing which shows the apply | coated state, FIG.1 (c) is a schematic diagram which shows the state which is measuring (observing) the area of the area | region where the liquid body was apply | coated. As the transparent liquid, a functional liquid containing a solute in a solvent or a liquid containing only a solvent can be used.
透明な基板としてのメディア１００は、受容層１０１と支持膜１０２とを含む。受容層１０１は、例えば４５μｍ程度の厚さを備えるセラミック等や、親液性の樹脂を含む透明な膜である。そして、受容層１０１は支持膜１０２として、例えば１５０μｍ程度の厚さを備えたＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂により支えられている。
なお、「透明」とは大辞泉で「物体が光をよく通すこと。光が物質中を通過するとき、吸収される度合いが小さいこと」と定義されていることから、「透明」とは「吸収される度合いが小さいこと」を含むものとする。
The
Note that “transparent” is defined as “the object passes light well. When light passes through a substance, the degree of absorption is small”. It is assumed that “the degree of being performed is small”.
透明インク１４０は、吐出器１２０中に収められ、例えば溶媒としてシクロヘキシルベンゼン（沸点２４０℃）中に溶質として固形物としてのポリビニルカルバゾールを溶解／分散させたものを用いている。シクロヘキシルベンゼンの沸点は２４０℃であり、吐出器１２０から吐出させる場合、またメディア１００に吐出した後でも乾燥しにくく、かつ減圧加熱乾燥させた場合、速やかに乾燥する性質を備えている。ポリビニルカルバゾールは、有機ＥＬ素子の発光層やホール輸送層として機能する物質である。なお、溶質としてはＡｌｑ３や、その他のものを目的に応じて使い分けることができる。また、溶媒としては、ブチルカルビトールアセテート（沸点２４７℃）等を用いても良い。
The
溶媒の沸点は、２００℃以上程度であれば良く、エチレングリコール（沸点１９７．３℃）等を用いても良い。そして、２３０℃以上であれば好適であり、観察精度をより高めることが可能となる。
このような透明インク１４０は、吐出器１２０により、透明インク１４０を液滴１４１としてメディア１００の受容層１０１に向けて吐出される。吐出量は図示せぬ制御装置によって電気的に制御され、目的に応じ吐出量を変えることもできる。メディア１００は透明インク１４０を液滴１４１として受ける。この透明インク１４０の液滴１４１が着弾すると、メディア１００の受容層１０１に浸透し、透明インク１４０が塗布された塗布領域１００ａが形成される（塗布工程）。
The boiling point of the solvent may be about 200 ° C. or higher, and ethylene glycol (boiling point 197.3 ° C.) or the like may be used. And if it is 230 degreeC or more, it is suitable and it becomes possible to raise observation precision more.
Such
塗布領域１００ａが形成された後、メディア１００を測定装置１６０に運ぶ。そして、塗布領域１００ａの観察を行う（観察工程）。図１（ｃ）は、光源からの光をメディアの一方の面から照射し通過させて、他方の面に備えられた撮像装置により塗布領域の射影を捉える測定装置の断面図である。測定装置１６０は、光源１６１、光学系１６２、撮像部１６３、情報処理部１６４、モニター１６５、を備える。
After the
光源１６１は、メディア１００を透過させる光を射出する。光学系１６２は、光源１６１から発せられた光を整形し、この光を分析対象（この場合にはメディア１００）に射出・透過させる。撮像部１６３は、分析対象（この場合にはメディア１００）を通過した光を撮像する。情報処理部１６４は、撮像部１６３が得た光分布情報を処理し、例えば塗布領域１００ａの面積を抽出する。モニター１６５は、例えば、メディア１００に形成された塗布領域１００ａを写す。このような構成を取ることで、従来測定が困難であった透明インク１４０による塗布領域１００ａの観察が出来る。
The
この場合、透明インク１４０（液状体）の液滴１４１をメディア１００に浸透させた後、例えばガラス板等、透明インク１４０と反応しない透明な部材で塗布領域１００ａ（受容層１０１側）を覆うことで、観察中での溶媒の蒸発を防ぐことができることから、長時間の間観察を続けることが可能となる。この方法は溶媒の沸点が、２００℃未満のものを用いた場合に特に有効であり、例えばジメチルスルフォキシド（沸点１８９℃）等を溶媒として用いた場合でも、塗布領域１００ａの観察が可能となる。
また、吐出器１２０からの透明インク１４０の吐出量を段階的に変えて複数の場所（例えば１００μｍ程度離して）に吐出させても良い。この場合、透明インク１４０の吐出量と吐出器１２０に加えられる制御信号との相関を知ることができる。
In this case, after the
Further, the discharge amount of the
上記した測定方法は、以下の効果を奏する。 The measurement method described above has the following effects.
従来では困難であった、透明インク１４０の吐出器１２０からの吐出により形成された塗布領域１００ａの観察ができるようになった。そのため、例えば当該観察結果から吐出器１２０からの透明インク１４０の吐出量を塗布領域１００ａの面積から定性的に見積もることができるようになった。
The
吐出器１２０からの透明インク１４０の吐出量を変えた場合の塗布領域の面積変化を観察することができるようになる。この場合、例えば１００μｍ程度の間隔を空けるよう吐出器１２０を移動させた後、吐出器１２０からの吐出量を変えて（例えば吐出器１２０を駆動する電圧を上げて）塗布領域を形成する。その後当該塗布領域に対しても観察を行い、吐出量と塗布領域１００ａと当該塗布領域との面積差から、吐出量の比率を求めることができる。
前述したように、同じ吐出量で吐出器１２０から吐出を行っても、メディア１００の表面状態には分布があり、また、気温や湿度等による経時変化により同じ吐出量でも塗布領域１００ａの面積は変動する。そのため、塗布領域１００ａの面積だけでは吐出器１２０からの吐出量を見積もることは困難である。
一方、隣り合う位置に同じ吐出器１２０を用いて吐出量を変えて吐出を行った場合には、メディア１００の表面状態はほぼ同一条件として扱え、さらに気温や湿度等もほぼ同一条件として扱えるので、塗布領域１００ａと当該塗布領域の面積と吐出条件との相関を把握することができ、吐出器１２０の吐出条件と吐出量との関係を把握することができる。
It becomes possible to observe the area change of the application region when the discharge amount of the
As described above, even if ejection is performed from the
On the other hand, when discharging is performed by changing the discharge amount using the
ここで観察している対象は溶質ではなく、殆どの部分は溶媒の性質を観察することとなる。そのため、溶媒のみを用いて、上記した観察を行えば、例えば、高価な有機ＥＬの固形材料の消費を抑えてある程度製造条件を定めることができる。即ち、実験にかかるコストを低減することができる。 The object being observed here is not a solute, and most of the part will observe the nature of the solvent. Therefore, if the above-mentioned observation is performed using only the solvent, for example, the production conditions can be determined to some extent while suppressing the consumption of the expensive organic EL solid material. That is, the cost for the experiment can be reduced.
吐出器１２０から透明インク１４０をメディア１００に吐出し、塗布領域１００ａが形成された後で、例えばガラス板等、透明インク１４０と反応しない透明な部材で塗布領域１００ａを覆うことで、観察中での溶媒の蒸発を防ぐことができることから、長時間の間観察を続けることができる。この方法は溶媒の沸点が、２００℃未満のものを用いた場合に有効である。
After the
（第２実施形態：評価装置）
図２（ａ）は、透明インクを複数のノズルから吐出し評価する評価装置としての液滴吐出量評価装置の平面図、図２（ｂ）は、その断面図、図２（ｃ）は、吐出ヘッドの構造を示す平面図、図２（ｄ）は、メディアの構造を示す断面図である。
液滴吐出量評価装置２００は、ステージ２０１、光源２０２、撮像部２０３、吐出ヘッド固定台２０４、吐出ヘッド用レール２０５、撮像部第１レール２０６、撮像部第２レール２０７、メディア供給部２０８、メディア回収部２０９、総合制御装置２１０、光源第１レール２１１、光源第２レール２１２を備える。
なお、図２（ａ）に示す平面図では、本来吐出ヘッドＲＧＢ２６０は隠れているが、吐出ヘッドＲＧＢ２６０の位置関係が本実施形態では重要な位置づけに当たるため、ここでは透視させて図示している。
(Second Embodiment: Evaluation Device)
2A is a plan view of a droplet discharge amount evaluation apparatus as an evaluation apparatus for discharging and evaluating transparent ink from a plurality of nozzles, FIG. 2B is a cross-sectional view thereof, and FIG. FIG. 2D is a cross-sectional view showing the structure of the medium, and FIG. 2D is a plan view showing the structure of the ejection head.
The droplet discharge
In the plan view shown in FIG. 2A, the
ステージ２０１は、例えば硬質ガラスを用いて設けられており、メディア２５０を支える機能を備えている。
光源２０２は、ステージ２０１に向けて光を射出し、ステージ２０１とメディア２５０を介して撮像部２０３に光束を伝達する。
撮像部２０３は、メディア２５０に形成された塗布領域２５０ａ（図３参照）を検出し、観察する。
吐出ヘッド固定台２０４は、吐出ヘッドＲＧＢ２６０を固定する。
吐出ヘッド用レール２０５は、吐出ヘッド固定台２０４の位置を変えるためのレールであり、吐出ヘッド固定台２０４を例えばステージ２０１を覆うよう移動させたり、ステージ２０１から離れた位置に移動させたりするよう制御する。
撮像部第１レール２０６は、撮像部２０３の位置を変えるためのレールであり、撮像部２０３を例えばステージ２０１を覆うよう移動させたり、ステージ２０１から離れた位置に移動させたりするよう制御する。
撮像部第２レール２０７は、撮像部２０３の位置を撮像部第１レール２０６と交差する方向に変える（この場合は直交方向）ためのレールであり、撮像部２０３の位置を例えばメディア供給部２０８側に移動させたり、メディア回収部２０９側に移動させたりするよう制御する。
光源第１レール２１１は、光源２０２の位置を変えるためのレールであり、光源２０２を例えばステージ２０１を覆うよう移動させたり、ステージ２０１から離れた位置に移動させたりするよう制御する。
光源第２レール２１２は、光源２０２の位置を光源第１レール２１１と交差する方向に変える（この場合は直交方向）ためのレールであり、光源２０２の位置を例えばメディア供給部２０８側に移動させたり、メディア回収部２０９側に移動させたりするよう制御する。ここでは、光源２０２、撮像部２０３は共に相対的に同期して動かすものとする。
メディア供給部２０８は、メディア２５０をステージ２０１に供給する機能を備えている。
メディア回収部２０９は、ステージ２０１から処理済みのメディア２５０を回収する機能を備えている。
総合制御装置２１０は、ステージ２０１の制御（例えばメディア２５０の吸着ＯＮ／ＯＦＦ）や、メディア２５０の供給／回収動作、吐出ヘッド固定台２０４の位置制御、光源２０２及び撮像部２０３の位置制御、吐出ヘッドＲＧＢ２６０の吐出量制御、撮像部２０３が捉えた映像の解析等、制御を統括して行う機能を備えている。
The
The
The
The discharge
The
The imaging unit
The imaging unit
The light source
The light source
The
The
The
ここで、透明な基板としてのメディア２５０は、図２（ｄ）に示すように受容層２５１と支持膜２５２とを含む。受容層２５１は、例えば４５μｍ程度の厚さを備えるセラミック等や、親液性の樹脂を含む透明な膜である。そして、受容層２５１は支持膜２５２として、例えば１５０μｍ程度の厚さを備えたＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）樹脂等により支えられている。
また、吐出ヘッドＲＧＢ２６０は、例えば赤、緑、青の３原色をひとまとめにしたものである。吐出ヘッドＲＧＢ２６０の各々の構成は、吐出ヘッドＲＧＢ２６０（赤、緑、青のどの色も同様の構成を備えている）が備えるノズル２６１より吐出が行われる。そして、ノズル２６１が整列したものをノズル列２６１ａと呼ぶ。
また、透明インク１４０としては、前述したように、溶媒中に溶質を含む機能液や、溶媒のみを含むものを用いることができる。一例としては、例えば溶媒としてシクロヘキシルベンゼン（沸点２４０℃）中に溶質として固形物としてのポリビニルカルバゾールを溶解／分散させたものや、シクロヘキシルベンゼン単体を挙げることができる。
Here, the medium 250 as a transparent substrate includes a
The ejection head RGB260 is a group of three primary colors, for example, red, green, and blue. Each of the configurations of the ejection head RGB260 is ejected from a
Moreover, as the
（液滴吐出量評価装置の用い方）
次に、評価装置としての液滴吐出量評価装置２００の用い方について説明する。図３〜図６は、液滴吐出評価装置の使い方を示す平面図である。
まず、総合制御装置２１０はステージ２０１に、メディア２５０を吸着させるよう指示信号を出力する。この指示信号に基づいてステージ２０１は、メディア２５０を吸着する。
(How to use the droplet discharge volume evaluation device)
Next, how to use the droplet discharge
First, the
次に、手順１として、図３（ａ）に示すように、総合制御装置２１０は吐出ヘッド用レール２０５に沿って吐出ヘッド固定台２０４をステージ２０１の光源２０２の定位置側に移動させるよう指示信号を出力する。この指示信号に基づいて吐出ヘッド固定台２０４は移動する。
Next, as shown in FIG. 3A, as shown in FIG. 3A, the
次に、手順２として、図３（ｂ）に示すように、総合制御装置２１０は吐出ヘッド用レール２０５に沿って吐出ヘッド固定台２０４を走査させる走査信号を出力する。そして、吐出ヘッド固定台２０４を走査させた状態で、総合制御装置２１０は吐出ヘッドＲＧＢ２６０に、一斉に透明インク１４０を吐出させるよう指示信号を出力する。この指示信号に基づいて吐出ヘッドＲＧＢ２６０は、一斉に透明インク１４０を吐出する。この手順を行うことで、透明インク１４０は受容層２５１に浸透する。ここで、吐出量を制御する信号を、いくつかの水準で振ると、吐出エネルギーと吐出量との相関が得られることからより好適である。
Next, as procedure 2, as shown in FIG. 3B, the
次に、手順３として、図４（ａ）に示すように、総合制御装置２１０は所定の吐出回数に達したときに透明インク１４０の吐出を止め、吐出ヘッド固定台２０４を定位置に移動させる。
Next, as procedure 3, as shown in FIG. 4A, the
次に、手順４として、図４（ｂ）に示すように、総合制御装置２１０はメディア２５０に形成された各々の塗布領域２５０ａを検出し、一点毎、または、２〜５点程度を一度に観察するよう指示信号を出力する。この指示信号を受けて、光源２０２は光源第１レール２１１、光源第２レール２１２に沿った方向に走査される。そして撮像部２０３を、撮像部第１レール２０６、撮像部第２レール２０７に沿って光源２０２と同調させて（光源２０２と撮像部２０３とが対向する位置関係を保った状態で）メディア２５０の平面方向に動かしながら各々の塗布領域２５０ａを観察し、そのデータを総合制御装置２１０に転送する。総合制御装置２１０はこのデータを受けて、例えば各々の塗布領域２５０ａの面積を演算、記憶する。なお、面積計算は撮像部２０３で行っても良い。
Next, as procedure 4, as shown in FIG. 4 (b), the
次に、手順５として、図５に示すように、総合制御装置２１０は光源２０２と撮像部２０３とを元の位置（定位置）に戻す指示信号を出力する。この指示信号に基づいて光源２０２を光源第１レール２１１、光源第２レール２１２に沿って移動させて元の位置（定位置）に戻す。そして、撮像部２０３を、撮像部第１レール２０６、撮像部第２レール２０７に沿って移動させて元の位置に戻す。
この手順に従っていくことで、吐出量の評価を、液滴吐出量評価装置２００を用いて観察することができる。
Next, as procedure 5, as shown in FIG. 5, the
By following this procedure, the evaluation of the discharge amount can be observed using the droplet discharge
上記した評価装置は、上述した実施形態の効果に加え、以下の効果を奏する。 The above-described evaluation apparatus has the following effects in addition to the effects of the embodiment described above.
メディア２５０の表面状態は、狭い領域（例えば数ｃｍ程度の距離範囲内）では概ね揃った特性を備えているが、広い領域で見ると、表面状態は異なった特性を示す。そのため、広い領域を用いて塗布領域２５０ａを観察しても、メディア２５０の表面状態の差の影響により、精密に観察することは困難である。
この液滴吐出評価装置では、隣り合う位置にノズル２６１が並ぶノズル列２６１ａを用いて透明インク１４０を吐出し、塗布領域２５０ａを形成するため、メディア２５０の狭い領域で塗布領域２５０ａを多数（例えば１８０個程度）形成できる。そのため、メディア２５０の表面状態は概ね揃った特性を有しており、塗布領域２５０ａの面積を変動させる要因が小さくなりので、同じ吐出量の透明インク１４０に対してはほぼ同じ面積での広がりを持つ。そのため、面積比≒体積比となり、面積情報のみで体積の校正をほぼ正確に行うことができる。
The surface state of the medium 250 has substantially uniform characteristics in a narrow region (for example, within a distance range of several centimeters), but the surface state shows different characteristics when viewed in a wide region. Therefore, even if the
In this droplet discharge evaluation apparatus, the
ノズル２６１が並んで配置されているため、透明インク１４０を用いた場合でも、狭い領域で多数の液滴（例えば吐出ヘッドＲＧＢ２６０の一色あたり１８０点程度）の面積を測定（観察）することができる。そのため、例えば標準偏差等、吐出ヘッドＲＧＢ２６０の製造上の課題を統計的に解析できる。例えば、面積分布に２つのピークがあった場合には、吐出ヘッドＲＧＢ２６０には製造上の課題が２種類あることが推定できる。また、吐出ヘッドＲＧＢ２６０の中央部のノズル２６１と周辺部のノズル２６１との間での差異等を抽出することができる。
Since the
手順２で、吐出ヘッドＲＧＢ２６０に、一斉に透明インク１４０を吐出させることに代えて、例えば一つ置きにノズル２６１から透明インク１４０を吐出させることで、透明インク１４０を用いた場合でもノズル２６１の隣り合うノズル２６１間でのクロストークを調べることができる。この場合、狭い領域内でノズル２６１から透明インク１４０を吐出させ、塗布領域２５０ａを形成することで、塗布領域２５０ａの面積を変える要因が小さくなり、同じ吐出量の透明インク１４０に対しては同じ面積での広がりを持つ。そのため、クロストークを定量的に捉えることができる。
In step 2, instead of causing the ejection heads
手順２で、透明インク１４０に代えて、溶媒のみを用いて、上記した観察を行えば、例えば、高価な有機ＥＬの固形材料の消費を抑えてある程度製造条件を定めることができる。即ち、実験にかかるコストを低減することができる。
If the above-mentioned observation is performed in step 2 using only the solvent instead of the
なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良等を加えることが可能である。変形例を以下に示す。
［変形例１］
手順３を行った後、例えばガラス板等、透明インク１４０と反応しない透明な部材で塗布領域２５０ａを覆うことで、観察中での溶媒の蒸発を防ぐことができることから、長時間の間観察を続けることが可能となる。
［変形例２］
第２実施形態では、光源２０２と撮像部２０３を動かして塗布領域２５０ａを観察する襟について説明したが、これは、メディア２５０を動かして観察する構成を用いても良い。
Note that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications and improvements can be added to the above-described embodiment. A modification is shown below.
[Modification 1]
After performing step 3, the
[Modification 2]
In the second embodiment, the collar that moves the
１００…メディア、１００ａ…塗布領域、１００ｂ…塗布領域、１０１…受容層、１０２…支持膜、１２０…吐出器、１４０…透明インク、１４１…液滴、１６０…測定装置、１６１…光源、１６２…光学系、１６３…撮像部、１６４…情報処理部、１６５…モニター、２００…液滴吐出量評価装置、２０１…ステージ、２０２…光源、２０３…撮像部、２０４…吐出ヘッド固定台、２０５…吐出ヘッド用レール、２０６…撮像部第１レール、２０７…撮像部第２レール、２０８…メディア供給部、２０９…メディア回収部、２１０…総合制御装置、２１１…光源第１レール、２１２…光源第２レール、２５０…メディア、２５０ａ…塗布領域、２５１…受容層、２５２…支持膜、２６０…吐出ヘッドＲＧＢ、２６１…ノズル、２６１ａ…ノズル列。
DESCRIPTION OF
Claims (2)
受容層を備える透明な基板の前記受容層側に前記液状体の液滴を吐出し、前記受容層に前記液状体を浸透させた塗布領域を形成する塗布工程と、
前記液状体中の前記溶媒を残した状態で、前記基板の一方の面から前記基板に光を照射し、前記基板を透過させ、前記基板の他方の面側から前記塗布領域を観察する観察工程と、を含むことを特徴とする評価方法。 A transparent liquid containing a functional liquid containing a solute in a solvent, or an evaluation method for observing a region infiltrated with a transparent liquid containing only the solvent,
A coating step of discharging droplets of the liquid material to the receiving layer side of a transparent substrate having a receiving layer, and forming a coating region in which the liquid material is infiltrated into the receiving layer;
An observation step of irradiating the substrate with light from one surface of the substrate while allowing the solvent in the liquid to remain, transmitting the substrate, and observing the coating region from the other surface side of the substrate. The evaluation method characterized by including these.
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